CN219025071U - 一种吸嘴清洗装置 - Google Patents
一种吸嘴清洗装置 Download PDFInfo
- Publication number
- CN219025071U CN219025071U CN202221646379.XU CN202221646379U CN219025071U CN 219025071 U CN219025071 U CN 219025071U CN 202221646379 U CN202221646379 U CN 202221646379U CN 219025071 U CN219025071 U CN 219025071U
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- suction nozzle
- brush
- filter element
- nozzle cleaning
- cleaning device
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 title claims abstract description 65
- 239000007788 liquid Substances 0.000 claims description 20
- 238000001179 sorption measurement Methods 0.000 claims description 9
- 238000005507 spraying Methods 0.000 claims description 9
- 239000007921 spray Substances 0.000 claims description 3
- 230000009286 beneficial effect Effects 0.000 abstract description 3
- LFQSCWFLJHTTHZ-UHFFFAOYSA-N Ethanol Chemical compound CCO LFQSCWFLJHTTHZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 230000001680 brushing effect Effects 0.000 description 2
- 238000007789 sealing Methods 0.000 description 2
- 230000000903 blocking effect Effects 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 239000000428 dust Substances 0.000 description 1
- 238000005086 pumping Methods 0.000 description 1
- 238000006467 substitution reaction Methods 0.000 description 1
Images
Landscapes
- Cleaning In General (AREA)
Abstract
本实用新型提供了一种吸嘴清洗装置，包括驱动机构、以及用于清洁吸嘴的刷子，所述驱动机构用于驱动所述刷子进行移动。本实用新型的有益效果是：本实用新型能够对吸嘴进行有效的清洁，保证吸嘴的正常使用。
Description
技术领域
本实用新型涉及固晶机技术领域，尤其涉及一种吸嘴清洗装置。
背景技术
在固晶机中，通过吸嘴将蓝膜上的晶圆吸起，然后再将晶圆固晶到电路板上，但是，吸嘴在长时间使用后，吸嘴容易被污染或堵塞，影响了吸嘴的正常使用。
实用新型内容
本实用新型提供了一种吸嘴清洗装置，包括驱动机构、以及用于清洁吸嘴的刷子，所述驱动机构用于驱动所述刷子进行移动。
作为本实用新型的进一步改进，该吸嘴清洗装置还包括清洁液体喷涂机构，所述清洁液体喷涂机构用于将清洁液体喷射在所述刷子上。
作为本实用新型的进一步改进，该吸嘴清洗装置还包括真空吸附机构，所述真空吸附机构用于对所述刷子所在位置进行真空抽气。
作为本实用新型的进一步改进，所述驱动机构包括XY移动平台、Z轴驱动机构，该吸嘴清洗装置还包括座体，所述刷子安装在所述座体上，所述Z轴驱动机构用于驱动所述座体进行上下移动，所述Z轴驱动机构固定在所述XY移动平台上。
作为本实用新型的进一步改进，所述Z轴驱动机构为顶升气缸。
作为本实用新型的进一步改进，所述真空吸附机构包括气管接头、以及与所述气管接头相连的抽真空设备，所述气管接头与所述座体相连，所述座体内部设有管道，所述气管接头与所述管道连通，通过所述抽真空设备抽真空对所述刷子位置产生吸力。
作为本实用新型的进一步改进，该吸嘴清洗装置还包括装屑盘，所述装屑盘安装在所述座体上。
作为本实用新型的进一步改进，所述刷子从上方穿过所述装屑盘的孔限位于所述座体中。
作为本实用新型的进一步改进，该吸嘴清洗装置还包括滤芯、滤芯固定座，所述滤芯锁紧于滤芯固定座上再整体安装在所述座体上，气管接头从下方锁紧在滤芯固定座中，所述滤芯位于所述管道内。
作为本实用新型的进一步改进，所述清洁液体喷涂机构包括控制器、容器，容器内装有清洁液，所述控制器控制所述容器将清洁液喷射在刷子上。
作为本实用新型的进一步改进，所述刷子能够从所述座体中取出。
作为本实用新型的进一步改进，所述滤芯固定座与所述座体为可拆式连接，所述滤芯与所述滤芯固定座为可拆式连接。
本实用新型的有益效果是：本实用新型能够对吸嘴进行有效的清洁，保证吸嘴的正常使用。
附图说明
图1是本实用新型的结构示意图；
图2是局部放大示意图；
图3是剖面结构示意图。
具体实施方式
如图1至3所示，本实用新型公开了一种吸嘴清洗装置，包括驱动机构、以及用于清洁吸嘴3的刷子9，所述驱动机构用于驱动所述刷子9进行移动。
该吸嘴清洗装置还包括清洁液体喷涂机构，所述清洁液体喷涂机构用于将清洁液体喷射在所述刷子9上。
该吸嘴清洗装置还包括真空吸附机构，所述真空吸附机构用于对所述刷子9所在位置进行真空抽气。
所述驱动机构包括XY移动平台2、Z轴驱动机构，该吸嘴清洗装置还包括座体10，所述刷子9安装在所述座体10上，所述Z轴驱动机构用于驱动所述座体10进行上下移动，所述Z轴驱动机构固定在所述XY移动平台2上。
XY移动平台2安装在底板1上，XY移动平台2能够进行XY轴移动，吸嘴3可Z轴上下移动与绕电机旋转。
所述Z轴驱动机构为顶升气缸7。
所述真空吸附机构包括气管接头11、以及与所述气管接头11相连的抽真空设备，所述气管接头11与所述座体10相连，所述座体10内部设有管道，所述气管接头11与所述管道连通，通过所述抽真空设备抽真空对所述刷子9位置产生吸力。
该吸嘴清洗装置还包括装屑盘8，所述装屑盘8压紧密封圈12安装在所述座体10上。
所述刷子9从上方穿过所述装屑盘8的孔限位于所述座体10中。
该吸嘴清洗装置还包括滤芯13、滤芯固定座14，所述滤芯13锁紧于滤芯固定座14上再整体安装在所述座体10上，气管接头11从下方锁紧在滤芯固定座14中，所述滤芯13位于所述管道内。
所述清洁液体喷涂机构包括控制器4、容器5，容器5内装有清洁液，所述控制器4控制所述容器5将清洁液喷射在刷子9上。清洁液可以是酒精，也可以是其他可用于清洁的液体。
所述刷子9能够从所述座体10中取出，方便更换刷子。
所述滤芯固定座14与所述座体10为可拆式连接，所述滤芯13与所述滤芯固定座14为可拆式连接，方便更换滤芯13。
工作的时候，当吸嘴3出现堵塞或者吸嘴3工作一定时长触发清洗动作，吸嘴3摆动到清洗位，刷子9通过XY移动平台2移动到容器5下方，容器5控制容器5中的清洁液喷射在刷子9上，此时刷子9在通过XY移动平台2移动到吸嘴清洗位并顶升至接触吸嘴3，气管接头11通真空并对刷子9位置产生吸力，此时刷子9在XY移动平台2带动下XY方向迅速移动(或者吸嘴3短距离迅速摆动)以对吸嘴3进行清洁，并且吸嘴3在Z轴高速上下移动，且吸嘴3打开正压与负压交替，通过刷洗、真空抽气、的方式对吸嘴3进行清洁，去堵。
或者，工作的时候，通过吸嘴3的高速左右摆动及上下运动来清洁吸嘴3，下方的XY移动平台2只是把刷子9移动到吸嘴3的下方指定位置，以及移动到点清洗液的位置加清洗液。
本实用新型的有益效果如下：
1.本实用新型采用带酒精的刷子9刷洗+真空抽吸两种结构结合的方式对吸嘴3进行清洗，确保吸嘴清洗干净。
2.本实用新型带有装屑盘8，用以盛放刷洗下的灰尘及其他异物，避免掉落到机台其他位置造成污染。
3.本实用新型将异物抽吸下来后经过滤芯13，滤芯13可方便更换，且刷子9为密封圈12挤紧固定，拔出即可方便更换。
以上内容是结合具体的优选实施方式对本实用新型所作的进一步详细说明，不能认定本实用新型的具体实施只局限于这些说明。对于本实用新型所属技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本实用新型构思的前提下，还可以做出若干简单推演或替换，都应当视为属于本实用新型的保护范围。
Claims (12)
1.一种吸嘴清洗装置，其特征在于：包括驱动机构、以及用于清洁吸嘴(3)的刷子(9)，所述驱动机构用于驱动所述刷子(9)进行移动。
2.根据权利要求1所述的吸嘴清洗装置，其特征在于：该吸嘴清洗装置还包括真空吸附机构，所述真空吸附机构用于对所述刷子(9)所在位置进行真空抽气。
3.根据权利要求1或2所述的吸嘴清洗装置，其特征在于：该吸嘴清洗装置还包括清洁液体喷涂机构，所述清洁液体喷涂机构用于将清洁液体喷射在所述刷子(9)上。
4.根据权利要求2所述的吸嘴清洗装置，其特征在于：所述驱动机构包括XY移动平台(2)、Z轴驱动机构，该吸嘴清洗装置还包括座体(10)，所述刷子(9)安装在所述座体(10)上，所述Z轴驱动机构用于驱动所述座体(10)进行上下移动，所述Z轴驱动机构固定在所述XY移动平台(2)上。
5.根据权利要求4所述的吸嘴清洗装置，其特征在于：所述Z轴驱动机构为顶升气缸(7)。
6.根据权利要求4所述的吸嘴清洗装置，其特征在于：所述真空吸附机构包括气管接头(11)、以及与所述气管接头(11)相连的抽真空设备，所述气管接头(11)与所述座体(10)相连，所述座体(10)内部设有管道，所述气管接头(11)与所述管道连通，通过所述抽真空设备抽真空对所述刷子(9)位置产生吸力。
7.根据权利要求4所述的吸嘴清洗装置，其特征在于：该吸嘴清洗装置还包括装屑盘(8)，所述装屑盘(8)安装在所述座体(10)上。
8.根据权利要求7所述的吸嘴清洗装置，其特征在于：所述刷子(9)从上方穿过所述装屑盘(8)的孔限位于所述座体(10)中。
9.根据权利要求6所述的吸嘴清洗装置，其特征在于：该吸嘴清洗装置还包括滤芯(13)、滤芯固定座(14)，所述滤芯(13)锁紧于滤芯固定座(14)上再整体安装在所述座体(10)上，气管接头(11)从下方锁紧在滤芯固定座(14)中，所述滤芯(13)位于所述管道内。
10.根据权利要求3所述的吸嘴清洗装置，其特征在于：所述清洁液体喷涂机构包括控制器(4)、容器(5)，容器(5)内装有清洁液，所述控制器(4)控制所述容器(5)将清洁液喷射在刷子(9)上。
11.根据权利要求8所述的吸嘴清洗装置，其特征在于：所述刷子(9)能够从所述座体(10)中取出。
12.根据权利要求9所述的吸嘴清洗装置，其特征在于：所述滤芯固定座(14)与所述座体(10)为可拆式连接，所述滤芯(13)与所述滤芯固定座(14)为可拆式连接。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN202221646379.XU CN219025071U (zh) | 2022-06-29 | 2022-06-29 | 一种吸嘴清洗装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN202221646379.XU CN219025071U (zh) | 2022-06-29 | 2022-06-29 | 一种吸嘴清洗装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN219025071U true CN219025071U (zh) | 2023-05-16 |
Family
ID=86293513
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN202221646379.XU Active CN219025071U (zh) | 2022-06-29 | 2022-06-29 | 一种吸嘴清洗装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN219025071U (zh) |
-
2022
- 2022-06-29 CN CN202221646379.XU patent/CN219025071U/zh active Active
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| CN111112186B (zh) | 一种晶圆片清洗设备 | |
| KR20070074426A (ko) | 반도체 제조공정용 클리닝장치 | |
| CN107377562A (zh) | 一种培养瓶智能清洗设备 | |
| CN111267330B (zh) | 一种手机显示屏出厂贴膜设备 | |
| CN112452928A (zh) | 一种硅片自动除尘装置 | |
| CN110993524A (zh) | 一种基板后处理装置和方法 | |
| CN219025071U (zh) | 一种吸嘴清洗装置 | |
| CN219483095U (zh) | 一种晶圆保护胶涂覆机构及晶圆加工装置 | |
| CN112371614A (zh) | 研磨头清洗装置 | |
| CN212136399U (zh) | 晶圆清洗装置 | |
| CN206961798U (zh) | 基板处理装置和喷头清洗装置 | |
| CN215918291U (zh) | 一种用于半导体的涂布装置 | |
| KR0186043B1 (ko) | 세정용 브러시를 가지는 기판세정장치 및 기판 세정방법 | |
| CN209303357U (zh) | 一种干式清洗装置 | |
| CN114724992A (zh) | 一种晶圆清洗上料装置 | |
| CN209934272U (zh) | 一种干式扫路车滤芯清理装置 | |
| JP4411946B2 (ja) | ノズルクリーニング装置および封止装置 | |
| JP2009283723A (ja) | 半導体素子製造装置 | |
| CN112404080A (zh) | 一种用于玻璃屏的双面蒸气清洗机构 | |
| CN216827495U (zh) | 清洗装置 | |
| CN217664952U (zh) | 单片清洗机 | |
| CN218424270U (zh) | 电池硅片清洗设备 | |
| CN214417179U (zh) | 一种具有旋转功能的基片清洗设备 | |
| CN216323881U (zh) | 一种等离子清洗机的工装 | |
| JP2000102770A (ja) | 洗浄装置 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| GR01 | Patent grant | ||
| GR01 | Patent grant |