CN219017615U - 一种药段腔室及剥离设备 - Google Patents

Abstract

本实用新型涉及半导体技术领域，具体公开了一种药段腔室及剥离设备。该药段腔室包括腔室本体、传输机构和导向机构；传输机构设于腔室本体内，用于支撑并沿第一方向传输基板；其中，导向机构包括驱动电机、传输组件和导向轮，驱动电机设于腔室本体上，驱动电机的驱动端连接传输组件的一端，传输组件的另一端连接导向轮，驱动电机能够驱动传输组件以带动导向轮旋转，且导向轮沿第二方向抵接于基板的侧边。本实用新型在传输机构传输基板的基础上，还能够通过导向轮提高对基板的搬送力，避免基板在搬送过程中出现打滑现象，以此减少压轮的使用，降低基板发生破片的概率，并降低了产品的生产成本，减少药段腔室异常状况，提高药段腔室的使用率。

Description

一种药段腔室及剥离设备

技术领域

本实用新型涉及半导体技术领域，尤其涉及一种药段腔室及剥离设备。

背景技术

在半导体领域中，为了在基片上获得期望的图案化的目标覆层，例如导电层，以便形成图形电极，需要对具有已涂覆导电层的基片进行处理，以去除多余的导电层，其中，导电层例如为金属层，其可由铝、钛、铜、钽等金属形成。一种已知的途经是采用剥离设备，其利用剥离药液溶解施加在基板上的光刻胶，从而去除位于光刻胶上的不需要的导电层，最终得到想要的导电图形。

现有的剥离设备中，用于剥离使用的药液会具有油的流动性，使得基板在搬送过程中会出现打滑、搬送力不足的情况，目前的方法是在剥离设备内追加压轮，多个压轮能够对基板进行下压以防止打滑，但压轮与基板之间的间距调整困难，出现误差后会导致基板撞击压轮而发生破片现象，进而增加了产品的生产成本。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种药段腔室及剥离设备，以解决现有技术中压轮与基板之间的间距调整困难，出现误差后会导致基板撞击压轮而发生破片现象，进而增加了产品的生产成本的问题。

为达上述目的，本实用新型采用以下技术方案：

一方面，本实用新型提供一种药段腔室，该药段腔室包括：

腔室本体；

传输机构，上述传输机构设于上述腔室本体内，用于支撑并沿第一方向传输基板；

导向机构，上述导向机构包括驱动电机、传输组件和导向轮，上述驱动电机设于上述腔室本体上；上述驱动电机的驱动端连接上述传输组件的一端，上述传输组件的另一端连接上述导向轮；上述驱动电机能够驱动上述传输组件以带动上述导向轮旋转；上述导向轮沿第二方向抵接于上述基板的侧边，用于沿上述第一方向对上述基板进行导向传输。

作为上述药段腔室的一种可选方案，上述传输组件包括主动轴、主动齿轮、从动轴和从动齿轮；上述主动轴连接于上述驱动电机的驱动端，上述主动齿轮连接于上述主动轴，上述从动轴连接于上述导向轮，上述从动齿轮连接于上述从动轴；上述主动齿轮与上述从动齿轮相啮合，以使上述主动轴能够带动上述从动轴旋转。

作为上述药段腔室的一种可选方案，上述传输组件还包括第一联轴器和第二联轴器，上述主动轴与上述驱动电机的驱动端通过上述第一联轴器相连，上述从动轴与上述导向轮通过上述第二联轴器相连。

作为上述药段腔室的一种可选方案，上述主动齿轮、上述从动轴、上述从动齿轮和上述导向轮均设置有多个，多个述主动齿轮、多个上述从动轴、多个上述从动齿轮均分别和多个上述导向轮一一对应设置。

作为上述药段腔室的一种可选方案，多个上述导向轮沿上述第一方向均匀间隔设置。

作为上述药段腔室的一种可选方案，上述导向机构设置有两个，两个上述导向机构沿上述第二方向分别设于上述基板的两侧。

作为上述药段腔室的一种可选方案，上述传输机构相对于水平面倾斜设置，以使上述基板与上述水平面之间沿上述第二方向形成夹角。

作为上述药段腔室的一种可选方案，上述基板与上述水平面之间沿上述第二方向形成夹角的角度范围为4°～6°。

作为上述药段腔室的一种可选方案，上述药段腔室还包括至少一个上压轮组件，上述上压轮组件设于上述腔室本体上，用于向下滚动抵接上述基板。

另一方面，本实用新型提供一种剥离设备，包括如上述的药段腔室。

本实用新型的有益效果为：

该药段腔室包括腔室本体、传输机构和导向机构。传输机构设于腔室本体内，用于支撑并沿第一方向传输基板，使得基板能够从药段腔室输送到下一段腔室内。其中，导向机构包括驱动电机、传输组件和导向轮，驱动电机设于腔室本体上，驱动电机的驱动端连接传输组件的一端，传输组件的另一端连接导向轮，驱动电机能够驱动传输组件以带动导向轮旋转，使得导向轮具有主动的传动力，且导向轮沿第二方向抵接于基板的侧边，用于沿第一方向对基板进行导向传输，从而在传输机构传输基板的基础上，还能够通过导向轮提高对基板的搬送力，避免基板在搬送过程中出现打滑现象，以此减少压轮的使用，降低基板发生破片的概率，进而降低了产品的生产成本，同时还减少了药段腔室异常状况，提高了药段腔室的使用率。

附图说明

图1为本实用新型实施例所提供的药段腔室的结构示意图。

图中：

1、导向机构；11、驱动电机；12、传输组件；121、主动轴；122、主动齿轮；123、从动轴；124、从动齿轮；13、导向轮；2、上压轮组件；3、基板。

具体实施方式

下面将结合附图对本实用新型的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

在本实用新型的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。此外，术语“第一”、“第二”、仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。其中，术语“第一位置”和“第二位置”为两个不同的位置，而且，第一特征在第二特征“之上”、“上方”和“上面”包括第一特征在第二特征正上方和斜上方，或仅仅表示第一特征水平高度高于第二特征。第一特征在第二特征“之下”、“下方”和“下面”包括第一特征在第二特征正下方和斜下方，或仅仅表示第一特征水平高度小于第二特征。

在本实用新型的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。

下面详细描述本实用新型的实施例，所述实施例的示例在附图中示出，其中自始至终相同或类似的标号表示相同或类似的元件或具有相同或类似功能的元件。下面通过参考附图描述的实施例是示例性的，仅用于解释本实用新型，而不能理解为对本实用新型的限制。

本实施例提供一种药段腔室，用于对基板进行药液加工。

如图1所示，该药段腔室包括腔室本体、传输机构和导向机构1。传输机构设于腔室本体内，用于支撑并沿第一方向(即附图中的X方向)传输基板3，使得基板3能够从药段腔室输送到下一段腔室内。可选地，传输机构相对于水平面倾斜设置，以使基板3与水平面之间沿第二方向(即附图中的Y方向)形成夹角，从而腔室本体内加工所用的药液能够从基板3表面滑落，避免药液在基板3上堆积，以实现对基板3的加工。进一步可选地，基板3与水平面之间沿第二方向形成夹角的角度范围为4°～6°，以此控制基板3上药液滑落的速度，避免药液过快或过慢地从基板3上滑落，影响基板3的药液加工。其中，第一方向和第二方向相互垂直设置。基板3所使用的传输机构的具体结构为本领域内的现有技术，本实用新型实施例在此不作赘述。

导向机构1包括驱动电机11、传输组件12和导向轮13，驱动电机11设于腔室本体上，驱动电机11的驱动端连接传输组件12的一端，传输组件12的另一端连接导向轮13，驱动电机11能够驱动传输组件12以带动导向轮13旋转，使得导向轮13具有主动的传动力，且导向轮13沿第二方向抵接于基板3的侧边，用于沿第一方向对基板3进行导向传输，从而在传输机构传输基板3的基础上，还能够通过导向轮13提高对基板3的搬送力，避免基板3在搬送过程中出现打滑现象，以此减少压轮的使用，降低基板3发生破片的概率，进而降低了产品的生产成本，同时还减少了药段腔室异常状况，提高了药段腔室的使用率。可选地，导向机构1设置有两个，两个导向机构1沿第二方向分别设于基板3的两侧，使得两个导向机构1的导向轮13能够从基板3的两侧对基板3进行导向传输，以此增强对基板3的搬送力。

进一步地，传输组件12包括主动轴121、主动齿轮122、从动轴123和从动齿轮124，主动轴121连接于驱动电机11的驱动端，主动齿轮122连接于主动轴121，从动轴123连接于导向轮13，从动齿轮124连接于从动轴123，且主动齿轮122与从动齿轮124相啮合，以使主动轴121能够带动从动轴123旋转，从而驱动电机11驱动端的动力能够传递至导向轮13，以方便控制导向轮13的转速，实现导向机构1与传输机构的配合使用。具体地，主动齿轮122为蜗轮，从动齿轮124为斜齿轮，从而通过蜗轮与斜齿轮的使用能够实现传动方向的改变。其中，传输组件12还包括第一联轴器和第二联轴器，主动轴121与驱动电机11的驱动端通过第一联轴器相连，从动轴123与导向轮13通过第二联轴器相连，从而通过第一联轴器和第二联轴器的使用，能够传递扭矩并起到过载保护的作用。可选地，主动齿轮122、从动轴123、从动齿轮124和导向轮13均设置有多个，多个述主动齿轮122、多个从动轴123、多个从动齿轮124均分别和多个导向轮13一一对应设置，从而通过单根主动轴121将动力传递至多个导向轮13上后，能够方便控制多个导向轮13的转速相同，实现基板3传输的稳定性。进一步可选地，多个导向轮13沿第一方向均匀间隔设置，从而基板3能够平均受力，以进一步降低基板3破片的概率。

进一步地，药段腔室还包括至少一个上压轮组件2，上压轮组件2设于腔室本体上，用于向下滚动抵接基板3，以此进一步地防止基板3在搬送过程中出现打滑现象，其中，上压轮组件2设置的数量较少，能够降低基板3破片的概率。具体地，上压轮组件2包括压轮轴和上压轮，压轮轴设于腔室本体上，上压轮转动设于压轮轴上。

本实施例还提供一种剥离设备，包括如上述的药段腔室，从而该剥离设备通过使用具有导向机构1的药段腔室，能够降低破片的发生概率，有效降低剥离设备的宕机处理时间，以此提高剥离设备的稼动率。

显然，本实用新型的上述实施例仅仅是为了清楚说明本实用新型所作的举例，而并非是对本实用新型的实施方式的限定。对于所属领域的普通技术人员来说，在上述说明的基础上还可以做出其它不同形式的变化或变动。这里无需也无法对所有的实施方式予以穷举。凡在本实用新型的精神和原则之内所作的任何修改、等同替换和改进等，均应包含在本实用新型权利要求的保护范围之内。

Claims (10)

1.一种药段腔室，其特征在于，包括：

腔室本体；

传输机构，所述传输机构设于所述腔室本体内，用于支撑并沿第一方向传输基板(3)；

导向机构(1)，所述导向机构(1)包括驱动电机(11)、传输组件(12)和导向轮(13)，所述驱动电机(11)设于所述腔室本体上；所述驱动电机(11)的驱动端连接所述传输组件(12)的一端，所述传输组件(12)的另一端连接所述导向轮(13)；所述驱动电机(11)能够驱动所述传输组件(12)以带动所述导向轮(13)旋转；所述导向轮(13)沿第二方向抵接于所述基板(3)的侧边，用于沿所述第一方向对所述基板(3)进行导向传输。

2.根据权利要求1所述的药段腔室，其特征在于，所述传输组件(12)包括主动轴(121)、主动齿轮(122)、从动轴(123)和从动齿轮(124)；所述主动轴(121)连接于所述驱动电机(11)的驱动端，所述主动齿轮(122)连接于所述主动轴(121)，所述从动轴(123)连接于所述导向轮(13)，所述从动齿轮(124)连接于所述从动轴(123)；所述主动齿轮(122)与所述从动齿轮(124)相啮合，以使所述主动轴(121)能够带动所述从动轴(123)旋转。

3.根据权利要求2所述的药段腔室，其特征在于，所述传输组件(12)还包括第一联轴器和第二联轴器，所述主动轴(121)与所述驱动电机(11)的驱动端通过所述第一联轴器相连，所述从动轴(123)与所述导向轮(13)通过所述第二联轴器相连。

4.根据权利要求2所述的药段腔室，其特征在于，所述主动齿轮(122)、所述从动轴(123)、所述从动齿轮(124)和所述导向轮(13)均设置有多个，多个述主动齿轮(122)、多个所述从动轴(123)、多个所述从动齿轮(124)均分别和多个所述导向轮(13)一一对应设置。

5.根据权利要求4所述的药段腔室，其特征在于，多个所述导向轮(13)沿所述第一方向均匀间隔设置。

6.根据权利要求1所述的药段腔室，其特征在于，所述导向机构(1)设置有两个，两个所述导向机构(1)沿所述第二方向分别设于所述基板(3)的两侧。

7.根据权利要求1所述的药段腔室，其特征在于，所述传输机构相对于水平面倾斜设置，以使所述基板(3)与所述水平面之间沿所述第二方向形成夹角。

8.根据权利要求7所述的药段腔室，其特征在于，所述基板(3)与所述水平面之间沿所述第二方向形成夹角的角度范围为4°～6°。

9.根据权利要求1所述的药段腔室，其特征在于，所述药段腔室还包括至少一个上压轮组件(2)，所述上压轮组件(2)设于所述腔室本体上，用于向下滚动抵接所述基板(3)。

10.一种剥离设备，其特征在于，包括如权利要求1～9任一项所述的药段腔室。

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