CN219160999U - 炉体结构 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种炉体结构，炉体结构包括保温层、炉体、支撑组件和炉丝，支撑组件包括支撑件，且支撑件沿炉体的轴向方向延伸，支撑件连接与炉体连接，该连接为可拆卸连接，炉丝设置于支撑件上。该炉体结构的炉丝与炉体可拆卸连接，炉丝损坏时不需要更换整段炉体，只需要将支撑件从炉体上拆下然后更换炉丝即可，提升了更换效率和维修效率。

Description

炉体结构

技术领域

本实用新型涉及高温热炉设备技术领域，尤其涉及一种炉体结构。

背景技术

高温热炉是半导体制造技术领域的常用设备，目前的高温热炉一般采用通电炉丝2’在高温热炉的炉体内形成高温热场，为了确保高温热场的稳定性，如图1所示，高温热炉的炉体通常具有保温层1’，而炉丝2’安装在保温层1’上的安装槽11’内。在实际生产制造中，一般用吸覆成形技术，把炉丝2’与保温层1’做成一个整体，这种结构需要将制造保温层1’的模具覆盖在炉丝2’上并且固定，此固定的时间相当长，很浪费时间，降低了炉体结构的组装效率，并且当炉丝2’损坏后，由于保温层1’和炉丝2’为一体式结构，很难更换炉丝2’。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提出一种炉体结构，该炉体结构的炉丝与炉体可拆卸连接，在提升炉体结构的组装效率的同时还能够方便炉丝更换。

为实现上述技术效果，本实用新型的技术方案如下：

本实用新型公开了一种炉体结构，包括保温层和炉体，还包括：

支撑组件，所述支撑组件包括支撑件，且所述支撑件沿所述炉体的轴向方向延伸，所述支撑件与所述炉体连接，所述连接为可拆卸连接；炉丝，所述炉丝设置于所述支撑件上。

在一些实施例中，所述炉丝为多个，多个所述炉丝沿所述炉体的周向设置在所述炉体内，每个所述炉丝沿所述炉体的轴向延伸设置；或者多个所述炉丝沿所述炉体的轴向设置，每个所述炉丝沿所述炉体的周向设置。

在一些具体的实施例中，所述支撑组件还包括至少两个沿所述炉体轴向设置的固定件，所述固定件上设有与所述支撑件配合的固定部。

在一些更具体的实施例中，至少一个所述固定件为与所述炉体相连的法兰盘，所述固定部为所述法兰盘上的固定孔。

在一些实施例中，所述支撑件为绝缘杆，所述绝缘杆的端部与所述固定件相连，所述炉丝沿所述炉体的轴向延伸设置且所述炉丝套设于所述绝缘杆上。

在一些实施例中，所述支撑件包括支撑杆和支撑卡块，所述支撑杆与所述炉体配合，所述支撑卡块与所述支撑杆相连，且所述支撑卡块上设有卡接槽，所述卡接槽卡接所述炉丝。

在一些具体的实施例中，所述支撑卡块成对设置，成对设置的两个所述支撑卡块设置有相互配合的所述卡接槽。

在一些具体的实施例中，所述支撑卡块包括套筒部和卡接部，所述套筒部套设于所述支撑杆，所述卡接部具有所述卡接槽。

在一些具体的实施例中，每个所述支撑杆上的所述支撑卡块为多个，多个所述支撑卡块沿所述支撑杆的轴向间隔分布；其中：所述炉丝沿所述炉体的轴向延伸设置，一个所述炉丝卡接于同一个所述支撑杆上的多个所述支撑卡块；所述炉丝沿所述炉体的周向延伸设置，一个所述炉丝卡接于多个所述支撑杆上位于同一个圆周上的多个所述支撑卡块。

在一些具体的实施例中，所述卡接槽包括开口和限位槽，所述炉丝能够从所述开口卡入所述支撑卡块以使所述炉丝配合于所述限位槽。

在一些实施例中，所述炉体为一体成型件或者包括多段连接的子炉体。

本实用新型的炉体结构的有益效果：由于每个支撑件沿炉体的轴向方向延伸且与炉体可拆卸相连，且炉丝连接在支撑件上，在制造炉体时不需要将炉丝安装到制造保温层的模具上，使得保温层可以制造为标准件，不需要根据实际的炉丝数量以及安装位置特殊化定制，在降低保温层的制造成本以及提高加工效率的同时还能够使得保温层具有通用性，方便炉体结构组装。与此同时，支撑件与可拆卸连接，当炉丝损坏时，只需要将支撑件从炉体上拆下，然后将炉丝从支撑件上拆下进行检修或者更换，不需要更换整个炉体，操作非常方便。此外，由于炉丝直接安装在支撑件上，在炉丝安装完成后，保留了炉丝加热时需要的膨胀空间，避免了现有技术中，炉丝在加热膨胀会弹出保温层的内侧壁，导致炉体需要维修的现象。

本实用新型的附加方面和优点将在下面的描述中部分给出，部分将从下面的描述中变得明显，或通过本实用新型的实践了解到。

附图说明

图1是现有技术的炉体结构的示意图；

图2是本实用新型实施例一的炉体结构的结构示意图；

图3是本实用新型实施例一的炉体结构的分解结构示意图；

图4是本实用新型实施例一的炉体结构的剖视图；

图5是本实用新型实施例一的另一种炉体的结构；

图6是本实用新型实施例一的再一种炉体的结构；

图7是本实用新型实施例二的炉体结构的结构示意图；

图8是本实用新型实施例二的支撑件与炉丝的配合结构示意图；

图9是本实用新型实施例二的支撑件的结构示意图。

附图标记：

图1中：

1’、保温层；11’、安装槽；12、炉丝；

图2-图9中：

1、炉体；11、子炉体；12、安装孔；2、支撑组件；21、支撑件；211、支撑杆；212、支撑卡块；2121、套筒部；2122、卡接部；2120、卡接槽；21201、开口；21202、限位槽；22、固定件；221、固定部；3、炉丝。

具体实施方式

为使本实用新型解决的技术问题、采用的技术方案和达到的技术效果更加清楚，下面结合附图并通过具体实施方式来进一步说明本实用新型的技术方案。

在本实用新型的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“长度”、“宽度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”、“顺时针”、“逆时针”、“轴向”、“径向”、“周向”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。

此外，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征，用于区别描述特征，无顺序之分，无轻重之分。在本实用新型的描述中，除非另有说明，“多个”的含义是两个或两个以上。

在本实用新型的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。

下面参考图2-图9描述本实用新型实施例的炉体结构的具体结构。

本实用新型公开了一种炉体结构，如图2及图7所示，本实施例的炉体结构包括炉体1、保温层、支撑组件2和炉丝3，支撑组件2包括支撑件21，支撑件21沿炉体1的轴向方向延伸且与炉体1连接，且该连接为可拆卸连接，炉丝3设置于支撑件21上。

可以理解的是，由于支撑件21沿炉体1的轴向方向延伸且与炉体1可拆卸相连，且炉丝3设置于支撑件21上，在制造炉体1时不需要将炉丝3安装到制造保温层的模具上，使得保温层可以制造为标准件，不需要根据实际的炉丝3数量以及安装位置特殊化定制，在降低保温层的制造成本以及提高加工效率的同时还能够使得保温层具有通用性，方便炉体结构组装。与此同时，支撑件21与炉体1可拆卸连接，这样在需要检修或者更换炉丝3时，只需要将支撑件21从炉体1拆下，然后将炉丝3从支撑件21上拆下进行检修或者更换，操作非常方便。此外，由于炉丝3直接安装在支撑件21上，在炉丝3安装完成后，炉丝3与保温层的接触面积非常小，相比于现有技术中炉丝有至少一半的结构隐藏在保温层的凹槽内，本实施例的炉丝3的表面积利用率更高，使得炉体结构内的热场的温度变化更快，也就是说炉体结构内的热场可以更快的升温或者降温至指定温度，从而有利于提升生产效率。与此同时，由于炉丝3直接安装在支撑件21上，在炉丝3安装完成后，保留了炉丝3加热时需要的膨胀空间，避免了现有技术中，炉丝在加热膨胀会弹出保温层的内侧壁，导致炉体需要维修的现象。

可选的，所述炉丝3为多个，多个炉丝3沿炉体1的周向设置在炉体1内，每个炉丝3沿炉体1的轴向延伸设置。多个炉丝3沿炉体1的轴向间隔设置，每个炉丝3沿炉体1的周向延伸设置。可以理解的是，现有技术中，针对与沿高温热炉的轴向延伸的炉丝和沿高温热炉周向延伸的炉丝需要设置不同的保温层来匹配。因此，现有的高温热炉只能使用单一的炉丝结构。而在本实施例中，由于炉丝3是连接在支撑件21上的，支撑件21沿炉体1的轴向方向延伸，如果每个炉丝3沿炉体1的轴向延伸设置，直接将一个炉丝3套设在的一个支撑件21上即可，每个炉丝3沿炉体1的周向延伸设置，如果每个炉丝3沿炉体1的周向延伸设置，将一个炉丝3卡接在多个支撑件21上位于同一个圆周的位置即可，也就是说，本实施例的炉体结构可以兼容多种方向的炉丝3，提升了炉体结构的兼容性能。

在一些具体的实施例中，如图3-图4所示，支撑组件2还包括至少两个沿炉体1轴向设置的固定件22，固定件22上设有与支撑件21配合的固定部221。可以理解的是，支撑件21通过固定部221进行支撑，能够保证支撑件21在炉体1内的稳定性，从而确保炉丝3能够稳定地保持在支撑件21内。

在一些更具体的实施例中，如图5所示，至少一个固定件22为与炉体1相连的法兰盘，固定部221为法兰盘上的固定孔。可以理解的是，将固定件22设置为与炉体1可拆卸结构的法兰盘，这样炉体1能够匹配具有不同规格固定孔的法兰盘，实现匹配不同尺寸的支撑件21，从而实现对不同尺寸的炉丝3的匹配，这样进一步提升了本实施例的炉体1的兼容性。

需要额外说明的是，法兰盘和炉体1可以通过螺钉或者销钉等连接件相连，也可以采用胶粘等连接方式进行连接，在此不对法兰盘和炉体1的具体连接形式作出限定。

在一些可选的实施例中，支撑件21为绝缘杆，绝缘杆的端部与固定件22相连，炉丝3沿炉体1的轴向延伸设置且炉丝3套设于绝缘杆上。由此，在安装过程中，只需要将炉丝3套设在绝缘杆上，然后将绝缘杆安装到炉体1内部即可，炉丝的安装以及后续的更换都较为方便。

在一些实施例中，如图7-图8所示，支撑件21包括支撑杆211和支撑卡块212，支撑杆211与炉体1上的安装孔12连接，支撑杆211与支撑卡块212与相连，且支撑卡块212上设有卡接槽2120，卡接槽2120卡接炉丝3。可以理解的是，在实际安装过程中可以将炉丝3从卡接槽2120中取出就能够完成炉丝3的拆卸，这样在实际拆卸过程中无需将整个支撑杆211从炉体1中抽出，对于炉丝3的更换以及拆卸更加方便。

在一些具体的实施例中，如图8所示，支撑卡块212成对设置，成对设置的两个支撑卡块212设置有相互配合卡接槽2120。由此，这样能够更好的支撑炉丝3，以使得炉丝3稳定地保持在炉体结构内。

在一些具体的实施例中，如图9所示，卡接槽2120包括开口21201和限位槽21202，炉丝3能够从开口21201卡入支撑卡块212以使炉丝3配合于限位槽21202。可以理解的是，增设的开口21201能够方便炉丝3安装到卡接槽2120内，限位槽21202与炉丝3的形状匹配能够提升炉丝3与支撑卡块212的连接稳定性，从而更好将炉丝3保持在炉体结构内。

在一些具体的实施例中，如图9所示，支撑卡块212包括套筒部2121和卡接部2122，套筒部2121套设于支撑杆211，卡接部2122具有卡接槽2120。可以理解的是，套筒部2121套设于支撑杆211能够方便支撑卡块212与支撑杆211的安装和拆卸，从而方便整个支撑件21的组装。

在一些具体的实施例中，每个支撑杆211上的支撑卡块212为多个，多个支撑卡块212沿支撑杆211的轴向间隔分布，炉丝3沿炉体1的轴向延伸设置，一个炉丝3卡接于同一个支撑杆211上的多个支撑卡块212；炉丝3沿炉体1的周向延伸设置，一个炉丝3卡接于多个支撑杆211上位于同一个圆周上的多个支撑卡块212。可以理解的是，支撑卡块212为多个，无论是沿炉体1的周向延伸设置的炉丝3还是沿炉体1的轴向延伸设置的炉丝3支撑卡块212都能够进行稳定地支撑，在提升本实施例的炉体结构对炉丝3的兼容性能的同时还能够确保炉丝3在炉体结构的稳定性。

在一些实施例中，炉体1包括多段连接的子炉体11。可以理解的是，炉体1包括多段拼接的子炉体11，一方面方便满足对不同长度的炉体1的使用需求，只需要根据实际需要选择不同数量的子炉体11进行拼接即可，另一方面，多段子炉体11的炉丝3可以独立控制，从而在炉体1内形成不同温度梯度的热场。当然，在本实用新型的实施例中，炉体1也可以直接形成为一体成型结构。

实施例一：

如图2-图6所示，本实施例的炉体结构包括炉体1、支撑组件2和炉丝3，支撑组件2包括支撑件21和固定件22，固定件22上设有固定部221，本实施例中固定部221为固定孔。支撑件21为绝缘杆，且绝缘杆的一端插接在固定孔内，每个炉丝3沿炉体1的轴向螺旋延伸设置且套设在绝缘杆上。在本实施例中，如图3所示，固定件22为与炉体1一体成型件的环形边，环形边上设有固定孔。如图4所示，固定件22为连接在炉体1上法兰盘，法兰盘上的法兰孔为固定孔。如图6所示，本实施例中，炉体1还可以由多个子炉体11拼接而成。

实施例二：

如图7-图9所示，本实施例的炉体结构包括炉体1、支撑组件2和炉丝3，支撑组件2包括支撑件21，每个支撑件21包括支撑杆211和支撑卡块212，支撑杆211的一端与炉体1上的安装孔12配合，支撑卡块212包括套筒部2121和卡接部2122，套筒部2121套设于支撑杆211，卡接部2122具有卡接槽2120。卡接槽2120包括开口21201和限位槽21202，炉丝3能够从开口21201卡入支撑卡块212以使炉丝3配合于限位槽21202。

本实施例的炉体结构的有益效果：

第一、由于炉丝3连接在支撑件21上，在制造保温层时不需要将炉丝3安装到制造保温层的模具上，使得保温层可以制造为标准件，不需要根据实际的炉丝3数量以及安装位置特殊化定制，在降低保温层的制造成本以及提高加工效率的同时还能够使得保温层具有通用性，方便炉体结构组装；

第二：由于炉丝3直接安装在支撑件21上，在炉丝3安装完成后，炉丝3与保温层的接触面积较小，使得炉丝3的表面积利用率更高，从而使得炉体结构内的热场可以更快的升温或者降温至指定温度，从而有利于提升生产效率；

第三：由于炉丝3安装在支撑件21上，在需要检修或者更换炉丝3时，只需要将支撑件21沿炉体1的方向拆下，然后将炉丝3从支撑件21上拆下进行检修或者更换，操作非常方便；

第四：由于炉丝3直接安装在支撑件21上，在炉丝3安装完成后，保留了炉丝3加热时需要的膨胀空间，避免了现有技术中，炉丝在加热膨胀会弹出炉体的内侧壁，导致炉体需要维修的现象。

这里需要额外说明的是，本实用新型所述的炉体结构的用途不仅限于半导体制造，也可以用于其他高温制造领域。

在本说明书的描述中，参考术语“有些实施例”、“其他实施例”、等的描述意指结合该实施例或示例描述的具体特征、结构、材料或者特点包含于本实用新型的至少一个实施例或示例中。在本说明书中，对上述术语的示意性表述不一定指的是相同的实施例或示例。而且，描述的具体特征、结构、材料或者特点可以在任何的一个或多个实施例或示例中以合适的方式结合。

以上内容仅为本实用新型的较佳实施例，对于本领域的普通技术人员，依据本实用新型的思想，在具体实施方式及应用范围上均会有改变之处，本说明书内容不应理解为对本实用新型的限制。

Claims (11)

1.炉体结构，包括保温层和炉体(1)，其特征在于，还包括：

支撑组件(2)，所述支撑组件(2)包括支撑件(21)，且所述支撑件(21)沿所述炉体(1)的轴向方向延伸，所述支撑件(21)与所述炉体(1)连接，所述连接为可拆卸连接；

炉丝(3)，所述炉丝(3)设置于所述支撑件(21)上。

2.根据权利要求1所述的炉体结构，其特征在于，所述炉丝(3)为多个，多个所述炉丝(3)沿所述炉体(1)的周向设置在所述炉体(1)内，每个所述炉丝(3)沿所述炉体(1)的轴向延伸设置；或者多个所述炉丝(3)沿所述炉体(1)的轴向设置，每个所述炉丝(3)沿所述炉体(1)的周向设置。

3.根据权利要求1所述的炉体结构，其特征在于，所述支撑组件(2)还包括至少两个沿所述炉体(1)轴向设置的固定件(22)，所述固定件(22)上设有与所述支撑件(21)配合的固定部(221)。

4.根据权利要求3所述的炉体结构，其特征在于，至少一个所述固定件(22)为与所述炉体(1)相连的法兰盘，所述固定部(221)为所述法兰盘上的固定孔。

5.根据权利要求3所述的炉体结构，其特征在于，所述支撑件(21)为绝缘杆，所述绝缘杆的端部与所述固定件(22)相连，所述炉丝(3)沿所述炉体(1)的轴向延伸设置且所述炉丝(3)套设于所述绝缘杆上。

6.根据权利要求1所述的炉体结构，其特征在于，所述支撑件(21)包括支撑杆(211)和支撑卡块(212)，所述支撑杆(211)与所述炉体(1)上安装孔(12)配合，所述支撑卡块(212)与所述支撑杆(211)相连，且所述支撑卡块(212)上设有卡接槽(2120)，所述卡接槽(2120)卡接所述炉丝(3)。

7.根据权利要求6所述的炉体结构，其特征在于，所述支撑卡块(212)成对设置，成对设置的两个所述支撑卡块(212)设置有相互配合的所述卡接槽(2120)。

8.根据权利要求6所述的炉体结构，其特征在于，所述支撑卡块(212)包括套筒部(2121)和卡接部(2122)，所述套筒部(2121)套设于所述支撑杆(211)，所述卡接部(2122)具有所述卡接槽(2120)。

9.根据权利要求6所述的炉体结构，其特征在于，每个所述支撑杆(211)上的所述支撑卡块(212)为多个，多个所述支撑卡块(212)沿所述支撑杆(211)的轴向间隔分布；其中：

所述炉丝(3)沿所述炉体(1)的轴向延伸设置，一个所述炉丝(3)卡接于同一个所述支撑杆(211)上的多个所述支撑卡块(212)；

或所述炉丝(3)沿所述炉体(1)的周向延伸设置，一个所述炉丝(3)卡接于多个所述支撑杆(211)上位于同一个圆周方向上的多个所述支撑卡块(212)。

10.根据权利要求6所述的炉体结构，其特征在于，所述卡接槽(2120)包括开口(21201)和限位槽(21202)，所述炉丝(3)能够从所述开口(21201)卡入所述支撑卡块(212)以使所述炉丝(3)配合于限位槽(21202)。

11.根据权利要求1-10中任一项所述的炉体结构，其特征在于，所述炉体(1)为一体成型件或者包括多段连接的子炉体(11)。

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