CN113130367A - 一种高精度微变间距吸盘装置 - Google Patents
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Abstract
本发明属于光伏装置技术领域,公开了一种高精度微变间距吸盘装置。包括变间距吸盘机构、驱动机构、真空机构、支架机构,所述变间距吸盘机构设置在支架机构上,变间距吸盘机构上方连接有真空机构,所述变间距吸盘机构的一侧连接驱动机构;在将硅片从流转用花篮搬运到工作用花篮过程中,通过改变吸盘的间距,实现对硅片进行精准的微变间距操作。
Description
技术领域
本发明属于光伏装置技术领域,本发明涉及一种高精度微变间距吸盘装置。
背景技术
在面向光伏行业的自动化领域,存在着硅片的吸取与搬运的自动化需求,目前主流的210mm大硅片厚度<0.2mm,在各工序之间的流转用花篮中两片间距在5mm左右,而各工序中使用的工作用花篮的片间距根据产量与工艺的需求,片间距会存在一定变化,通常使用导片机重新排布间距。但是通过变间距机构,可以更快速精准的实现该目标。目前存在一些变间距的吸料结构,其工作方式及原理难以同时满足在自动化搬运硅片作业中超薄超多吸盘(单片厚度<5mm,数量≥50),精准定位(±0.1mm),微变间距(<0.7mm)的技术需求:
一种可变间距吸料装置,公开号:CN111890399AA,通过槽孔使用竖直力的水平分力,定位精度和承载能力不足。
一种可变间距多吸嘴吸头,公开号:CN111071790A,顶出时容易过定位且最大吸盘数量受限。
可变间距的吸盘工装,公开号:CN209999225U,连杆结构吸盘太薄时较难实现,连杆变形后定位精度难以保证。
发明内容
为了解决上述问题,使得这种变间距工作方式的机构能在光伏自动化吸取硅片的过程中能够替代导片机机构,本发明提供了一种高精度微变间距吸盘装置,在将硅片从流转用花篮搬运到工作用花篮过程中,通过改变吸盘的间距,实现对硅片进行精准的微变间距操作。
本发明的上述目的是通过以下技术方案实现的:
一种高精度微变间距吸盘装置,包括变间距吸盘机构、驱动机构、真空机构、支架机构,所述变间距吸盘机构设置在支架机构上,变间距吸盘机构上方连接有真空机构,所述变间距吸盘机构的一侧连接驱动机构;
所述支架机构包括基板、侧支撑板;所述侧支撑板设置在基板的下方并固定连接;所述基板沿其长边在左右两侧各开设一条长条;长条用于布置气管;
所述变间距吸盘机构包括滑动定位板组、若干个导向轴、导向轴背板;所述滑动定位板组包括若干个滑动定位板;所述导向轴的两端分别穿设有固定块A和固定块B;分别通过导向轴背板和螺钉将固定块A、固定块B固定在导向轴两端;所述固定块A和固定块B的侧面分别连接在侧支撑板上;所述若干个滑动定位板穿设在导向轴上且设置在固定块A和固定块B之间;所述固定块A与驱动机构相连接;与固定块A相临的滑动定位板为自由端最外侧的滑动定位板;自由端最外侧的滑动定位板与固定块A固定连接;每个滑动定位板的底部安装有陶瓷吸盘且滑动定位板的气路与陶瓷吸盘的气腔相通;所述滑动定位板可以在导向轴上自由滑动;
所述滑动定位板组两侧上下两端分别连接有若干个定位块A,滑动定位板组两侧中间端均连接有若干个定位块B;滑动定位板组靠近驱动机构一端其两侧上下两端分别连接有定位块C;
所述若干个滑动定位板具体包括若干个滑动定位板A、若干个滑动定位板B、若干个滑动定位板C;所述滑动定位板按照滑动定位板C、滑动定位板A、滑动定位板C、滑动定位板B依次顺序穿过导向轴设置,并可以在导向轴上自由滑动;
所述定位块B内部设有凹槽,用于与按滑动定位板C、滑动定位板B滑动定位板C顺序连接的滑动定位板侧面连接。所述定位块A内部设有凹槽,用于与按滑动定位板C、滑动定位板A、滑动定位板C顺序连接的滑动定位板侧面连接。
所述定位块C内部设有凹槽,用于定位自由端滑动定位板;其凹槽宽度大于滑动定位板宽度。
所述真空机构包括真空气腔、真空发生器;所述真空气腔安装在基板上,真空气腔侧面与真空发生器相连接;所述真空发生器设置在真空发生器支架上,真空发生器支架固定设置在基板的侧面,所述真空发生器上还设有消音器;所述真空气腔侧面连接有快插接头B和快插接头C;快插接头C的另一侧与真空发生器的真空口相连接,快插接头B的底部连接快插接头D;快插接头D设置在滑动定位板上方,快插接头D通过滑动定位板的气路与陶瓷吸盘的气腔相通;
进一步的,所述快插接头B和快插接头C的接口直径不同;所述快插接头B设有若干个,所述快插接头C设有两个。所述快插接头C用于真空气腔抽真空。
进一步的,所述真空发生器设有两个,两个真空发生器通过快插接头A连接固定在一起,且通过快插接头A统一进气并由消音器出气。
所述驱动机构包括气缸、浮动接头、气缸连接块,所述气缸设置在气缸支架上,所述气缸支架连接设置在固定块A的一侧;所述气缸上设有调速阀用于调节气缸伸缩速度,且在气缸前端通过浮动接头连接气缸连接块,所述气缸连接块与自由端最外侧的滑动定位板通过螺钉连接;从而可以由气缸带动变间距吸盘机构的伸缩;
进一步的,所述气缸为薄型气缸。所述调速阀设有2个。
进一步的,所述支架机构包括一个基板与两个侧支撑板,所述基板在底面两侧分别固定连接有侧支撑板,所述基板在顶面设有一圈密封圈槽,一圈密封圈槽用于基板与真空气腔连接时能够使用密封圈密封;所述基板沿其长边在左右两侧各开设一条长条;长条用于布置气管,其中长条具体用于布置真空气腔上侧面设置的若干个快插接头B与滑动定位板上方设置的快插接头D之间连接的气管。
所述滑动定位板A两侧为凹型结构,其上下两端的凸出块分别与定位块A的凹槽连接;因其上下两端的凸出块分别在定位块A的凹槽内可平移活动连接,称之为双定位;所述滑动定位板B为凸型结构,中间凸起且上下两端凹陷,其中间凸起块与定位块B的凹槽连接,因其只有中间的凸起处在定位块B的凹槽内可平移活动连接,称之为单定位;所述滑动定位板C两侧边为矩形结构,所述滑动定位板C两侧侧面的高度小于滑动定位板B两侧侧面的凸起块高度,且滑动定位板C两侧侧面的高度大于滑动定位板B两侧侧面的凹陷处高度;所述滑动定位板C两侧侧面的高度小于滑动定位板A两侧侧面的凸出块高度,且滑动定位板C两侧侧面的高度大于滑动定位板A两侧侧面的凹陷处高度;
所述滑动定位板A上下两端凸出块分别与滑动定位板B上下两端的凹陷处长度相等;
进一步的,定位块A内部凹槽设有三个,中间凹槽深度大于两侧凹槽深度,且两侧凹槽深度相同,定位块A中间凹槽与滑动定位板A的凸出块连接,所述定位块A两侧的凹槽用于与两个滑动定位板C连接;且每一个凹槽的宽度均大于对应滑动定位板的宽度。所述定位块B内部凹槽设有三个,中间凹槽深度大于两侧凹槽深度,且两侧凹槽深度相同,定位块B中间凹槽与滑动定位板B的凸出块连接,所述定位块B两侧的凹槽用于与两个滑动定位板C连接;且每一个凹槽的宽度均大于对应滑动定位板的宽度。
所述每个滑动定位板下端设有凹槽,用于与陶瓷吸盘相连接。
本发明与现有技术相比的有益效果是:
由于可以替代导片机机构,本发明可以减少相关自动化设备的尺寸;而且本发明可以快速精准完成变间距功能,并有效提升产能;更重要的是本发明能够避免硅片与皮带接触,可以完全消除硅片的皮带印,极大提升硅片的良率。
附图说明
图1为本发明实施例1中的一种高精度微变间距吸盘装置的示意图。
图2为图1装置在压缩状态时的局部示意图。
图3为图1装置在拉伸状态时的局部示意图。
图4为本发明实施例1中的一种高精度微变间距吸盘装置压缩状态时去除部分固定块的示意图。
图5为本发明实施例1中的一种高精度微变间距吸盘装置拉伸状态时去除部分固定块的示意图。
图6为图4的局部示意图。
图7为图5的局部示意图。
图8为滑动定位板B的结构图。
图9为滑动定位板A的结构图。
图10为滑动定位板C的结构图。
图中:101.固定块A,102.固定块B,103.导向轴,104.导向轴背板,105.滑动定位板A,106.滑动定位板B,107.滑动定位板C,108.定位块B,109.定位块A,110.定位块C,111.陶瓷吸盘,201.基板,202.侧支撑板,301.气缸支架,302.气缸连接块,303.薄型气缸,304.浮动接头,305.调速阀,401.真空气腔,402.真空发生器支架,403.真空发生器,404.快插接头A,405.快插接头B,406.快插接头C,407.消音器,408.快插接头D。
具体实施方式
下面通过具体实施例详述本发明,但不限制本发明的保护范围。如无特殊说明,本发明所采用的实验方法均为常规方法,所用实验器材、材料、试剂等均可从商业途径获得。
实施例1
一种高精度微变间距吸盘装置,包括变间距吸盘机构、驱动机构、真空机构、支架机构,所述变间距吸盘机构设置在支架机构上,变间距吸盘机构上方连接有真空机构,所述变间距吸盘机构的一侧连接驱动机构;
所述支架机构包括基板201、侧支撑板202;所述侧支撑板202设置在基板201的下方并固定连接;所述基板201沿其长边在左右两侧各开设一条长条;长条用于布置气管;
所述变间距吸盘机构包括滑动定位板组、4个导向轴103、导向轴背板104;所述滑动定位板组包括若干个滑动定位板;所述导向轴103的两端分别穿设有固定块A 101和固定块B 102;分别通过导向轴背板104和螺钉将固定块A 101、固定块B 102固定在导向轴103两端;所述固定块A 101和固定块B 102的侧面分别连接在侧支撑板202上;所述若干个滑动定位板穿设在导向轴103上且设置在固定块A 101和固定块B 102之间;所述固定块A 101与驱动机构相连接;与固定块A 101相临的滑动定位板为自由端最外侧的滑动定位板;自由端最外侧的滑动定位板与固定块A 101固定连接;每个滑动定位板的底部安装有陶瓷吸盘111且滑动定位板的气路与陶瓷吸盘111的气腔相通;所述滑动定位板可以在导向轴103上自由滑动;
所述滑动定位板组两侧上下两端分别连接有若干个定位块A 109,滑动定位板组两侧中间端均连接有若干个定位块B 108;滑动定位板组靠近驱动机构一端其两侧上下两端分别连接有定位块C 110;
所述若干个滑动定位板具体为50个滑动定位板,包括若干个滑动定位板A 105、若干个滑动定位板B 106、若干个滑动定位板C 107;总计50片滑动定位板按照滑动定位板C107(从动),滑动定位板A 105(双定位),滑动定位板C 107(从动),滑动定位板B 106(单定位)的成组顺序,穿过导向轴103并可以自由滑动,其中靠近固定块B 102的滑动定位板C107(从动)固定在固定块B 102上;所述滑动定位板的底部安装有陶瓷吸盘111,通过滑动定位板顶部的快插接头D 408可以连通到陶瓷吸盘111的气腔,所述滑动定位板A 105(双定位)和滑动定位板B 106(单定位)的两侧分别固定了定位块A 109(短)与定位块B 108(长),且仅在靠近固定块B 102的自由端滑动定位板的两侧使用定位块C 110(单侧)。
所述定位块B 108内部设有凹槽,用于与按滑动定位板C 107、滑动定位板B 106滑动定位板C 107顺序连接的滑动定位板侧面连接。所述定位块A109内部设有凹槽,用于与按滑动定位板C 107、滑动定位板A 105、滑动定位板C 107顺序连接的滑动定位板侧面连接。
所述定位块C 110内部设有凹槽,用于定位自由端滑动定位板;其凹槽宽度大于滑动定位板宽度。
所述真空机构包括真空气腔401、真空发生器403;所述真空气腔401安装在基板201上,真空气腔401侧面与真空发生器403相连接;所述真空发生器403设置在真空发生器支架402上,真空发生器支架402固定设置在基板201的侧面,所述真空发生器403上还设有消音器407;所述真空气腔401侧面连接有快插接头B 405和快插接头C 406;快插接头C 406的另一侧与真空发生器403的真空口相连接,快插接头B405的底部连接快插接头D 408;快插接头D 408设置在滑动定位板上方,快插接头D408通过滑动定位板的气路与陶瓷吸盘111的气腔相通;
进一步的,所述快插接头B 405和快插接头C 406的接口直径不同;所述快插接头B405设有若干个,所述快插接头C 406设有两个。所述快插接头C 406用于真空气腔抽真空。
进一步的,所述真空发生器403设有两个,两个真空发生器403通过快插接头A404连接固定在一起,且通过快插接头A 404统一进气并由消音器407出气。
所述驱动机构包括气缸、浮动接头304、气缸连接块302,所述气缸设置在气缸支架301上,所述气缸支架301连接设置在固定块A 101的一侧;所述气缸上设有调速阀305用于调节气缸伸缩速度,且在气缸前端通过浮动接头304连接气缸连接块302,所述气缸连接块302与自由端最外侧的滑动定位板通过螺钉连接;从而可以由气缸带动变间距吸盘机构的伸缩;
进一步的,所述气缸为薄型气缸303。所述调速阀305设有2个。
进一步的,所述支架机构包括一个基板201与两个侧支撑板202,所述基板201在底面两侧分别固定连接有侧支撑板202,所述基板201在顶面设有一圈密封圈槽,一圈密封圈槽用于基板201与真空气腔401连接时能够使用密封圈密封;所述基板201沿其长边在左右两侧各开设一条长条;长条用于布置气管,其中长条具体用于布置真空气腔401上侧面设置的若干个快插接头B 405与滑动定位板上方设置的快插接头D408之间连接的气管。
所述滑动定位板A 105两侧为凹型结构,其上下两端的凸出块分别与定位块A 109的凹槽连接;因其上下两端的凸出块分别在定位块A 109的凹槽内可平移活动连接,所以为双定位;所述滑动定位板B 106为凸型结构,中间凸起且上下两端凹陷,其中间凸起块与定位块B 108的凹槽连接,因其只有中间的凸起处在定位块B 108的凹槽内可平移活动连接,所以为单定位;所述滑动定位板C 107两侧边为矩形结构,所述滑动定位板C 107两侧侧面的高度小于滑动定位板B 106两侧侧面的凸起块高度,且滑动定位板C 107两侧侧面的高度大于滑动定位板B 106两侧侧面的凹陷处高度;所述滑动定位板C 107两侧侧面的高度小于滑动定位板A 105两侧侧面的凸出块高度,且滑动定位板C 107两侧侧面的高度大于滑动定位板A 105两侧侧面的凹陷处高度;
所述滑动定位板A 105上下两端凸出块分别与滑动定位板B 106上下两端的凹陷处长度相等;
进一步的,定位块A 109内部凹槽设有三个,中间凹槽深度大于两侧凹槽深度,且两侧凹槽深度相同,定位块A 109中间凹槽与滑动定位板A的凸出块连接,所述定位块A 109两侧的凹槽用于与两个滑动定位板C 107连接;且每一个凹槽的宽度均大于对应滑动定位板的宽度。所述定位块B 108内部凹槽设有三个,中间凹槽深度大于两侧凹槽深度,且两侧凹槽深度相同,定位块B 108中间凹槽与滑动定位板B 106的凸出块连接,所述定位块B 108两侧的凹槽用于与两个滑动定位板C 107连接;且每一个凹槽的宽度均大于对应滑动定位板的宽度。
所述每个滑动定位板下端设有凹槽,用于与陶瓷吸盘111相连接。
在水平方向上,所述滑动定位板B 106的长度小于滑动定位板C 107的长度。
由图2所示,上下两层的定位块A 109(短)通过其中间的凹槽定位并固定在滑动定位板A 105(双定位)上,所述定位块A 109(短)在两侧分别跨过滑动定位板C107(从动),且所述定位块A 109(短)的侧壁位于在滑动定位板B 106(单定位)上下两端的空缺中;不会发生干涉。同理,中间层的定位块B 108(长)通过其中间的凹槽定位并固定在滑动定位板B106(单定位)上,所述定位块B 108(长)在两侧也分别跨过滑动定位板C 107(从动),而所述定位块B 108(长)的侧壁位于在滑动定位板A 105(双定位)中间的空缺中。
当变间距吸盘机构处于压缩状态时,如图2所示,所有滑动定位板压紧无间隙,形成以滑动定位板厚度为基准的间距,而当变间距吸盘机构处于拉伸状态时,如图3所示,滑动定位板A 105(双定位)与相邻的两块滑动定位板C 107(从动)通过定位块A 109的两侧凹槽的侧壁限位,滑动定位板B 106(单定位)与相邻的两块滑动定位板C 107(从动)通过定位块B 108的两侧凹槽的侧壁限位,而上述两组基本结构就通过中间的一片滑动定位板C 107(从动)实现拉力的传递,使得在拉动自由端滑动定位板时可以带动全部50片滑动定位板,形成以所述定位块内可滑动的凹槽距离为基准的间隙。
图4是高精度微变间距吸盘装置压缩状态时将部分固定块去除后的示意图,以便看清楚具体的滑动定位板的形状,具体使用时固定块是不去除的。图5对应的是高精度微变间距吸盘装置拉伸状态时将部分固定块去除后的示意图,以便看清楚具体的滑动定位板的形状,具体使用时固定块是不去除的。
本发明的核心思想是通过滑动定位板与定位块来对吸盘进行精准定位和变距,当变间距吸盘机构处于压缩状态时,所有滑动定位板被压合贴紧,通过各滑动定位板的厚度进行定位;当变间距吸盘机构处于拉伸状态时,滑动定位板会通过定位块拉动并限位相邻的滑动定位板,此时定位块内可滑动的凹槽距离会形成滑动定位板的间隙,从而实现了改变了吸盘的间距。
以上所述实施方式仅为本发明的优选实施例,而并非本发明可行实施的全部实施例。对于本领域一般技术人员而言,在不背离本发明原理和精神的前提下对其所作出的任何显而易见的改动,都应当被认为包含在本发明的权利要求保护范围之内。
Claims (8)
1.一种高精度微变间距吸盘装置,其特征是,包括变间距吸盘机构、驱动机构、真空机构、支架机构,所述变间距吸盘机构设置在支架机构上,变间距吸盘机构上方连接有真空机构,所述变间距吸盘机构的一侧连接驱动机构;
所述支架机构包括基板(201)、侧支撑板(202);所述侧支撑板(202)设置在基板(201)的下方并固定连接;
所述变间距吸盘机构包括滑动定位板组、若干个个导向轴(103)、导向轴背板(104);所述滑动定位板组包括若干个滑动定位板;所述导向轴(103)的两端分别穿设有固定块A(101)和固定块B(102);分别通过导向轴背板(104)和螺钉将固定块A(101)、固定块B(102)固定在导向轴(103)两端;所述固定块A(101)和固定块B(102)的侧面分别连接在侧支撑板(202)上;所述若干个滑动定位板穿设在导向轴(103)上且设置在固定块A(101)和固定块B(102)之间;所述固定块A(101)与驱动机构相连接;与固定块A(101)相临的滑动定位板为自由端最外侧的滑动定位板;自由端最外侧的滑动定位板与固定块A(101)固定连接;每个滑动定位板的底部安装有陶瓷吸盘(111)且滑动定位板的气路与陶瓷吸盘(111)的气腔相通;所述滑动定位板可以在导向轴(103)上自由滑动;
所述滑动定位板组两侧上下两端分别连接有若干个定位块A(109),滑动定位板组两侧中间端均连接有若干个定位块B(108);滑动定位板组靠近驱动机构一端其两侧上下两端分别连接有定位块C(110)。
2.如权利要求1所述的一种高精度微变间距吸盘装置,其特征是,所述若干个滑动定位板具体为50个滑动定位板,包括若干个滑动定位板A(105)、若干个滑动定位板B(106)、若干个滑动定位板C(107);所述滑动定位板按照滑动定位板C(107)、滑动定位板A(105)、滑动定位板C(107)、滑动定位板B(106)依次顺序穿过导向轴设置,
所述定位块B(108)内部设有凹槽,用于与按滑动定位板C(107)、滑动定位板B(106)滑动定位板C(107)顺序连接的滑动定位板侧面连接;所述定位块A(109)内部设有凹槽,用于与按滑动定位板C(107)、滑动定位板A(105)、滑动定位板C(107)顺序连接的滑动定位板侧面连接;
所述定位块C(110)内部设有凹槽,用于定位自由端滑动定位板;其凹槽宽度大于滑动定位板宽度。
3.如权利要求2所述的一种高精度微变间距吸盘装置,其特征是,所述真空机构包括真空气腔(401)、真空发生器(403);所述真空气腔(401)安装在基板(201)上,真空气腔(401)侧面与真空发生器(403)相连接;所述真空发生器(403)设置在真空发生器支架(402)上,真空发生器支架(402)固定设置在基板(201)的侧面,所述真空发生器(403)上还设有消音器(407);所述真空气腔(401)侧面连接有快插接头B(405)和快插接头C(406);快插接头C(406)的另一侧与真空发生器(403)的真空口相连接,快插接头B(405)的底部连接快插接头D(408);快插接头D(408)设置在滑动定位板上方,快插接头D(408)通过滑动定位板的气路与陶瓷吸盘(111)的气腔相通。
4.如权利要求3所述的一种高精度微变间距吸盘装置,其特征是,所述真空发生器(403)设有两个,两个真空发生器(403)通过快插接头A(404)连接固定在一起,且通过快插接头A(404)统一进气并由消音器(407)出气。
5.如权利要求4所述的一种高精度微变间距吸盘装置,其特征是,所述驱动机构包括气缸、浮动接头(304)、气缸连接块(302),所述气缸设置在气缸支架(301)上,所述气缸支架(301)连接设置在固定块A(101)的一侧;所述气缸上设有调速阀(305)用于调节气缸伸缩速度,且在气缸前端通过浮动接头(304)连接气缸连接块(302),所述气缸连接块(302)与自由端最外侧的滑动定位板通过螺钉连接;从而可以由气缸带动变间距吸盘机构的伸缩。
6.如权利要求5所述的一种高精度微变间距吸盘装置,其特征是,所述支架机构包括一个基板(201)与两个侧支撑板(202),所述基板(201)在底面两侧分别固定连接有侧支撑板(202),所述基板(201)在顶面设有一圈密封圈槽,一圈密封圈槽用于基板(201)与真空气腔(401)连接时能够使用密封圈密封;所述基板(201)沿其长边在左右两侧各开设一条长条;长条用于布置气管,其中长条具体用于布置真空气腔(401)上侧面设置的若干个快插接头B(405)与滑动定位板上方设置的快插接头D(408)之间连接的气管。
7.如权利要求6所述的一种高精度微变间距吸盘装置,其特征是,所述滑动定位板A(105)两侧为凹型结构,其上下两端的凸出块分别与定位块A(109)的凹槽连接;因其上下两端的凸出块分别在定位块A(109)的凹槽内可平移活动连接,所述滑动定位板B(106)为凸型结构,中间凸起且上下两端凹陷,其中间凸起块与定位块B(108)的凹槽连接,因其只有中间的凸起处在定位块B(108)的凹槽内可平移活动连接,所述滑动定位板C(107)两侧边为矩形结构,所述滑动定位板C(107)两侧侧面的高度小于滑动定位板B(106)两侧侧面的凸起块高度,且滑动定位板C(107)两侧侧面的高度大于滑动定位板B(106)两侧侧面的凹陷处高度;所述滑动定位板C(107)两侧侧面的高度小于滑动定位板A(105)两侧侧面的凸出块高度,且滑动定位板C(107)两侧侧面的高度大于滑动定位板A(105)两侧侧面的凹陷处高度;
所述滑动定位板A(105)上下两端凸出块分别与滑动定位板B(106)上下两端的凹陷处长度相等。
8.如权利要求6所述的一种高精度微变间距吸盘装置,其特征是,定位块A(109)内部凹槽设有三个,中间凹槽深度大于两侧凹槽深度,且两侧凹槽深度相同,定位块A(109)中间凹槽与滑动定位板A(105)的凸出块连接,所述定位块A(109)两侧的凹槽用于与两个滑动定位板C(107)连接;且每一个凹槽的宽度均大于对应滑动定位板的宽度;所述定位块B(108)内部凹槽设有三个,中间凹槽深度大于两侧凹槽深度,且两侧凹槽深度相同,定位块B(108)中间凹槽与滑动定位板B(106)的凸出块连接,所述定位块B(108)两侧的凹槽用于与两个滑动定位板C(107)连接;且每一个凹槽的宽度均大于对应滑动定位板的宽度;
所述每个滑动定位板下端设有凹槽,用于与陶瓷吸盘(111)相连接。
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JP5146707B1 (ja) * | 2011-09-22 | 2013-02-20 | プラス精機株式会社 | 積層物ピッチ変更装置 |
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