CN219117617U - 一种硅单晶炉晶棒定位机构 - Google Patents

Abstract

本实用新型属于单晶炉晶棒相关技术领域，尤其是一种硅单晶炉晶棒定位机构，针对现有的将晶棒放置在指定位置时，需要人工进行多步操控才能使整个晶棒进行固定，使用不便，放置晶棒时，由于移动设备反生移动导致放置过程中出现偏差的问题，现提出如下方案，其包括装置箱体，所述装置箱体的底部固定连接有两两对称的四个U型板，所述U型板的两侧内壁之间转动连接有同一个转轴，所述转轴的外壁固定套设有移动轮，所述装置箱体的顶部开设有对称设置的两个定位口，本实用新型中，通过夹紧组件使得在晶棒下降的过程中可以带动两侧的组件进行夹持，并且到达底部后自动固定，同时触发制动组件解除对底部移动装置的控制，方便实用。

Description

一种硅单晶炉晶棒定位机构

技术领域

本实用新型涉及单晶炉晶棒相关技术领域，尤其涉及一种硅单晶炉晶棒定位机构。

背景技术

晶棒是指整个的单晶硅，因为单晶硅棒的制作是用直拉法区熔法制作完成的，其成品均为棒状，故称为晶棒，在众多前沿科技的生产中一个重要组成部分就是芯片，而单晶硅就是生产芯片的核心，作为科技发展的基石，其生产过程也是尤为重要。

经检索，公告号为CN212895076U的实用新型公开了一种单晶炉晶棒定位装置，包括连接板、底板、定位块、挡块、定位口和固定机构，连接板上端与底板相连接，底板与定位块底部竖直固定，定位块上端与挡块竖直固定，并且定位块上端中部开设有定位口，定位块内部设置有固定机构，通过设置了固定机构，拉动拉块使齿条右移，此时齿轮带动螺纹套转动，使螺纹杆将夹环推出从而将棒体夹紧固定，解决了现有定位装置在放入棒体后容易因外部因素发生位移，导致定位出现偏差，固定性较差的问题，通过设置了限位环，齿条左右滑动进行传动的同时，中部能够通过限位环进行限位，增加滑动稳定性。

但是在使用过程中仍然会出现以下问题：

1、在将晶棒放置在指定位置时，需要人工进行多步操控才能使整个晶棒进行固定，使用不便；

2、放置晶棒时，由于移动设备反生移动导致放置过程中出现偏差，不利于高效的完成固定。

针对上述问题，本实用新型文件提出了一种硅单晶炉晶棒定位机构。

实用新型内容

本实用新型提供了一种硅单晶炉晶棒定位机构，解决了现有技术中存在将晶棒放置在指定位置时，需要人工进行多步操控才能使整个晶棒进行固定，使用不便，放置晶棒时，由于移动设备反生移动导致放置过程中出现偏差，不利于高效的完成固定的缺点。

本实用新型提供了如下技术方案：

一种硅单晶炉晶棒定位机构，包括装置箱体，所述装置箱体的底部固定连接有两两对称的四个U型板，所述U型板的两侧内壁之间转动连接有同一个转轴，所述转轴的外壁固定套设有移动轮，所述装置箱体的顶部开设有对称设置的两个定位口，所述装置箱体的底部固定连接有对称设置的两个安装箱，所述安装箱的顶部固定连接有安装块，所述安装块的顶部开设有第二凹槽，所述第二凹槽的内壁滑动连接有承接板，所述承接板的底部与安装箱的顶部之间固定连接有同一个弹簧，所述装置箱体的两侧内壁转动连接有对称设置的两组用于固定晶棒的夹紧组件，所述装置箱体的两侧均滑动贯穿有用于固定承接板的固定组件，所述安装箱的顶部滑动连接有用于控制移动轮转动的制动组件。

在一种可能的设计中，夹紧组件包括转动连接在装置箱体两侧内壁的同一个双向丝杆，所述双向丝杆的外壁螺纹套设有对称设置的两个夹臂，所述双向丝杆的外壁固定套设有齿轮，两个所述夹臂相互靠近的一侧固定连接有连接块，所述连接块的一侧固定连接有弧形夹，所述夹臂与安装块的顶部滑动连接，所述承接板的一侧固定连接有齿条，所述齿条与第一凹槽的两侧内壁滑动连接并与齿轮啮合。

在一种可能的设计中，固定组件包括滑动贯穿装置箱体一侧的插销，所述插销滑动贯穿安装块的一侧，所述插销的一侧固定连接有挡板，所述挡板的一侧与装置箱体的一侧之间固定连接有同一个拉簧，所述拉簧套设在插销上，所述承接板的一侧开设有插孔，所述插销与插孔配合使用。

在一种可能的设计中，制动组件包括滑动贯穿在安装箱顶部的滑动杆，所述滑动杆的顶部固定连接有圆板，所述滑动杆的底部固定连接有三角块，所述圆板的底部与安装箱的顶部之间固定连接有同一个压簧，所述压簧套设在滑动杆上。

在一种可能的设计中，制动组件还包括滑动连接在安装箱底部内壁对称设置的两个L型块，所述安装箱的底部开设有对称设置的两个通孔，所述L型块的两侧分别与通孔的两侧内壁滑动连接，所述L型块的一侧固定连接有圆杆，所述移动轮的一侧开设有呈环形设置的多个限位孔，所述圆杆滑动贯穿U型板的一侧并与限位孔配合使用。

在一种可能的设计中，述弧形夹相互靠近的一侧均设置有防滑垫，所述装置箱体的一侧固定连接有把手。

应当理解的是，以上的一般描述和后文的细节描述仅是示例性的，并不能限制本实用新型。

本实用新型中，使用时将晶棒从定位口中插入，至承接板的顶部，缓慢下降晶棒并带动承接板在第二凹槽中向下移动对弹簧进行压缩，承接板向下移动时带动齿条在第一凹槽中向下移动，齿条带动与之啮合的齿轮转动，齿轮带动双向丝杆转动，双向丝杆带动两侧的夹臂相互靠近，夹臂带动连接块移动，连接块带动弧形夹移动并在承接板移动至底部时夹紧晶棒，过程中承接板的外壁与插销接触并挤压插销收缩，插销收缩使得拉簧拉伸，当插孔与插销对齐时由于拉簧的弹力使得插销插入到插孔中完成对承接板的固定，进而完成对晶棒的固定；

本实用新型中，过程中，承接板向下移动至底部时挤压圆板，圆板带动滑动杆向下移动，滑动杆带动三角块向下移动并与两侧的L型块接触并产生挤压，三角块使得两侧的L型块相互分离，L型块移动时带动圆杆移动使其从限位孔中移出，解除对限位孔的制动；

本实用新型中，当晶棒需要取出时，拉动挡板，挡板带动插销移动，插销从插孔中移出，取消对承接板的制动，由于弹簧的弹力使得承接板带动晶棒一同向上移动一定高度，过程中承接板带动齿条向上移动，齿条带动齿轮转动，齿轮带动两侧的夹臂分离进而带动弧形夹分离解除对晶棒的限制，再用机器对晶棒进行移动，完成取用；

本实用新型中，通过夹紧组件使得在晶棒下降的过程中可以带动两侧的组件进行夹持，并且到达底部后自动固定，防止后续因为抖动而解除对晶棒的控制，同时触发制动组件解除对底部移动装置的控制，极大的减少了工人的操作，方便实用。

附图说明

图1为本实用新型实施例所提供的一种硅单晶炉晶棒定位机构的三维结构示意图；

图2为本实用新型实施例所提供的一种硅单晶炉晶棒定位机构中夹紧组件的三维结构示意图；

图3为本实用新型实施例所提供的一种硅单晶炉晶棒定位机构中制动组件的三维结构示意图；

图4为本实用新型实施例所提供的一种硅单晶炉晶棒定位机构中移动轮的三维结构示意图。

附图标记：

1、装置箱体；2、定位口；3、安装箱；4、安装块；5、弧形夹；6、夹臂；7、双向丝杆；8、第一凹槽；9、齿轮；10、承接板；11、齿条；12、挡板；13、拉簧；14、移动轮；15、把手；16、连接块；17、插孔；18、第二凹槽；19、弹簧；20、插销；21、滑动杆；22、圆板；23、三角块；24、压簧；25、L型块；26、圆杆；27、U型板；28、转轴；29、限位孔；30、通孔。

具体实施方式

下面结合本实用新型实施例中的附图对本实用新型实施例进行描述。

实施例一

参照图1，一种硅单晶炉晶棒定位机构，包括装置箱体1，装置箱体1的底部固定连接有两两对称的四个U型板27，U型板27的两侧内壁之间转动连接有同一个转轴28，转轴28的外壁固定套设有移动轮14，装置箱体1的顶部开设有对称设置的两个定位口2，装置箱体1的底部固定连接有对称设置的两个安装箱3，安装箱3的顶部固定连接有安装块4，安装块4的顶部开设有第二凹槽18，第二凹槽18的内壁滑动连接有承接板10，承接板10的底部与安装箱3的顶部之间固定连接有同一个弹簧19，装置箱体1的两侧内壁转动连接有对称设置的两组用于固定晶棒的夹紧组件，装置箱体1的两侧均滑动贯穿有用于固定承接板10的固定组件，安装箱3的顶部滑动连接有用于控制移动轮14转动的制动组件，通过夹紧组件使得在晶棒下降的过程中可以带动两侧的组件进行夹持，并且到达底部后自动固定，防止后续因为抖动而解除对晶棒的控制，同时触发制动组件解除对底部移动装置的控制，极大的减少了工人的操作，方便实用。

参照图1-2，夹紧组件包括转动连接在装置箱体1两侧内壁的同一个双向丝杆7，双向丝杆7的外壁螺纹套设有对称设置的两个夹臂6，双向丝杆7的外壁固定套设有齿轮9，两个夹臂6相互靠近的一侧固定连接有连接块16，连接块16的一侧固定连接有弧形夹5，夹臂6与安装块4的顶部滑动连接，承接板10的一侧固定连接有齿条11，齿条11与第一凹槽8的两侧内壁滑动连接并与齿轮9啮合，加紧组件与晶棒下落过程相互配合，在完成下落的同时，两侧的夹紧组件同时也完成了对其的固定，使用高效。

参照图1-2，固定组件包括滑动贯穿装置箱体1一侧的插销20，插销20滑动贯穿安装块4的一侧，插销20的一侧固定连接有挡板12，挡板12的一侧与装置箱体1的一侧之间固定连接有同一个拉簧13，拉簧13套设在插销20上，承接板10的一侧开设有插孔17，插销20与插孔17配合使用，使得在晶棒完全下落，两侧固定完成后使其底部不在移动则两侧的固定也不会解除，增强对晶棒的定位效果。

参照图3-4，制动组件包括滑动贯穿在安装箱3顶部的滑动杆21，滑动杆21的顶部固定连接有圆板22，滑动杆21的底部固定连接有三角块23，圆板22的底部与安装箱3的顶部之间固定连接有同一个压簧24，压簧24套设在滑动杆21上，在晶棒放置的过程中整个装置处于一种固定状态，保证了过程中的稳定性，放置完成后会自动解除对装置的固定，便于移动。

参照图3-4，制动组件还包括滑动连接在安装箱3底部内壁对称设置的两个L型块25，安装箱3的底部开设有对称设置的两个通孔30，L型块25的两侧分别与通孔30的两侧内壁滑动连接，L型块25的一侧固定连接有圆杆26，移动轮14的一侧开设有呈环形设置的多个限位孔29，圆杆26滑动贯穿U型板27的一侧并与限位孔29配合使用，多个限位孔29使得在使用时可以随时进行固定，便于使用时的高效性。

实施例二

参照图1，一种硅单晶炉晶棒定位机构，包括装置箱体1，装置箱体1的底部固定连接有两两对称的四个U型板27，U型板27的两侧内壁之间转动连接有同一个转轴28，转轴28的外壁固定套设有移动轮14，装置箱体1的顶部开设有对称设置的两个定位口2，装置箱体1的底部固定连接有对称设置的两个安装箱3，安装箱3的顶部固定连接有安装块4，安装块4的顶部开设有第二凹槽18，第二凹槽18的内壁滑动连接有承接板10，承接板10的底部与安装箱3的顶部之间固定连接有同一个弹簧19，装置箱体1的两侧内壁转动连接有对称设置的两组用于固定晶棒的夹紧组件，装置箱体1的两侧均滑动贯穿有用于固定承接板10的固定组件，安装箱3的顶部滑动连接有用于控制移动轮14转动的制动组件，通过夹紧组件使得在晶棒下降的过程中可以带动两侧的组件进行夹持，并且到达底部后自动固定，防止后续因为抖动而解除对晶棒的控制，同时出发制动组件解除对底部移动装置的控制，极大的减少了工人的操作，方便实用。

参照图1-2，夹紧组件包括转动连接在装置箱体1两侧内壁的同一个双向丝杆7，双向丝杆7的外壁螺纹套设有对称设置的两个夹臂6，双向丝杆7的外壁固定套设有齿轮9，两个夹臂6相互靠近的一侧固定连接有连接块16，连接块16的一侧固定连接有弧形夹5，夹臂6与安装块4的顶部滑动连接，承接板10的一侧固定连接有齿条11，齿条11与第一凹槽8的两侧内壁滑动连接并与齿轮9啮合，加紧组件与晶棒下落过程相互配合，在完成下落的同时，两侧的夹紧组件同时也完成了对其的固定，使用高效。

参照图1-2，固定组件包括滑动贯穿装置箱体1一侧的插销20，插销20滑动贯穿安装块4的一侧，插销20的一侧固定连接有挡板12，挡板12的一侧与装置箱体1的一侧之间固定连接有同一个拉簧13，拉簧13套设在插销20上，承接板10的一侧开设有插孔17，插销20与插孔17配合使用，使得在晶棒完全下落，两侧固定完成后使其底部不在移动则两侧的固定也不会解除，增强对晶棒的定位效果。

参照图3-4，制动组件包括滑动贯穿在安装箱3顶部的滑动杆21，滑动杆21的顶部固定连接有圆板22，滑动杆21的底部固定连接有三角块23，圆板22的底部与安装箱3的顶部之间固定连接有同一个压簧24，压簧24套设在滑动杆21上，在晶棒放置的过程中整个装置处于一种固定状态，保证了过程中的稳定性，放置完成后会自动解除对装置的固定，便于移动。

参照图3-4，制动组件还包括滑动连接在安装箱3底部内壁对称设置的两个L型块25，安装箱3的底部开设有对称设置的两个通孔30，L型块25的两侧分别与通孔30的两侧内壁滑动连接，L型块25的一侧固定连接有圆杆26，移动轮14的一侧开设有呈环形设置的多个限位孔29，圆杆26滑动贯穿U型板27的一侧并与限位孔29配合使用，多个限位孔29使得在使用时可以随时进行固定，便于使用时的高效性。

参照图2，述弧形夹5相互靠近的一侧均设置有防滑垫，装置箱体1的一侧固定连接有把手15，便于将晶棒进行固定防止出现滑动的情况。

本技术方案的工作原理及使用流程为：使用时将晶棒从定位口2中插入，至承接板10的顶部，缓慢下降晶棒并带动承接板10在第二凹槽18中向下移动对弹簧19进行压缩，承接板10向下移动时带动齿条11在第一凹槽8中向下移动，齿条11带动与之啮合的齿轮9转动，齿轮9带动双向丝杆7转动，双向丝杆7带动两侧的夹臂6相互靠近，夹臂6带动连接块16移动，连接块16带动弧形夹5移动并在承接板10移动至底部时夹紧晶棒，过程中承接板10的外壁与插销20接触并挤压插销20收缩，插销20收缩使得拉簧13拉伸，当插孔17与插销20对齐时由于拉簧13的弹力使得插销20插入到插孔17中完成对承接板10的固定，进而完成对晶棒的固定。

过程中，承接板10向下移动至底部时挤压圆板22，圆板22带动滑动杆21向下移动，滑动杆21带动三角块23向下移动并与两侧的L型块25接触并产生挤压，三角块23使得两侧的L型块25相互分离，L型块25移动时带动圆杆26移动使其从限位孔29中移出，解除对限位孔29的制动。

当晶棒需要取出时，拉动挡板12，挡板12带动插销20移动，插销20从插孔17中移出，取消对承接板10的制动，由于弹簧19的弹力使得承接板10带动晶棒一同向上移动一定高度，过程中承接板10带动齿条11向上移动，齿条11带动齿轮9转动，齿轮9带动两侧的夹臂6分离进而带动弧形夹5分离解除对晶棒的限制，再用机器对晶棒进行移动，完成取用。

以上，仅为本实用新型的具体实施方式，但本实用新型的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本实用新型揭露的技术范围内，可轻易想到变化或替换，都应涵盖在本实用新型的保护范围之内；在不冲突的情况下，本实用新型的实施例及实施例中的特征可以相互组合。因此，本实用新型的保护范围应以权利要求的保护范围为准。

Claims (6)

1.一种硅单晶炉晶棒定位机构，其特征在于，包括装置箱体(1)，所述装置箱体(1)的底部固定连接有两两对称的四个U型板(27)，所述U型板(27)的两侧内壁之间转动连接有同一个转轴(28)，所述转轴(28)的外壁固定套设有移动轮(14)，所述装置箱体(1)的顶部开设有对称设置的两个定位口(2)，所述装置箱体(1)的底部固定连接有对称设置的两个安装箱(3)，所述安装箱(3)的顶部固定连接有安装块(4)，所述安装块(4)的顶部开设有第二凹槽(18)，所述第二凹槽(18)的内壁滑动连接有承接板(10)，所述承接板(10)的底部与安装箱(3)的顶部之间固定连接有同一个弹簧(19)，所述装置箱体(1)的两侧内壁转动连接有对称设置的两组用于固定晶棒的夹紧组件，所述装置箱体(1)的两侧均滑动贯穿有用于固定承接板(10)的固定组件，所述安装箱(3)的顶部滑动连接有用于控制移动轮(14)转动的制动组件。

2.根据权利要求1所述的一种硅单晶炉晶棒定位机构，其特征在于，所述夹紧组件包括转动连接在装置箱体(1)两侧内壁的同一个双向丝杆(7)，所述双向丝杆(7)的外壁螺纹套设有对称设置的两个夹臂(6)，所述双向丝杆(7)的外壁固定套设有齿轮(9)，两个所述夹臂(6)相互靠近的一侧固定连接有连接块(16)，所述连接块(16)的一侧固定连接有弧形夹(5)，所述夹臂(6)与安装块(4)的顶部滑动连接，所述承接板(10)的一侧固定连接有齿条(11)，所述齿条(11)与第一凹槽(8)的两侧内壁滑动连接并与齿轮(9)啮合。

3.根据权利要求1所述的一种硅单晶炉晶棒定位机构，其特征在于，所述固定组件包括滑动贯穿装置箱体(1)一侧的插销(20)，所述插销(20)滑动贯穿安装块(4)的一侧，所述插销(20)的一侧固定连接有挡板(12)，所述挡板(12)的一侧与装置箱体(1)的一侧之间固定连接有同一个拉簧(13)，所述拉簧(13)套设在插销(20)上，所述承接板(10)的一侧开设有插孔(17)，所述插销(20)与插孔(17)配合使用。

4.根据权利要求1所述的一种硅单晶炉晶棒定位机构，其特征在于，所述制动组件包括滑动贯穿在安装箱(3)顶部的滑动杆(21)，所述滑动杆(21)的顶部固定连接有圆板(22)，所述滑动杆(21)的底部固定连接有三角块(23)，所述圆板(22)的底部与安装箱(3)的顶部之间固定连接有同一个压簧(24)，所述压簧(24)套设在滑动杆(21)上。

5.根据权利要求4所述的一种硅单晶炉晶棒定位机构，其特征在于，所述制动组件还包括滑动连接在安装箱(3)底部内壁对称设置的两个L型块(25)，所述安装箱(3)的底部开设有对称设置的两个通孔(30)，所述L型块(25)的两侧分别与通孔(30)的两侧内壁滑动连接，所述L型块(25)的一侧固定连接有圆杆(26)，所述移动轮(14)的一侧开设有呈环形设置的多个限位孔(29)，所述圆杆(26)滑动贯穿U型板(27)的一侧并与限位孔(29)配合使用。

6.根据权利要求2所述的一种硅单晶炉晶棒定位机构，其特征在于，两个所述弧形夹(5)相互靠近的一侧均设置有防滑垫，所述装置箱体(1)的一侧固定连接有把手(15)。

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