CN217737891U - 一种高温热炉 - Google Patents

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庞爱锁
张武
郭永胜
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Abstract

本实用新型公开了一种高温热炉,该高温热炉包括炉体组件、加热炉丝和置物管,炉体组件的截面为方形,加热炉丝为单独控制的多组,多组加热炉丝沿炉体组件的长度方向间隔设置在炉体组件的内侧壁上,置物管设在炉体组件内。该高温热炉能够确保同一个硅片受热均匀,也能够确保位于高温热炉内不同位置的硅片的加热温度一致,从而较好地确保了硅片能够被均匀加热,提升了产品良率。

Description

一种高温热炉
技术领域
本实用新型涉及硅片加工装置技术领域,尤其涉及一种高温热炉。
背景技术
现有的硅片一般形成为方形,而目前的高温热炉的炉体多为圆柱体,当方形的硅片放入炉体后就会出现硅片的上下表面与炉体内侧壁的加热炉丝的距离不相等的现象,从而导致硅片加热不均的现象。并且在实际加热过程中,炉体中部的位置具有更高的温度,这样就会造成位于炉体中部的硅片的加热温度较高,位于炉体两端的硅片的加热温度较低的现象发生,从而进一步加剧了硅片加热不均的现象。
实用新型内容
本实用新型的目的在于提出一种高温热炉,该高温热炉能够确保同一片硅片受热均匀,也能够确保位于高温热炉内不同位置的硅片的加热温度一致,从而较好地确保了硅片能够被均匀加热,提升了产品良率。
为实现上述技术效果,本实用新型的技术方案如下:
本实用新型公开了一种高温热炉,包括:炉体组件,所述炉体组件的截面为方形;加热炉丝,所述加热炉丝为单独控制的多组,多组所述加热炉丝沿所述炉体组件的长度方向间隔设置在所述炉体组件的内侧壁上;置物管,所述置物管设在所述炉体组件内。
在一些实施例中,所述炉体组件的内侧壁上设有多组配合槽,多组配合槽沿所述炉体组件的长度方向间隔设置;和/或者多组所述配合槽沿与所述炉体组件的长度方向垂直的方向间隔设置;其中:
每组所述配合槽内配合有一组所述加热炉丝,同一组内的多个所述加热炉丝依次串联。
在一些具体的实施例中,每组所述配合槽设置在所述炉体组件的上侧壁、下侧壁、左侧壁和右侧壁中的至少一个上。
在一些实施例中,所述炉体组件包括炉体、前端板和后端板,所述前端板和所述后端板分别配合在所述炉体沿其长度方向的两端,所述前端板上设有配合孔,所述置物管的一端出所述配合孔。
在一些具体的实施例中,所述炉体包括炉本体和保护板,所述保护板包覆在所述炉本体上。
在一些具体的实施例中,所述保护板包括上护板和下护板,所述上护板和所述下护板均为U型板,所述上护板和所述下护板分别扣合在所述炉本体的上部和下部。
在一些更具体的实施例中,所述炉本体上设有沿其长度方向间隔设置的多个第一安装孔,所述上护板上设有第一压边,所述第一压边上设与所述第一安装孔对应的第二安装孔,所述下护板上设有第二压边,所述第二压边上设有与所述第二安装孔对应的第三安装孔,所述第一压边贴合在所述炉本体的侧壁上,所述第二压边贴合在所述第一压边上;其中:
所述上护板、所述下护板以及所述炉本体通过穿设在所述第一安装孔、第二安装孔以及第三安装孔的安装件配合。
在一些具体的实施例中,所述后端板包括板本体和罩设在所述板本体上的保护罩。
在一些实施例中,所述炉体组件的外侧壁上设有多个间隔设置的绝缘引线座,多个所述绝缘引线座成对设置,成对设置的所述绝缘引线座用于与一组所述加热炉丝的引出线配合。
在一些具体的实施例中,成对设置的所述绝缘引线座设在所述炉体组件的同一个外侧壁上。
本实用新型的高温热炉的有益效果:由于高温热炉的炉体组件的截面为方框型,当方形的硅片放在置物管内被送入炉体组件内部后,硅片的上表面和下表面距离炉体组件的内侧壁的距离是相等的,这样能够确保单个硅片能够较为均匀地受热。与此同时,该高温热炉的加热炉丝为多组,多组加热炉丝沿炉体组件的长度方向间隔设置在炉体组件的内侧壁上且可单独控制,这样可以根据实际需要平衡炉体组件内部的热场,使得无论是位于炉体组件的两端还是位于炉体组件中部的硅片的加热温度基本一致,从而确保了硅片能够在置物管内均匀受热,提升了产品良率。
本实用新型的附加方面和优点将在下面的描述中部分给出,部分将从下面的描述中变得明显,或通过本实用新型的实践了解到。
附图说明
图1是本实用新型实施例一的高温热炉的分解结构示意图;
图2是本实用新型实施例一的高温热炉拆去置物管的分解示意图;
图3是本实用新型实施例一的高温热炉的炉体组件的结构示意图;
图4是本实用新型实施例一的高温热炉的炉体组件的分解结构示意图;
图5是本实用新型实施例二的高温热炉的分解结构示意图;
附图标记:
1、炉体组件;11、炉体;111、炉本体;1111、配合槽;112、保护板;1121、上护板;1122、下护板;12、前端板;13、后端板;131、板本体;132、保护罩;2、加热炉丝;3、置物管;4、绝缘引线座。
具体实施方式
为使本实用新型解决的技术问题、采用的技术方案和达到的技术效果更加清楚,下面结合附图并通过具体实施方式来进一步说明本实用新型的技术方案。
在本实用新型的描述中,需要理解的是,术语“中心”、“纵向”、“横向”、“长度”、“宽度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”、“顺时针”、“逆时针”、“轴向”、“径向”、“周向”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系,仅是为了便于描述本实用新型和简化描述,而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作,因此不能理解为对本实用新型的限制。
此外,限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征,用于区别描述特征,无顺序之分,无轻重之分。在本实用新型的描述中,除非另有说明,“多个”的含义是两个或两个以上。
在本实用新型的描述中,需要说明的是,除非另有明确的规定和限定,术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解,例如,可以是固定连接,也可以是可拆卸连接,或一体地连接;可以是机械连接,也可以是电连接;可以是直接相连,也可以通过中间媒介间接相连,可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言,可以具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。
下面参考图1-图5描述本实用新型实施例的高温热炉的具体结构。
本实用新型公开了一种高温热炉,如图1-图2所示,本实施例的高温热炉包括炉体组件1、加热炉丝2和置物管3,炉体组件1的截面为方形,加热炉丝2为单独控制的多组,多组加热炉丝2沿炉体组件1的长度方向间隔设置在炉体组件1的内侧壁上,置物管3设在炉体组件1内。
可以理解的是,由于本实施例的炉体组件1的截面为方框型,当长方形的硅片放在置物管3内被送入炉体组件1内部后,硅片的上表面和下表面距离炉体组件1的内侧壁的距离是相等的,这样能够确保单个硅片能够较为均匀地受热。与此同时,本实施例的加热炉丝2为多组,多组加热炉丝2沿炉体组件1的长度方向间隔设置在炉体组件1的内侧壁上且可单独控制,这样可以根据实际需要平衡炉体组件1内部的热场,使得无论是位于炉体组件1的两端还是位于炉体组件1中部的硅片的加热温度基本一致,从而确保了硅片能够在置物管3内均匀受热,提升了产品良率。
这里需要额外说明的是,每组加热炉丝2只需要单独引出就能够实现单独控制,加热炉丝2的引出线的控制电路是现有技术,在此无需赘述。
在一些实施例中,每组加热炉丝2的尺寸可以相同也可以不同,不同组的加热炉丝2的尺寸可以相同也可以不同,不同组的加热炉丝2的数量可以相同,也可以不同,加热炉丝2的具体尺寸以及数量可以根据实际需要进行选择。
在一些实施例中,如图2-图4所示,炉体组件1的内侧壁上设有多组配合槽1111,多组配合槽1111沿炉体组件1的长度方向间隔设置和/或者多组配合槽1111沿与炉体组件1的长度方向垂直的方向间隔设置;每组配合槽1111内配合有一组加热炉丝2,同一组内的多个加热炉丝2依次串联。可以理解的是,将加热炉丝2嵌入炉体组件1的内侧壁,一方面能够较好保护加热炉丝2,另一方面也方便了加热炉丝2组装,同一组内的多个加热炉丝2依次串联能够较为方便控制。
在一些具体的实施例中,每组配合槽1111设在炉体组件1的上侧壁、下侧壁、左侧壁和右侧壁中的至少一个上,由此,能够确保加热炉丝2均匀地分布在炉体组件1的上侧壁、下侧壁、左侧壁和右侧壁中的至少一个上,从而确保炉体组件1内能够形成较为均匀地热场。
优选的,每组配合槽1111设在炉体组件1的上侧壁、下侧壁、左侧壁和右侧壁上。由此,能够提升炉体组件1内的热场均匀性。
在一些实施例中,如图4所示,炉体组件1包括炉体11、前端板12和后端板13,前端板12和后端板13分别配合在炉体11沿其长度方向的两端,前端板12上设有配合孔,置物管3的一端伸出配合孔。由此,能够方便地实现置物管3的安装和拆卸。
在一些具体的实施例中,如图3-图4所示,炉体11包括炉本体111和保护板112,保护板112包覆在炉本体111上。可以理解的是,炉本体111一般采用保温材料制成或者在其外壁或者内壁设置保温材料,将炉体11拆分为炉本体111和保护板112,保护板112能够起到保护炉本体111的作用,避免炉本体111出现划伤或者其他损坏,延长了炉本体111的使用寿命。
在一些具体的实施例中,如图4所示,保护板112包括上护板1121和下护板1122,上护板1121和下护板1122均为U型板,上护板1121和下护板1122分别扣合在炉本体111的上部和下部。可以理解的是,如果保护板112形成为一个在安装过程中只能够沿着炉本体111的长度方向安装保护板112,这种安装方式较为复杂,不方便安装。在本实施例中,保护板112被拆分为两个U型板,安装保护板112时只需要从上下方向安装即可,安装非常方便。
在一些更具体的实施例中,炉本体111上设有沿其长度方向间隔设置的多个第一安装孔,上护板1121上设有第一压边,第一压边上设与第一安装孔对应的第二安装孔,下护板1122上设有第二压边,第二压边上设有与第二安装孔对应的第三安装孔,第一压边贴合在炉本体111的侧壁上,第二压边贴合在第一压边上,上护板1121、下护板1122以及炉本体111通过穿设在第一安装孔、第二安装孔以及第三安装孔的安装件配合。由此,采用穿设在第一安装孔、第二安装孔以及第三安装孔的安装件实现炉本体111、上护板1121和下护板1122的安装,在确保连接稳定性的同时又节约了安装件数量,提升了组装效率。
在一些具体的实施例中,如图4所示,后端板13包括板本体131和罩设在板本体131上的保护罩132。由此,保护罩132能够起到保护后端板13的作用。
在一些实施例中,炉体组件1的外侧壁上设有多个间隔设置的绝缘引线座4,多个绝缘引线座4成对设置,成对设置的绝缘引线座4用于与一组加热炉丝2的引出线配合。可以理解的是,绝缘引线座4能够方便加热炉丝2的引出线的引出,避免了加热炉丝2的引出线与炉体组件1的金属外壳出现短接的现象,确保了高温热炉的使用安全性。
在一些具体的实施例中,成对设置的绝缘引线座4设在炉体组件1的同一个外侧壁上。由此,能够进一步方便外部接线。
下面参考图1-图5描述本实用新型两个具体实施例的高温热炉的具体结构。
实施例一:
如图1-图4所示,本实施例的高温热炉包括炉体组件1、加热炉丝2、置物管3和绝缘引线座4,炉体组件1的截面为方形,炉体组件1包括炉体11、前端板12和后端板13,前端板12和后端板13分别配合在炉体11沿其长度方向的两端,前端板12上设有配合孔,置物管3的一端伸出配合孔。炉体11包括炉本体111和保护板112,保护板112包覆在炉本体111上。保护板112包括上护板1121和下护板1122,上护板1121和下护板1122均为U型板,上护板1121和下护板1122分别扣合在炉本体111的上部和下部。炉本体111上设有沿其长度方向间隔以及与其长度方向垂直的方向间隔设置的多个第一安装孔,上护板1121上设有第一压边,第一压边上设与第一安装孔对应的第二安装孔,下护板1122上设有第二压边,第二压边上设有与第二安装孔对应的第三安装孔,第一压边贴合在炉本体111的侧壁上,第二压边贴合在第一压边上,上护板1121、下护板1122以及炉本体111通过穿设在第一安装孔、第二安装孔以及第三安装孔的安装件配合。炉本体111的内侧壁上设有多组配合槽1111,多组配合槽1111沿炉体组件1的长度方向间隔设置,每组配合槽1111设置在炉体组件1的上侧壁、下侧壁、左侧壁和右侧壁上。每组配合槽1111内配合有一组加热炉丝2,同一组内的多个加热炉丝2依次串联。后端板13包括板本体131和保护罩132,保护罩132具有配合槽1111,板本体131设在配合槽1111内。多个绝缘引线座4设在炉体组件1的左侧壁上,多个绝缘引线座4成对设置,成对设置的绝缘引线座4用于与一组加热炉丝2的引出线配合。置物管3为圆柱状且设在炉体组件1内。
实施例二:
如图5所示,本实施例的高温热炉的形状与实施例一中大体相同,所不同的是,本实施例的高温热炉的置物管3为方管。
在本说明书的描述中,参考术语“有些实施例”、“其他实施例”、等的描述意指结合该实施例或示例描述的具体特征、结构、材料或者特点包含于本实用新型的至少一个实施例或示例中。在本说明书中,对上述术语的示意性表述不一定指的是相同的实施例或示例。而且,描述的具体特征、结构、材料或者特点可以在任何的一个或多个实施例或示例中以合适的方式结合。
以上内容仅为本实用新型的较佳实施例,对于本领域的普通技术人员,依据本实用新型的思想,在具体实施方式及应用范围上均会有改变之处,本说明书内容不应理解为对本实用新型的限制。

Claims (10)

1.一种高温热炉,其特征在于,包括:
炉体组件(1),所述炉体组件(1)的截面为方形;
加热炉丝(2),所述加热炉丝(2)为单独控制的多组,多组所述加热炉丝(2)沿所述炉体组件(1)的长度方向间隔设置在所述炉体组件(1)的内侧壁上;
置物管(3),所述置物管(3)设在所述炉体组件(1)内。
2.根据权利要求1所述的高温热炉,其特征在于,所述炉体组件(1)的内侧壁上设有多组配合槽(1111),多组所述配合槽(1111)沿所述炉体组件(1)的长度方向间隔设置;和/或者多组所述配合槽(1111)沿与所述炉体组件(1)的长度方向垂直的方向间隔设置;其中:
每组所述配合槽(1111)内配合有一组所述加热炉丝(2),同一组内的多个所述加热炉丝(2)依次串联。
3.根据权利要求2所述的高温热炉,其特征在于,每组所述配合槽(1111)设置在所述炉体组件(1)的上侧壁、下侧壁、左侧壁和右侧壁中的至少一个上。
4.根据权利要求1-3中任一项所述的高温热炉,其特征在于,所述炉体组件(1)包括炉体(11)、前端板(12)和后端板(13),所述前端板(12)和所述后端板(13)分别配合在所述炉体(11)沿其长度方向的两端,所述前端板(12)上设有配合孔,所述置物管(3)的一端伸出所述配合孔。
5.根据权利要求4所述的高温热炉,其特征在于,所述炉体(11)包括炉本体(111)和保护板(112),所述保护板(112)包覆在所述炉本体(111)上。
6.根据权利要求5所述的高温热炉,其特征在于,所述保护板(112)包括上护板(1121)和下护板(1122),所述上护板(1121)和所述下护板(1122)均为U型板,所述上护板(1121)和所述下护板(1122)分别扣合在所述炉本体(111)的上部和下部。
7.根据权利要求6所述的高温热炉,其特征在于,所述炉本体(111)上设有沿其长度方向间隔设置的多个第一安装孔,所述上护板(1121)上设有第一压边,所述第一压边上设与所述第一安装孔对应的第二安装孔,所述下护板(1122)上设有第二压边,所述第二压边上设有与所述第二安装孔对应的第三安装孔,所述第一压边贴合在所述炉本体(111)的侧壁上,所述第二压边贴合在所述第一压边上;其中:
所述上护板(1121)、所述下护板(1122)以及所述炉本体(111)通过穿设在所述第一安装孔、第二安装孔以及所述第三安装孔的安装件配合。
8.根据权利要求4所述的高温热炉,其特征在于,所述后端板(13)包括板本体(131)和罩设在所述板本体(131)上的保护罩(132)。
9.根据权利要求1-3中任一项所述的高温热炉,其特征在于,所述炉体组件(1)的外侧壁上设有多个间隔设置的绝缘引线座(4),多个所述绝缘引线座(4)成对设置,成对设置的所述绝缘引线座(4)用于与一组所述加热炉丝(2)的引出线配合。
10.根据权利要求9所述的高温热炉,其特征在于,成对设置的所述绝缘引线座(4)设在所述炉体组件(1)的同一个外侧壁上。
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