CN218910593U - 防晶棒坠落装置和具有其的晶体生长设备 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种防晶棒坠落装置和具有其的晶体生长设备，防晶棒坠落装置包括：安装座和托臂，托臂可转动地设于安装座上，托臂具有防脱状态，在防脱状态，托臂在第一防坠位置和第二防坠位置之间可活动，托臂在第一防坠位置、第二防坠位置和位于第一防坠位置和第二防坠位置之间的任一位置，托臂均可承接晶棒。根据本实用新型的防晶棒坠落装置，通过安装座上设置的可活动托臂，可以在取棒的整个过程中，为晶棒提供承接作用，进而可以防止晶棒坠落至地面，降低对晶棒本身、地面操作人员及生长设备造成损坏及伤害。

Description

防晶棒坠落装置和具有其的晶体生长设备

技术领域

本实用新型涉及单晶炉技术领域，尤其是涉及一种防晶棒坠落装置和具有其的晶体生长设备。

背景技术

单晶炉是半导体技术领域生长单晶的常用设备，采用CZ法生产单晶。通常先在单晶炉中将多晶硅料投入单晶炉的主室中高温熔化，将籽晶浸入，单晶炉中提拉机构向上作慢速提拉，经过引晶、放肩、转肩、等径、收尾等步骤最终形成晶棒；然后将晶棒从单晶炉的副室中取出。通常晶棒在引晶处的直径为4-6㎜，该引晶部分的抗拉应力远大于抗剪应力。则取出晶棒时，关闭隔离阀并将副室在水平方向上旋转，使得副室与主室间隔，而副室在旋转过程中会带动晶棒旋转易受到剪切应力，进而易发生断线引起晶棒坠落，造成坩埚、热场等击穿，而在炉内坠落的晶棒取出较为困难；在副室中提拉机构的作用晶棒下降进入取棒车位置，由于副室的振动或旋转后副室的倾斜，(因处于副室内的晶棒在提拉机构的作用下始终处于竖直状态，使得竖直的晶棒与副室间的相对位置不是同轴的)容易使得晶棒受到剪切应力，进而在晶棒进入取棒车过程中也会发生坠落的风险，造成晶棒较为严重的损伤。但是目前却没有一种保护装置，可保证晶棒安全地从副室旋出到取棒车位置。

实用新型内容

本实用新型旨在至少解决现有技术中存在的技术问题之一。为此，本实用新型在于提出一种防晶棒坠落装置，所述防晶棒坠落装置可以对晶棒起到承接作用，可以对晶棒取棒的整个过程进行防护，避免晶棒坠落的风险，进而降低了对晶棒本身、现场作业员及晶体生长设备造成的伤害及损失。

本实用新型还提出一种具有上述防晶棒坠落装置的晶体生长设备。

根据本实用新型第一方面的防晶棒坠落装置，所述防晶棒坠落装置用于防止晶棒坠落，所述防晶棒坠落装置包括：安装座；托臂，所述托臂可活动地设于所述安装座上，所述托臂具有防脱状态，在所述防脱状态，所述托臂在第一防坠位置和第二防坠位置之间可活动，所述托臂在所述第一防脱位置、所述第二防坠位置和位于所述第一防坠位置和所述第二防坠位置之间的任一位置，所述托臂均可承接所述晶棒。

根据本实用新型的防晶棒坠落装置，通过安装座上设置的可活动托臂，可以在从副室取出晶棒的整个过程中，为晶棒提供承接作用，进而可以防止晶棒坠落至炉内或地面，降低对晶棒本身、地面操作人员及生长设备造成损坏及伤害。而当托臂与晶棒表面形成有一定的间距，可以保证晶棒在托臂的防护下安全下落至取棒车的取棒位置，降低了晶棒的坠落风险，也有效地避免了因晶棒倾斜造成卡棒而坠落的风险。

根据本实用新型的一些实施例，在所述第一防坠位置时，所述托臂位于所述晶棒的下侧，所述托臂适于与所述晶棒的尾部的外表面接触，或，所述托臂适于与所述尾部上下相对；在所述第二防坠位置时，所述托臂位于所述晶棒的径向外侧，所述托臂与所述晶棒的等径部的外表面接触，或，所述托臂与所述等径部的外表面之间的间距小于预设防坠间距。

根据本实用新型的一些实施例，防晶棒坠落装置还包括：距离传感器，所述距离传感器用于检测所述托臂与所述晶棒之间的间距。

根据本实用新型的一些实施例，防晶棒坠落装置还包括：滚动件，所述滚动件绕球心可滚动地设于所述托臂上，或，所述滚动件绕水平延伸的转动轴线可转动地设于所述托臂上，所述托臂适于通过所述滚动件承接所述晶棒。

根据本实用新型的一些实施例，所述托臂沿朝向一侧凹陷的曲线和/或折线延伸，所述托臂的内侧限定出晶棒承接空间，所述滚动件设于所述托臂的朝向所述晶棒承接空间的一侧。

根据本实用新型的一些实施例，所述滚动件包括多个，多个所述滚动件沿所述托臂的延伸方向间隔布置。

根据本实用新型的一些实施例，防晶棒坠落装置还包括：支撑架，所述支撑架的一端绕水平延伸的旋转轴线可转动地与所述安装座相连，所述托臂设于所述支撑架的另一端；驱动件，所述驱动件与所述支撑架相连，所述驱动件用于驱动所述支撑架转动。

根据本实用新型的一些实施例，所述托臂还具有准备位置，在所述准备位置时，所述托臂位于所述安装座的上侧，在所述第一防坠位置和所述第二防坠位置，所述托臂均位于所述安装座的下侧。

根据本实用新型的一些实施例，在所述第一防坠位置和所述第二防坠位置，所述托臂在所述晶棒的径向由内向外的方向上向上倾斜设置。

根据本实用新型的一些实施例，防晶棒坠落装置还包括：传动轴，所述传动轴水平设置，所述传动轴的一端与所述驱动件相连，所述支撑架上设有连接部，所述连接部套设在所述传动轴上并与所述传动轴固定连接；轴承座，所述轴承座设于所述安装座上，所述轴承座包括间隔布置的至少两个，所述轴承座上设有轴承，所述传动轴通过轴承可转动地支撑于所述轴承座上；减速器，所述减速器连接在所述驱动件与所述传动轴之间，所述驱动件为电机。

根据本实用新型第二方面的晶体生长设备，包括副室和根据本实用新型第一方面的所述的防晶棒坠落装置，所述防晶棒坠落装置设于所述副室的外侧。

根据本实用新型的晶体生长设备，通过设置上述第一方面的防晶棒坠落装置，从而提高了晶体生长设备的使用寿命。

根据本实用新型的一些实施例，所述防晶棒坠落装置包括多个，多个所述防晶棒坠落装置沿所述副室的周向间隔布置。

根据本实用新型的一些实施例，所述副室的下端形成有沿径向向外凸出的法兰，所述安装座设于所述法兰上。

本实用新型的附加方面和优点将在下面的描述中部分给出，部分将从下面的描述中变得明显，或通过本实用新型的实践了解到。

附图说明

图1是根据本实用新型实施例的防晶棒坠落装置的示意图；

图2是根据本实用新型实施例的晶体生长设备的示意图；

图3是根据本实用新型实施例的晶体生长设备未使用防晶棒坠落装置时的示意图；

图4是根据本实用新型实施例的晶体生长设备使用防晶棒坠落装置时的正视图，其中托臂和滚动件支撑晶棒的底部；

图5是根据本实用新型实施例的晶体生长设备使用防晶棒坠落装置时的的侧视图，其中，托臂和滚动件抵接在晶棒的侧壁；

图6是图5中所示的晶体生长设备的晶体生长设备的正视图；

图7是图6中所示的晶体生长设备的晶体生长设备的局部放大图。

附图标记：

1000、晶体生长设备；

100、防晶棒坠落装置；

10、支撑架；11、连接部；

20、托臂；

30、滚动件；

40、安装座；

50、驱动件；

60、传动轴；

70、轴承座；71、轴承；

80、减速器；

200、副室；201、法兰；

2000、晶棒；2001、等径部；2002、尾部。

具体实施方式

下面详细描述本实用新型的实施例，所述实施例的示例在附图中示出，其中自始至终相同或类似的标号表示相同或类似的元件或具有相同或类似功能的元件。下面通过参考附图描述的实施例是示例性的，旨在用于解释本实用新型，而不能理解为对本实用新型的限制。

下面参考图1-图7描述根据本实用新型第一方面实施例的防晶棒坠落装置100。

如图1-6所示，根据本实用新型第一方面实施例的防晶棒坠落装置100，防晶棒坠落装置100用于防止晶棒坠落，防晶棒坠落装置100包括：安装座40和托臂20，托臂20可活动地设于安装座40上，托臂20具有防脱状态，在防脱状态，托臂20在第一防坠位置和第二防坠位置之间可活动，托臂20在第一防坠位置、第二防坠位置和位于第一防坠位置和第二防坠位置之间的任一位置，托臂20均可承接晶棒2000。

其中，托臂20在防脱状态时，托臂20翻转至安装座40的下侧，且具有两个防坠位置。在第一防坠位置时，托臂20翻转至副室200与晶棒2000的下侧，在拉高副室200和旋转副室200的过程中，对晶棒2000的坠落起到防脱作用；在第二位置时，托臂20位于晶棒2000的径向外侧，对晶棒2000下降至取棒车位置的过程进行防脱作用，同时在整个过程中，托臂20始终用于承接晶棒2000。

首先，晶棒2000生长结束后随之完全进入副室200内，先提升副室200使其与炉盖分离，此时翻转防坠落装置的托臂20，使得托臂20位于第一防坠位置，托臂20位于晶棒2000的下侧；再次旋转副室200，晶棒2000也随之旋转，在此过程中，当晶棒2000受到横向剪切力的作用时，在剪切力的作用下，晶棒2000可能发生坠落，此时托臂20位于第一防坠位置即位于晶棒2000下侧的托臂20会对晶棒2000产生承托作用，防止晶棒2000继续跌落，进而降低晶棒2000对晶体生长设备1000、现场操作人员及晶棒2000本身产生的损坏；然后，晶棒2000在提拉装置的作用下缓慢下降，在晶棒2000下降的过程中，托臂20的旋转角度在逐渐地增大，使得托臂20从第一防坠位置平滑地过渡到位于第二防坠位置，托臂20位于晶棒2000的径向外侧，如果晶棒2000受到横向剪切力的作用突然发生坠落，这时，在横向剪切力的作用下，晶棒2000相对于竖向发生倾斜，这时控制托臂20移动，使托臂20移动至可承接晶棒2000位置，对晶棒2000进行承接作用，或移动至晶棒2000表面接触使托臂20夹持住晶棒2000，进而对晶棒2000产生一个横向作用力，进而可以减缓晶棒2000的坠落，为晶棒2000坠落提供一定的缓冲作用，降低晶棒2000坠毁的风险。

当长晶生长结束后晶棒2000完全升至副室200，举升副室200后，启用防晶坠落装置100，将该防晶棒坠落装置100的托臂20翻转置于副室200底部，使托臂20到达第一防坠位置，下降晶棒2000，使托臂20对晶棒2000起到承接的作用；旋转副室200，使副室200到达取棒区域后，继续下降晶棒2000，控制托臂20的旋转角度逐渐增大，使得托臂20从第一防坠位置平滑地过渡到位于第二防坠位置，托臂20位于晶棒2000的径向外侧，对晶棒2000始终处于承接状态，继续下降晶棒2000至取棒车取棒位置。

根据本实用新型实施例的防晶棒坠落装置100，通过安装座40上设置的可活动托臂20，可以在副室200取出晶棒2000的整个过程中，为晶棒2000提供承接作用，进而可以防止晶棒2000坠落至炉内或地面，降低对晶棒2000本身、地面操作人员及生长设备造成损坏及伤害。同时，托臂20与晶棒2000表面形成有一定的间距，可以保证晶棒2000在托臂20的防护下安全下落至取棒车的取棒位置，降低了晶棒2000的坠落风险。

此外相对于现有技术，本实用新型实施例中的防坠落装置100通过托臂20在第一防坠位置和第二防坠位置活动，可以实现在取晶棒2000的整个过程中对晶棒2000起到防护作用，且本实施例中的防坠落装置100可以控制托臂20与晶棒2000之间的距离，进而无需拉升晶棒2000即可实现晶棒2000的自由下降。而现有技术中的取晶棒过程中，大多数为使其尾部结构卡入防坠落装置中，而对晶棒2000进行防坠保护，在副室200旋转至取棒区域后，需晶棒2000继续下降至取棒车时，需将晶棒2000适当地升起才可将现有的防坠落装置撤出，进而实现晶棒2000继续下落至取棒车，且不能保证晶棒2000安全地从副室200旋出到取棒车位置。

根据本实用新型的一些实施例，如图4-图6所示，第一防坠位置时，托臂20位于晶棒2000的下侧，托臂20适于与晶棒的尾部2002的外表面接触，或，托臂20适于与尾部2002上下相对；也就是说，托臂20可以与晶棒的尾部2002的外表面接触，托臂20也可以与晶棒的尾部2002形成有一定的距离，但上下相对，对晶棒2000起到承接的作用。在第二防坠位置时，托臂20位于晶棒2000的径向外侧，托臂20与晶棒的等径部2001的外表面接触，或，托臂20与等径部2001的外表面之间的间距小于预设防坠间距；也就是说，托臂20可以与等径部2001的外表面接触，也可以与等径部2001的外表面具有一定的间距，这个间距小于预设防坠间距，例如，预设防坠间距可以为距晶棒2000外表面1mm-2mm。当晶棒2000受到横向剪切力的作用突然发生坠落，在横向剪切力的作用下，晶棒2000相对于竖向发生倾斜，这时，晶棒2000会直接卡在托臂20上，或者在掉落很小段距离之后卡在托臂20上，托臂20会对晶棒2000产生一个向上的承托力，对晶棒2000产生承托的作用，降低晶棒2000坠毁的风险。

根据本实用新型的一些实施例，如图1所示，防晶棒坠落装置100还包括：距离传感器，距离传感器用于检测托臂20与晶棒2000之间的间距。距离传感器可以安装在托臂20上，当托臂20与晶棒2000之间的距离达到预设距离后，距离传感器发送信号使托臂20停止运动，可以防止因托臂20运动幅度过大而对晶棒2000产生横向作用力，降低晶棒2000掉落的风险。同时，距离传感器可以对托臂20运动实现精确控制，进而可以减少人为误差造成的损失。

根据本实用新型的一些实施例，如图1所示，防晶棒坠落装置100还包括：滚动件30，滚动件30绕球心可滚动地设于托臂20上，或，滚动件30绕水平延伸的转动轴线可转动地设于托臂20上，托臂20适于通过滚动件30承接晶棒2000。其中，滚动件30可以为设置在托臂20上的可以转动的球体，使晶体可以相对托臂20运动。当然，在另一些实施例中，滚动件30还可以为设置在托臂20上的绕水平延伸的转动轴线可转动其他物体，例如图1所示的圆柱体等。托臂20可以通过滚动件30的表面与晶棒2000外表面接触，进而可以增加托臂20与晶棒2000的接触面积；当托臂20在第一防坠位置时，若晶棒2000突然坠落，托臂20会及时地托住晶棒2000，托臂20上设有滚动件30的滚动作用下对晶棒2000的突然下坠起到缓冲的作用，可以降低晶棒2000自身的重力对托臂20和晶棒2000本身造成损坏的几率，进而对晶棒2000产生保护作用；当托臂20在第二防坠位置时，若晶棒2000突然坠落，控制托臂20趋近于晶棒2000，使托臂20有效的夹持住晶棒2000，托臂20上的滚动件30与晶棒2000接触，并对晶棒2000产生横向的作用力，可以对晶棒2000的坠落产生一定的缓冲效果。

根据本实用新型的一些实施例，如图1所示，托臂20沿朝向一侧凹陷的曲线和/或折线延伸，也就是说，托臂20可以沿朝向一侧凹陷的曲线延伸，例如弧线；托臂20也可以沿朝向一侧凹陷的折线延伸，例如V型线，托臂20还可以沿朝向一侧凹陷的曲线与折线的组合线延伸。托臂20的内侧限定出晶棒2000承接空间，滚动件30设于托臂20的朝向晶棒2000承接空间的一侧。据统计，世界上硅单晶的产量中70％～80％是用直拉法生产的，直拉法生产的晶棒2000的形状一般是底部为锥形的圆柱体，而托臂20朝向晶棒2000的一侧为凹陷的曲线和/或者折线，可以在晶棒2000与托臂20内侧接触时，使其内侧完全贴合晶棒2000外表面，进而可以增大接触面积，使托臂20与晶棒2000的接触面均匀受力，防止托臂20本身对晶棒2000产生损伤。滚动件30设于托臂20的朝向晶棒2000的一侧，可以在晶棒2000与托臂20内侧发生接触时，对晶棒2000起到向下滑动的作用。

根据本实用新型的一些实施例，如图1所示，滚动件30包括多个，多个滚动件30沿托臂20的延伸方向间隔布置。例如，滚动件30可以为两个、三个及以上。当托臂20与晶棒2000发生接触时，设置多个滚动件30可以增加托臂20与晶棒2000之间的接触面积，进而可以增加晶棒2000的受力均匀性，减少晶棒2000的坠落及损伤。

根据本实用新型的一些实施例，如图1所示，防晶棒坠落装置100还包括：支撑架10和驱动件50，支撑架10的一端绕水平延伸的旋转轴线可转动地与安装座40相连，托臂20设于支撑架10的另一端驱动件50与支撑架10相连，驱动件50用于驱动支撑架10转动，进而可以控制托臂20运动，使托臂20可以在第一防坠位置和第二防坠位置之间活动，进而可以对晶棒2000取棒的整个过程进行防护。

根据本实用新型的一些实施例，如图2-6所示，托臂20还具有准备位置，在准备位置时，托臂20位于安装座40的上侧，在第一防坠位置和第二防坠位置，托臂20均位于安装座40的下侧。其中，晶棒2000在生产过程中时，防晶棒坠落装置100不启用，托臂20在准备位置，远离晶棒2000，收紧于副室200外壁，减少了收纳空间；当晶棒2000生长完毕后进入取棒阶段时，首先将晶棒2000拉高进入副室200，关闭隔离阀，拉高副室200至指定位置，同时启用防晶棒坠落装置100，将托臂20翻转至第一防坠位置，随后旋转副室200，晶棒2000随着副室200一起转动，因旋转副室200期间晶棒2000易受到剪切应力的作用而发生坠落，所以翻转至第一防坠位置的托臂20可以用于承接晶棒2000，可以有效避免晶棒2000突然坠落对单晶炉热场、坩埚等造成的损坏，防止了晶棒2000突然坠落对现场工作人员造成的伤害，进而提高了现场工作人员及设备的操作安全性。

副室200扭转至取棒车处后，晶棒2000在提拉装置的作用下缓慢下降，此时托臂20移动至第二防坠位置，使托臂20处于时刻可承接晶棒2000的状态，可在晶棒2000突然坠落或倾斜时及时地起到承托作用，保证晶棒2000安全地下降至取棒车的位置。

根据本实用新型的一些实施例，如图4-6所示，在第一防坠位置和第二防坠位置，托臂20在晶棒2000的径向由内向外的方向上向上倾斜设置。其中，通过设置托臂20与支撑架10形成有一定的夹角α(例如图7所示的夹角)，90°＜α≤150°，进而可以使托臂20与晶棒表面形成的角度为最优夹持角度，可以更好地夹持住突然坠落的晶棒2000。例如图4所示，托臂20与支撑架10形成的夹角为117°。当托臂20在第一防坠位置时，托臂20与晶体的锥体部2002形成有一定的夹角，晶棒2000坠落时，可以更好的承接晶棒2000；托臂20在第二防坠落位置时，晶棒2000缓慢下降，当晶棒2000突然坠落时，会伴随着一定的倾斜，这时，向上倾斜的托臂20会对晶棒2000产生一个沿径向的作用力，进而对晶棒2000产生一个向上的承托力，对晶棒2000产生一个承托的作用，降低了晶棒2000坠落的风险。

根据本实用新型的一些实施例，如图1所示，防晶棒坠落装置100还包括：传动轴60、轴承座70和减速器80。传动轴60水平设置，传动轴60的一端与驱动件50相连，支撑架10上设有连接部11，连接部11套设在传动轴60上并与传动轴60固定连接；轴承座70设于安装座40上，轴承座70包括间隔布置的至少两个，轴承座70上设有轴承71，传动轴60通过轴承71可转动地支撑于轴承座70上；减速器80连接在驱动件50与传动轴60之间，驱动件50为电机。

这样，驱动电机可以带动减速器80转动，减速器80带动传动轴60转动，传动轴60通过连接部11带动支撑架10转动，实现支撑架10在准备位置与防坠落位置之间活动，完成支撑架10的收纳及对晶棒2000的防护支撑作用。其中，防晶棒坠落装置100使用时所需的转速较低，减速器80主要用来降低电机转速，增大输出扭矩，降低负载的惯量，以满足防晶棒2000坠落装置100的使用。

根据本实用新型第二方面的晶体生长设备1000，如图2所示，包括副室200和根据本实用新型第一方面的防晶棒坠落装置100，防晶棒坠落装置100设于副室200的外侧。

根据本实用新型实施例的晶体生长设备1000，通过设置上述第一方面实施例的用于防晶棒坠落装置100，利用安装座40上设置的可活动托臂20，可以在晶棒2000取晶的整个过程中，为晶棒2000提供承接作用，进而可以防止晶棒2000坠落至地面，降低对晶棒2000本身、地面操作人员及生长设备造成损坏及伤害。同时，托臂20与晶棒2000表面形成有一定的间距，可以保证晶棒2000在托臂20的防护下自由下落至取棒车的取棒位置，减少了取棒步骤，降低了晶棒2000的坠落风险。防晶棒坠落装置100设于副室200的外侧，不会对晶体生长设备1000产生额外的振动，进而可以降低晶棒2000的坠落风险。

根据本实用新型的一些实施例，如图2所示，防晶棒坠落装置100包括多个，多个防晶棒坠落装置100沿副室200的周向间隔布置。例如，防晶棒坠落装置100可以为两个、三个及以上，多个防晶棒坠落装置100沿副室200的周向均匀间隔布置，可以保证防晶棒坠落装置100多方向对晶棒2000进行防护，更好地降低晶棒2000坠落的风险，进而减少对现场作业员、设备及晶棒2000本身造成伤害及损失。

根据本实用新型的一些实施例，如图2所示，副室200的下端形成有沿径向向外凸出的法兰201，安装座40设于法兰201上。法兰201壁厚较高，承载能力较高，不易变形，且方便更换，及后期加装。

进一步的，安装座40朝向副室200的一侧为凹陷的曲面，可以与副室200的外表面相贴合，并且安装座40朝向副室200的一端设有安装孔，可以通过螺栓与副室200相固定连接。

在本实用新型的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“长度”、“宽度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”、“顺时针”、“逆时针”、“轴向”、“径向”、“周向”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。

此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本实用新型的描述中，“多个”的含义是两个或两个以上，除非另有明确具体的限定。

在本实用新型中，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”、“固定”等术语应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是机械连接，也可以是电连接，还可以是通信；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。

在本说明书的描述中，参考术语“一个实施例”、“一些实施例”、“示例”、“具体示例”、或“一些示例”等的描述意指结合该实施例或示例描述的具体特征、结构、材料或者特点包含于本实用新型的至少一个实施例或示例中。在本说明书中，对上述术语的示意性表述不必须针对的是相同的实施例或示例。而且，描述的具体特征、结构、材料或者特点可以在任一个或多个实施例或示例中以合适的方式结合。此外，在不相互矛盾的情况下，本领域的技术人员可以将本说明书中描述的不同实施例或示例以及不同实施例或示例的特征进行结合和组合。

尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，本领域的普通技术人员可以理解：在不脱离本实用新型的原理和宗旨的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由权利要求及其等同物限定。

Claims (13)

1.一种防晶棒坠落装置，其特征在于，所述防晶棒坠落装置用于防止晶棒坠落，所述防晶棒坠落装置包括：

安装座；

托臂，所述托臂可转动地设于所述安装座上，所述托臂具有防脱状态，在所述防脱状态，所述托臂在第一防坠位置和第二防坠位置之间可活动，所述托臂在所述第一防坠位置、所述第二防坠位置和位于所述第一防坠位置和所述第二防坠位置之间的任一位置，所述托臂均可承接所述晶棒。

2.根据权利要求1所述的防晶棒坠落装置，其特征在于，在所述第一防坠位置时，所述托臂位于所述晶棒的下侧，所述托臂适于与所述晶棒的尾部的外表面接触，或，所述托臂适于与所述尾部上下相对；

在所述第二防坠位置时，所述托臂位于所述晶棒的径向外侧，所述托臂与所述晶棒的等径部的外表面接触，或，所述托臂与所述等径部的外表面之间的间距小于预设防坠间距。

3.根据权利要求2所述的防晶棒坠落装置，其特征在于，还包括：距离传感器，所述距离传感器用于检测所述托臂与所述晶棒之间的间距。

4.根据权利要求1所述的防晶棒坠落装置，其特征在于，还包括：滚动件，所述滚动件绕球心可滚动地设于所述托臂上，或，所述滚动件绕水平延伸的转动轴线可转动地设于所述托臂上，所述托臂适于通过所述滚动件承接所述晶棒。

5.根据权利要求4所述的防晶棒坠落装置，其特征在于，所述托臂沿朝向一侧凹陷的曲线和/或折线延伸，所述托臂的内侧限定出晶棒承接空间，所述滚动件设于所述托臂的朝向所述晶棒承接空间的一侧。

6.根据权利要求5所述的防晶棒坠落装置，其特征在于，所述滚动件包括多个，多个所述滚动件沿所述托臂的延伸方向间隔布置。

7.根据权利要求1-6中任一项所述的防晶棒坠落装置，其特征在于，还包括：

支撑架，所述支撑架的一端绕水平延伸的旋转轴线可转动地与所述安装座相连，所述托臂设于所述支撑架的另一端；

驱动件，所述驱动件与所述支撑架相连，所述驱动件用于驱动所述支撑架转动。

8.根据权利要求7所述的防晶棒坠落装置，其特征在于，所述托臂还具有准备位置，在所述准备位置时，所述托臂位于所述安装座的上侧，在所述防脱状态，所述托臂均位于所述安装座的下侧。

9.根据权利要求7所述的防晶棒坠落装置，其特征在于，在所述防脱状态，所述托臂在所述晶棒的径向由内向外的方向上向上倾斜设置。

10.根据权利要求7所述的防晶棒坠落装置，其特征在于，还包括：

传动轴，所述传动轴水平设置，所述传动轴的一端与所述驱动件相连，所述支撑架上设有连接部，所述连接部套设在所述传动轴上并与所述传动轴固定连接；

轴承座，所述轴承座设于所述安装座上，所述轴承座包括间隔布置的至少两个，所述轴承座上设有轴承，所述传动轴通过轴承可转动地支撑于所述轴承座上；

减速器，所述减速器连接在所述驱动件与所述传动轴之间，所述驱动件为电机。

11.一种晶体生长设备，其特征在于，包括副室和权利要求1-10中任一项所述的防晶棒坠落装置，所述防晶棒坠落装置设于所述副室的外侧。

12.根据权利要求11所述的晶体生长设备，其特征在于，所述防晶棒坠落装置包括多个，多个所述防晶棒坠落装置沿所述副室的周向间隔布置。

13.根据权利要求11所述的晶体生长设备，其特征在于，所述副室的下端形成有沿径向向外凸出的法兰，所述安装座设于所述法兰上。

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