CN216323881U - 一种等离子清洗机的工装 - Google Patents

Abstract

本实用新型提供了一种等离子清洗机的工装，涉及液晶显示器生产技术领域。该等离子清洗机的工装包括外支架、内支架、安装盘、真空吸盘和废气处理机构。内支架位于外支架的内部，内支架包括支杆、支板和连接柱。支板通过支杆安装在底板上，连接柱安装于支板。多个真空吸盘安装在安装盘上。废气处理机构包括依次连通的集气管、导气管和处理罐。集气管贯穿顶盖，导气管的一端连接在处理罐的中部。处理罐的顶部连接有排气管，处理罐内安装有静电吸附网，处理罐的底部连接有排尘管，排尘管延伸至等离子清洗机外。在通过真空泵排出等离子清洗机内的废气时，废气内的含尘量减少，也就不易造成管道堵塞。

Description

一种等离子清洗机的工装

技术领域

本实用新型涉及液晶显示器生产技术领域，尤其是涉及一种等离子清洗机的工装。

背景技术

液晶显示器在生产过程中需要经过清洗、COG、FOG、镜检、FOG电测、点银浆、LCM测试、贴高温胶、焊接、组背光、贴易撕贴、烘干、封胶等工序。

玻璃基板是构成液晶显示器件的一个基本部件，在进行COG制程前需要清洗玻璃基板的表面。目前，使用等离子清洗机清洗玻璃基板。等离子清洗机的工作原理是，在真空腔体里，通过射频电源在一定的压力情况下起辉产生高能量的无序的等离子体，通过等离子体轰击被清洗产品表面，以达到清洗目的。

在清洗玻璃基板的过程中，产生的废气（含尘气体）在真空泵的作用下通过管道排出，在长时间使用等离子清洗机时，管道存在被堵塞的风险，影响废气的顺利排放。

实用新型内容

针对上述情况，本实用新型提供一种等离子清洗机的工装，解决了目前在长时间使用等离子清洗机时，管道存在被堵塞的风险，影响废气的顺利排放的技术问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：

一种等离子清洗机的工装，主要可以包括：外支架、内支架、安装盘、真空吸盘和废气处理机构。

外支架包括由下至上依次连接的底板、侧板和顶盖，顶盖上开设有可供等离子清洗机的清洗喷头通过的通孔。

内支架位于外支架的内部，内支架包括支杆、支板和连接柱。支板通过支杆安装在底板上，连接柱安装于支板。

安装盘通过连接机构连接在连接柱的上部。

多个真空吸盘安装在安装盘上，真空吸盘与真空泵连接。

废气处理机构包括依次连通的集气管、导气管和处理罐。集气管贯穿顶盖，导气管的一端连接在处理罐的中部。处理罐的顶部连接有排气管，处理罐内安装有静电吸附网，静电吸附网通过电线连接有静电发生器，处理罐的底部连接有排尘管，排尘管上安装有阀门，排尘管延伸至等离子清洗机外。

在本实用新型的一些实施例中，排气管连接有水箱，水箱的顶部具有出气口。

在本实用新型的一些实施例中，连接机构包括套筒，安装盘上开设有与套筒匹配的连接孔，套筒的上端外侧具有第一限位部，下端外侧具有第二限位部，第一限位部抵接在安装盘的上侧，第二限位部抵接在安装盘的下侧。套筒沿其长度方向开设有缺口，连接柱的上部沿其径向设置有与缺口匹配的凸块。

在本实用新型的一些实施例中，连接柱插接于支板，连接柱能够在升降机构的驱动下上升或下降。升降机构包括传动连接的伺服电机和凸轮，连接柱的下部径向地固定有推板，凸轮用于顶升推板。

在本实用新型的一些实施例中，支板上安装有缓冲弹簧，缓冲弹簧的顶部安装有缓冲环，缓冲环套接于连接柱。

在本实用新型的一些实施例中，顶盖的底部对称地连接有两个输料板，安装盘位于两个输料板之间，输料板的内侧安装有用于承托玻璃基板的承托板，玻璃基板能够在输料机构的驱动下，沿输料板移动至安装盘的上方。

在本实用新型的一些实施例中，输料机构包括多个输料滚筒，输料板上开设有安装口，输料滚筒转动连接于安装口，输料滚筒抵接在玻璃基板的两侧。输料滚筒能够在驱动组件的作用下旋转。

在本实用新型的一些实施例中，驱动组件包括驱动电机，驱动电机与输料滚筒传动连接。任意相邻两个输料滚筒通过传动齿轮连接。

本实用新型实施例至少具有如下优点或有益效果：

1.当等离子清洗机内放置有多个玻璃基板时，顶盖能够对在清洗玻璃基板时产生的含尘气体起到一定的阻挡作用，以在一定程度上避免含尘气体在等离子清洗机内胡乱纷飞而落在其他玻璃基板上。

2.在清洗玻璃基板时，产生的含尘气体，能够在依次经过集气管和导气管后，进入处理罐内，含尘气体中的微粒被静电吸附网吸附后聚集在静电吸附网上形成体积较大的颗粒，然后这些体积较大的颗粒在重力的作用下，向下掉落，并进入排尘管中，可在等离子清洗机停机的情况下，打开阀门，将排尘管内的杂物排至等离子清洗机外。由于，部分或全部的含尘气体进入了处理罐进行处理，因此，在通过真空泵排出等离子清洗机内的废气时，废气内的含尘量减少，也就不易造成管道堵塞。

本实用新型的其他特征和优点将在随后的说明书中阐述，并且，部分地从说明书中变得显而易见，或者通过实施本实用新型而了解。本实用新型的目的和其他优点在说明书、权利要求书以及附图所特别指出的结构来实现和获得。

附图说明

为了更清楚地说明本申请实施例技术方案，下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本申请的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为等离子清洗机的工装的结构示意图；

图2为图1沿A向的结构示意图；

图3为清洗喷头穿过通孔的结构示意图；

图4为内支架、安装盘和真空吸盘的结构示意图；

图5为图4沿B向的结构示意图；

图6为套筒和连接柱的结构示意图；

图7为图1中C位置的局部放大图。

图标：11-外支架，111-底板，112-侧板，113-顶盖，114-通孔，12-内支架，121-支杆，122-支板，123-连接柱，124-凸块，13-安装盘，14-真空吸盘，151-套筒，152-第一限位部，153-第二限位部，154-缺口，161-伺服电机，162-凸轮，163-推板，164-缓冲弹簧，165-缓冲环，171-输料板，172-承托板，173-输料滚筒，174-安装口，175-驱动电机，176-传动齿轮，18-废气处理机构，181-集气管，182-导气管，183-处理罐，184-静电吸附网，185-静电发生器，186-排尘管，187-阀门，188-水箱，189-出气口，21-清洗喷头。

具体实施方式

在下文中，仅简单地描述了某些示例性实施例。正如本领域技术人员可认识到的那样，在不脱离本实用新型实施例的精神或范围的情况下，可通过各种不同方式修改所描述的实施例。因此，附图和描述被认为本质上是示例性的而非限制性的。

在本实用新型实施例中，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”、“固定”等术语应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是机械连接，也可以是电连接，还可以是通信；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本实用新型实施例中的具体含义。

下面结合附图对本实用新型的实施例进行详细说明。

实施例

请参照图1-图7，本实施例提供一种等离子清洗机的工装，主要可以包括：外支架11、内支架12、安装盘13、真空吸盘14和废气处理机构18。

外支架11包括由下至上依次连接的底板111、侧板112和顶盖113，顶盖113上开设有可供等离子清洗机的清洗喷头21通过的通孔114。内支架12位于外支架11的内部，内支架12包括支杆121、支板122和连接柱123。支板122通过支杆121安装在底板111上，连接柱123安装于支板122。安装盘13通过连接机构连接在连接柱123的上部。多个真空吸盘14安装在安装盘13上，真空吸盘14与真空泵连接。废气处理机构18包括依次连通的集气管181、导气管182和处理罐183。集气管181贯穿顶盖113，导气管182的一端连接在处理罐183的中部。处理罐183的顶部连接有排气管，处理罐183内安装有静电吸附网184，静电吸附网184通过电线连接有静电发生器185，处理罐183的底部连接有排尘管186，排尘管186上安装有阀门187，排尘管186延伸至等离子清洗机外。

等离子清洗机的清洗喷头21能够穿过顶盖113，伸入外顶盖113的内部，以便于清洗玻璃基板的表面。当等离子清洗机内放置有多个玻璃基板时，顶盖113能够对在清洗玻璃基板时产生的含尘气体起到一定的阻挡作用，以在一定程度上避免含尘气体在等离子清洗机内胡乱纷飞而落在其他玻璃基板上。

在清洗玻璃基板时，产生的含尘气体，能够在依次经过集气管181和导气管182后，进入处理罐183内，含尘气体中的微粒被静电吸附网184吸附后聚集在静电吸附网184上形成体积较大的颗粒，然后这些体积较大的颗粒在重力的作用下，向下掉落，并进入排尘管186中，可在等离子清洗机停机的情况下，打开阀门187，将排尘管186内的杂物排至等离子清洗机外。由于，部分或全部的含尘气体进入了处理罐183进行处理，因此，在通过真空泵排出等离子清洗机内的废气时，废气内的含尘量减少，也就不易造成管道堵塞。

排气管连接有水箱188，水箱188的顶部具有出气口189，水箱188内盛装有水，以进一步减少等离子清洗机内废气的含尘量。

为了更好地降低等离子清洗机内废气的含尘量，顶盖113的四周边缘处均可向下延伸，以罩住安装盘13。

在本实施例中，连接机构包括套筒151，安装盘13上开设有与套筒151匹配的连接孔，套筒151的上端外侧具有第一限位部152，下端外侧具有第二限位部153，第一限位部152抵接在安装盘13的上侧，第二限位部153抵接在安装盘13的下侧。套筒151沿其长度方向开设有缺口154，连接柱123的上部沿其径向设置有与缺口154匹配的凸块124。当因真空吸盘14的尺寸较小而出现因吸力不足使玻璃基板容易掉落的情况时，可整体更换安装盘13和多个真空吸盘14，更换后的真空吸盘14的尺寸更大，与玻璃基板的接触面积更大，能够更好地吸附玻璃基板，避免出现玻璃基板掉落的情况。

连接柱123插接于支板122，连接柱123能够在升降机构的驱动下上升或下降，以便于调节玻璃基板与清洗喷头21之间的间距。升降机构包括传动连接的伺服电机161和凸轮162，连接柱123的下部径向地固定有推板163，凸轮162用于顶升推板163。伺服电机161驱动凸轮162，凸轮162能够带动连接柱123上移。支板122上安装有缓冲弹簧164，缓冲弹簧164的顶部安装有缓冲环165，缓冲环165套接于连接柱123。在连接柱123下移时，安装盘13随之下移，缓冲弹簧164和缓冲环165能够起到一定的缓冲作用，以减小玻璃基板在下移过程中受到的冲击。

等离子清洗机内可以同时放置多个玻璃基板。顶盖113的底部对称地连接有两个输料板171，两个输料板171例如可以焊接于顶盖113。安装盘13位于两个输料板171之间，输料板171的内侧（两个输料板171相向的一侧）安装有用于承托玻璃基板的承托板172，玻璃基板能够在输料机构的驱动下，沿输料板171移动至安装盘13的上方。将多个玻璃基板顺次地放置在承托板172上，当玻璃基板在输料机构的驱动下移动至顶盖113和安装盘13之间时，伺服电机161驱动凸轮162转动，使连接柱123带动安装盘13上移，在安装盘13上移的过程中，真空吸盘14能够吸住玻璃基板，并继续带动玻璃基板向上移动至清洗喷头21的附近，以便于清洗玻璃基板，清洗玻璃基板后，连接柱123带动玻璃基板向下移动，当玻璃基板抵接在承托板172后，真空吸盘14停止工作，此时，玻璃基板继续沿输料板171移动至外支架11的外部，以便于清洗下一个玻璃基板。

在本实施例中，输料机构包括多个输料滚筒173，输料板171上开设有安装口174，输料滚筒173转动连接于安装口174，输料滚筒173抵接在玻璃基板的两侧。输料滚筒173能够在驱动组件的作用下旋转。驱动组件包括驱动电机175，驱动电机175与输料滚筒173传动连接。任意相邻两个输料滚筒173通过传动齿轮176连接。输料滚筒173转动时，能够带动玻璃基板移动。为了便于转动输料滚筒173，驱动组件包括驱动电机175，驱动电机175与输料滚筒173传动连接。为了更好地移动玻璃基板，任意相邻两个输料滚筒173通过传动齿轮176连接。输料滚筒173的外侧还可以包覆有橡胶套（图中未示出），以免损坏玻璃基板。

结合上述结构，下文将详细描述等离子清洗机的工装的工作原理。

通过底板111将等离子清洗机的工装固定在等离子清洗机的内部，再将多个玻璃基板顺次地沿输料板171的长度方放置在承托板172上，驱动电机175使输料滚筒173转动，输料滚筒173带动玻璃基板移动，当玻璃基板移动至顶盖113和安装盘13之间时，伺服电机161驱动凸轮162转动，使连接柱123带动安装盘13上移，在安装盘13上移的过程中，真空吸盘14能够吸住玻璃基板，并继续带动玻璃基板向上移动至清洗喷头21的附近，清洗喷头21喷出等离子气体，以清洗玻璃基板。清洗玻璃基板后，连接柱123带动玻璃基板向下移动，当玻璃基板抵接在承托板172后，真空吸盘14停止工作，此时，玻璃基板继续沿输料板171移动至外支架11的外部，以便于清洗下一个玻璃基板。

在清洗玻璃基板时，产生的含尘气体，能够在依次经过集气管181和导气管182后，进入处理罐183内，含尘气体中的微粒被静电吸附网184吸附后聚集在静电吸附网184上形成体积较大的颗粒，然后这些体积较大的颗粒在重力的作用下，向下掉落，并进入排尘管186中，可在等离子清洗机停机的情况下，打开阀门187，将排尘管186内的杂物排至等离子清洗机外。由于，部分或全部的含尘气体进入了处理罐183进行处理，因此，在通过真空泵排出等离子清洗机内的废气时，废气内的含尘量减少，也就不易造成管道堵塞。

在使用等离子清洗机的工装的过程中，如果出现因真空吸盘14的尺寸较小而出现因吸力不足使玻璃基板容易掉落的情况时，可先使等离子清洗机停机，再转动套筒151，使连接孔与凸块124对齐，此时，便可向上抬起安装盘13，直接整体更换安装盘13和位于安装盘13上的多个真空吸盘14。更换后的真空吸盘14的尺寸更大，与玻璃基板的接触面积更大，能够更好地吸附玻璃基板，避免出现玻璃基板掉落的情况。

最后应说明的是：以上仅为本实用新型的优选实施例而已，并不用于限制本实用新型，对于本领域的技术人员来说，本实用新型可以有各种更改和变化，在不冲突的情况下，本申请的实施例和实施例中的特征可以任意相互组合。凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。

Claims (8)

1.一种等离子清洗机的工装，其特征在于，包括：外支架、内支架、安装盘、真空吸盘和废气处理机构；

所述外支架包括由下至上依次连接的底板、侧板和顶盖，所述顶盖上开设有可供等离子清洗机的清洗喷头通过的通孔；

所述内支架位于所述外支架的内部，所述内支架包括支杆、支板和连接柱；所述支板通过所述支杆安装在所述底板上，所述连接柱安装于所述支板；

所述安装盘通过连接机构连接在所述连接柱的上部；

多个所述真空吸盘安装在所述安装盘上，所述真空吸盘与真空泵连接；

所述废气处理机构包括依次连通的集气管、导气管和处理罐；所述集气管贯穿所述顶盖，所述导气管的一端连接在所述处理罐的中部；所述处理罐的顶部连接有排气管，所述处理罐内安装有静电吸附网，所述静电吸附网通过电线连接有静电发生器，所述处理罐的底部连接有排尘管，所述排尘管上安装有阀门，所述排尘管延伸至等离子清洗机外。

2.根据权利要求1所述的等离子清洗机的工装，其特征在于，所述排气管连接有水箱，所述水箱的顶部具有出气口。

3.根据权利要求1所述的等离子清洗机的工装，其特征在于，所述连接机构包括套筒，所述安装盘上开设有与所述套筒匹配的连接孔，所述套筒的上端外侧具有第一限位部，下端外侧具有第二限位部，所述第一限位部抵接在所述安装盘的上侧，所述第二限位部抵接在所述安装盘的下侧；所述套筒沿其长度方向开设有缺口，所述连接柱的上部沿其径向设置有与所述缺口匹配的凸块。

4.根据权利要求3所述的等离子清洗机的工装，其特征在于，所述连接柱插接于所述支板，所述连接柱能够在升降机构的驱动下上升或下降；所述升降机构包括传动连接的伺服电机和凸轮，所述连接柱的下部径向地固定有推板，所述凸轮用于顶升所述推板。

5.根据权利要求4所述的等离子清洗机的工装，其特征在于，所述支板上安装有缓冲弹簧，所述缓冲弹簧的顶部安装有缓冲环，所述缓冲环套接于所述连接柱。

6.根据权利要求4所述的等离子清洗机的工装，其特征在于，所述顶盖的底部对称地连接有两个输料板，所述安装盘位于两个所述输料板之间，所述输料板的内侧安装有用于承托玻璃基板的承托板，玻璃基板能够在输料机构的驱动下，沿所述输料板移动至所述安装盘的上方。

7.根据权利要求6所述的等离子清洗机的工装，其特征在于，所述输料机构包括多个输料滚筒，所述输料板上开设有安装口，所述输料滚筒转动连接于所述安装口，所述输料滚筒抵接在玻璃基板的两侧；所述输料滚筒能够在驱动组件的作用下旋转。

8.根据权利要求7所述的等离子清洗机的工装，其特征在于，所述驱动组件包括驱动电机，所述驱动电机与所述输料滚筒传动连接；任意相邻两个所述输料滚筒通过传动齿轮连接。

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