CN218956442U - 检测设备 - Google Patents

Abstract

本申请实施例公开了检测设备，包括：设置于检测基座的传送轨道、检测机构和翻转装置；传送轨道上设有移载台，移载台用于承载目标工件沿传送轨道的延伸方向移动；检测机构用于，对移至传送轨道检测工位的目标工件的第一面进行检测；翻转装置用于，将移至传送轨道翻转工位的目标工件绕一水平轴线翻转第一预设角度，并将翻转后的目标工件放回移载台，以待检测机构检测目标工件的第二面。可见，本检测机构可对目标工件进行检测，以判断其是否为合格工件，降低错误发生率；翻转装置可以对目标工件翻转，使得目标工件的第二面位于检测机构的检测视场内，从而实现对目标工件更全面可靠的质量检测，提高目标工件生产的良品率和作业进度。

Description

检测设备

技术领域

本申请实施例涉及自动化设备技术领域，尤其涉及检测设备。

背景技术

现如今，为促进生产效益和作业进度，自动化设备在工业流程中的应用越来越广泛。

例如，在大批量芯片等工件的检测环节中，常需要准确快速地检验出每个芯片正反两面的属性信息，以判断加工出的芯片是否有缺陷等。但传统的芯片检测过程中，常因需人工翻转工件或传送效果不佳等，致使工件检测环节的检测效果不佳。

实用新型内容

本申请实施例提供了检测设备，用以提高工件的检测效果。

本申请实施例第一方面提供的一种检测设备，包括检测基座，设置于所述检测基座的传送轨道、检测机构和翻转装置；

所述传送轨道上设有移载台，所述移载台用于承载目标工件沿所述传送轨道的延伸方向移动；

沿所述传送轨道的轨迹设有检测工位和翻转工位；

所述检测机构用于，对移至传送轨道检测工位的所述目标工件的第一面进行检测；

所述翻转装置用于，将移至传送轨道翻转工位的所述目标工件绕一水平轴线翻转第一预设角度，并将翻转后的目标工件放回所述移载台，以待所述检测机构检测目标工件的第二面。

可选地，所述目标工件由置物盘盛放，所述移载台通过所述置物盘承载所述目标工件；

所述翻转装置用于，将盛有目标工件的置物盘绕一水平轴线翻转第一预设角度。

可选地，所述翻转装置包括工件翻转机构、升降动力机构和工件取放机构；

所述工件翻转机构安装于所述升降动力机构，所述升降动力机构安装于所述检测基座；

所述升降动力机构，与所述工件取放机构滑动连接，所述升降动力机构用于驱动调节所述工件取放机构和所述工件翻转机构沿竖直方向移动；

所述工件取放机构用于，将所述目标工件置于所述工件翻转机构的夹持部，并将翻转后的目标工件从所述夹持部移到所述移载台；

所述工件翻转机构用于，翻转被夹持于所述夹持部的所述目标工件。

可选地，所述工件取放机构包括：竖向导轨、竖向动力机构、升降板、夹取部；

所述竖向导轨和所述竖向动力机构安装于所述升降动力机构；

所述竖向动力机构用于驱动所述升降板沿所述竖向导轨竖直滑动；

所述夹取部设于所述升降板，所述夹取部用于夹取目标工件。

可选地，所述夹取部包括第一方向动力组件、相对布置的两个夹取件；

所述第一方向动力组件安装于所述升降板，并用于驱动所述相对布置的两个夹取件相互靠近以夹取目标工件，或相互远离以放开目标工件。

可选地，所述工件翻转机构包括：转接结构、旋转轴、翻转动力机构、夹持部；

所述转接结构安装于所述升降动力机构，所述转接结构转动连接所述旋转轴；

所述翻转动力机构在所述旋转轴的轴承作用下，驱动所述夹持部绕所述旋转轴翻转第一预设角度，以带动被夹持于夹持部的所述目标工件翻转。

可选地，所述检测机构包括光学检测相机；

所述光学检测相机用于检测，所述目标工件的所述第一面的属性信息和所述第二面的属性信息。

可选地，还包括取件旋转装置，所述取件旋转装置设置于所述检测基座；

所述取件旋转装置用于，取放所述目标工件，和/或，带动收取的所述目标工件沿一竖直轴线旋转第二预设角度直至目标朝向。

可选地，所述取件旋转装置包括取件旋转机构和取件动力机构；

所述取件动力机构设置于所述检测基座，所述取件动力机构连接所述取件旋转机构；

所述取件动力机构用于，驱动调节所述取件旋转机构与承载于移载台的目标工件之间的竖直距离；

沿所述传送轨道的轨迹还设有取件工位，所述取件旋转机构用于，在所述竖直距离达到预设间距时收取移至传送轨道取件工位的目标工件，和/或，带动收取的所述目标工件沿一竖直轴线旋转第二预设角度直至目标朝向。

可选地，所述取件旋转机构包括承接组件、旋转动力源和取物结构；

所述取物结构通过所述承接组件与所述旋转动力源连接；

安装于所述取件动力机构的所述旋转动力源用于，将被收取至所述取物结构的所述目标工件绕一竖直轴线旋转至目标朝向。

可选地，还包括承载机构；

所述承载机构设置于所述检测基座，所述承载机构包括空盘存位、次品位和合格品位；

所述空盘存位存放置物空盘；

所述次品位存放次品置物盘，所述次品置物盘用于盛放不合格的目标工件；

所述合格品位存放合格品置物盘，所述合格品置物盘用于盛放合格的目标工件。

可选地，所述承载机构还包括承载轨道，所述空盘存位、次品位和合格品位均设于所述承载轨道，且所述承载轨道的延伸方向与所述传送轨道的延伸方向平行。

可选地，还包括第一龙门架，所述第一龙门架安装于所述检测基座；

所述检测设备还包括取件旋转装置，所述取件旋转装置安装于所述第一龙门架；

所述第一龙门架设有导轨，且所述第一龙门架的导轨延伸方向和所述传送轨道的延伸方向相交，所述第一龙门架横跨所述承载轨道和所述传送轨道，以使得取件旋转装置沿第一龙门架的导轨在所述传送轨道和所述承载轨道之间移动。

可选地，还包括设置于所述传送轨道延伸端的上料装置；

沿所述传送轨道的轨迹还设有上料工位，所述移载台通过轨道动力源移动至所述传送轨道的上料工位，所述上料装置用于将所述目标工件置于所述移载台。

可选地，还包括设置于所述传送轨道延伸端的下料装置；

沿所述传送轨道的轨迹还设有下料工位，所述移载台通过轨道动力源移动至所述传送轨道的下料工位，所述下料装置用于收取所述移载台上的合格目标工件。

可选地，还包括第二龙门架，所述第二龙门架设于所述检测基座，所述第二龙门架相对的两侧分别设有检测导轨和翻转导轨；

所述检测导轨的延伸方向和所述翻转导轨的延伸方向平行，且均和所述传送轨道的延伸方向相交；

所述检测机构安装于所述检测导轨，以使得所述检测机构沿检测导轨移至传送轨道的检测工位；

所述翻转装置安装于所述翻转导轨，以使得所述翻转装置沿翻转导轨在所述传送轨道和所述承载轨道之间移动。

可选地，当所述传送轨道为延伸方向平行的多条传送轨道时，所述承载轨道为方向平行的多条承载轨道时，所述第一龙门架和所述第二龙门架横跨所述多条传送轨道，所述第一龙门架和所述第二龙门架横跨所述多条承载轨道。

从以上技术方案可以看出，本申请实施例至少具有以下优点：

一方面，检测机构可对运行至检测工位的目标工件的第一面和第二面进行检测，以判断目标工件如芯片是否为合格工件，降低生产过程中的错误发生率。另一方面，翻转装置可以对位于翻转工位的目标工件进行翻转，以使得所述目标工件的第二面位于检测机构的检测视场内，从而实现对目标工件更全面可靠的质量检测，提高目标工件生产的良品率和作业进度，减少人工作业成本。

附图说明

为了更清楚地说明本申请实施例中的技术方案，下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本申请中记载的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为本申请实施例检测设备的一个整体结构示意图；

图2为本申请实施例检测设备的另一俯视结构示意图；

图3为本申请实施例检测设备的另一俯视结构示意图；

图4为本申请实施例检测设备的另一俯视结构示意图；

图5为本申请实施例取件旋转装置的一个结构示意图；

图6为本申请实施例承载机构的一个结构示意图；

图7a为本申请实施例翻转装置的一个侧视结构示意图；

图7b为本申请实施例翻转装置的一个整体结构示意图；

图7c为本申请实施例翻转装置中，升降动力机构和工件取放机构的结构示意图；

图7d为本申请实施例翻转装置中，工件翻转机构的一个结构示意图；

图8为本申请实施例上料装置或下料装置的一个结构示意图；

其中，附图标记为：

检测基座1、上料装置2、传送轨道3、移载台31、检测机构4、光学检测相机41；目标工件11；

翻转装置5、工件翻转机构51、旋转安装板511、旋转立板512、旋转轴513、翻转动力机构514、夹持部515；升降动力机构52、升降电机521、升降台522、工件取放机构53；竖向导轨531、竖向动力机构532、升降板533、夹取部534、第一方向动力组件5341、夹取件5342；

取件旋转装置6、取件旋转机构61、取物结构611、承接组件612、旋转动力源613、取件动力机构62、定位相机63；

下料装置7、承载机构8、空盘存位81、次品位82、合格品位83、第一龙门架9、第二龙门架10。

具体实施方式

为了使本技术领域的人员更好地理解本申请方案，下面将结合本申请实施例中的附图，对本申请实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅是本申请一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本申请中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本申请保护的范围。

在本申请实施例的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等(如果存在)指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本申请实施例和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本申请实施例的限制。此外，术语“第一”、“第二”、“第三”仅用于区别类似的对象等描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或顺序。

在本申请实施例的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本申请实施例中的具体含义。

下面将以芯片作为示例性的目标工件，详细说明本申请的翻转装置5及检测装置，当然，本申请的装置还可应用于除芯片之外的其他待处理对象。其中，芯片可由作为置物盘的料盘盛放，使得此时被夹持或被翻转的被处理对象为料盘，故此时可理解的是，料盘可被视作目标工件。

请参阅图1和图2，本申请第一方面提供检测设备的一个实施例，该检测设备包括检测基座1(可视为设备机架)，还包括：设置于检测基座1的传送轨道3、检测机构4和翻转装置5；

传送轨道3上设有移载台31，移载台31用于承载目标工件沿传送轨道3的延伸方向移动；沿传送轨道3的轨迹设有检测工位和翻转工位；检测机构4用于，对移至传送轨道3检测工位的目标工件11的第一面进行检测；翻转装置5用于，将移至传送轨道3翻转工位的目标工件11绕一水平轴线翻转第一预设角度，并将翻转后的目标工件放回移载台31，以待检测机构4检测目标工件的第二面。

因此，本申请实施例的检测机构4，可以对运行至检测工位的目标工件11的第一面和第二面进行检测，以判断目标工件如芯片是否为合格工件，降低生产过程中的错误发生率。另一方面，翻转装置5可以对位于翻转工位的目标工件进行翻转，以使得目标工件的第二面位于检测机构4的检测视场内，从而实现对目标工件更全面可靠的质量检测，提高目标工件生产的良品率和作业进度，减少人工作业成本。

在上述示例说明的基础上，下面将提供一些具体的可能实施示例，实际应用中，这些示例之间的实施内容可根据相应的功能原理和应用逻辑由需地结合实施。

在一个具体示例中，目标工件11由置物盘(或称为料盘)盛放，移载台31通过置物盘承载目标工件；翻转装置5用于，将盛有目标工件的置物盘绕一水平轴线翻转第一预设角度。例如，移载台31可通过料盘盛放芯片，而翻转装置5的设置，能将盛放芯片的料盘绕一水平轴线翻转180度，使得芯片的俯视角度面即朝上物面，由原来的第一面变为与第一面相背的第二面，以便检测机构4全面检测落入检测视场的该芯片是否有质量缺陷。

如图7a所示，在一个具体示例中，翻转装置5包括工件翻转机构51、升降动力机构52和工件取放机构53；

工件翻转机构51安装于升降动力机构52，升降动力机构52安装于检测基座1；升降动力机构52，与工件取放机构53滑动连接，升降动力机构52用于驱动调节工件取放机构53和工件翻转机构51沿竖直方向移动；工件取放机构53用于，将目标工件置于工件翻转机构51的夹持部515，并将翻转后的目标工件从夹持部515移到移载台31；工件翻转机构51用于，翻转被夹持于夹持部515的目标工件。

具体的，如图7b所示，升降动力机构52包括升降电机521和升降台522；升降电机521安装于龙门架的立板，工件取放机构53和工件翻转机构51安装于升降台522，而升降电机521用于驱动升降台522沿竖直方向升降；因此，工件取放机构53和工件翻转机构51在升降电机521的驱动下能竖直升降，以调节它们与移载台31上的目标工件的间距，从而方便取放和翻转目标工件。

如图7c所示，在一个具体示例中，工件取放机构53包括：竖向导轨531、竖向动力机构532、升降板533、夹取部534；竖向导轨531和竖向动力机构532安装于升降动力机构52，具体可安装于升降动力机构52的升降台522，竖向导轨531起导向作用；竖向动力机构532用于驱动升降板533沿竖向导轨531竖直滑动；夹取部534设于升降板533，夹取部534用于夹取目标工件。

具体的，工件取放机构53还可以包括取放组件底板201，该取放组件底板201安装于升降动力机构52的升降台522，而竖向导轨531和竖向动力组件可安装在取放组件底板上，进而使得整个工件取放机构53在升降动力机构52的驱动及升降台522的带动下，能沿竖向导轨531实现竖直升降。

如图7c所示，在一些具体示例中，夹取部534包括第一方向动力组件5341、相对布置的两个夹取件5342，该夹取件5342具体可为夹爪；该第一方向动力组件5341安装于升降板533，并用于驱动相对布置的两个夹取件5342相互靠近以夹取工件或远离以放开工件，换而言之，第一方向动力组件5341可用以，根据目标工件的尺寸动态调整两个夹取件5342之间的相互间距，从而确保两个夹取件5342能兼容稳定地夹取不同规格的目标工件置于工件翻转机构51，以待翻转装置5对目标工件进行翻转。其中，第一方向可视为两个夹取件的连接轴的延伸方向。

如图7d所示，在一些具体示例中，工件翻转机构51包括：转接结构、旋转轴513、翻转动力机构514、夹持部515；转接结构安装于升降动力机构52，转接结构转动连接旋转轴513；翻转动力机构514在旋转轴513的轴承作用下，驱动夹持部515绕旋转轴513翻转第一预设角度(如180度)，以带动被夹持于夹持部515的目标工件翻转，如最终使得目标工件翻转至第二面。

具体的，转接结构具体为包括旋转安装板511和旋转立板512，或者具体包括匚状立板的连接结构，具体不做限制，只要其能辅助目标工件以目标翻转角度翻转即可。示例性的，当转接结构具体包括旋转安装板511和旋转立板512时，旋转安装板511安装于升降组件，并与旋转立板512相连；夹持部515通过旋转轴513与旋转立板512转动连接，以使得夹持部515在翻转动力机构514的驱动下，绕旋转轴513翻转目标工件第一预设角度。实际应用中，翻转装置5的夹持部515可兼容夹持不同尺寸的目标工件。

具体的，翻转装置5的夹持部515可同时夹持住高层的空料盘和低层盛有目标芯片的载物料盘，以使得该空料盘和载物料盘能同时被翻转动力组件驱动翻转180度，从而将载物料盘上的目标芯片翻转落到原高层的空料盘内，实现对目标芯片11的正反面翻转。

示例性的，翻转装置5的夹取部534可：夹取一置物空盘(空料盘)覆盖原置物盘，并将原置物盘和置物空盘共同置于翻转装置5的夹持部515；其中，被覆盖的原置物盘被翻转前，盛有目标工件(目标芯片)并承载于移载台31；以及，待工件翻转机构51绕一水平轴线翻转第一预设角度，以将目标工件翻转落至置物空盘之后，夹取部534取走空置后的原置物盘；而完成翻转后的目标芯片及连带盛放其的原空料盘，可被翻转装置5的夹取部534或夹持部515放置回移载台31。其中，原高层的空料盘可来自承载机构8的空盘存位81，或来自空置移载台31的空载物盘，该空置移载台31为多条传送轨道3上未分配有目标工件的移载台31。

上述主要说明翻转装置5的组成结构和运行原理，下面将另外说明本检测设备中的其他装置及其应用原理。

关于检测机构4。检测机构4可以包括光学检测相机41；该光学检测相机41用于检测，目标工件的第一面的属性信息和第二面的属性信息，例如，判断检测视场内目标工件的朝上物面是否存在缺陷。实际应用中，检测机构4可与下述的取件旋转装置6信号连接，以将检测机构4对目标工件的检测结果发送给取件旋转装置6，使得取件旋转装置6有依据地甄别并取放合格工件或不合格工件，提高设备对次品工件的筛查能力和滤除效率。

在上述说明的基础上，为确保目标工件最终能以统一的朝向摆放，故本检测设备还可以包括取件旋转装置6，该取件旋转装置6设置于检测基座1；取件旋转装置6用于，取放目标工件，和/或，带动收取的目标工件沿一竖直轴线旋转第二预设角度直至目标朝向。

如图5所示，在一些具体示例中，取件旋转装置6包括取件旋转机构61和取件动力机构62；取件动力机构62设置于检测基座1，取件动力机构62连接取件旋转机构61；取件动力机构62用于，驱动调节取件旋转机构61与承载于移载台31的目标工件之间的竖直距离；沿传送轨道的轨迹还设有取件工位，取件旋转机构61用于，在竖直距离达到预设间距时收取移至传送轨道取件工位的目标工件，和/或，带动收取的目标工件沿一竖直轴线旋转第二预设角度(如180度)直至目标朝向。

具体的，取件旋转机构61可包括吸盘结构，该吸盘结构在接通真空的情况下，可将目标工件吸附至吸嘴处，从而实现下述一种或多种功能：

功能一、将被收取的目标工件如芯片的朝向旋转至目标朝向。

具体的，取件旋转机构61包括承接组件612、旋转动力源613和取物结构611；取物结构611通过承接组件612与旋转动力源613连接；安装于取件动力机构62的旋转动力源613用于，将被收取至取物结构611(如吸盘结构)的目标工件绕一竖直轴线旋转至目标朝向。当然，取件旋转装置6还可包括定位相机63，该定位相机63用于判断放置在料盘上的芯片朝向是否为目标朝向，若不是，则启用取件旋转机构61将该芯片从料盘内吸取到取物结构611(如吸嘴)处，并在旋转动力源613的驱动下将该芯片旋转至目标朝向，并最终可在取件动力机构62的带动和破真空状态下将芯片以目标朝向放回到料盘。

功能二、从承载机构8的合格品位83取合格工件，代替不合格的原目标工件归置于移载台31。

如图6所示，具体的，根据检测机构4的检查结果，取物结构611将位于承载台料盘上的不合格目标工件(次品)取出放至次品盘上，并取一合格品工件作为新的目标工件放回到该料盘上，以确保位于承载台的料盘最终都能盛放有合格工件、不空载；当然，最后放回到料盘的合格品工件的朝向，还可由上述取件旋转机构61旋转调整，以保证合格品工件最终在承载台上的摆放朝向达标(为目标朝向)。其中，次品盘存放于承载机构8的次品位82，作为替补取出的前述合格品工件可来自承载机构8的合格品位83，具体可来自合格品位83内的料盘。一般的，目标工件的第一面和第二面均被检测合格，才可认为该目标工件为合格工件。

因此相应的，本申请的检测设备还可以包括承载机构8；该承载机构8设置于检测基座1，承载机构8包括空盘存位81(或称为空盖板位)、次品位82(或称为NG物料位)和合格品位83(或称为OK物料位)；空盘存位81存放置物空盘；次品位82存放次品置物盘，次品置物盘用于盛放不合格的目标工件；合格品位83存放合格品置物盘，合格品置物盘用于盛放合格的目标工件。实际应用中，承载机构8内空盘存位81、次品位82和合格品位83分别存放的料盘或芯片，可由人工事先放入。

如图2和图3所示，在一些具体示例中，承载机构8还可以包括承载轨道，空盘存位81、次品位82和合格品位83可以均设于承载轨道，且承载轨道的延伸方向与传送轨道3的延伸方向平行，以便取件旋转机构61顺利取到作为替补的合格工件。

如图1所示，在一些具体示例中，当检测设备还包括取件旋转装置6时，该检测设备还可以包括第一龙门架9；

第一龙门架9安装于检测基座1，取件旋转装置6安装于第一龙门架9；第一龙门架9设有导轨，且第一龙门架9的导轨延伸方向和传送轨道3的延伸方向相交，第一龙门架9横跨承载轨道和传送轨道3，以使得取件旋转装置6沿第一龙门架9的导轨在传送轨道3和承载轨道之间移动。

具体的，第一龙门架9的设置，有助于取件旋转装置6自由运行至传送轨道3的取放工位或承载机构8的正上方，从而顺利地实现上述功能一和/或功能二。实际应用中，根据业务需求和分配能力，当存在多条传送轨道3时，每条传送轨道3的上空可以各自架设一条第一龙门架9，以为各自的传送轨道3分配单独的取件旋转装置6，避免高峰期时造成较长的处理等待时长。或者，当然的，多条传送轨道3之间也可选择共同架设一条第一龙门架9，以共用一套取件旋转装置6，降低设备的投入成本；其中，被共享的这套取件旋转装置6，应当能在多条传送轨道3和多条承载轨道之间来回移动，即被共用的这条第一龙门架9，应当能横跨到这些多条传送轨道3和多条承载轨道。

需要说明的是，根据实际经验，为每一传送轨道3分别提供一承载轨道，能有效避免取件旋转装置6沿第一龙门架9运行时，产生移动堵塞或无法通行至较远的承载机构8上方，进而耽搁作业时长或影响设备性能。

如图3和图8所示，本申请的检测设备还可以包括：设置于传送轨道3延伸端的上料装置2；沿传送轨道3的轨迹还设有上料工位，移载台31通过轨道动力源移动至传送轨道3的上料工位，上料装置2用于将目标工件置于移载台31。

如图2和图3所示，本申请的检测设备还可以包括：设置于传送轨道3延伸端的下料装置7；沿传送轨道3的轨迹还设有下料工位，移载台31通过轨道动力源移动至传送轨道3的下料工位，下料装置7用于收取移载台31上的合格目标工件。

实际应用中，上料装置2和下料装置7的结构类似，不同的是，上料装置2的功能是，将目标工件下发给移载台31，使得检测机构4和翻转装置5等对目标工件进行后续处理；而下料装置7的功能是，收取移载台31上的合格目标工件，而此合格目标工件是前述检测机构4、翻转装置5等对目标工件进行处理得到的。

如图8所示，具体的，以上料装置2为例。上料装置2包括限位部1、物料动力组件2、转接台3；该限位部1用于限位堆叠多个目标工件，具体的，用于限位码垛多个分别盛有芯片的料盘；物料动力组件2则提供动力，以将最低层的料盘由转接台3推送到位于上料工位的移载台31，使得最终承载于移载台31的料盘能被传送轨道的直线电机5驱动，并沿传送轨道的延伸方向运行至检测工位、翻转工位等，从而实现对芯片的检测和翻转等。

不同的是，下料装置7的物料动力组件2用于顶升并向上码垛料盘，具体的，将由传送轨道的直线电机5驱动至下料工位的料盘，由转接台3往上抬升码垛，而后，待每个下料码垛预设数目个料盘后，由人工取走这些料盘，以待下一轮芯片被检测及码垛。需要说明的是，下料装置7码垛收取的是移载台31上的合格目标工件。

如图1所示，在一些具体示例中，本申请的检测设备还可以包括第二龙门架10；第二龙门架10设于检测基座1，第二龙门架10相对的两侧分别设有检测导轨和翻转导轨；检测导轨的延伸方向和翻转导轨的延伸方向平行，且均和传送轨道3的延伸方向相交；检测机构4安装于检测导轨，以使得检测机构4沿检测导轨移至传送轨道3的检测工位；翻转装置5安装于翻转导轨，以使得翻转装置5沿翻转导轨在传送轨道3和承载轨道之间移动。

具体的，如此设置第二龙门架10的检测导轨和翻转导轨的延伸方向，目的在于，为确保沿检测导轨和翻转导轨运行的检测机构4和翻转装置5能移至指定工位，相当于，为保证检测机构4和翻转装置5能运行到所设有的传送轨道3上方，及翻转装置5能运行到所设有的承载轨道上方，从而实现对各传送轨道3上的目标工件的检测和翻转；其中，需要能运行到承载轨道，是因为芯片翻转过程中，会需要用到承载机构8存放的空料盘。

同理上述第一龙门架9，实际应用中，根据业务需求和分配能力，当存在多条传送轨道3时，每条传送轨道3的上空可以各自架设一条第二龙门架10，以为各自的传送轨道3分配单独的检测机构4和翻转装置5，避免高峰期时造成较长的处理等待时长。或者，当然的，如图1或图2，多条传送轨道3之间也可选择共同架设一条第二龙门架10，以共用一套检测机构4和翻转装置5，降低设备的投入成本；其中，被共享的这套检测机构4和翻转装置5，应当能在多条传送轨道3和多条承载轨道之间来回移动，即被共用的这条第二龙门架10，应当能横跨到这些多条传送轨道3和多条承载轨道，具体的，检测导轨和翻转导轨相背地分布于这条第二龙门架10。

因此，在一些具体示例中，当传送轨道3为延伸方向平行的多条传送轨道3时，承载轨道为方向平行的多条承载轨道时，第一龙门架9和第二龙门架10横跨多条传送轨道3，第一龙门架9和第二龙门架10横跨多条承载轨道。

综上，上料机构在上料工位送出盛有目标工件(如芯片)的料盘，该料盘可沿传送轨道3由移载台31运行至检测工位，使得检测机构4对芯片的第一面(可视为正面)进行检测；而后，移载台31继续运行该料盘至翻转工位，并由翻转装置5对芯片和料盘绕一水平轴线翻转第一预设角度(如翻转180度以使芯片第二面朝上)，翻转装置5还会将翻转后的芯片及盛放其的料盘放回移载台31，以待检测机构4检测行至检测工位的芯片第二面(可视为背面或反面)；待芯片正反面均检测完成后，取件旋转装置6可对该芯片进行取放和/或旋转处理(旋转的是合格芯片的朝向)；最后，下料装置7会在下料工位将移载台31上的合格芯片收取回去。其中，芯片被翻转的期间，翻转装置5的夹取部534可以从承载机构8中取一空料盘覆盖原先盛有芯片的料盘，以使得芯片最终能翻转落至原空料盘，并由原空料盘盛放及承载于移载。待芯片正反面均检测完成后，具体的，移载台31带动料盘移动至取件旋转装置6下方的处理工位上，取件旋转装置6将料盘上的次品取走，放在承载机构8的NG物料位，并从OK物料位将合格的芯片旋转放置至之前移走的次品所在位置，即取一合格芯片作为替补并以目标朝向放回移载台31的料盘。

此外，待芯片正反面均检测完成后，翻转装置5可选择将空料盘扣在承载芯片的料盘上，并将芯片旋转至上料时放置的状态(回到起初时的朝上面即第一面)，并取走芯片上方的空料盘，而后再由取件旋转装置6对芯片进行处理。

以上实施例仅用以说明本申请的技术方案，而非对其限制。

Claims (17)

1.一种检测设备，包括检测基座，其特征在于，还包括：设置于所述检测基座的传送轨道、检测机构和翻转装置；

所述传送轨道上设有移载台，所述移载台用于承载目标工件沿所述传送轨道的延伸方向移动；

沿所述传送轨道的轨迹设有检测工位和翻转工位；

所述检测机构用于，对移至传送轨道检测工位的所述目标工件的第一面进行检测；

所述翻转装置用于，将移至传送轨道翻转工位的所述目标工件绕一水平轴线翻转第一预设角度，并将翻转后的目标工件放回所述移载台，以待所述检测机构检测目标工件的第二面。

2.根据权利要求1所述的检测设备，其特征在于，所述目标工件由置物盘盛放，所述移载台通过所述置物盘承载所述目标工件；

所述翻转装置用于，将盛有目标工件的置物盘绕一水平轴线翻转第一预设角度。

3.根据权利要求1或2所述的检测设备，其特征在于，所述翻转装置包括工件翻转机构、升降动力机构和工件取放机构；

所述工件翻转机构安装于所述升降动力机构，所述升降动力机构安装于所述检测基座；

所述升降动力机构，与所述工件取放机构滑动连接，所述升降动力机构用于驱动调节所述工件取放机构和所述工件翻转机构沿竖直方向移动；

所述工件取放机构用于，将所述目标工件置于所述工件翻转机构的夹持部，并将翻转后的目标工件从所述夹持部移到所述移载台；

所述工件翻转机构用于，翻转被夹持于所述夹持部的所述目标工件。

4.根据权利要求3所述的检测设备，其特征在于，所述工件取放机构包括：竖向导轨、竖向动力机构、升降板、夹取部；

所述竖向导轨和所述竖向动力机构安装于所述升降动力机构；

所述竖向动力机构用于驱动所述升降板沿所述竖向导轨竖直滑动；

所述夹取部设于所述升降板，所述夹取部用于夹取目标工件。

5.根据权利要求4所述的检测设备，其特征在于，所述夹取部包括第一方向动力组件、相对布置的两个夹取件；

所述第一方向动力组件安装于所述升降板，并用于驱动所述相对布置的两个夹取件相互靠近以夹取目标工件，或相互远离以放开目标工件。

6.根据权利要求3所述的检测设备，其特征在于，所述工件翻转机构包括：转接结构、旋转轴、翻转动力机构、夹持部；

所述转接结构安装于所述升降动力机构，所述转接结构转动连接所述旋转轴；

所述翻转动力机构在所述旋转轴的轴承作用下，驱动所述夹持部绕所述旋转轴翻转第一预设角度，以带动被夹持于夹持部的所述目标工件翻转。

7.根据权利要求1所述的检测设备，其特征在于，所述检测机构包括光学检测相机；

所述光学检测相机用于检测，所述目标工件的所述第一面的属性信息和所述第二面的属性信息。

8.根据权利要求1或2所述的检测设备，其特征在于，还包括取件旋转装置，所述取件旋转装置设置于所述检测基座；

所述取件旋转装置用于，取放所述目标工件，和/或，带动收取的所述目标工件沿一竖直轴线旋转第二预设角度直至目标朝向。

9.根据权利要求8所述的检测设备，其特征在于，所述取件旋转装置包括取件旋转机构和取件动力机构；

所述取件动力机构设置于所述检测基座，所述取件动力机构连接所述取件旋转机构；

所述取件动力机构用于，驱动调节所述取件旋转机构与承载于移载台的目标工件之间的竖直距离；

沿所述传送轨道的轨迹还设有取件工位，所述取件旋转机构用于，在所述竖直距离达到预设间距时收取移至传送轨道取件工位的目标工件，和/或，带动收取的所述目标工件沿一竖直轴线旋转第二预设角度直至目标朝向。

10.根据权利要求9所述的检测设备，其特征在于，所述取件旋转机构包括承接组件、旋转动力源和取物结构；

所述取物结构通过所述承接组件与所述旋转动力源连接；

安装于所述取件动力机构的所述旋转动力源用于，将被收取至所述取物结构的所述目标工件绕一竖直轴线旋转至目标朝向。

11.根据权利要求1所述的检测设备，其特征在于，还包括承载机构；

所述承载机构设置于所述检测基座，所述承载机构包括空盘存位、次品位和合格品位；

所述空盘存位存放置物空盘；

所述次品位存放次品置物盘，所述次品置物盘用于盛放不合格的目标工件；

所述合格品位存放合格品置物盘，所述合格品置物盘用于盛放合格的目标工件。

12.根据权利要求11所述的检测设备，其特征在于，所述承载机构还包括承载轨道，所述空盘存位、次品位和合格品位均设于所述承载轨道，且所述承载轨道的延伸方向与所述传送轨道的延伸方向平行。

13.根据权利要求12所述的检测设备，其特征在于，还包括第一龙门架，所述第一龙门架安装于所述检测基座；

所述检测设备还包括取件旋转装置，所述取件旋转装置安装于所述第一龙门架；

所述第一龙门架设有导轨，且所述第一龙门架的导轨延伸方向和所述传送轨道的延伸方向相交，所述第一龙门架横跨所述承载轨道和所述传送轨道，以使得取件旋转装置沿第一龙门架的导轨在所述传送轨道和所述承载轨道之间移动。

14.根据权利要求1所述的检测设备，其特征在于，还包括设置于所述传送轨道延伸端的上料装置；

沿所述传送轨道的轨迹还设有上料工位，所述移载台通过轨道动力源移动至所述传送轨道的上料工位，所述上料装置用于将所述目标工件置于所述移载台。

15.根据权利要求1所述的检测设备，其特征在于，还包括设置于所述传送轨道延伸端的下料装置；

沿所述传送轨道的轨迹还设有下料工位，所述移载台通过轨道动力源移动至所述传送轨道的下料工位，所述下料装置用于收取所述移载台上的合格目标工件。

16.根据权利要求13所述的检测设备，其特征在于，还包括第二龙门架，所述第二龙门架设于所述检测基座，所述第二龙门架相对的两侧分别设有检测导轨和翻转导轨；

所述检测导轨的延伸方向和所述翻转导轨的延伸方向平行，且均和所述传送轨道的延伸方向相交；

所述检测机构安装于所述检测导轨，以使得所述检测机构沿检测导轨移至传送轨道的检测工位；

所述翻转装置安装于所述翻转导轨，以使得所述翻转装置沿翻转导轨在所述传送轨道和所述承载轨道之间移动。

17.根据权利要求16所述的检测设备，其特征在于，当所述传送轨道为延伸方向平行的多条传送轨道时，所述承载轨道为方向平行的多条承载轨道时，所述第一龙门架和所述第二龙门架横跨所述多条传送轨道，所述第一龙门架和所述第二龙门架横跨所述多条承载轨道。

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