CN219150940U - 一种储液装置及晶圆清洗设备 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种储液装置及晶圆清洗设备，所述储液装置包括柜体、设于所述柜体内的储液区，所述储液区内放置有至少两个储液桶；在所述储液区的一侧设有限位板，所述限位板上设有用于固定所述储液桶的链条；在所述储液区的底部设有多个滚轴，所述储液桶放置于所述滚轴上。与现有技术相比，本实用新型能适用于供液桶和废液桶使用，同时在用作供液桶时，能够在储液区内药液不足时，自动切换供液，避免了人工补给存在的安全隐患。

Description

一种储液装置及晶圆清洗设备

技术领域

本实用新型涉及清洗领域，特别是一种储液装置及晶圆清洗设备。

背景技术

对于半导体晶圆清洗设备，其需要一个进行供液用于清洗的供液装置，以及一个回收废液的废液装置，但传统的清洗设备并不能同时兼用供液装置和废液装置，需要对废液装置进行额外设计。

此外，在光伏硅片设备和半导体晶圆清洗设备的清洗过程中，大多是采用人工手动方式进行药液补给，然后这种化学品配液对人体本身以及设备都存在着比较大的安全隐患。

因此，如何设计一种储液装置及晶圆清洗设备，能同时兼容供液装置和废液装置的使用，且便于用户更换储液桶，是业界亟待解决的技术问题。

实用新型内容

针对现有技术中，传统的储液装置使用不便的问题，本实用新型提出了一种储液装置及晶圆清洗设备。

本实用新型的技术方案为，提出了一种储液装置，包括柜体、设于所述柜体内的储液区，所述储液区内放置有至少两个储液桶；

在所述储液区设有限位板，所述限位板上设有用于固定所述储液桶的链条；

在所述储液区的底部设有多个滚轴，所述储液桶放置于所述滚轴上。

进一步，还包括设于所述柜体内的管路区，所述管路区与所述储液区分隔设置；

所述储液桶用作供液桶，且每个所述供液桶均与所述管路区中的供液管路连接，并可通过所述供液管路为待供液装置供液；

在所述供液管路上设有液位检测装置，所述液位检测装置可检测所述供液桶内的液位；

所述管路区连接有一可切换所述供液管路供液状态的控制单元，在一供液桶药液不足时，所述控制单元可切换另一供液桶进行供液。

进一步，所述管路区包括有第一供液管路和第二供液管路，所述供液桶通过所述第一供液管路与泵体连接，所述泵体通过所述第二供液管路与待供液装置连接；

在所述第一供液管路与所述供液桶连接的每个支路上均设有所述液位检测装置和气动阀，所述控制单元通过控制所述气动阀的开关状态切换进行供液的储液桶。

进一步，所述柜体位于所述管路区处设有可拆卸的维修门，所述维修门上设有玻璃窗，所述玻璃窗采用防爆玻璃窗；

在所述维修门上还设有第一安全检测开关，所述第一安全检测开关可在所述维修门异常开始时报警。

进一步，所述储液桶用作废液桶，在所述废液桶上依次设有液到位感应开关、高液位感应开关、超高液位感应开关；

在所述储液区内还设有警报单元，当所述超高液位感应开关触发时，所述警报单元触发警报。

进一步，还包括设于所述柜体朝向用户一侧的隔离门，所述储液桶可通过所述隔离门进行更换；

在所述隔离门上还设有第二安全检测开关，所述第二安全检测开关可在所述隔离门异常开始时报警。

进一步，还包括装配于所述储液区内的水枪放置卡位，所述水枪放置卡位用于放置纯水枪和氮气枪，以用于对所述储液区进行冲洗和干燥。

进一步，还包括设于所述柜体上的显示单元，所述显示单元与所述隔离门设于所述柜体的同一侧，且所述显示单元位于所述隔离门上方，所述显示单元朝向所述隔离门呈倾斜状态设置；

所述显示单元至少包括用于显示供液状态的触摸屏、压差表、三色灯、显示表头中的至少一种；

在所述柜体的顶部还设有检修门，所述检修门靠近所述显示单元设置，并采用掀盖式结构，用于对所述显示单元内的元器件进行维护更换。

进一步，还包括设于所述储液区顶部的抽风系统，所述抽风系统装配有风量调节装置，用于将所述柜体内的气体排出；

在所述抽风系统的排风口处还设有压差检测装置，当所述压差检测装置检测到所述排风口处压力异常时，所述警报单元触发报警。

本实用新型还提出了一种晶圆清洗设备，其采用上述储液装置。

与现有技术相比，本实用新型至少具有如下有益效果：

本实用新型能同时兼容供液桶和废液桶的使用，避免了额外的设计成本，此外，本实用新型还通过控制单元以及检测单元的设置，使其能够在供液区内药液不足时，自动切换供液，避免了人工补给存在的安全隐患。此外，本实用新型中配置有显示单元，能够实时监控药液的流量、流速、压力等参数，同时配备有泄露侦察与报警系统，大大提高了本实用新型的可靠性。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动性的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为本实用新型用作供液装置时一个视角的结构示意图；

图2为本实用新型用作供液装置时的剖视图；

图3为本实用新型用作供液装置时另一个视角下的结构示意图；

图4为本实用新型用作废液装置时的结构示意图；

图5为本实用新型用作废液装置时的剖视图；

图6为本实用新型供液管路的连接示意图；

其中，1为柜体、11为储液区、111为限位板、112为链条、113为滚轴、12为管路区、13为维修门、131为进风口、2为储液桶、21为液到位感应开关、22为高液位感应开关、23为超高液位感应开关、14为隔离门、15为显示单元、16为检修门、17为水枪放置卡位、3为抽风系统、31为排风口。

具体实施方式

为了使本实用新型所要解决的技术问题、技术方案及有益效果更加清楚明白，以下结合附图及实施例，对本实用新型进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本实用新型，并不用于限定本实用新型。

由此，本说明书中所指出的一个特征将用于说明本实用新型的一个实施方式的其中一个特征，而不是暗示本实用新型的每个实施方式必须具有所说明的特征。此外，应当注意的是本说明书描述了许多特征。尽管某些特征可以组合在一起以示出可能的系统设计，但是这些特征也可用于其他的未明确说明的组合。由此，除非另有说明，所说明的组合并非旨在限制。

下面结合附图以及实施例对本实用新型的原理及结构进行详细说明。

请参见图1及图2，本实用新型提出的储液装置，包括柜体1、设于柜体1内的储液区11，以及放置在储液区11内的至少两个储液桶2；

在储液区11的一侧设有限位板111，在限位板111上设有用于固定储液桶2的链储液区11的底部设有多个滚轴113，储液桶2放置在该滚轴113上。

这里，限位板111用于对储液桶2进行限位，链条112用于固定储液桶2，其储液桶2能够当作供液桶和废液桶使用，满足各种场合的使用需要。

滚轴113用于放置储液桶2，同时便于储液桶2的更换，本实用新型在柜体1内放置有至少两个储液桶2，使其采用一备一用的方案，能够在一个储液桶2使用完毕后，切换为另一个储液桶2使用。

其中，当储液桶2用作供液桶时，为满足供液桶对待供液设备的供液需要，本实用新型在柜体1内还设置有管路区12，其管路区12与供液区11通过一分隔板分隔设置；

相应的，此时储液区11用作供液区，在供液区内的每个供液桶均与管路区12中的供液管路连接，用于对待供液设备进行供液。

在供液管路上设置有液位检测装置，其能够检测供液桶内的液位，同时，在管路区12相应配置有能够切换供液管路供液状态的控制单元，其能够在一个供液桶内药液不足时，自动切换为另一个供液桶进行供液。

请参见图6，其为供液管路与供液桶的连接示意图，在该实施例中，本实用新型设置有两个供液桶，每个供液桶分别连接有一个供液管路，分别为第一供液管路和第二供液管路，且两个供液管路最终汇合到一起与泵体连接，泵体用于驱动供液桶进行供液。

从图6中可以看出，第一供液管路和第二供液管路的设置相同，在其上均设有液位检测装置和气动阀，其中液位检测装置能够检测与该供液管路连接的供液桶内的液位，气动阀用于控制该供液管路的通断。其控制单元能够用于控制气动阀的开启和关断，从而实现切换供液桶进行供液的目的。

在应用时，控制单元可以先控制其中一个气动阀开启，并通过液位检测装置实时检测该供液桶内的液位，当液位检测装置检测到与之连接的供液桶内液位过低时，能够向控制单元发出一切换信号，控制单元接收到该切换信号后，控制该供液管路中的气动阀关闭，同时开启另一个供液管路中的气动阀，即可实现对供液桶的自动切换。

请参见图3，在柜体1位于管路区12处设有维修门13，其维修门13设置在柜体1的背部，该维修门13采用可拆卸结构，当管路区12内出现异常时，能够通过开启维修门13对管路区12内的供液管路进行维修；

此外，为便于观测管路区12内的供液管路状态，在维修门13上相应设置有玻璃窗，其采用防爆玻璃窗，具有较强的抗震性能，能便于用户观测，并快速的确定异常区域。在该维修门13还设置有第一安全检测开关，其第一安全检测开关能够在维修门13异常开启时报警，提醒用户维修门13开启，需要立刻关闭，避免腐蚀气体流出，破坏柜体1内的低压环境。

请参见图2及图3，为保证管路区12内的通风，在维修门13上设有进风口131，相应的在柜体1的顶部对应设置有抽风系统3，抽风系统3能够同时对管路区12和储液区11内进行抽气，从而排出腐蚀气体，进风口131用于从外部获取气体，从而保证柜体1内的低压环境。

请参见图5，本实用新型还能够用作废液装置，该情况下由于不需要为待供液装置进行供液，故可以取消管路区12的设置。此时储液桶2用作废液桶，在废液桶上依次设置有桶到位感应开关21、高液位感应开关22、超高液位感应开关23。

其中，桶到位感应开关21是用于检测废液桶是否被放置在正确的位置，若桶到位感应开关21未检测到废液进入到废液桶，则表明废液废液桶未被放置在正确的位置，则废液有可能直接排入到装置外了，此时需要通过警报单元进行报警，提醒用户维修。高液位感应开关22设置在较高的液位处，当高液位检测开关22触发时，则表明此时废液桶内液位较高，需要及时更换废液桶。超高液位感应开关23设置在桶口处，当超高液位感应开关23触发时，表明此时废液桶内的废液过多，需要提醒用户立刻更换。在储液区11内相应设置有警报单元，当超高液位感应开关23触发时，该警报单元会触发警报，提醒用户更换废液桶。在本实用新型其他实施例中，还可以将警报单元设置在当高液位感应开关22触发时警报，以便于用户及时对废液桶进行更换。

请参见图1，本实用新型还包括设置在柜体1朝向用户一侧的隔离门14，其中隔离门14采用PVC(聚氯乙烯)双开门，其位于柜体1的中央区域，在开启后用户能够在外部对柜体1内部进行操作。其还配备有PTFE(聚四氯乙烯)手套，避免人员在外部操作时与药液接触，其储液桶2能够通过该隔离门14进行更换。

相应的，在该隔离门14上相应设置有第二安全检测开关，其能够在隔离门14异常开启时报警，提醒用户及时关闭隔离门14，避免对储液装置的工作造成影响。

请参见图5，在储液区11内还装配有水枪放置卡位17，其用于放置纯水枪和氮气枪，能够完成对储液桶2的冲洗和干燥动作。

请参见图1及图4，本实用新型还包括设置在柜体1上的显示单元15，其显示单元15与隔离门14设置在柜体1的同一侧，且显示单元15位于隔离门14的上方，其中，显示单元15朝向隔离门14且呈倾斜状态设置。

其中，显示单元15至少包括有用于显示储液状态的触摸屏、压差表、三色灯、显示表头中的一种。

显示单元15的设置，能够便于用户直观了解储液桶2内的药液情况和供液状态，同时触摸屏兼备操作功能，其与控制单元连接，使得用户能够通过触摸屏调节供液状态，操作方便。在本实用新型其他实施例中，当柜体1的整体高度较低时，显示单元15可以设置为竖直的平面。

这里，供液状态还包括有药液在供液管路中的流量、流速、压力，对此，本实用新型在储液区11内还相应设置有检测单元，其与显示单元15连接，从而实现用户对供液状态的实时监控。同时，本实用新型还配备有警报单元，在显示单元检测到异常时，触发警报以提醒用户需要维修。

其中，为便于用于对显示单元15的维修操作，本实用新型在柜体1的顶部设有检修门16，其在柜体1的顶部且靠近显示单元15设置，采用掀盖式结构，用于在显示单元15中各元器件异常时，对元器件进行维护和更换。

请参见图2，在储液区11的顶部还设设有抽风系统3，其用于保证柜体1内的低压环境，同时排出柜体内的腐蚀气体，该抽风系统3装配有风量调节装置，能够调节其排出气体的强度。

在抽风系统3的排风口31处还设有压差检测装置，其能够检测排风口31处的压力，当排风口31处的压力异常时，警报单元触发警报，提醒用于柜体1内压力异常，需要检修。

此外，在排风口31的后部还设有多个开口，其分别为进气口、进电口、进水口，用于保证本实用新型的正常运行。

请参见图1及图5，本实用新型中储液桶2通过推酸小车进行更换，当用作供液装置时，在供液桶内无药液时进行换桶操作，其动作为满桶进，空桶出；

当用作废液装置是，在废液桶内废液过高时进行换桶操作，其动作为满桶出，空桶进。

本实用新型还提出了一种晶圆清洗设备，其采用上述储液装置。

综上，本实用新型至少具有如下有益效果：

1、本实用新型采用一备一用的方案，通过控制单元以及药液检测装置的设置，使其能够在供液区内药液不足时，自动切换供液，避免了人工补给存在的安全隐患，同时还可以根据用户需求，提供不同的药液，扩展性强；

2、本实用新型配置有显示单元，能够实时监控药液的流量、流速、压力等参数，同时配备有泄露侦察与报警系统，大大提高了本实用新型的可靠性。

3、本实用新型能够同时兼容供液装置和废液装置的设置，同时通过滚轴的设置，能够方便供液桶和废液桶的更换，此外，本实用新型配备有纯水枪和氮气枪，能完成储液桶的冲洗和干燥动作；

4、本实用新型采用全封闭结构，采用耐酸碱耐腐蚀的PP(聚丙烯)进口板组合焊接而成，也可采用不锈钢材质焊接制作设备外部结构，使用防爆玻璃制作观察窗，可使设备达到一定的防爆等级；

5、本实用新型配备有抽风系统，能够将腐蚀气体及时排出，同时装配有风量调节装置来达到风量需求，能保证供液柜体内的低压环境。同时排风口处设有压差检测装置，用于检测抽风压力，使其在抽风系统故障时报警，提高了本实用新型的可靠性；

6、本实用新型为隔离门和后部的维修门配备有安全检测开关，当门打开时警报会报警，提醒操作人员，避免安全隐患。

以上所述仅为本实用新型的较佳实施例而已，并不用以限制本实用新型，凡在本实用新型的精神和原则之内所做的任何修改、等同替换和改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。

Claims (10)

1.一种储液装置，其特征在于，包括柜体、设于所述柜体内的储液区，所述储液区内放置有至少两个储液桶；

在所述储液区设有限位板，所述限位板上设有用于固定所述储液桶的链条；

在所述储液区的底部设有多个滚轴，所述储液桶放置于所述滚轴上。

2.根据权利要求1所述的储液装置，其特征在于，还包括设于所述柜体内的管路区，所述管路区与所述储液区分隔设置；

所述储液桶用作供液桶，且每个所述供液桶均与所述管路区中的供液管路连接，并可通过所述供液管路为待供液装置供液；

在所述供液管路上设有液位检测装置，所述液位检测装置可检测所述供液桶内的液位；

所述管路区连接有一可切换所述供液管路供液状态的控制单元，在一供液桶药液不足时，所述控制单元可切换另一供液桶进行供液。

3.根据权利要求2所述的储液装置，其特征在于，所述管路区包括有第一供液管路和第二供液管路，所述供液桶通过所述第一供液管路与泵体连接，所述泵体通过所述第二供液管路与待供液装置连接；

在所述第一供液管路与所述供液桶连接的每个支路上均设有所述液位检测装置和气动阀，所述控制单元通过控制所述气动阀的开关状态切换进行供液的储液桶。

4.根据权利要求2所述的储液装置，其特征在于，所述管路区处设有可拆卸的维修门，所述维修门上设有玻璃窗，所述玻璃窗采用防爆玻璃窗；

在所述维修门上还设有第一安全检测开关，所述第一安全检测开关可在所述维修门异常开启时报警。

5.根据权利要求1所述的储液装置，其特征在于，所述储液桶用作废液桶，在所述废液桶上依次设有液到位感应开关、高液位感应开关、超高液位感应开关；

在所述储液区内还设有警报单元，当所述超高液位感应开关触发时，所述警报单元触发警报。

6.根据权利要求1所述的储液装置，其特征在于，还包括设于所述柜体朝向用户一侧的隔离门，所述储液桶可通过所述隔离门进行更换；

在所述隔离门上还设有第二安全检测开关，所述第二安全检测开关可在所述隔离门异常开启时报警。

7.根据权利要求1所述的储液装置，其特征在于，还包括装配于所述储液区内的水枪放置卡位，所述水枪放置卡位用于放置纯水枪和氮气枪，以用于对所述储液区进行冲洗和干燥。

8.根据权利要求6所述的储液装置，其特征在于，还包括设于所述柜体上的显示单元，所述显示单元与所述隔离门设于所述柜体的同一侧，且所述显示单元位于所述隔离门上方，所述显示单元朝向所述隔离门呈倾斜状态设置；

所述显示单元至少包括用于显示供液状态的触摸屏、压差表、三色灯、显示表头中的至少一种；

在所述柜体的顶部还设有检修门，所述检修门靠近所述显示单元设置，并采用掀盖式结构，用于对所述显示单元内的元器件进行维护更换。

9.根据权利要求5所述的储液装置，其特征在于，还包括设于所述储液区顶部的抽风系统，所述抽风系统装配有风量调节装置，用于将所述柜体内的气体排出；

在所述抽风系统的排风口处还设有压差检测装置，当所述压差检测装置检测到所述排风口处压力异常时，所述警报单元触发报警。

10.一种晶圆清洗设备，其特征在于，包括如权利要求1至9任意一项权利要求所述的储液装置。

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