CN219066835U - 一种稳定的高精度微变间距吸盘装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型属于自动化技术领域，公开了一种稳定的高精度微变间距吸盘装置。区别现有技术的轴+直线轴承结构，提供一种直线导轨、定位块、连接块、定位板的限定移动结构，解决了污染硅片问题，并极大的改善了上述机构的稳定性，提高了使用寿命，使得这种变间距吸盘装置可以达到工业化规模应用水平。

Description

一种稳定的高精度微变间距吸盘装置

技术领域

本实用新型属于自动化技术领域，本实用新型涉及一种稳定的高精度微变间距吸盘装置。

背景技术

在面向光伏行业的自动化领域，存在着硅片的吸取与搬运的自动化需求，目前主流的210mm大硅片厚度＜0.2mm，在各工序之间的流转用花篮中两片间距在5mm左右，而各工序中使用的工作用花篮片间距根据产量与工艺的需求，片间距会存在一定变化，通常使用导片机重新排布间距。但是通过变间距机构，可以更快速精准的实现该目标。目前存在几种针对光伏电池片上下料需求的变间距的吸料结构，可以满足在自动化搬运硅片作业中超薄超多吸盘(单片厚度＜5mm，数量≥50)，精准定位(±0.1mm)，微变间距(＜0.7mm)的技术需求，但由于其机械结构的特点，稳定性不高，使用寿命不长，且在长期使用过程中会因磨损产生金属屑导致硅片受到污染。

一种高精度微变间距吸盘装置，公开号:CN113130367A，使用轴+直线轴承的形式进行承重与滑动，轴在承重弯曲的情况下使得直线轴承的运动在长时间运动时容易不流畅。

一种可调的微变间距吸盘装置，公开号:CN11313036-4A，同样使用轴+直线轴承的形式，且其使用铰链机构的动力传动方式机械效率较低，故障率也会因铰接点增加而提升。

实用新型内容

为了克服现有技术的不足，使得这种变间距工作方式的机构能在光伏自动化吸取硅片的过程中能够替代导片机机构，并真正满足工业生产所需的高效稳定，本实用新型提供一种稳定的高精度微变间距吸盘装置，区别现有技术的轴+直线轴承结构，提供一种直线导轨、定位块、连接块、定位板的限定移动结构，本实用新型采用不同的结构，解决了污染硅片问题，并极大的改善了上述机构的稳定性，提高了使用寿命，使得这种变间距吸盘装置可以达到工业化规模应用水平。

本实用新型的上述目的是通过以下技术方案实现的：

一种稳定的高精度微变间距吸盘装置，包括变间距吸盘机构、辅助机构；所述辅助机构包括支架组件、真空组件；真空组件、变间距吸盘机构设置在支架组件上，变间距吸盘机构上方与真空组件连接；变间距吸盘机构的一侧连接驱动组件；

所述变间距吸盘机构包括固定板A、固定板B、侧板；固定板A与固定板B的两端分别通过侧板连接，固定板A、固定板B、两个侧板构成一个无上下两面的长方体结构；长方体结构顶面盖设基板构成缺少底面的空腔；空腔内设有定位板组、若干个直线导轨；若干个直线导轨分别设置在侧板内侧；每个侧板设置的直线导轨个数相同且位置对应设置；每条直线导轨上安设有若干个滑块，每个侧板上设置在底部的直线导轨比其他直线导轨多安设一个滑块；所述定位板组包括若干个定位板；若干个定位板分别通过连接块或定位块与滑块连接，定位板的底部安装有陶瓷吸盘且定位板的气路与陶瓷吸盘的气腔相通；定位板可以在直线导轨上自由滑动；

所述定位板组两侧自上而下依次设置若干个定位块B、若干个连接块、若干个定位块A、若干个连接块、若干个定位块A；其中若干个连接块、若干个定位块A分别与直线导轨上的滑块连接实现带动定位板移动。螺钉贯穿侧板、定位块A或连接块与对应的定位板连接锁紧。

所述若干个定位板具体包括若干个定位板A、若干个定位板B、若干个定位板C；所述定位板按照定位板A、定位板B、定位板A、定位板C依次顺序设置，并可以在直线导轨上自由滑动；

所述固定板A、固定板B内侧均设有端面连接板；与固定板A连接的端面连接板记为端面连接板A，固定板A通过端面连接板A与端处设置的定位板A连接；此端命名为固定端；与固定板B连接的端面连接板记为端面固定板B，固定板B通过端面连接板B与端处设置的定位板B连接；此端命名为驱动端；

所述定位块B内部设有凹槽，用于与按定位板A、定位板B、定位板A顺序连接的定位板侧面连接。自上而下设置的第一层定位块A内部设有凹槽，用于与按定位板A、定位板C、定位板A顺序连接的定位板侧面连接。自上而下设置的第二层定位块A内部设有凹槽，用于与按定位板A、定位板B、定位板A顺序连接的定位板侧面连接。

连接块与定位板A的侧面连接，且同一侧的上下相邻两层的连接块交错设置。

进一步的，每个侧板外部均固定设有防护钣金。

所述真空组件包括真空腔、真空发生器；所述真空腔安装在基板上，真空腔侧面与真空发生器相连接；所述真空发生器上还设有消音器；真空发生器设置在支撑肋板上，真空发生器通过气管分别与真空电磁阀、真空表连接；真空腔设有若干个Y形快插接头A，快插接头A的个数为定位板个数的一半；真空腔上还设有快插接头B，快插接头B通过T形三通快插接头C与真空发生器的真空口相连接，每个定位板的顶部均安设快插接头C，用于与真空腔的快插接头A通过气管一一对应连接。

进一步的，所述快插接头B和快插接头A的接口直径不同；所述快插接头B设有两个。所述快插接头B用于真空腔抽真空。

所述驱动组件包括驱动气缸、浮动接头、气缸连接板，所述驱动气缸设置在气缸支架上，所述气缸支架连接设置在固定板B的一侧；所述驱动气缸上设有调速阀用于调节驱动气缸伸缩速度，且在驱动气缸前端通过浮动接头连接气缸连接板，所述气缸连接板与驱动端最外侧的端面连接板B、固定板B通过螺钉连接；从而可以由驱动气缸带动变间距吸盘机构的伸缩；

进一步的，所述驱动气缸为薄型气缸。所述调速阀设有2个。驱动组件还配设有用于驱动的气缸电磁阀。

所述支架组件包括机构安装板、机构主支架；机构安装板设置在机构主支架上，机构安装板与机构主支架之间通过设置支撑肋板加强固定；机构主支架底部与直线模组固定连接，直线模组驱动侧通过联轴器与伺服电机连接，直线模组固定在模组连接板上，模组连接板通过螺钉与基板连接，真空腔设置在模组连接板与基板之间；气缸电磁阀设置在机构安装板的一侧，真空电磁阀设置在机构主支架侧面，真空表设置在钣金真空表支架上且通过钣金真空表支架与基板连接固定。

所述定位板A的两侧边为矩形结构，定位板A两侧侧面的高度小于定位板C两侧侧面的凸起块高度，且定位板A两侧侧面的高度大于定位板C两侧侧面的凹陷处高度；定位板A两侧侧面的高度小于定位板B两侧侧面的凸起块高度，且定位板A两侧侧面的高度大于定位板B两侧侧面的凹陷处高度；定位板A通过连接块与直线导轨上的滑块连接，其为从动位；所述定位板B两侧为凹型结构，其上端的凸出块与定位块B的凹槽连接；其下端的凸出块与自上而下设置的第一层定位块A的凹槽连接，因其上下两端的凸出块分别在定位块B、定位块A的凹槽内可平移活动连接，称之为双定位；所述定位板C为凸型结构，中间凸起且上下两端凹陷，其中间凸起块与自上而下设置的第二层定位块A的凹槽连接，因其只有中间的凸起处在定位块A的凹槽内可平移活动连接，称之为单定位；

定位块A内部凹槽设有三个，中间凹槽深度大于两侧凹槽深度，且两侧凹槽深度相同，定位块A中间凹槽与定位板B、或定位板C的凸出块连接，所述定位块A两侧的凹槽用于与相邻的两个定位板连接；且每一个凹槽的宽度均大于对应定位板的宽度。所述定位块B内部凹槽设有三个，中间凹槽深度大于两侧凹槽深度，且两侧凹槽深度相同，定位块B中间凹槽与定位板B的凸出块连接，所述定位块B两侧的凹槽用于与两个定位板A连接；且每一个凹槽的宽度均大于对应定位板的宽度。

所述每个定位板下端设有凹槽，用于与陶瓷吸盘相连接。

装置还设有PLC控制系统，所述驱动气缸、真空电磁阀、气缸电磁阀、直线模组、伺服电机分别与PLC控制系统相连接。上述均不限制某一单一型号，实现其工作功能即可。

具体工作时，可根据工况，在机构安装板的背面安设竖直驱动机构，带动装置整体移动，竖直驱动机构包括但不限于下述一种形式，实现其功能即可，竖直驱动机构包括驱动伺服电机，驱动伺服电机连接竖直模组，竖直模组设置在模组连接板与机构安装板之间。实现带动整个装置的上下移动。驱动伺服电机、竖直模组分别与PLC控制系统相连接。上述均不限制某一单一型号，实现其工作功能即可。

定位板的底部安装有陶瓷吸盘且定位板的气路与陶瓷吸盘的气腔相通，陶瓷吸盘用于使用真空吸取硅片。通过定位板与定位块来对陶瓷吸盘进行精准定位和变距，当变间距吸盘机构处于压缩状态时，所有定位板被压合贴紧，通过各定位板的厚度进行定位；当变间距吸盘机构处于拉伸状态时，定位板会通过定位块拉动并限位相邻的定位板，此时定位块内可滑动的凹槽距离会形成定位板的间隙，从而实现了改变了陶瓷吸盘的间距。

本实用新型与现有技术相比的有益效果是：

本实用新型提供的一种稳定的高精度微变间距吸盘装置，在将硅片从流转用花篮搬运到工作用花篮过程中，通过改变吸盘的间距，实现对硅片进行精准的微变间距操作，且拥有高稳定性与长使用寿命。

本实用新型在应用于自动化设备后，具有以下优势:

1.由于可以替代导片机机构，本实用新型可以减少相关自动化设备的尺寸；

2.由于本实用新型可以快速精准完成变间距功能，并有效提升产能；

3.本实用新型能够避免硅片与皮带接触，可以完全消除硅片的皮带印，极大提升硅片的良率。

4.由于陶瓷吸盘特别的安装方式，使得更换单个破损陶瓷吸盘时，只需松开对应几个固定块的螺钉，而不需要拆除并重装整个装置，便于维护保养；

5.本实用新型无金属屑污染，稳定性高，使用寿命高，适合工业批量使用。

附图说明

图1是本实用新型稳定的高精度微变间距吸盘装置的结构示意图。

图2是本实用新型稳定的高精度微变间距吸盘装置的爆炸图。

图3是装置中变间距吸盘机构的整体爆炸图。

图4是实施例1中的定位块A尺寸图。

图5是装置张开状态下隐藏侧板时的三维示意图。

图6是图5状态下继续隐藏直线导轨及滑块时的三维示意图。

图7是图6状态下继续隐藏定位块及连接块时的三维示意图。

图8是装置闭合状态下隐藏侧板、直线导轨及滑块时的三维示意图。

图9是不同规格的定位板的示意图。图中a为定位板A，图中b为定位板B，图中c为定位板C。

图10是定位块的尺寸示意图。

图中：101.侧板，102.基板，103.固定板A，104.固定板B，105.防护钣金，106.直线导轨，107.滑块，108.定位块A，109.定位块B，110.连接块，111.定位板A，112.定位板B，113.定位板C，114.气缸连接板，115.端面连接板A，116.端面连接板B，117.驱动气缸，118.陶瓷吸盘，201.机构安装板，202.机构主支架，203.支撑肋板，204.钣金真空表支架，205.模组连接板，206.真空腔，207.快插接头A，208.真空发生器，209.真空表，210真空电磁阀，211.气缸电磁阀，212.直线模组，213.伺服电机。

具体实施方式

下面通过具体实施例详述本实用新型，但不限制本实用新型的保护范围。如无特殊说明，本实用新型所采用的实验方法均为常规方法，所用实验器材、材料、试剂等均可从商业途径获得。所述实施例的变间距吸盘机构考虑到变间距尺寸与直线导轨配套滑块最小尺寸，使用单侧设置4条直线导轨(共8条直线导轨导轨)的结构形式。

实施例1

一种稳定的高精度微变间距吸盘装置，包括变间距吸盘机构、辅助机构；所述辅助机构包括支架组件、真空组件；真空组件、变间距吸盘机构设置在支架组件上，变间距吸盘机构上方与真空组件连接；变间距吸盘机构的一侧连接驱动组件；

所述变间距吸盘机构包括固定板A 103、固定板B 104、侧板101；固定板A 103与固定板B 104的两端分别通过侧板101连接，固定板A 103、固定板B 104、两个侧板101构成一个无上下两面的长方体结构；长方体结构顶面盖设基板102构成缺少底面的空腔；空腔内设有定位板组、8个直线导轨106；8个直线导轨106分别设置在侧板101内侧；每个侧板101设置4个直线导轨106且位置对应设置；每条直线导轨106上安设有若干个滑块107，每个侧板101上设置在底部的直线导轨106比其他直线导轨106多安设一个滑块107；底部的直线导轨106安设13个滑块107；，即本实施例单侧共计安装49个滑块107，所述定位板组包括50片定位板(首片无需移动)；50片定位板分别通过连接块110或定位块与滑块107连接，定位板的底部安装有陶瓷吸盘118且定位板的气路与陶瓷吸盘118的气腔相通；50片定位板可以在直线导轨106上自由滑动；

所述定位板组两侧自上而下依次设置若干个定位块B 109、若干个连接块110、若干个定位块A 108、若干个连接块110、若干个定位块A 108；其中若干个连接块110、若干个定位块A 108分别与直线导轨106上的滑块107连接实现带动定位板移动。螺钉贯穿侧板101、定位块A 108或连接块110与对应的定位板连接锁紧。定位块A、定位块B、连接块110的个数根据定位板的个数和滑块107个数对应设置即可。

所述50片定位板具体包括若干个定位板A 111、若干个定位板B 112、若干个定位板C113；所述定位板按照定位板A 111、定位板B 112、定位板A 111、定位板C 113依次顺序设置，并可以在直线导轨106上自由滑动；

所述固定板A 103、固定板B 104内侧均设有端面连接板；与固定板A 103连接的端面连接板记为端面连接板A 115，固定板A 103通过端面连接板A 115与端处设置的定位板A111连接；此端命名为固定端；与固定板B 104连接的端面连接板记为端面固定板B 116，固定板B 104通过端面连接板B 116与端处设置的定位板B 112连接；此端命名为驱动端；

所述定位块B 109内部设有凹槽，用于与按定位板A 111、定位板B 112、定位板A111顺序连接的定位板侧面连接。自上而下设置的第一层定位块A 108内部设有凹槽，用于与按定位板A 111、定位板C 113、定位板A 111顺序连接的定位板侧面连接。自上而下设置的第二层定位块A内部设有凹槽，用于与按定位板A 111、定位板B 112、定位板A 111顺序连接的定位板侧面连接。

连接块110与定位板A 111的侧面连接，且同一侧的上下相邻两层的连接块110交错设置。

进一步的，每个侧板101外部均固定设有防护钣金105。

所述真空组件包括真空腔206、真空发生器208；所述真空腔206安装在基板102上，真空腔206侧面与真空发生器208相连接；所述真空发生器208上还设有消音器；真空发生器208设置在支撑肋板203上，真空发生器208通过气管分别与真空电磁阀210、真空表209连接；真空腔206设有25个Y形快插接头A 207，快插接头A 207的个数为定位板个数的一半；真空腔206上还设有快插接头B，快插接头B通过T形三通快插接头C与真空发生器208的真空口相连接，每个定位板的顶部均安设快插接头C，用于与真空腔206的快插接头A207通过气管一一对应连接。真空腔206与基板102之间使用密封剂进行密封后使用螺钉紧固。25个Y形快插接头207一分二后与上述50片陶瓷吸盘118所在的定位板上的快插接头C一一对应用气管连接，用于提供真空气路。

进一步的，所述快插接头B和快插接头A 207的接口直径不同；所述快插接头B设有两个。所述快插接头B用于真空腔206抽真空。

所述驱动组件包括驱动气缸117、浮动接头、气缸连接板114，所述驱动气缸117设置在气缸支架上，所述气缸支架连接设置在固定板B 104的一侧；所述驱动气缸117上设有调速阀用于调节驱动气缸117伸缩速度，且在驱动气缸117前端通过浮动接头连接气缸连接板114，所述气缸连接板114与驱动端最外侧的端面连接板B 116、固定板B 104通过螺钉连接；从而可以由驱动气缸117带动变间距吸盘机构的伸缩；

进一步的，所述驱动气缸117为薄型气缸。所述调速阀设有2个。驱动组件还配设有用于驱动的气缸电磁阀211。

所述支架组件包括机构安装板201、机构主支架202；机构安装板201设置在机构主支架202上，机构安装板201与机构主支架202之间通过设置支撑肋板203加强固定；机构主支架201底部与直线模组212固定连接，直线模组212驱动侧通过联轴器与伺服电机213连接，直线模组212固定在模组连接板205上，模组连接板205通过螺钉与基板102连接，真空腔206设置在模组连接板205与基板102之间；气缸电磁阀211设置在机构安装板201的一侧，真空电磁阀210设置在机构主支架202侧面，真空表209设置在钣金真空表支架204上且通过钣金真空表支架204与基板102连接固定。可以通过直线模组212带动变间距吸盘机构进行工艺微动调整。

所述定位板A 111的两侧边为矩形结构，定位板111A两侧侧面的高度小于定位板C113两侧侧面的凸起块高度，且定位板A 111两侧侧面的高度大于定位板C 113两侧侧面的凹陷处高度；定位板A 111两侧侧面的高度小于定位板B 112两侧侧面的凸起块高度，且定位板A 111两侧侧面的高度大于定位板B 112两侧侧面的凹陷处高度；定位板A 111通过连接块与直线导轨106上的滑块107连接，其为从动位；所述定位板B 112两侧为凹型结构，其上端的凸出块与定位块B 109的凹槽连接；其下端的凸出块与自上而下设置的第一层定位块A108的凹槽连接，因其上下两端的凸出块分别在定位块B 109、定位块A 108的凹槽内可平移活动连接，称之为双定位；所述定位板C 113为凸型结构，中间凸起且上下两端凹陷，其中间凸起块与自上而下设置的第二层定位块A 108的凹槽连接，因其只有中间的凸起处在定位块A 108的凹槽内可平移活动连接，称之为单定位；

定位块A 108内部凹槽设有三个，中间凹槽深度大于两侧凹槽深度，且两侧凹槽深度相同，定位块A 108中间凹槽与定位板B 112、或定位板C 113的凸出块连接，所述定位块A108两侧的凹槽用于与相邻的两个定位板连接；且每一个凹槽的宽度均大于对应定位板的宽度。所述定位块B 109内部凹槽设有三个，中间凹槽深度大于两侧凹槽深度，且两侧凹槽深度相同，定位块B 109中间凹槽与定位板B 112的凸出块连接，所述定位块B109两侧的凹槽用于与两个定位板A 111连接；且每一个凹槽的宽度均大于对应定位板的宽度。

所述每个定位板下端设有凹槽，用于与陶瓷吸盘118相连接。所述陶瓷吸盘118用于使用真空吸取硅片。

装置还设有PLC控制系统，所述驱动气缸117、真空电磁阀210、气缸电磁阀211、直线模组212、伺服电机213分别与PLC控制系统相连接。上述均不限制某一单一型号，实现其工作功能即可。

所述定位板B 112(双定位)的侧边具有上下两处凸出，其下方的凸出部分固定的是连接到滑块107上的定位块A 108，而上方的凸出部分固定的定位块B 109并没有连接到滑块107，所述定位块B 109起到的是平衡受力的作用，使得变间距吸盘机构在张开过程中，可以均匀的传递拉力。如此，最上层的定位块B 109与最下层的定位块A 108通过其中间的槽定位并固定在定位板B 112(双定位)上，定位块在两侧分别跨过定位板A 111(从动位)并且其定位边会处于定位板C 113(单定位)的侧边的上下两处空缺中，故不会发生干涉。同理，中间层的定位块A 108通过其中间的槽定位并固定在定位板C 113(单定位)上，所述中间层的定位块A108在两侧分别跨过定位板A 111(从动位)并且其定位边会处于定位板B112(双定位)的侧边的中间空缺中，同样不会发生干涉。

当变间距吸盘机构处于压缩状态时，驱动气缸117伸出，所有上述定位板沿直线导轨106压紧后无间隙，形成以所述定位板厚度为基准的间距。而当变间距吸盘机构处于拉伸状态时，定位板B 112(双定位)与相邻的两块定位板A 111(从动位)通过上层的定位块B109与下层的定位块A 108的两侧凹槽的侧壁限位，定位板C 113(单定位)与相邻的两块定位板A 111(从动位)通过中间的定位块A 108的两侧凹槽的侧壁限位，如此，位于一片定位板B 112(双定位)与一片定位板C 113(单定位)中间的一片定位板A 111(从动位)，便可通过上下层的定位块与中间的定位块形成两条通路来传递拉力，并可以保证在力传递时定位板受力均匀，使得驱动气缸117在收缩时可以依次带动全部50片定位板张开，形成以所述定位块内可移动的凹槽距离为基准的间隙。

在实际的工业生产中，本实用新型提供的装置的一种尺寸的实施例的使用情况如下：在光伏行业电池片的生产过程中，需要进行扩散、退火这两项工艺处理，这两种工艺主机较为相像，均是在高温的石英管中对硅片进行气相沉积，因此选用耐高温的石英花篮作为硅片的载具进入到工艺主机中，其间距为2.38mm，共100层。而在车间中，用于各个工艺主机之间转运硅片的花篮间距为5.44mm，共100层。通过本实用新型，可以无需其它设备来实现硅片在石英花篮与塑料花篮之间的转移。当塑料花篮中满载硅片运送至本机构，由辅助机构中的直线模组212带动变间距吸盘机构运动，将所述变间距吸盘机构的位置移动到塑料花篮取料位，驱动气缸117缩回，使得变间距吸盘机构处于拉伸状态，共50片定位板拉伸至定位块两侧开槽的侧壁，使得各个吸盘之间的间距等同于定位块两侧的开槽间距，即5.44mm。然后，承载本装置的竖直模组会下降到使硅片能够覆盖到陶瓷吸盘气孔的高度，随即真空打开，陶瓷吸盘118吸住硅片取走塑料花篮中一半的硅片，然后可通过包含上述竖直模组的其他运动机构，带动本装置运行至石英花篮的上方，并由辅助机构中的直线模组212带动变间距吸盘机构运动，将所述变间距吸盘机构的位置移动到石英花篮放料位。随即，驱动气缸117伸出，使得变间距吸盘机构处于压缩状态，所有定位板压紧贴合，使得各个陶瓷吸盘118之间的间距等同于定位板厚度，即4.76mm。随后，会有陶瓷分齿从石英花篮的底部顶出，上述竖直模组会下降至硅片底边贴近陶瓷分齿根部，随即陶瓷吸盘118破真空使硅片落至陶瓷分齿上，经护齿对硅片归正后陶瓷分齿落下使硅片进入100层的石英花篮中的奇数层或者偶数层，其间距为4.76mm，通过2次放料即可填满2.38mm间距的石英花篮。同样，从石英花篮中取出硅片放至塑料花篮的过程也与上述动作过程相对应。另外，实际生产中，在向石英花篮放料时会对两片硅片进行合片，从石英花篮取料时会对两片硅片进行分片，但均通过其他的附加机构执行，不影响本装置的上述基本流程。

以上所述实施方式仅为本实用新型的优选实施例，而并非本实用新型可行实施的全部实施例。对于本领域一般技术人员而言，在不背离本实用新型原理和精神的前提下对其所作出的任何显而易见的改动，都应当被认为包含在本实用新型的权利要求保护范围之内。

Claims (8)

1.一种稳定的高精度微变间距吸盘装置，其特征是，包括变间距吸盘机构、辅助机构；所述辅助机构包括支架组件、真空组件；真空组件、变间距吸盘机构设置在支架组件上，变间距吸盘机构上方与真空组件连接；变间距吸盘机构的一侧连接驱动组件；

所述变间距吸盘机构包括固定板A(103)、固定板B(104)、侧板(101)；固定板A(103)与固定板B(104)的两端分别通过侧板(101)连接，固定板A(103)、固定板B(104)、两个侧板(101)构成一个无上下两面的长方体结构；长方体结构顶面盖设基板(102)构成缺少底面的空腔；空腔内设有定位板组、若干个直线导轨(106)；若干个直线导轨(106)分别设置在侧板(101)内侧；每个侧板(101)设置的直线导轨(106)个数相同且位置对应设置；每条直线导轨(106)上安设有若干个滑块(107)，每个侧板(101)上设置在底部的直线导轨(106)比其他直线导轨(106)多安设一个滑块(107)；所述定位板组包括若干个定位板；若干个定位板分别通过连接块(110)或定位块与滑块(107)连接，定位板的底部安装有陶瓷吸盘(118)且定位板的气路与陶瓷吸盘(118)的气腔相通；定位板可以在直线导轨(106)上自由滑动；

所述定位板组两侧自上而下依次设置若干个定位块B(109)、若干个连接块(110)、若干个定位块A(108)、若干个连接块(110)、若干个定位块A(108)；其中若干个连接块(110)、若干个定位块A(108)分别与直线导轨(106)上的滑块(107)连接实现带动定位板移动。

2.如权利要求1所述的一种稳定的高精度微变间距吸盘装置，其特征是，螺钉贯穿侧板(101)、定位块A(108)或连接块(110)与对应的定位板连接锁紧。

3.如权利要求2所述的一种稳定的高精度微变间距吸盘装置，其特征是，所述若干个定位板具体包括若干个定位板A(111)、若干个定位板B(112)、若干个定位板C(113)；所述定位板按照定位板A(111)、定位板B(112)、定位板A(111)、定位板C(113)依次顺序设置，并可以在直线导轨(106)上自由滑动；

所述固定板A(103)、固定板B(104)内侧均设有端面连接板；与固定板A(103)连接的端面连接板记为端面连接板A(115)，固定板A(103)通过端面连接板A(115)与端处设置的定位板A(111)连接；此端命名为固定端；与固定板B(104)连接的端面连接板记为端面连接板B(116)，固定板B(104)通过端面连接板B(116)与端处设置的定位板B(112)连接；此端命名为驱动端。

4.如权利要求3所述的一种稳定的高精度微变间距吸盘装置，其特征是，所述定位块B(109)内部设有凹槽，用于与按定位板A(111)、定位板B(112)、定位板A(111)顺序连接的定位板侧面连接；自上而下设置的第一层定位块A(108)内部设有凹槽，用于与按定位板A(111)、定位板C(113)、定位板A(111)顺序连接的定位板侧面连接；自上而下设置的第二层定位块A内部设有凹槽，用于与按定位板A(111)、定位板B(112)、定位板A(111)顺序连接的定位板侧面连接；

连接块(110)与定位板A(111)的侧面连接，且同一侧的上下相邻两层的连接块(110)交错设置。

5.如权利要求4所述的一种稳定的高精度微变间距吸盘装置，其特征是，所述真空组件包括真空腔(206)、真空发生器(208)；所述真空腔(206)安装在基板(102)上，真空腔(206)侧面与真空发生器(208)相连接；所述真空发生器(208)上还设有消音器；真空发生器(208)设置在支撑肋板(203)上，真空发生器(208)通过气管分别与真空电磁阀(210)、真空表(209)连接；真空腔(206)设有若干个Y形快插接头A(207)，快插接头A(207)的个数为定位板个数的一半；真空腔(206)上还设有快插接头B，快插接头B通过T形三通快插接头C与真空发生器(208)的真空口相连接，每个定位板的顶部均安设快插接头C，用于与真空腔(206)的快插接头A(207)通过气管一一对应连接。

6.如权利要求5所述的一种稳定的高精度微变间距吸盘装置，其特征是，所述驱动组件包括驱动气缸(117)、浮动接头、气缸连接板(114)，所述驱动气缸(117)设置在气缸支架上，所述气缸支架连接设置在固定板B(104)的一侧；所述驱动气缸(117)上设有调速阀用于调节驱动气缸(117)伸缩速度，且在驱动气缸(117)前端通过浮动接头连接气缸连接板(114)，所述气缸连接板(114)与驱动端最外侧的端面连接板B(116)、固定板B(104)通过螺钉连接；从而可以由驱动气缸(117)带动变间距吸盘机构的伸缩；驱动组件还配设有用于驱动的气缸电磁阀(211)。

7.如权利要求6所述的一种稳定的高精度微变间距吸盘装置，其特征是，所述支架组件包括机构安装板(201)、机构主支架(202)；机构安装板(201)设置在机构主支架(202)上，机构安装板(201)与机构主支架(202)之间通过设置支撑肋板(203)加强固定；机构主支架(202)底部与直线模组(212)固定连接，直线模组(212)驱动侧通过联轴器与伺服电机(213)连接，直线模组(212)固定在模组连接板(205)上，模组连接板(205)通过螺钉与基板(102)连接，真空腔(206)设置在模组连接板(205)与基板(102)之间；气缸电磁阀(211)设置在机构安装板(201)的一侧，真空电磁阀(210)设置在机构主支架(202)侧面，真空表(209)设置在钣金真空表支架(204)上且通过钣金真空表支架(204)与基板(102)连接固定。

8.如权利要求7所述的一种稳定的高精度微变间距吸盘装置，其特征是，所述每个定位板下端设有凹槽，用于与陶瓷吸盘(118)相连接；所述陶瓷吸盘(118)用于使用真空吸取硅片。

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