CN219136903U - 一种屏蔽隔离装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种屏蔽隔离装置，属于真空镀膜领域，其包括壳本体、固定构件以及分隔构件，分隔构件与固定构件对应设置，分隔构件与固定构件远离壳本体的一端连接，任一分隔构件包括导热板和冷却结构，冷却结构设置在导热板的内腔中；其中，相邻的固定构件、分隔构件与壳本体共同围合形成适于磁控溅射镀膜的镀膜腔。此结构的屏蔽隔离装置，在镀膜腔内对基材进行磁控溅射镀膜时，通过分隔构件中冷却结构对导热板进行换热，从而降低导热板的温度，促使靶材料的余料附着在温度较低的分隔构件上，可避免余料附着在靶极上，造成靶极工作异常，其保证了镀膜过程的可靠性，有利于加强镀膜过程的稳定性。

Description

一种屏蔽隔离装置

技术领域

本实用新型涉及真空镀膜技术领域，具体涉及一种屏蔽隔离装置。

背景技术

新能源汽车行业的快速发展已成为推动中国锂电池铜箔市场需求增长的主要动力。锂电铜箔研发的方向和目的是轻薄化、低成本，PET(聚对苯二甲酸乙二醇酯)铜箔是重要的研发方向之一，其是以PET作为导电薄膜，两边分别以铜膜为镀层的夹层状动力电池集流体材料，可达到电池轻量化的目的。锂电池铜箔的镀膜加工通常将PET基材输送至封闭式的镀膜腔内，以在镀膜腔内实施镀膜工艺。

现有技术中，镀膜腔通常由多个板体构成，在实际镀膜阶段，板体上会附着较多靶材料的余料，附着杂质在板体上逐渐累积后，容易在镀膜过程中脱落形成掉渣，其易粘连在溅射的靶极上，导致靶极工作异常，降低了镀膜过程的稳定性。

实用新型内容

本实用新型所要解决的技术问题在于现有技术中附着杂质掉渣，易粘连在溅射的靶极上，导致靶极工作异常，降低了镀膜过程的稳定性的缺陷。

本实用新型提供了一种屏蔽隔离装置，包括：

壳本体；

若干固定构件，间隔分布设置在所述壳本体内腔壁面上；

若干分隔构件，设置在所述壳本体内腔内，且与所述固定构件对应设置，所述分隔构件与所述固定构件远离所述壳本体的一端连接；

其中，相邻的所述固定构件、分隔构件与壳本体共同围合形成适于磁控溅射镀膜的镀膜腔；任一所述分隔构件包括导热板、防着板以及冷却结构，所述防着板与所述导热板配置为可拆卸连接，所述防着板连接在所述导热板朝向所述镀膜腔的一侧，所述冷却结构设置在所述导热板的内腔中，以适于对所述导热板换热。

可选地，所述导热板为板体结构，所述板体结构沿所述壳本体的长度方向延伸设置，所述冷却结构包括至少一个冷却通道，所述冷却通道穿设于所述板体结构中；或

所述导热板为夹层结构，所述冷却结构包括至少一个冷却通道，所述冷却通道安装在所述夹层结构中。

可选地，所述导热板为铜板或铜合金板。

可选地，上述的屏蔽隔离装置，还包括至少一个安装架，适于安装镀膜棍，所述安装架与所述导热板远离所述固定构件的一端可拆卸连接，所述安装架与所述防着板为可拆卸连接。

可选地，上述的屏蔽隔离装置，还包括连接件，所述固定构件通过所述连接件与所述分隔构件可拆卸连接，所述连接件一侧与所述固定构件可拆卸连接，所述连接件另一侧与所述分隔构件固定连接。

可选地，所述固定构件包括若干凸出成型在所述壳本体上的加强筋，所述加强筋沿所述壳本体的长度方向延伸设置。

可选地，所述分隔构件还包括设置在所述壳本体内腔的隔板，所述隔板与所述固定构件间隔设置，所述隔板与壳本体可拆卸连接，所述隔板具有一侧呈开口设置的安装腔，所述安装腔适于安装镀膜预处理装置，所述壳本体与所述隔板围合形成有处理区。

可选地，上述的屏蔽隔离装置，还包括封盖本体，所述封盖本体与所述壳本体可拆卸连接。

可选地，上述的屏蔽隔离装置，还包括监控装置，所述监控装置包括若干光源件与探头件，所述光源件和所述探头件与外设电源电连接，所述探头件与外设显示件电连接。

本实用新型提供的技术方案，具有如下优点：

1.本实用新型提供的屏蔽隔离装置，包括壳本体、固定构件以及分隔构件，设置若干固定构件间隔分布设置在壳本体内腔壁面上；设置若干分隔构件在壳本体内腔内，且分隔构件与固定构件对应设置，分隔构件与固定构件远离壳本体的一端连接；其中，相邻的固定构件、分隔构件与壳本体共同围合形成适于磁控溅射镀膜的镀膜腔，任一分隔构件包括导热板、防着板以及冷却结构，防着板与导热板配置为可拆卸连接，防着板连接在导热板朝向所述镀膜腔的一侧，冷却结构设置在导热板的内腔中，以适于对导热板换热。通过固定构件、分隔构件与壳本体配合形成镀膜腔，屏蔽隔离装置在镀膜腔内对基材进行磁控溅射镀膜时，通过分隔构件中冷却结构对导热板进行换热，从而降低导热板的温度，以促使溅射过程中靶材料的余料接触于分隔构件，进而避免靶材料余形成掉渣接触靶极，导致靶极的工作异常，其提高镀膜过程的稳定性；镀膜腔在磁控溅射时，导热板与冷却结构吸收靶材料余料的热量，使余料降温附着于防着板上；通过将防着板可拆卸连接设置在导热板上，在镀膜腔在磁控溅完成后，通过将防着板从导热板上拆下，以便于清理防着板上附着的余料残渣，同时可便于清理壳本体的内腔；且将冷却结构设置在导热板的内腔中，加强结构紧凑，便于导热板与冷却结构间的导热，促进交换导热板传递热量。

2.本实用新型提供的屏蔽隔离装置，导热板为板体结构，板体结构沿壳本体的长度方向延伸设置，冷却结构包括至少一个冷却通道，冷却通道穿设于板体结构中。导热板采用板体结构，冷却通道穿设于板体结构内，可通过冷却通道流通冷却流体，从而对导热板进行换热，以达到在分隔构件上附着靶材料余料的目的。相应地，导热板为夹层结构，冷却结构包括至少一个冷却通道，冷却通道安装在夹层结构中。导热板采用夹层结构，通过冷却通道流通冷却流体，从而对导热板进行换热，同样可达到在分隔构件上附着靶材料余料的目的。

3.本实用新型提供的屏蔽隔离装置，导热板为铜板或铜合金板。采用铜板或铜合金板进行导热，其热传递效率高，有利于吸收靶材料余料的热量，促使靶材料余料的降温附着于分隔构件上；且其材料具有热膨胀系数小的优点，具有良好抵抗热变形的能力，其热稳定性好，适配于在磁控溅射工作环境中导热传热的使用工况。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型具体实施方式或现有技术中的技术方案，下面将对具体实施方式或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本实用新型的一些实施方式，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为本实用新型的实施例中提供的屏蔽隔离装置的结构示意图；

图2为本实用新型的实施例中提供的屏蔽隔离装置的局部结构示意图；

图3为本实用新型的实施例中提供的屏蔽隔离装置中第一加强筋与导热板的连接示意图；

图4为本实用新型的实施例中提供的屏蔽隔离装置中第一加强筋的结构示意图；

图5为本实用新型的实施例中提供的屏蔽隔离装置中第二加强筋与导热板的连接示意图；

图6为本实用新型的实施例中提供的屏蔽隔离装置中第二加强筋的结构示意图；

图7为本实用新型的实施例中提供的屏蔽隔离装置中连接件的结构示意图；

附图标记说明：

1-壳本体；

2-固定构件；21-第一加强筋；211-第一连接部；212-第二连接部；22-第二加强筋；221-第三连接部；222-第四连接部；

3-分隔构件；31-导热板；32-防着板；33-隔板；

4-安装架；

5-连接件；51-第一衔接部；52-第二衔接部；53-第三衔接部。

具体实施方式

下面将结合附图对本实用新型的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

在本实用新型的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。此外，术语“第一”、“第二”、“第三”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。

在本实用新型的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“连接”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。

此外，下面所描述的本实用新型不同实施方式中所涉及的技术特征只要彼此之间未构成冲突就可以相互结合。

实施例

本实施例提供了一种屏蔽隔离装置，适于对基材进行镀膜，如图1与图2所示，屏蔽隔离装置包括壳本体1、固定构件2以及分隔构件3，固定构件2与分隔构件3设置在壳本体1内。

如图1所示，壳本体1为空心结构，其内具有收容镀膜设施的腔体，例如磁控溅射镀膜；在本实施例中，壳本体1为空心圆柱，其包括圆筒状板体以及设置在圆筒状板体一侧的圆盘板体，圆筒板体与圆盘板体一体成型制造形成，屏蔽隔离装置还包括封盖本体(图中未示出)，其与圆盘板体相对设置在圆筒状板体长度方向的两侧，封盖本体与壳本体1可拆卸连接设置，封盖本体用于封盖壳本体1的内腔，以使屏蔽隔离装置具有封闭的腔体。本实施例采用空心圆柱，其有利于气体在壳本体1内腔流动，整体结构刚度强，适配于磁控溅射真空镀膜的工作环境。

作为本实施例一种替换的实施方式，壳本体1为空心棱柱，空心棱柱的径向截面为多边柱结构，空心棱柱包括多边形筒状板体以及设置在多边形筒状板体一侧的多边形盘状板体，多边形筒板体与多边形盘状板体一体成型制造形成，屏蔽隔离装置还包括封盖本体，其与多边形盘状板体相对设置在多边形筒状板体长度方向的两侧，封盖本体与壳本体1可拆卸连接设置，封盖本体用于封盖壳本体1的内腔，以使屏蔽隔离装置具有封闭的腔体。

如图1所示，本实施例提供的屏蔽隔离装置，分隔构件3配置有一个或更多，相邻的固定构件2、分隔构件3与壳本体1共同围合形成适于磁控溅射镀膜的镀膜腔。在本实施例中，为达到对基材双面进行镀膜的目的，在壳本体1内腔中设置有两个镀膜腔，分隔构件3配置有四个，其中，分隔构件3与固定构件2对应设置，固定构件2相应配置有四个。

本实施例提供的屏蔽隔离装置，如图2与图5所示，任一分隔构件3包括导热板31、防着板32和冷却结构，防着板32与导热板31配置为可拆卸连接，防着板32连接在导热板31朝向镀膜腔的一侧，冷却结构设置在导热板31的内腔中，以适于对导热板31换热。冷却结构适于流通外界的冷却流体，冷却流体采用冷却水等换热介质。当镀膜腔在磁控溅射时，导热板31与冷却结构吸收靶材料余料的热量，使余料降温附着于防着板32上；通过将防着板32可拆卸连接设置在导热板31上，在镀膜腔在磁控溅完成后，可将防着板32从导热板31上拆下，以便于清理防着板32上附着的余料残渣，同时可便于清理壳本体1的内腔。

如图2所示，本实施例提供的屏蔽隔离装置，导热板31为板体结构，板体结构沿壳本体1的长度方向延伸设置，冷却结构包括冷却通道(图中未示出)，冷却通道穿设于板体结构中。可通过冷却通道流通冷却流体，从而对导热板31进行换热，以达到在分隔构件3上附着靶材料余料的目的。冷却通道配置有一个或更多，冷却通道具有介质入口与介质出口，介质入口用于流通冷却流体，介质出口排出吸热后的冷却流体。

作为本实施例一种替换的实施方式，导热板31为夹层结构，冷却结构包括至少一个冷却通道，冷却通道安装在夹层结构中。通过冷却通道流通冷却流体，从而对导热板31进行换热，同样可达到在分隔构件3上附着靶材料余料的目的。

本实施例提供的屏蔽隔离装置，导热板31为铜板或铜合金板。采用铜板或铜合金板进行导热，其热传递效率高，有利于吸收靶材料余料的热量，促使靶材料余料的降温附着于分隔构件3上；且其材料具有热膨胀系数小的优点，具有良好抵抗热变形的能力，其热稳定性好，适配于在磁控溅射工作环境中导热传热的使用工况。需要说明的是，导热板31上需配置绝缘屏蔽设施，满足磁控溅射的工况，保证屏蔽隔离装置的使用安全。

需要说明的是，固定构件2与分隔构件3的数量根据实际需求进行选取配对；在本实施例中，对基材任一面进行镀膜的镀膜腔配置有三个，双面镀膜的镀膜腔总共设置有六个，六个镀膜腔相互隔离，有利于最大幅度降低溅射时的相互干涉以及污染。

如图1所示，本实施例提供的屏蔽隔离装置，固定构件2配置有一个或更多，分隔构件3与固定构件2对应设置。在本实施例中，固定构件2与分隔构件3对称设置在壳本体1内，以方便实际安装过程。分隔构件3与固定构件2远离壳本体1的一端连接，可将冷却结构相对远离对镀膜腔设置，其有利于镀膜腔具备充足的镀膜操作空间。

如图2所示，本实施例提供的屏蔽隔离装置，固定构件2包括凸出成型在壳本体1上的加强筋，加强筋沿壳本体1的长度方向延伸设置，加强筋有利于加强壳本体1自身的结构强度，加强筋远离壳本体1的一侧与分隔构件3相连，可为分隔构件3提供安装空间，以便于分隔构件3的组装连接在壳本体1上。

如图3至图6所示，在本实施例中，加强筋配置有第一加强筋21与第二加强筋22，第一加强筋21配置有两个，分别设置在镀膜腔的最外侧位置，第二加强筋22设置在两个第一加强筋21之间。其中，第一加强筋21包括第一连接部211与第二连接部212，第一连接部211与第二连接部212成夹角设置，夹角的角度大小根据镀膜腔的设计结构进行选取适配，第一加强筋21上的导热板31通过第一连接部211与第二连接部212限位安装；第二加强筋22包括第三连接部221与第四连接部222，壳本体1为空心圆柱，第三连接部221与第四连接部222设置在空心圆柱的同一径向截面上，第二加强筋22上的导热板31通过第三连接部221与第四连接部222限位安装。

作为本实施例一种替换的实施方式，固定构件2为密封连接在壳本体1内腔壁面上的安装板，安装板设置在分隔构件3与壳本体1之间，密封连接例如焊接。

如图3、图5以及图7所示，本实施例提供的屏蔽隔离装置，还包括连接件5，固定构件2通过连接件5与分隔构件3可拆卸连接，连接件5一侧与固定构件2可拆卸连接，连接件5另一侧与分隔构件3固定连接。在本实施例中，连接件5包括第一衔接部51、第二衔接部52以及第三衔接部53，第一衔接部51与第三衔接部53设置在第二衔接部52的同侧，衔接部围合形成有扣合部，扣合部与固定构件2扣合连接，导热板31相对第一衔接部51固定在第二衔接部52的一侧。

如图1与图2所示，本实施例提供的屏蔽隔离装置，还包括安装架4，适于安装镀膜棍，安装架4与导热板31远离固定构件2的一端可拆卸连接，安装架4与防着板32为可拆卸连接，例如通过螺纹件等连接结构相连。

如图1与图2所示，本实施例提供的屏蔽隔离装置，分隔构件3还包括设置在壳本体1内腔的隔板33，隔板33与固定构件2间隔设置，隔板33与壳本体1可拆卸连接，隔板33具有一侧呈开口设置的安装腔，安装腔适于安装镀膜预处理装置，壳本体1与隔板33围合形成有处理区。在本实施例中，隔板33为弧形板，弧形板对称设置在壳本体1内腔，以在壳本体1内腔分隔出两个用于基材正反面镀膜预处理的区域。

本实施例提供的屏蔽隔离装置，还包括监控装置，监控装置包括若干光源件与探头件，光源件和探头件与外设电源电连接，探头件与外设显示件电连接。光源件用于对壳本体1内腔进行照明辅助，探头件用于采集壳本体1内腔的图像信息，以便于操作者观测基材输送阶段以及镀膜阶段的实际工作状态。

本实施例提供的屏蔽隔离装置，通过固定构件2、分隔构件3与壳本体1配合形成镀膜腔，屏蔽隔离装置在镀膜腔内对基材进行磁控溅射镀膜时，通过分隔构件3中冷却结构对导热板31和防着板32进行换热，从而降低导热板31和防着板32的温度，以促使溅射过程中靶材料的余料接触附着在防着板32上，从而避免靶材料余形成掉渣接触靶极，导致靶极的工作异常，其提高镀膜过程的稳定性。

显然，上述实施例仅仅是为清楚地说明所作的举例，而并非对实施方式的限定。对于所属领域的普通技术人员来说，在上述说明的基础上还可以做出其它不同形式的变化或变动。这里无需也无法对所有的实施方式予以穷举。而由此所引伸出的显而易见的变化或变动仍处于本实用新型创造的保护范围之中。

Claims (9)

1.一种屏蔽隔离装置，其特征在于，包括：

壳本体(1)；

若干固定构件(2)，间隔分布设置在所述壳本体(1)内腔壁面上；

若干分隔构件(3)，设置在所述壳本体(1)内腔内，且与所述固定构件(2)对应设置，所述分隔构件(3)与所述固定构件(2)远离所述壳本体(1)的一端连接；

其中，相邻的所述固定构件(2)、分隔构件(3)与壳本体(1)共同围合形成适于磁控溅射镀膜的镀膜腔，任一所述分隔构件(3)包括导热板(31)、防着板(32)以及冷却结构，所述防着板(32)与所述导热板(31)配置为可拆卸连接，所述防着板(32)连接在所述导热板(31)朝向所述镀膜腔的一侧，所述冷却结构设置在所述导热板(31)的内腔中，以适于对所述导热板(31)换热。

2.根据权利要求1所述的屏蔽隔离装置，其特征在于，所述导热板(31)为板体结构，所述板体结构沿所述壳本体(1)的长度方向延伸设置，所述冷却结构包括至少一个冷却通道，所述冷却通道穿设于所述板体结构中；或

所述导热板(31)为夹层结构，所述冷却结构包括至少一个冷却通道，所述冷却通道安装在所述夹层结构中。

3.根据权利要求2所述的屏蔽隔离装置，其特征在于，所述导热板(31)为铜板或铜合金板。

4.根据权利要求1所述的屏蔽隔离装置，其特征在于，还包括至少一个安装架(4)，适于安装镀膜棍，所述安装架(4)与所述导热板(31)远离所述固定构件(2)的一端可拆卸连接，所述安装架(4)与所述防着板(32)为可拆卸连接。

5.根据权利要求1-4任一项所述的屏蔽隔离装置，其特征在于，还包括连接件(5)，所述固定构件(2)通过所述连接件(5)与所述分隔构件(3)可拆卸连接，所述连接件(5)一侧与所述固定构件(2)可拆卸连接，所述连接件(5)另一侧与所述分隔构件(3)固定连接。

6.根据权利要求1-4任一项所述的屏蔽隔离装置，其特征在于，所述固定构件(2)包括若干凸出成型在所述壳本体(1)上的加强筋，所有所述加强筋沿所述壳本体(1)的长度方向延伸设置。

7.根据权利要求1-4任一项所述的屏蔽隔离装置，其特征在于，所述分隔构件(3)还包括设置在所述壳本体(1)内腔的隔板(33)，所述隔板(33)与所述固定构件(2)间隔设置，所述隔板(33)与壳本体(1)可拆卸连接，所述隔板(33)具有一侧呈开口设置的安装腔，所述安装腔适于安装镀膜预处理装置，所述壳本体(1)与所述隔板(33)围合形成有处理区。

8.根据权利要求1-4任一项所述的屏蔽隔离装置，其特征在于，还包括封盖本体，所述封盖本体与所述壳本体(1)可拆卸连接。

9.根据权利要求1-4任一项所述的屏蔽隔离装置，其特征在于，还包括监控装置，所述监控装置包括若干光源件与探头件，所述光源件和所述探头件与外设电源电连接，所述探头件与外设显示件电连接。

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