CN219075512U - 辅助拆装工具 - Google Patents

Abstract

本申请涉及一种辅助拆装工具，辅助拆装工具用于辅助拆装低温泵。辅助拆装工具包括底座、活动台、承载座及驱动装置。活动台沿第一方向活动设于底座，承载座安装于活动台，承载座具有用于承载低温泵的承载部。驱动装置安装于底座，且驱动装置与活动台连接，以驱动活动台沿第一方向移动，而使承载座的承载部能够承接低温泵。当承载部承接低温泵后，工作人员就能拆装低温泵，低温泵拆卸后能够稳定地放置在承载部上，从而避免出现损坏或砸伤工作人员的现象。

Description

辅助拆装工具

技术领域

本申请涉及半导体技术领域，特别是涉及一种辅助拆装工具。

背景技术

在晶圆生产过程中，真空镀膜系统需要通过低温泵将工作腔抽到高真空状态，但是长时间的工作会使低温泵的性能逐渐变差，因此在生产过程中需要更换低温泵。然而，相关技术中，真空镀膜系统中通常通过人工拆装低温泵，拆装过程中需要手动且长时间的将低温泵拖起，而手动长时间的托起低温泵存在极大的安全隐患和设备受损的风险。

实用新型内容

基于此，有必要针对相关技术中，通过人工拆装低温泵时需要手动长时间的托起低温泵，而手动长时间的托起低温泵存在极大的安全隐患和设备受损的风险的问题，提供一种辅助拆装工具。

根据本申请的第一方面，提出了一种辅助拆装工具，用于辅助拆装低温泵，所述辅助拆装工具包括：

底座；

活动台，沿第一方向活动设于所述底座；

承载座，安装于所述活动台，所述承载座具有用于承载所述低温泵的承载部；以及

驱动装置，安装于所述底座，且所述驱动装置与所述活动台连接，以驱动所述活动台沿所述第一方向移动，而使所述承载座的所述承载部能够承接所述低温泵。

在其中一个实施例中，所述辅助拆装工具包括多个所述承载座，多个所述承载座的所述承载部用于共同承载所述低温泵。

在其中一个实施例中，所述活动台的顶部设有多个安装点，所述承载座可拆卸安装于任一所述安装点。

在其中一个实施例中，所述活动台的顶部设有沿平行于所述承载部的方向延伸的滑轨，所述承载座沿所述滑轨的延伸方向滑动地连接于所述滑轨。

在其中一个实施例中，所述驱动装置包括：

两个支架，两个所述支架沿所述第二方向相对设置；每一所述支架包括交叉设置且彼此铰接的第一支撑件与第二支撑件，两个所述第一支撑件分别具有与所述底座铰接的第一铰接端及与所述第一铰接端相对设置的第一活动端，两个所述第二支撑件分别具有与所述活动台铰接的第二铰接端及与所述第二铰接端相对设置的第二活动端；

活动杆，包括与两个所述第一活动端分别连接的第一活动杆及与两个所述第二活动端分别连接的第二活动杆；所述第一活动杆沿第三方向滑动地连接于所述活动台，所述第二活动杆沿所述第三方向滑动地连接于所述底座；以及

丝杠机构，包括固定安装于所述底座的螺母座及与所述螺母座螺接的丝杠，所述丝杠沿所述第三方向延伸设置，且所述丝杠的一端与所述第二活动杆连接；

所述第一方向、所述第二方向及所述第三方向两两相交。

在其中一个实施例中，所述底座与所述活动台上分别设有滑槽组，每一所述滑槽组包括沿所述第二方向相对间隔设置的两个滑槽，每一所述滑槽沿所述第三方向延伸设置；

所述第一活动杆与所述第二活动杆沿所述第二方向延伸设置，所述第一活动杆沿所述第三方向滑动安装于所述活动台上的两个所述滑槽内，所述第二活动杆沿所述第三方向滑动安装于所述底座上的两个所述滑槽内。

在其中一个实施例中，所述第一活动杆的两端及所述第二活动杆的两端分别自对应的所述滑槽内伸出，且所述第一活动杆的两端及所述第二活动杆的两端分别设有第一螺纹；

所述驱动装置还包括与所述第一螺纹一一对应设置的多个螺母，多个所述螺母用以在所述承载座与所述低温泵抵接时与对应的所述第一螺纹螺接。

在其中一个实施例中，所述螺母座开设有与所述丝杠螺接的第一螺纹孔及沿所述丝杆的径向延伸的第二螺纹孔，所述第二螺纹孔与所述第一螺纹孔连通；

所述驱动装置还包括与所述第二螺纹孔螺接的锁紧螺母。

在其中一个实施例中，所述丝杠远离所述第二活动杆的一端设有转动手柄。

在其中一个实施例中，所述承载部包括与所述低温泵的相应位置形状匹配的表面。

在本申请的技术方案中，辅助拆装工具通过驱动装置驱动活动台沿第一方向活动，从而通过驱动装置在第一方向上调节活动台的位置。通过调节活动台的位置，从而使得承载座的承载部能够承接低温泵。当承载部承接低温泵后，工作人员就能拆装低温泵，低温泵拆卸后能够稳定地放置在承载部上，从而避免出现损坏或砸伤工作人员的现象。

附图说明

图1为本申请提出的辅助拆装工具的结构示意图；

图2为图1中辅助拆装工具的侧视示意图。

附图标号说明：

标号	名称	标号	名称
				100	辅助拆装工具	1	底座
2	活动台	3	承载座
				31	承载部	4	驱动装置
41	支架	411	第一支撑件
				411a	第一铰接端	411b	第一活动端
412	第二支撑件	412a	第二铰接端
				412b	第二活动端	42	活动杆
421	第一活动杆	422	第二活动杆
				43	丝杠机构	431	螺母座
432	丝杠	433	转动手柄
				5	滑槽	200	低温泵
Z	第一方向	X	第二方向
				Y	第三方向	\	\

具体实施方式

为使本申请的上述目的、特征和优点能够更加明显易懂，下面结合附图对本申请的具体实施方式做详细的说明。在下面的描述中阐述了很多具体细节以便于充分理解本申请。但是本申请能够以很多不同于在此描述的其它方式来实施，本领域技术人员可以在不违背本申请内涵的情况下做类似改进，因此本申请不受下面公开的具体实施例的限制。

在本申请的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“长度”、“宽度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”、“顺时针”、“逆时针”、“轴向”、“径向”、“周向”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本申请和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本申请的限制。

此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括至少一个该特征。在本申请的描述中，“多个”的含义是至少两个，例如两个，三个等，除非另有明确具体的限定。

在本申请中，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”、“固定”等术语应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系，除非另有明确的限定。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本申请中的具体含义。

在本申请中，除非另有明确的规定和限定，第一特征在第二特征“上”或“下”可以是第一和第二特征直接接触，或第一和第二特征通过中间媒介间接接触。而且，第一特征在第二特征“之上”、“上方”和“上面”可是第一特征在第二特征正上方或斜上方，或仅仅表示第一特征水平高度高于第二特征。第一特征在第二特征“之下”、“下方”和“下面”可以是第一特征在第二特征正下方或斜下方，或仅仅表示第一特征水平高度小于第二特征。

需要说明的是，当元件被称为“固定于”或“设置于”另一个元件，它可以直接在另一个元件上或者也可以存在居中的元件。当一个元件被认为是“连接”另一个元件，它可以是直接连接到另一个元件或者可能同时存在居中元件。本文所使用的术语“垂直的”、“水平的”、“上”、“下”、“左”、“右”以及类似的表述只是为了说明的目的，并不表示是唯一的实施方式。

在晶圆生产过程中，真空镀膜系统需要通过低温泵将工作腔抽到高真空状态，但是长时间的工作会使低温泵的性能逐渐变差，因此在生产过程中需要更换低温泵。然而，相关技术中，真空镀膜系统中通常通过人工拆装低温泵，拆装过程中需要手动且长时间的将低温泵拖起，而手动长时间的托起低温泵存在极大的安全隐患和设备受损的风险。

本申请的发明人员通过研究发现，真空镀膜系统中缺少针对低温泵的辅助拆装工具，因此只能通过人工拆装低温泵。低温泵的重量接近30千克，并且低温泵在进行拆装时的工作环境较为狭窄，工作人员的操作会受到限制，因此存在极大的安全隐患和设备受损的风险。因此迫切需要一种辅助拆装工具，使得低温泵的拆装更加安全与稳定，并且拆装效率也会更高。

鉴于此，本申请提出一种辅助拆装工具，旨在解决通过人工拆装低温泵时需要手动长时间的托起低温泵，而手动长时间的托起低温泵存在极大的安全隐患和设备受损的风险的问题。图1至图2为本申请提出的辅助拆装工具的结构示意图。

请参阅图1至图2，本申请提出的辅助拆装工具100用于辅助拆装低温泵200，辅助拆装工具100包括底座1、活动台2、承载座3及驱动装置4。活动台2沿第一方向Z活动设于底座1，承载座3安装于活动台2，承载座3具有用于承载低温泵200的承载部31。驱动装置4安装于底座1，且驱动装置4与活动台2连接，以驱动活动台2沿第一方向Z移动，而使承载座3的承载部31能够承接低温泵200。

在本申请中，第一方向Z为相对方向，第一方向Z实际为活动台2活动的方向。在实际应用时，承载座3的承载部31一般与低温泵200的底部抵接，因此第一方向Z一般为上下方向，当然第一方向Z也可以是其他方向。

在本申请的技术方案中，辅助拆装工具100通过驱动装置4驱动活动台2沿第一方向Z活动，从而通过驱动装置4在第一方向Z上调节活动台2的位置。通过调节活动台2的位置，从而使得承载座3的承载部31能够承接低温泵200。当承载部31承接低温泵200后，工作人员就能拆装低温泵200，低温泵200拆卸后能够稳定地放置在承载部31上，从而避免出现损坏或砸伤工作人员的现象。

要说明的是，承载部31可以是承载座3的顶面或是对应低温泵200设置的其他结构，比如支撑块或者限位凹槽等结构。

可选地，承载部31包括与低温泵200的相应位置形状匹配的表面。在具体应用时，承载部31需要先承载低温泵200，然后工作人员再对低温泵200进行拆卸。在拆卸过程中，承载部31需要稳定承载低温泵200，避免低温泵200后续直接自承载座3及活动台2上掉落。因此可选地，承载部31包括与低温泵200的相应位置形状匹配的表面，从而使得承载部31能够稳定地承载低温泵200，从而增加低温泵200在承载座3上的稳定性，避免低温泵200在拆装时意外掉落。

在一些实施例中，辅助拆装工具100包括多个承载座3，多个承载座3的承载部31用于共同承载低温泵200。在具体应用时，低温泵200的体积较大，单个承载座3的承载部31难以稳定地承载整个低温泵200。因此在本实施例中，辅助拆装工具100包括多个承载座3，多个承载座3的承载部31共同承载低温泵200。要说明的是，多个承载座3的承载部31可以对应低温泵200的不同部位设置，从而使得低温泵200在拆装时更加稳定。

在一些实施例中，活动台2的顶部设有多个安装点，承载座3可拆卸安装于任一安装点。在实际应用时，真空镀膜系统可能会安装不同的低温泵200，而在拆装不同的低温泵200时，承载座3的承载部31可能与低温泵200存在位置偏差。因此在本实施例中，活动台2的顶部设有多个安装点，而承载座3能够可拆卸安装于任一安装点上，从而使得辅助拆装工具100能够调整承载座3的位置，从而适用于辅助拆装不同的低温泵200。

此外，承载座3可拆卸安装于安装点，这使得辅助拆装工具100还能够适用于更换不同型号的承载座3，从而使得当前的承载座3与待拆装的低温泵200更加适配，如此能够保证低温泵200在拆装过程中更加稳定。

可选地，承载座3通过紧固件(未示出)可拆卸安装于安装点上。紧固件的具体实施方式有很多，比如紧固件可以设置为螺母，然后通过在承载座3及活动台2的每一安装点上分别设置对应的螺纹孔就可以完成螺接安装。紧固件还可以设为承载座3上的磁吸元件，从而磁吸固定于活动台2的安装点上。

在一些实施例中，活动台2的顶部设有沿平行于承载部31的方向延伸的滑轨(未示出)，承载座3沿滑轨的延伸方向滑动地连接于滑轨。在实际应用时，真空镀膜系统可能会安装不同的低温泵200，而在拆装不同的低温泵200时，承载座3的承载部31可能与低温泵200存在位置偏差。因此在本实施例中，活动台2的顶部设有滑轨，而滑轨沿平行于承载部31的方向延伸设置，因此承载座3沿滑轨的延伸方向滑动至不同位置时承载部31的姿态不会发生改变，从而使得承载部31能够正常的承载低温泵200。

在一些实施例中，驱动装置4包括两个支架41、活动杆42及丝杠机构43。两个支架41沿第二方向X相对设置。每一支架41包括交叉设置且彼此铰接的第一支撑件411与第二支撑件412，两个第一支撑件411分别具有与底座1铰接的第一铰接端411a及与第一铰接端411a相对设置的第一活动端411b，两个第二支撑件412分别具有与活动台2铰接的第二铰接端412a及与第二铰接端412a相对设置的第二活动端412b。

活动杆42包括与两个第一活动端411b分别连接的第一活动杆421及与两个第二活动端412b分别连接的第二活动杆422，第一活动杆421沿第三方向Y滑动地连接于活动台2，第二活动杆422沿第三方向Y滑动地连接于底座1。丝杠机构43包括固定安装于底座1的螺母座431及与螺母座431螺接的丝杠432，丝杠432沿第三方向Y延伸设置，且丝杠432的一端与第二活动杆422连接。第一方向Z、第二方向X及第三方向Y两两相交。

在本申请中，第二方向X为相对方向，实际上第二方向X可以设为两个支架41相对的方向。第三方向Y为相对方向，实际上第三方向Y可以设为第一活动杆421与第二活动杆422的活动方向。并且，第一方向Z、第二方向X及第三方向Y是两两相交的三个方向。

工作人员通过转动丝杠432，从而使得第二活动杆422沿第三方向Y活动，当第二活动杆422活动时会带动两个第二活动端412b活动，而两个第二铰接端412a会相应的转动。此时，当第二活动杆422朝向两个第一支撑件411活动时，两个第二支撑件412的第二活动端412b会逐渐向两个第一支撑件411的第一铰接端411a靠近，从而使得活动台2沿第一方向Z远离底座1。

当第二活动杆422朝向远离两个第一支撑件411活动时，两个第二支撑件412的第二活动端412b会逐渐远离两个第一支撑件411的第一铰接端411a，从而使得活动台2沿第一方向Z靠近底座1。

也就是说，工作人员能够通过转动丝杠432来调整第二活动杆422的位置，从而通过调整第二活动杆422的位置调节活动台2的位置，如此使得承载座3上的承载部31能够运动至与低温泵200接触的位置，从而在对低温泵200进行拆装时承载低温泵200。

要说明的是，驱动装置4并不是只有上述一种实施方式，实际上驱动装置4还可以通过气缸及与气缸连接的伸缩杆来推动活动台2，驱动装置4具体的实施方式可以根据实际情况进行选择与调整。

在一些实施例中，底座1与活动台2上分别设有滑槽组，每一滑槽组包括沿第二方向X相对间隔设置的两个滑槽5，每一滑槽5沿第三方向Y延伸设置。第一活动杆421与第二活动杆422沿第二方向X延伸设置，第一活动杆421沿第三方向Y滑动安装于活动台2上的两个滑槽5内，第二活动杆422沿第三方向Y滑动安装于底座1上的两个滑槽5内。

底座1与活动台2上分别具有沿第一方向Z相对设置的平面，而两个滑槽组分别设于对应的平面上，从而使得第一活动杆421及第二活动杆422的安装与滑动更加方便。底座1与活动台2上通过设置滑槽5，而第一活动杆421与第二活动杆422分别滑动安装于对应的滑槽5内，从而使得第二活动杆422在丝杠432的带动下能够同步活动，而第一活动杆421在第二活动杆422的带动下能够同步活动，从而调整活动台2的位置。

在一些实施例中，第一活动杆421的两端及第二活动杆422的两端分别自对应的滑槽5内伸出，且第一活动杆421的两端及第二活动杆422的两端分别设有第一螺纹。驱动装置4还可以包括与第一螺纹一一对应设置的多个螺母(未示出)，多个螺母用以在承载座3与低温泵200抵接时与对应的第一螺纹螺接。

在具体应用时，通过丝杠432与螺母座431之间的螺接，活动台2一般不会在低温泵200放置于承载部31上时垮塌。但是低温泵200的重量较大，因此只依靠丝杠432与螺母座431之间的螺接可能会出现意外。

因此在本实施例中，第一活动杆421的两端及第二活动杆422的两端分别设有第一螺纹，并且第一活动杆421的两端及第二活动杆422的两端分别自对应的滑槽5内伸出。在使用时，通过多个螺母分别与第一活动杆421及第二活动杆422伸出至对应的滑槽5外的部分螺接，从而使得多个螺母分别与底座1或者活动台2抵紧，从而限制第一活动杆421与第二活动杆422的活动。第一活动杆421与第二活动杆422固定，活动台2也将固定于当前位置，从而防止活动台2出现垮塌，有效避免了安装事故出现。

在一些实施例中，螺母座431开设有与丝杠432螺接的第一螺纹孔(未示出)及沿丝杆的径向延伸的第二螺纹孔(未示出)，第二螺纹孔与第一螺纹孔连通。驱动装置4还包括与第二螺纹孔螺接的锁紧螺母(未示出)。

在具体应用时，通过丝杠432与螺母座431之间的螺接，活动台2一般不会在低温泵200放置于承载部31上时垮塌。但是低温泵200的重量较大，因此只依靠丝杠432与螺母座431之间的螺接可能会出现意外。

因此在本实施例中，螺母座431除了设有与丝杠432螺接的第一螺纹孔之外，还设有沿丝杠432径向延伸的第二螺纹孔，再通过锁紧螺母与第二螺纹孔螺接，从而使得锁紧螺母能够伸入第一螺纹孔内。锁紧螺母伸入第一螺纹孔内后会与丝杠432抵接，从而限制丝杠432的活动。当丝杠432固定时，活动台2也就固定在了当前位置，从而防止活动台2出现垮塌，有效避免了安装事故出现。

在一些实施例中，丝杠432远离第二活动杆422的一端设有转动手柄433。在使用辅助拆装工具100时，工作人员需要转动丝杠432，从而调整活动台2的位置。但是单纯的握持丝杠432进行转动时难以发力，使用难度较高。因此在本实施例中，丝杠432远离第二活动杆422的一端设有转动手柄433，从而使得工作人员转动丝杠432更加简单，操作使用辅助拆装工具100更加顺利。

辅助拆装工具100在具体使用时，工作人员可以通过转动转动手柄433带动丝杠432转动，而丝杠432在转动时会沿第三方向Y活动，丝杠432沿第三方向Y活动时带动第二活动杆422活动。当第二活动杆422活动时会带动两个第二活动端412b活动，而两个第二铰接端412a会相应的转动。此时，当第二活动杆422朝向两个第一支撑件411活动时，两个第二支撑件412的第二活动端412b会逐渐向两个第一支撑件411的第一铰接端411a靠近，从而使得活动台2沿第一方向Z远离底座1。

当第二活动杆422朝向远离两个第一支撑件411活动时，两个第二支撑件412的第二活动端412b会逐渐远离两个第一支撑件411的第一铰接端411a，从而使得活动台2沿第一方向Z靠近底座1。

也就是说，工作人员能够通过转动转动手柄433来调节活动台2的位置，如此使得承载座3上的承载部31能够运动至与低温泵200接触的位置。当活动台2运动至所需的位置时，工作人员可以通过锁紧螺母与第二螺纹孔螺接，从而使得锁紧螺母能够伸入第一螺纹孔内。锁紧螺母伸入第一螺纹孔内后会与丝杠432抵接，从而限制丝杠432的活动，从而将活动台2锁定在所需的位置。完成上述操作后，工作人员就可以进行低温泵的拆卸了。

以上所述实施例的各技术特征可以进行任意的组合，为使描述简洁，未对上述实施例中的各个技术特征所有可能的组合都进行描述，然而，只要这些技术特征的组合不存在矛盾，都应当认为是本说明书记载的范围。

以上所述实施例仅表达了本申请的几种实施方式，其描述较为具体和详细，但并不能因此而理解为对实用新型专利范围的限制。应当指出的是，对于本领域的普通技术人员来说，在不脱离本申请构思的前提下，还可以做出若干变形和改进，这些都属于本申请的保护范围。因此，本申请专利的保护范围应以所附权利要求为准。

Claims (10)

1.一种辅助拆装工具，用于辅助拆装低温泵，其特征在于，所述辅助拆装工具包括：

底座；

活动台，沿第一方向活动设于所述底座；

承载座，安装于所述活动台，所述承载座具有用于承载所述低温泵的承载部；以及

驱动装置，安装于所述底座，且所述驱动装置与所述活动台连接，以驱动所述活动台沿所述第一方向移动，而使所述承载座的所述承载部能够承接所述低温泵。

2.根据权利要求1所述的辅助拆装工具，其特征在于，所述辅助拆装工具包括多个所述承载座，多个所述承载座的所述承载部用于共同承载所述低温泵。

3.根据权利要求1所述的辅助拆装工具，其特征在于，所述活动台的顶部设有多个安装点，所述承载座可拆卸安装于任一所述安装点。

4.根据权利要求1所述的辅助拆装工具，其特征在于，所述活动台的顶部设有沿平行于所述承载部的方向延伸的滑轨，所述承载座沿所述滑轨的延伸方向滑动地连接于所述滑轨。

5.根据权利要求1至4任一项所述的辅助拆装工具，其特征在于，所述驱动装置包括：

两个支架，两个所述支架沿第二方向相对设置；每一所述支架包括交叉设置且彼此铰接的第一支撑件与第二支撑件，两个所述第一支撑件分别具有与所述底座铰接的第一铰接端及与所述第一铰接端相对设置的第一活动端，两个所述第二支撑件分别具有与所述活动台铰接的第二铰接端及与所述第二铰接端相对设置的第二活动端；

活动杆，包括与两个所述第一活动端分别连接的第一活动杆及与两个所述第二活动端分别连接的第二活动杆；所述第一活动杆沿第三方向滑动地连接于所述活动台，所述第二活动杆沿所述第三方向滑动地连接于所述底座；以及

丝杠机构，包括固定安装于所述底座的螺母座及与所述螺母座螺接的丝杠，所述丝杠沿所述第三方向延伸设置，且所述丝杠的一端与所述第二活动杆连接；

所述第一方向、所述第二方向及所述第三方向两两相交。

6.根据权利要求5所述的辅助拆装工具，其特征在于，所述底座与所述活动台上分别设有滑槽组，每一所述滑槽组包括沿所述第二方向相对间隔设置的两个滑槽，每一所述滑槽沿所述第三方向延伸设置；

所述第一活动杆与所述第二活动杆沿所述第二方向延伸设置，所述第一活动杆沿所述第三方向滑动安装于所述活动台上的两个所述滑槽内，所述第二活动杆沿所述第三方向滑动安装于所述底座上的两个所述滑槽内。

7.根据权利要求6所述的辅助拆装工具，其特征在于，所述第一活动杆的两端及所述第二活动杆的两端分别自对应的所述滑槽内伸出，且所述第一活动杆的两端及所述第二活动杆的两端分别设有第一螺纹；

所述驱动装置还包括与所述第一螺纹一一对应设置的多个螺母，多个所述螺母用以在所述承载座与所述低温泵抵接时与对应的所述第一螺纹螺接。

8.根据权利要求5所述的辅助拆装工具，其特征在于，所述螺母座开设有与所述丝杠螺接的第一螺纹孔及沿所述丝杠的径向延伸的第二螺纹孔，所述第二螺纹孔与所述第一螺纹孔连通；

所述驱动装置还包括与所述第二螺纹孔螺接的锁紧螺母。

9.根据权利要求5所述的辅助拆装工具，其特征在于，所述丝杠远离所述第二活动杆的一端设有转动手柄。

10.根据权利要求1所述的辅助拆装工具，其特征在于，所述承载部包括与所述低温泵的相应位置形状匹配的表面。

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