CN219114444U - 一种划片机的防撞装置及划片机 - Google Patents

Abstract

本申请涉及一种划片机的防撞装置及划片机，划片机包括驱动机构和两个移动块，驱动机构用于驱动两个移动块相对移动；防撞装置包括检测部和限位件；检测部用于检测两个移动块之间的距离是否达到第一预设距离并用于与驱动机构的开关连接，当两个移动块之间的距离达到第一预设距离时，检测部能够触发开关关闭；限位件设于两个移动块之间，两个移动块能够相对移动至抵接于限位件的两端。该划片机的防撞装置能够有效避免划片机内由于用于夹持或吸附晶圆的部件在移动过程中，由于碰撞导致设备内部部件或工件损坏的情况。

Description

一种划片机的防撞装置及划片机

技术领域

本申请涉及晶圆加工设备技术领域，具体涉及一种划片机的防撞装置及划片机。

背景技术

目前，晶圆的主要加工方式为片加工的方式，在对晶圆进行加工时，需要夹持或吸附晶圆以对晶圆进行转移，使晶圆在不同位置进行不同的加工操作。

但是，现有的用于夹持或吸附晶圆的部件在移动过程中可能存在碰撞的情况，导致设备内部部件或工件损坏，而如何避免此种由于碰撞导致设备内部部件或工件损坏的情况，是本领域技术人员所需要解决的技术问题。

实用新型内容

本申请的目的是提供一种划片机的防撞装置及划片机，能够有效避免划片机内由于用于夹持或吸附晶圆的部件在移动过程中，由于碰撞导致设备内部部件或工件损坏的情况。

为解决上述技术问题，本申请提供一种划片机的防撞装置，所述划片机包括驱动机构和两个移动块，所述驱动机构用于驱动两个所述移动块相对移动；所述防撞装置包括检测部和限位件；所述检测部用于检测两个所述移动块之间的距离是否达到第一预设距离并用于与所述驱动机构的开关连接，当两个所述移动块之间的距离达到第一预设距离时，所述检测部能够触发所述开关关闭；所述限位件设于两个所述移动块之间，两个所述移动块能够相对移动至抵接于所述限位件的两端。

当检测部检测到两个移动块之间的距离达到第一预设距离时，该检测部能够触发驱动机构的开关关闭，使得驱动机构不再驱动移动块移动，从而使得两个移动块之间的间距保持在第一预设距离，避免二者之间进一步移动发生碰撞。限位件设于两个移动块之间，驱动机构能够驱动两个移动块移动至分别抵接于限位件的两端。

也就是说，检测部能够与驱动机构的开关连接，并在两个移动块之间的间距达到第一预设距离时，通过关闭驱动机构阻止两个移动块的继续移动，以避免二者之间发生碰撞。限位件能够在两个移动块之间实现机械限位，当检测部发生故障或驱动机构发生故障时，驱动机构继续驱动移动块移动，且两个移动块之间的距离小于第一预设距离，在两个移动块之间的距离达到第二预设距离时，限位件能够夹紧在两个移动块之间，此时，该限位件可在两个移动块之间起到机械限位作用，通过限位件与移动块之间发生碰撞，避免移动块之间直接发生碰撞。

通过检测部和限位件的设置，能够实现双重防撞功能，避免移动块发生碰撞，进而避免设备内部部件或工件损坏。

可选地，所述检测部包括光电传感器和遮挡件，所述光电传感器与所述开关连接，并与一个所述移动块固定，所述遮挡件与另一个所述移动块固定，两个所述移动块移动至所述遮挡件遮挡于所述光电传感器的收发器时，两个所述移动块之间的距离达到第一预设距离。

可选地，所述收发器为槽型结构，所述遮挡件遮挡于所述槽型结构的槽口时，两个所述移动块之间的距离达到第一预设距离。

可选地，所述槽型结构的深度方向与所述移动块的移动方向垂直。

可选地，所述遮挡件包括依次连接的第一板体、第二板体和第三板体，所述第一板体固定于所述移动块的表面，所述第三板体用于遮挡所述收发器。

可选地，所述限位件固定于所述移动块朝向另一个所述移动块的一侧，且当所述限位件的数量为两个或两个以上时，各所述限位件错开布置。

可选地，所述限位件为螺栓，所述螺栓伸出所述移动块的长度小于所述第一预设距离。

本申请还提供了一种划片机，包括如上所述的防撞装置。

具有上述防撞装置的划片机，其技术效果与上述防撞装置的技术效果类似，为节约篇幅，在此不再赘述。

可选地，还包括滑轨，各所述移动块分别设有能够沿所述滑轨滑动的滑块。

可选地，所述驱动机构包括电机、丝杆和螺母，所述螺母与所述移动块固定，所述丝杆与所述滑轨平行，所述电机与所述丝杆传动连接，且所述电机的开关与所述防撞装置的检测部连接。

附图说明

图1是安装有防撞装置的划片机的结构示意图；

图2是图1中光电传感器所在位置的局部放大图；

图3是图1中遮挡件所在位置的局部放大图。

附图1-图3中，附图标记说明如下：

11-电机、12-丝杆，13-螺母；2-移动块；3-检测部，31-光电传感器，311-收发器，32-遮挡件，321-第一板体，322-第二板体，323-第三板体；4-滑轨；5-滑块。

具体实施方式

为了使本领域的技术人员更好地理解本申请的技术方案，下面结合附图和具体实施例对本申请作进一步的详细说明。

本申请实施例提供了一种划片机的防撞装置及划片机，其中，划片机包括驱动机构、两个移动块和防撞装置，驱动机构能够用于驱动两个移动块相对移动，移动块可以是指载有夹持晶圆的夹持部件也可以是指载有吸附晶圆的吸附部件，两个移动块在驱动机构的驱动作用下沿预设路径移动，从而实现通过切割刀具对晶圆不同位置进行切割操作。

但是移动块在带动晶圆沿预设路径移动的过程中，有可能出现两个移动块发生碰撞的情况，为避免此种情况发生，本实施例提供了一种划片机的防撞装置，该防撞装置能够避免两个移动块发生碰撞，进而避免设备内部部件或工件由于碰撞导致损坏的情况。

具体的，如图1所示，防撞装置包括检测部3和限位件(图中未示出)，其中，检测部3用于检测两个移动块2之间的距离是否达到第一预设距离，并且该检测部3与驱动机构的开关连接，当检测部3检测到两个移动块2之间的距离达到第一预设距离时，该检测部3能够触发驱动机构的开关关闭，使得驱动机构不再驱动移动块2移动，从而使得两个移动块2之间的间距保持在第一预设距离，避免二者之间进一步移动发生碰撞。限位件设于两个移动块2之间，驱动机构能够驱动两个移动块2移动至分别抵接于限位件的两端。

也就是说，检测部3能够与驱动机构的开关连接，并在两个移动块2之间的间距达到第一预设距离时，通过关闭驱动机构阻止两个移动块2的继续移动，以避免二者之间发生碰撞。限位件能够在两个移动块2之间实现机械限位，当检测部3发生故障或驱动机构发生故障时，驱动机构继续驱动移动块2移动，且两个移动块2之间的距离小于第一预设距离，在两个移动块2之间的距离达到第二预设距离时，限位件能够夹紧在两个移动块2之间，此时，该限位件可在两个移动块2之间起到机械限位作用，通过限位件与移动块2之间发生碰撞，避免移动块2之间直接发生碰撞。

不难理解，第二预设距离要小于第一预设距离。并且，本实施例中，对于第一预设距离和第二预设距离不做具体限制，可根据实际情况设置即可。

通过检测部3和限位件的设置，能够实现双重防撞功能，避免移动块2发生碰撞，进而避免设备内部部件或工件损坏。

如图1所示，本实施例所提供的划片机还包括滑轨4，各移动块2能够分别沿滑轨4滑动，该滑轨4形成移动块2的预设路径，具体的，移动块2还固设有滑块5，滑块5可在驱动机构的驱动作用下沿滑轨4滑动，通过滑轨4和滑块5的设置，能够增强移动块2在运动过程中的平稳性。

驱动机构包括电机11、丝杆12和螺母13，其中，丝杆12与滑轨4平行，螺母13与移动块2固定，电机11与丝杆12传动连接，并可驱动丝杆12转动，螺母13与丝杆12配合，电机11驱动丝杆12转动时，能够通过螺母13作用于移动块2使得移动块2沿滑轨4移动。两个移动块2可通过同一驱动机构驱动也可以通过不同的驱动机构驱动均可。

检测部3与电机11的开关连接，当两个移动块2之间的距离达到第一预设距离时，检测部3能够触发电机11的开关关闭，使得电机11不再工作，丝杆12停止转动，移动块2停止移动。

当然，本实施例中，也可以将驱动机构包括电机11、齿轮和齿条的结构，其中，齿条与滑轨4平行，齿轮可转动连接地固定于移动块2，驱动机构的电机11驱动齿轮转动，并带动移动块2沿齿条移动均可。

本实施例中，检测部3包括光电传感器31和遮挡件32，其中，光电传感器31与其中一个移动块2固定，遮挡件32与另一个移动块2固定，光电传感器31的收发器311能够产生光路，当两个移动块2移动至二者之间的间距为第一预设距离时，遮挡件32能够遮挡收发器311的光路，而收发器311在被遮挡时，该检测部3能够产生感应信号，使得驱动机构的开关关闭。

具体的，对于遮挡件32的具体结构不做限制，如图3所示，本实施例中，遮挡件32包括依次连接的第一板体321、第二板体322和第三板体323，其中，第一板体321固定于移动块2的表面，第三板体323用于遮挡收发器311，第二板体322的设置便于调节第三板体323的位置，如沿竖直方向上的高度，或者沿水平方向上偏离移动块2的距离等，使得第三板体323能够与收发器311的位置对应，灵活性好。

如图2所示，收发器311为槽型结构，光路能够由该槽型结构内发出，遮挡件32遮挡于槽型结构的槽口时，两个移动块2之间的距离为第一预设距离，此时，检测部3能够触发驱动机构的开关关闭。当然，本实施例对于该收发器311的具体结构并不做限制，而将其设置为槽型结构时，能够便于实现遮光器与收发器311之间的遮挡作用，从而便于精准触发驱动机构的开关关闭。

进一步的，槽型结构的深度方向与移动块2的移动方向垂直设置，如此设置，可以避免杂物掉落到槽型结构内遮挡住光路继而导致误检测。

或者，本实施例中，还可以将检测部3设置为距离传感器，该距离传感器固定于一个移动块2，并用于检测另一个移动块与该移动块2之间的间距，当间距达到第一预设距离时，该距离传感器能够产生感应信号，使得驱动机构的开关关闭。

检测部3包括控制单元，该控制单元与开关连接，并能够产生感应信号，无论是通过光电传感器31和遮挡件32检测两个移动块2之间的间距是否达到第一预设距离，还是通过距离传感器检测两个移动块2之间的间距是否达到第一预设距离，控制单元如何通过感应信号控制驱动机构的电机11开关关闭，对于本领域技术人员来说，已是熟知的现有技术，为节约篇幅，在此不再赘述。

限位件固定于移动块2朝向另一个移动块2的一侧，具体的，可以是一个移动块2朝向另一个移动块2的一侧设置有限位件，也可以是两个移动块2相对的一侧分别设置有限位件均可。

当然，也可以将该限位件不与移动块2固定，如将限位件设置在两个移动块2之间，并可沿移动块2的预设路径移动(即限位件在两个移动块2之间，并可沿滑轨4滑动)，该限位件无需设置驱动部驱动，一个移动块2沿预设路径移动至限位件时，能够继续推动限位件移动，直至限位件与另一个移动块2抵接即可。而将限位件设置为与移动块2固定时，能够简化整体结构。

限位件的数量可以是一个，也可以是两个或两个以上，当限位件的数量是两个或两个以上时，两个移动块2之间通过多个限位件限位，各限位件错开设置，使得每个限位件都能够通过夹设在与两个移动块2之间以实现限位，如此一来，能够增加机械限位的限位面积，进而增加限位强度。

具体的，对于限位件不做限制，如可将其设置为与移动块2为一体式结构，或者将其设置为凸块，并通过焊接、胶接、紧固件连接等方式与移动块2固定均可。而本实施例中，将限位件设置为螺栓，移动块2设置有螺孔，螺栓安装于螺孔内，可简化整体结构，便于安装并可降低成本。

为避免通过限位件进行机械限位时，限位件与移动块2之间的抵接作用会对移动块2造成损伤，本实施例中，在限位件朝向移动块2的一侧端还设有缓冲垫。具体的，该缓冲垫可以是橡胶垫、塑料垫等均可。

以上仅是本申请的优选实施方式，应当指出，对于本技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本申请原理的前提下，还可以做出若干改进和润饰，这些改进和润饰也应视为本申请的保护范围。

Claims (10)

1.一种划片机的防撞装置，所述划片机包括驱动机构和两个移动块(2)，所述驱动机构用于驱动两个所述移动块(2)相对移动；其特征在于，所述防撞装置包括检测部(3)和限位件；

所述检测部(3)用于检测两个所述移动块(2)之间的距离是否达到第一预设距离并用于与所述驱动机构的开关连接，当两个所述移动块(2)之间的距离达到第一预设距离时，所述检测部(3)能够触发所述开关关闭；

所述限位件设于两个所述移动块(2)之间，两个所述移动块(2)能够相对移动至抵接于所述限位件的两端。

2.根据权利要求1所述的划片机的防撞装置，其特征在于，所述检测部(3)包括光电传感器(31)和遮挡件(32)，所述光电传感器(31)与所述开关连接，并与一个所述移动块(2)固定，所述遮挡件(32)与另一个所述移动块(2)固定，两个所述移动块(2)移动至所述遮挡件(32)遮挡于所述光电传感器(31)的收发器(311)时，两个所述移动块(2)之间的距离达到第一预设距离。

3.根据权利要求2所述的划片机的防撞装置，其特征在于，所述收发器(311)为槽型结构，所述遮挡件(32)遮挡于所述槽型结构的槽口时，两个所述移动块(2)之间的距离达到第一预设距离。

4.根据权利要求3所述的划片机的防撞装置，其特征在于，所述槽型结构的深度方向与所述移动块(2)的移动方向垂直。

5.根据权利要求2-4任一项所述的划片机的防撞装置，其特征在于，所述遮挡件(32)包括依次连接的第一板体(321)、第二板体(322)和第三板体(323)，所述第一板体(321)固定于所述移动块(2)的表面，所述第三板体(323)用于遮挡所述收发器(311)。

6.根据权利要求1-4任一项所述的划片机的防撞装置，其特征在于，所述限位件固定于所述移动块(2)朝向另一个所述移动块(2)的一侧，且当所述限位件的数量为两个或两个以上时，各所述限位件错开布置。

7.根据权利要求1-4任一项所述的划片机的防撞装置，其特征在于，所述限位件为螺栓，所述螺栓伸出所述移动块(2)的长度小于所述第一预设距离。

8.一种划片机，其特征在于，包括如权利要求1-7任一项所述的防撞装置。

9.根据权利要求8所述的划片机，其特征在于，还包括滑轨(4)，各所述移动块(2)分别设有能够沿所述滑轨(4)滑动的滑块(5)。

10.根据权利要求9所述的划片机，其特征在于，所述驱动机构包括电机(11)、丝杆(12)和螺母(13)，所述螺母(13)与所述移动块(2)固定，所述丝杆(12)与所述滑轨(4)平行，所述电机(11)与所述丝杆(12)传动连接，且所述电机(11)的开关与所述防撞装置的检测部(3)连接。

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