CN218886077U - 一种半导体探针台 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种半导体探针台，括：定位基台、探针定位组件和探针组件，定位基台的表面固定连接的晶圆定位台，定位基台的表面固定安装有检测立架，探针定位组件滑动安装于检测立架表面，定位基台、检测立架的表面分别设有第一驱动组件和第二驱动组件，探针定位组件包括升降桁台、滑台和第三驱动组件，第三驱动组件滑动安装于升降桁台表面。本实用新型中，通过设置新型气动探针结构，由弹性腔座进行和探针组件内部相连通，在运动套管与晶圆芯片表面接触按压时回退，弹性腔座内部气体保持主探针顶压状态与芯片表面接触，而在主探针接触后可通过压缩空气的放置保持接触力度稳定避免接触力度过大导致的芯片表面划痕划伤。

Description

一种半导体探针台

技术领域

本实用新型涉及半导体检测技术领域，具体为一种半导体探针台。

背景技术

探针台主要应用于半导体行业、光电行业、集成电路以及封装的测试。广泛应用于复杂、高速器件的精密电气测量的研发，旨在确保质量及可靠性，并缩减研发时间和器件制造工艺的成本，晶圆片如果没有通过探针测试台的中测，就无法在下一个工序中进行封装；而封装后的成品测试成测又是集成电路产品的最后工序，只有测试合格的电路才可能作为正式的集成电路产品出厂。

在测试时，晶圆被真空吸盘吸附在承载台上，并与探针电测器对准，然后探针与芯片的每一个焊盘相接触，电测器在电源的驱动下侧视电路并记录测试结果，判断晶圆好坏程度，探针在使用一段时间后，由于探针加工及使用过程中的微小差异，造成探针不能在同一水平面上部分探针未接触或部分探针接触力度过大，导致晶圆在测试过程中，受到位置高度的差异或划痕划伤，另外，一旦人工操作出现失误，往往会导致探针过度位移，导致对晶圆的表面造成划伤、破损或探针的弯折，不但影响检测精准度，还是耽误测试效率，整体的防护效果不足，无法满足使用者的使用需求。

实用新型内容

本实用新型旨在解决现有技术或相关技术中存在的技术问题之一。

为此，本实用新型所采用的技术方案为：一种半导体探针台，包括：定位基台、探针定位组件和探针组件，所述定位基台的表面固定连接的晶圆定位台，所述定位基台的表面固定安装有检测立架，所述探针定位组件滑动安装于检测立架表面，所述定位基台、检测立架的表面分别设有第一驱动组件和第二驱动组件，所述探针定位组件包括升降桁台、滑台和第三驱动组件，所述第三驱动组件滑动安装于升降桁台表面，所述第三驱动组件固定安装于升降桁台表面且输出端与滑台表面固定连接，所述滑台的表面固定安装有弹性腔座，所述探针组件固定安装于滑台的底面且与弹性腔座的底端相连通，所述探针组件包括定导管、运动套管、活动套座和主探针，所述定导管顶端设有与弹性腔座相连通的阻尼气阀。

本实用新型在一较佳示例中可以进一步配置为：所述第一驱动组件、第二驱动组件和第三驱动组件的结构相同均包括有位于两端的伺服驱动电机、导轮以及传动套接于伺服驱动电机输出端和导轮表面的传动皮带，所述传动皮带的表面分别设有与晶圆定位台、升降桁台和滑台表面固定连接的联动块。

本实用新型在一较佳示例中可以进一步配置为：所述第一驱动组件、第二驱动组件和第三驱动组件布置方向相互垂直，所述晶圆定位台布置方向与检测立架表面相互垂直。

本实用新型在一较佳示例中可以进一步配置为：所述弹性腔座为弹性气囊结构，所述阻尼气阀的两端分别通过定导管和弹性腔座的内部先联通，所述活动套座滑动套接于定导管的底端，所述定导管的内侧设有与活动套座内侧滑动抵接的活塞环。

本实用新型在一较佳示例中可以进一步配置为：所述运动套管固定套接于活动套座的内侧，所述主探针滑动套接于定导管和运动套管的内侧，所述运动套管的底端设有通孔。

本实用新型在一较佳示例中可以进一步配置为：所述主探针的顶端设有与阻尼气阀底端相连接的弹簧，所述主探针滑动套接于定导管的内侧。

本实用新型在一较佳示例中可以进一步配置为：所述主探针的底端呈圆钝状，所述运动套管的底端呈平面结构。

本实用新型在一较佳示例中可以进一步配置为：所述主探针为金属材质构件，所述主探针的内侧固定安装有检测探芯，所述检测探芯的端部电连接有半导体检测设备。

本实用新型所取得的有益效果为：

1.本实用新型中，通过设置新型气动探针结构，由弹性腔座进行和探针组件内部相连通，在运动套管与晶圆芯片表面接触按压时回退，弹性腔座内部气体保持主探针顶压状态与芯片表面接触，而在主探针接触后可通过压缩空气的放置保持接触力度稳定避免接触力度过大导致的芯片表面划痕划伤。

2.本实用新型中，通过设置高精度伺服探针台结构，利用第二驱动组件、第三驱动组件驱动滑台进行二维移动以及利用第一驱动组件驱动晶圆定位台表面放置晶圆横移，实现对晶圆表面的定点检测，无需人员移动控制晶圆校对，避免因操作不当导致的晶圆划伤。

附图说明

图1为本实用新型一个实施例的整体结构示意图；

图2为本实用新型一个实施例的xx结构示意图；

图3为本实用新型一个实施例的xx结构示意图；

图4为本实用新型一个实施例的xx结构示意图；

图5为本实用新型一个实施例的检测探芯结构示意图。

附图标记：

100、定位基台；110、检测立架；120、第一驱动组件；130、晶圆定位台；140、第二驱动组件；

200、探针定位组件；210、升降桁台；220、滑台；230、第三驱动组件；240、弹性腔座；

300、探针组件；310、定导管；320、运动套管；330、活动套座；340、主探针；311、阻尼气阀；312、活塞环；341、检测探芯。

具体实施方式

为使本实用新型的目的、技术方案和优点更加清楚明了，下面结合具体实施方式并参照附图，对本实用新型进一步详细说明。需要说明的是，在不冲突的情况下，本实用新型的实施例及实施例中的特征可以相互组合。

下面结合附图描述本实用新型的一些实施例提供的一种半导体探针台。

结合图1-5所示，本实用新型提供的一种半导体探针台，包括：定位基台100、探针定位组件200和探针组件300，定位基台100的表面固定连接的晶圆定位台130，定位基台100的表面固定安装有检测立架110，探针定位组件200滑动安装于检测立架110表面，定位基台100、检测立架110的表面分别设有第一驱动组件120和第二驱动组件140，探针定位组件200包括升降桁台210、滑台220和第三驱动组件230，第三驱动组件230滑动安装于升降桁台210表面，第三驱动组件230固定安装于升降桁台210表面且输出端与滑台220表面固定连接，滑台220的表面固定安装有弹性腔座240，探针组件300固定安装于滑台220的底面且与弹性腔座240的底端相连通，探针组件300包括定导管310、运动套管320、活动套座330和主探针340，定导管310顶端设有与弹性腔座240相连通的阻尼气阀311。

在该实施例中，第一驱动组件120、第二驱动组件140和第三驱动组件230的结构相同均包括有位于两端的伺服驱动电机、导轮以及传动套接于伺服驱动电机输出端和导轮表面的传动皮带，传动皮带的表面分别设有与晶圆定位台130、升降桁台210和滑台220表面固定连接的联动块。

进一步的，第一驱动组件120、第二驱动组件140和第三驱动组件230布置方向相互垂直，晶圆定位台130布置方向与检测立架110表面相互垂直。

具体的，分别通过第一驱动组件120、第二驱动组件140和第三驱动组件230进行晶圆定位台130、升降桁台210和滑台220的移动控制，进行探针组件300的三维空间移动。

在该实施例中，弹性腔座240为弹性气囊结构，阻尼气阀311的两端分别通过定导管310和弹性腔座240的内部先联通，活动套座330滑动套接于定导管310的底端，定导管310的内侧设有与活动套座330内侧滑动抵接的活塞环312。

进一步的，运动套管320固定套接于活动套座330的内侧，主探针340滑动套接于定导管310和运动套管320的内侧，运动套管320的底端设有通孔。

具体的，在运动套管320底端与晶圆芯片表面接触后探针定位组件200继续下行，运动套管320回退主探针340底端通过运动套管320底端通孔露出与芯片表面接触进行芯片检测。

在该实施例中，主探针340的顶端设有与阻尼气阀311底端相连接的弹簧，主探针340滑动套接于定导管310的内侧。

具体的，在某一个或几个主探针340底端与芯片表面接触后，滑台220继续下行以使各个探针组件300均与芯片表面接触，主探针340接触后主探针340通过可在定导管310内侧压缩弹簧运动以保持静止，且定导管310在活动套座330内部滑动压缩活动套座330内部空腔，定导管310内部气流通入弹性腔座240内部使弹性腔座240膨胀。

在该实施例中，主探针340的底端呈圆钝状，运动套管320的底端呈平面结构。

具体的，在运动套管320和主探针340底端与芯片表面接触，避免对芯片表面产生划痕。

在该实施例中，主探针340为金属材质构件，主探针340的内侧固定安装有检测探芯341，检测探芯341的端部电连接有半导体检测设备，利用半导体检测设备在主探针340的接触下进行芯片电连接检测。

尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例,本领域的普通技术人员可以理解，在不脱离本实用新型的原理和宗旨的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型,本实用新型的范围由权利要求及其等同物限定。

Claims (8)

1.一种半导体探针台，其特征在于，包括：定位基台(100)、探针定位组件(200)和探针组件(300)，所述定位基台(100)的表面固定连接的晶圆定位台(130)，所述定位基台(100)的表面固定安装有检测立架(110)，所述探针定位组件(200)滑动安装于检测立架(110)表面，所述定位基台(100)、检测立架(110)的表面分别设有第一驱动组件(120)和第二驱动组件(140)，所述探针定位组件(200)包括升降桁台(210)、滑台(220)和第三驱动组件(230)，所述第三驱动组件(230)滑动安装于升降桁台(210)表面，所述第三驱动组件(230)固定安装于升降桁台(210)表面且输出端与滑台(220)表面固定连接，所述滑台(220)的表面固定安装有弹性腔座(240)，所述探针组件(300)固定安装于滑台(220)的底面且与弹性腔座(240)的底端相连通，所述探针组件(300)包括定导管(310)、运动套管(320)、活动套座(330)和主探针(340)，所述定导管(310)顶端设有与弹性腔座(240)相连通的阻尼气阀(311)。

2.根据权利要求1所述的一种半导体探针台，其特征在于，所述第一驱动组件(120)、第二驱动组件(140)和第三驱动组件(230)的结构相同均包括有位于两端的伺服驱动电机、导轮以及传动套接于伺服驱动电机输出端和导轮表面的传动皮带，所述传动皮带的表面分别设有与晶圆定位台(130)、升降桁台(210)和滑台(220)表面固定连接的联动块。

3.根据权利要求1所述的一种半导体探针台，其特征在于，所述第一驱动组件(120)、第二驱动组件(140)和第三驱动组件(230)布置方向相互垂直，所述晶圆定位台(130)布置方向与检测立架(110)表面相互垂直。

4.根据权利要求1所述的一种半导体探针台，其特征在于，所述弹性腔座(240)为弹性气囊结构，所述阻尼气阀(311)的两端分别通过定导管(310)和弹性腔座(240)的内部先联通，所述活动套座(330)滑动套接于定导管(310)的底端，所述定导管(310)的内侧设有与活动套座(330)内侧滑动抵接的活塞环(312)。

5.根据权利要求4所述的一种半导体探针台，其特征在于，所述运动套管(320)固定套接于活动套座(330)的内侧，所述主探针(340)滑动套接于定导管(310)和运动套管(320)的内侧，所述运动套管(320)的底端设有通孔。

6.根据权利要求1所述的一种半导体探针台，其特征在于，所述主探针(340)的顶端设有与阻尼气阀(311)底端相连接的弹簧，所述主探针(340)滑动套接于定导管(310)的内侧。

7.根据权利要求1所述的一种半导体探针台，其特征在于，所述主探针(340)的底端呈圆钝状，所述运动套管(320)的底端呈平面结构。

8.根据权利要求1所述的一种半导体探针台，其特征在于，所述主探针(340)为金属材质构件，所述主探针(340)的内侧固定安装有检测探芯(341)，所述检测探芯(341)的端部电连接有半导体检测设备。

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