CN219063110U - 超高纯气体分配供气系统 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开了一种超高纯气体分配供气系统，第一过滤器通过气动隔膜阀与调压阀相连，调压阀的出气口设置有压力表，调压阀还通过第二过滤器与两路的第一主控隔膜阀、第二主控隔膜阀相连，第二过滤器还与真空发生器相连，第一主控隔膜阀与第一单向阀相连，第二主控隔膜阀与第二单向阀相连，第一单向阀与一路供气出口相连，第二单向阀与另一路供气出口相连，真空发生器通过第三单向阀和真空吹扫隔膜阀相连。本实用新型安全性能好，气动隔膜阀控制气路开关，有气体泄漏时会紧急切断，后端还有真空发生器负压吹扫，适用于超高纯气体上，一进两出气体分配，使用方便可靠，实用性强。
Description
技术领域
本实用新型涉及的是一种供气系统，具体涉及一种超高纯气体分配供气系统。
背景技术
传统的一进两出的供气系统，由于控制面板管路结构设计结构不合理，一旦管路出现气体泄漏，无法立即切断气源，而且管路没有设计过滤及负压吹扫，导致提供的气体不能达到超高纯度。为了解决上述问题，本实用新型设计了一种超高纯气体分配供气系统。
实用新型内容
针对现有技术上存在的不足，本实用新型目的是在于提供一种超高纯气体分配供气系统，安全性能好，气动隔膜阀控制气路开关，有气体泄漏时会紧急切断，后端还有真空发生器负压吹扫，适用于超高纯气体上，一进两出气体分配，使用方便可靠，实用性强。
为了实现上述目的，本实用新型是通过如下的技术方案来实现：超高纯气体分配供气系统，包括第一过滤器、气动隔膜阀、调压阀、压力表、第二过滤器、第一主控隔膜阀、第二主控隔膜阀、第一单向阀、第二单向阀、真空发生器、第三单向阀和真空吹扫隔膜阀，第一过滤器通过气动隔膜阀与调压阀相连，调压阀的出气口设置有压力表，调压阀还通过第二过滤器与两路的第一主控隔膜阀、第二主控隔膜阀相连，第二过滤器还与真空发生器相连，第一主控隔膜阀与第一单向阀相连，第二主控隔膜阀与第二单向阀相连，第一单向阀与一路供气出口相连，第二单向阀与另一路供气出口相连，真空发生器通过第三单向阀和真空吹扫隔膜阀相连。
作为优选，所述的气动隔膜阀常开。
本实用新型的有益效果：本实用新型的结构设计合理，安全性能好，气动隔膜阀控制气路开关，有气体泄漏时会紧急切断，后端还有真空发生器负压吹扫，适用于超高纯气体上，一进两出气体分配，使用方便可靠，实用性强。
附图说明
下面结合附图和具体实施方式来详细说明本实用新型；
图1为本实用新型的结构示意图。
具体实施方式
为使本实用新型实现的技术手段、创作特征、达成目的与功效易于明白了解，下面结合具体实施方式，进一步阐述本实用新型。
参照图1，本具体实施方式采用以下技术方案：超高纯气体分配供气系统，包括第一过滤器1、气动隔膜阀2、调压阀3、压力表4、第二过滤器5、第一主控隔膜阀6、第二主控隔膜阀7、第一单向阀8、第二单向阀9、真空发生器10、第三单向阀11和真空吹扫隔膜阀12，第一过滤器1通过气动隔膜阀2与调压阀3相连，调压阀3的出气口设置有压力表4，调压阀3还通过第二过滤器5与两路的第一主控隔膜阀6、第二主控隔膜阀7相连，第二过滤器5还与真空发生器10相连，第一主控隔膜阀6与第一单向阀8相连，第二主控隔膜阀7与第二单向阀9相连，第一单向阀8与一路供气出口相连，第二单向阀9与另一路供气出口相连，真空发生器10通过第三单向阀11和真空吹扫隔膜阀12相连。
值得注意的是，所述的气动隔膜阀2常开。
本具体实施方式的工作原理：气体由管路进入面板后先经过第一过滤器(初级过滤器)再经过气动隔膜阀，气动隔膜阀常开，(有气体泄漏信号的时候会紧急切断，停止供气)，然后通过减压器调好压力经过第二过滤器(精细过滤器)后分为两路供气，由各自的主控隔膜阀控制供气，右侧为气路真空负压吹扫,真空发生器在吹扫过程中引入真空，改善吹扫和工艺气体的稀释作用。此面板一般用于高纯气体。
本具体实施方式的结构设计合理，安全性能好，气动隔膜阀控制气路开关，有气体泄漏时会紧急切断，后端还有真空发生器负压吹扫，适用于超高纯气体上，一进两出气体分配，使用方便可靠，实用性强。
以上显示和描述了本实用新型的基本原理和主要特征和本实用新型的优点。本行业的技术人员应该了解，本实用新型不受上述实施例的限制，上述实施例和说明书中描述的只是说明本实用新型的原理，在不脱离本实用新型精神和范围的前提下，本实用新型还会有各种变化和改进，这些变化和改进都落入要求保护的本实用新型范围内。本实用新型要求保护范围由所附的权利要求书及其等效物界定。
Claims (2)
1.超高纯气体分配供气系统，其特征在于，包括第一过滤器(1)、气动隔膜阀(2)、调压阀(3)、压力表(4)、第二过滤器(5)、第一主控隔膜阀(6)、第二主控隔膜阀(7)、第一单向阀(8)、第二单向阀(9)、真空发生器(10)、第三单向阀(11)和真空吹扫隔膜阀(12)，第一过滤器(1)通过气动隔膜阀(2)与调压阀(3)相连，调压阀(3)的出气口设置有压力表(4)，调压阀(3)还通过第二过滤器(5)与两路的第一主控隔膜阀(6)、第二主控隔膜阀(7)相连，第二过滤器(5)还与真空发生器(10)相连，第一主控隔膜阀(6)与第一单向阀(8)相连，第二主控隔膜阀(7)与第二单向阀(9)相连，第一单向阀(8)与一路供气出口相连，第二单向阀(9)与另一路供气出口相连，真空发生器(10)通过第三单向阀(11)和真空吹扫隔膜阀(12)相连。
2.根据权利要求1所述的超高纯气体分配供气系统，其特征在于，所述的气动隔膜阀(2)常开。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN202223251771.7U CN219063110U (zh) | 2022-12-05 | 2022-12-05 | 超高纯气体分配供气系统 |
Applications Claiming Priority (1)
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|---|---|---|---|
| CN202223251771.7U CN219063110U (zh) | 2022-12-05 | 2022-12-05 | 超高纯气体分配供气系统 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN219063110U true CN219063110U (zh) | 2023-05-23 |
Family
ID=86366941
Family Applications (1)
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|---|---|---|---|
| CN202223251771.7U Active CN219063110U (zh) | 2022-12-05 | 2022-12-05 | 超高纯气体分配供气系统 |
Country Status (1)
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|---|---|
| CN (1) | CN219063110U (zh) |
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2022
- 2022-12-05 CN CN202223251771.7U patent/CN219063110U/zh active Active
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