一种单晶炉新大型提拉机构
技术领域
本实用新型属于单晶炉技术领域,具体涉及一种单晶炉新大型提拉机构。
背景技术
单晶炉是一种在惰性气体(氮气、氦气为主)环境中,用石墨加热器将多晶硅等多晶材料熔化,用直拉法生长无错位单晶的设备,并且单晶炉设备中包括有提拉装置,用于对单晶材料进行拉伸,然而市面上各种的提拉机构仍存在各种各样的问题。
如授权公告号为CN201621461826.9所公开的硅片提拉装置,其虽然实现了能对溶料速度、主区内液位、提拉时的温度梯度以及晶片的厚度进行有效控制,提升超薄硅片的加工效果以及质量,但是并未解决现有提拉结构存在的无法实现自动旋转,方便工人进行自动上料固定,并且现有的提拉结构都是采用伸缩杆进行升降调节的,不便于移动调节的问题,为此我们提出一种单晶炉新大型提拉机构。
实用新型内容
本实用新型的目的在于提供一种单晶炉新大型提拉机构,以解决上述背景技术中提出的问题。
为实现上述目的,本实用新型提供如下技术方案:一种单晶炉新大型提拉机构,包括第一电机,所述第一电机的输出端固定连接有第一轴杆,所述第一轴杆的顶端活动连接有电缸箱,所述电缸箱的内部固定安装有电缸,所述电缸的输出端通过第一活塞杆和第二活塞杆固定连接有安装座,所述安装座的上部固定安装有第二电机箱,所述第二电机箱的内部固定安装有第二电机,所述第二电机的输出端固定连接有第二轴杆,所述第二轴杆的顶端固定连接有收卷盘,所述收卷盘上固定缠绕有钢丝绳,所述钢丝绳的顶端固定连接有籽晶称重头,所述籽晶称重头的底端固定连接有软波纹管,所述收卷盘上活动安装有收卷盘箱,所述收卷盘箱的底部固定连接有卡合块。
优选的,所述电缸箱的底部固定连接有底板,所述底板的内部固定连接有轴承,所述第一轴杆的顶端固定于轴承的内部。
优选的,所述电缸的输出端内活动连接有第一活塞杆,所述第一活塞杆的内部活动连接有第二活塞杆。
优选的,所述电缸箱的顶端固定粘连有弹性橡胶垫,所述弹性橡胶垫贴合于安装座的底部。
优选的,所述安装座的底部焊接有支撑块,所述支撑块的直径小于电缸箱的直径。
优选的,所述第二电机的上部固定卡合连接有电机架,所述电机架通过螺栓固定连接在安装座上。
与现有技术相比,本实用新型的有益效果是:
(1)本实用新型通过第一电机实现对整个提拉机构进行转动调节,进而使得提拉机构能够转动脱离单晶炉,方便对单晶材料进行固定卡合安装,使得工人在对单晶材料进行卡合的时候,不需要攀爬到单晶炉的顶部;
(2)本实用新型通过电缸实现对提拉机构进行升降调节,进而使得提机构能够脱离单晶炉的炉口,方便第一电机的转动调节,并且设有第二电机,能够实现对单晶材料输入到单晶炉中。
附图说明
图1为本实用新型的结构示意图;
图2为本实用新型的电缸箱剖视图;
图3为本实用新型的提拉机构剖视图。
图中:1、第一电机;2、第一轴杆;3、电缸箱;4、电缸;5、第一活塞杆;6、第二活塞杆;7、安装座;8、第二电机箱;9、第二电机;10、第二轴杆;11、收卷盘;12、钢丝绳;13、籽晶称重头;14、软波纹管; 15、收卷盘箱;16、卡合块;17、底板;18、轴承;19、弹性橡胶垫;20、支撑块;21、电机架。
具体实施方式
下面将结合本实用新型实施例中的附图,对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例,本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例,都属于本实用新型保护的范围。
请参阅图1-图3,本实用新型提供一种技术方案:一种单晶炉新大型提拉机构,包括第一电机1,所述第一电机1的输出端固定连接有第一轴杆 2,所述第一轴杆2的顶端活动连接有电缸箱3,所述电缸箱3的内部固定安装有电缸4,所述电缸4的输出端通过第一活塞杆5和第二活塞杆6固定连接有安装座7,首先通过第一电机1实现对整个提拉机构进行转动,进而实现角度的调节,并且电缸箱3的内部安装有电缸4,电缸4通过第一活塞杆5和第二活塞杆6实现对整个提拉机构进行升降调节,可以实现将提拉机构升起,脱离单晶炉的炉口;
所述安装座7的上部固定安装有第二电机箱8,所述第二电机箱8的内部固定安装有第二电机9,所述第二电机9的输出端固定连接有第二轴杆 10,所述第二轴杆10的顶端固定连接有收卷盘11,所述收卷盘11上固定缠绕有钢丝绳12,所述钢丝绳12的顶端固定连接有籽晶称重头13,所述籽晶称重头13的底端固定连接有软波纹管14,所述收卷盘11上活动安装有收卷盘箱15,所述收卷盘箱15的底部固定连接有卡合块16,通过第二电机9实现对收卷盘11进行转动,实现对籽晶称重头13和软波纹管14进行升降调节,然后可以实现对单晶进行固定安装,然后再将籽晶称重头13 和软波纹管14放入到单晶炉中。
为了实现第一电机1能够带动电缸箱3实现转动,并且为了实现转动,本实施例中,优选的,所述电缸箱3的底部固定连接有底板17,所述底板17 的内部固定连接有轴承18,所述第一轴杆2的顶端固定于轴承18的内部。
为了实现对底板7进行升降调节,进而实现对提拉机构进行升高,本实施例中,优选的,所述电缸4的输出端内活动连接有第一活塞杆5,所述第一活塞杆5的内部活动连接有第二活塞杆6。
为了防止底板7在进行升降调节的时候不会和电缸箱3发生碰撞受到损坏,本实施例中,优选的,所述电缸箱3的顶端固定粘连有弹性橡胶垫 19,所述弹性橡胶垫19贴合于安装座7的底部。
为了使得电缸4能够稳定的连接底板7,且使得支撑块20不会碰撞电缸箱3,本实施例中,优选的,所述安装座7的底部焊接有支撑块20,所述支撑块20的直径小于电缸箱3的直径。
为了使得第二电机9能够稳定的固定安装,本实施例中,优选的,所述第二电机9的上部固定卡合连接有电机架21,所述电机架21通过螺栓固定连接在安装座7上。
本实用新型的工作原理及使用流程:首先通过第一电机1实现对整个提拉机构进行转动,进而实现角度的调节,并且电缸箱3的内部安装有电缸4,电缸4通过第一活塞杆5和第二活塞杆6实现对整个提拉机构进行升降调节,可以实现将提拉机构升起,脱离单晶炉的炉口,通过第二电机9 实现对收卷盘11进行转动,实现对籽晶称重头13和软波纹管14进行升降调节,然后可以实现对单晶进行固定安装,然后再将籽晶称重头13和软波纹管14放入到单晶炉中。
尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例,对于本领域的普通技术人员而言,可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型,本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。