CN218824440U - 一种探针卡结构及测试设备 - Google Patents

Abstract

本实用新型提供一种探针卡结构及测试设备。所述探针卡结构包括：衬底；至少一探针，所述探针包括针臂、针尖臂与针尖；所述针臂固定于所述衬底表面；所述针尖臂通过可拆卸固定装置固定于所述衬底表面，所述针尖臂一端与所述针尖固定连接，另一端与所述针臂可拆卸连接。上述技术方案，通过把整根形式的探针改为针尖臂可以单独安装/拆卸并通过可拆卸固定装置固定，实现更换针尖的便捷性，还可以根据需要安装不同类型针尖。

Description

一种探针卡结构及测试设备

技术领域

本实用新型涉及半导体领域，尤其涉及一种探针卡结构及测试设备。

背景技术

探针卡是由探针、电子元件、线材与印刷电路板组成的一种测试接口，根据不同的情况，还会有电子元件、补强板等的需求，主要对裸芯进行测试。

目前市面上的探针卡的针尖多采用一体安装结构，针尖在测试过程中最容易损坏，且多依赖测试机器的保护限制对探针卡的过载进行保护。然而，在实际使用过程中，经常因为探针卡瞬间电流和功率过大，导致热量急剧上升，由于针尖最细，导致针尖融掉；或者使用不当造成针尖损坏。现有探针卡无法单独更换针尖，只能所有针一起更换，且换针比较麻烦，不够便捷，且无法根据不同测试条件和产品测试PAD大小等情况实现多样性。

因此，提供一种安装便捷、针尖更换方便、并加强对探针保护的探针卡结构，是当下需要解决的问题。

发明内容

本实用新型所要解决的技术问题是提供一种探针卡结构及测试设备，使探针卡结构的针尖更换方便，且可以加强对探针保护。

为了解决上述问题，本实用新型提供了一种探针卡结构，包括：衬底；至少一探针，所述探针包括针臂、针尖臂与针尖；所述针臂固定于所述衬底表面；所述针尖臂通过可拆卸固定装置固定于所述衬底表面，所述针尖臂一端与所述针尖固定连接，另一端与所述针臂可拆卸连接。

在一些实施例中，所述探针卡结构包括多个探针，多个所述探针的针尖臂通过同一所述可拆卸固定装置固定于所述衬底表面。

在一些实施例中，所述可拆卸固定装置在所述衬底表面的投影为圆形。

在一些实施例中，所述可拆卸固定装置包括固定于所述衬底表面的固定组件以及与所述固定组件相对设置的可拆卸组件，所述针尖臂夹持于所述固定组件与所述可拆卸组件之间，所述固定组件与所述可拆卸组件之间通过螺栓固定。

在一些实施例中，所述探针卡结构还包括支撑装置，所述支撑装置设置于所述针臂与所述衬底之间，以用于支撑所述针臂；其中，所述支撑装置与所述可拆卸固定装置的材料均为环氧树脂。

在一些实施例中，所述针尖臂设置有凸部；所述可拆卸固定装置上设置有与所述凸部相适配的凹槽，所述针尖臂通过所述凸部与所述凹槽卡接，从而与所述可拆卸固定装置固定连接。

在一些实施例中，所述针尖臂的宽度小于1mm，所述凸部的宽度为约3mm。

在一些实施例中，所述针臂具有容置所述针尖臂的容置腔，所述容置腔的底部设置有弹片，用于加固针尖臂和针臂的连接。

在一些实施例中，所述探针卡结构还包括：过载保护器，所述过载保护器与所述针臂连接；接触片，所述接触片一端通过导线与所述过载保护器连接，另一端与测试机台连接。

为了解决上述问题，本实用新型还提供了一种测试设备，所述测试设备包括测试机台和本实用新型所述探针卡结构。

上述技术方案，通过把整根形式的探针改为针尖臂可以单独安装/拆卸并通过可拆卸固定装置固定，实现更换针尖的便捷性，还可以根据需要安装不同类型针尖。通过在针尖臂设置凸部，起到固定针尖臂的作用，减少针尖臂滑动带来的针尖损伤。此外，在每一根探针的导线中增加过载保护器，减少过载造成的针尖损伤。

应当理解的是，以上的一般描述和后文的细节描述仅是示例性和解释性的，并不能限制本实用新型。对于相关领域普通技术人员已知的技术、方法和设备可能不作详细讨论，但在适当情况下，所述技术、方法和设备应当被视为授权说明书的一部分。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例中的技术方案，下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简要介绍。显而易见地，下面描述中的附图仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域的普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其它的附图。

图1所示为本实用新型所述探针卡结构的一实施例的结构示意图。

图2所示为本实用新型所述探针卡结构的一实施例的剖视图。

图3所示为本实用新型所述探针卡结构的另一实施例的示意图。

图4所示为图2中209区域的局部放大图。

图5所示为本实用新型所述探针卡结构的再一实施例的示意图。

图6所示是本实用新型所述测试设备的一实施例的架构示意图。

具体实施方式

下面将结合附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述。显然，所描述的实施例仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其它实施例，都属于本实用新型保护的范围。

请一并参阅图1～图5，其中，图1所示为本实用新型所述探针卡结构的一实施例的结构示意图，图2所示为本实用新型所述探针卡结构的一实施例的剖视图，图3所示为本实用新型所述探针卡结构的另一实施例的示意图，图4所示为图2中209区域的局部放大图，图5所示为本实用新型所述探针卡结构的再一实施例的结构示意图。

如图1所示，所述探针卡结构包括：衬底10以及至少一探针11。所述衬底10可以为PCB电路板。所述探针包括针臂111、针尖臂112与针尖113；所述针臂111固定于所述衬底10表面；所述针尖臂112通过可拆卸固定装置12固定于所述衬底10表面，所述针尖臂112一端与所述针尖113固定连接，另一端与所述针臂111可拆卸连接。

采用本实施例所述探针卡结构，当针尖113损坏时，可通过所述可拆卸固定装置12改善探针的针尖端的安装方式，改善更换损坏针尖113的便捷性，可实现单独更换针尖113。

作为一实施例，所述探针卡结构包括多个探针11，多个所述探针11的针尖臂112通过同一所述可拆卸固定装置12固定于所述衬底10表面，实现不同条件下使用不同针尖径的多样性。

作为一实施例，所述可拆卸固定装置12在所述衬底10表面的投影为圆形。在其他的实施例中，所述可拆卸固定装置12在所述衬底10表面的投影还可以为方形或其它形状。所述探针11围绕所述可拆卸固定装置12布置于所述衬底10上。

如图2所示，所述可拆卸固定装置12包括固定于所述衬底10表面的固定组件211以及与所述固定组件211相对设置的可拆卸组件212，所述针尖臂112夹持于所述固定组件211与所述可拆卸组件212之间，所述固定组件211与所述可拆卸组件212之间可拆卸固定连接。具体的，在本实施例中，所述固定组件211与所述可拆卸组件212之间通过螺栓201固定。通过螺栓201结合所述可拆卸固定装置12，改善所述探针11的针尖端的安装方式，提高了更换损坏针尖113的便捷性，可实现单独更换针尖113，改善更换损坏针尖113的便捷性，实现不同条件下使用不同针尖径和不同型号保护元件的多样性。

作为一实施例，所述可拆卸固定装置12的材料可以为环氧树脂。

如图3所示，作为一实施例，所述针尖臂112设置有凸部221。图3中的(a)部分为所述针尖臂112的侧视图，(b)部分为所述针尖臂112的俯视图。所述可拆卸固定装置12上设置有与所述凸部221相适配的凹槽222，如图3中(c)部分所示。作为一种具体实施方式，所述凹槽222设置于所述可拆卸固定装置12的所述固定组件211上。所述针尖臂112通过所述凸部221与所述凹槽222卡接，从而与所述可拆卸固定装置12固定连接。通过在所述针尖臂112设置所述凸部221，不仅能在测量使用时起到固定所述针尖臂112的作用，还能在更换所述针尖臂112时辅助固定所述针尖臂112，减少针尖臂112滑动带来的针尖113损伤。

作为一实施例，所述可拆卸固定装置12设置有多个凹槽222，可同时放置多个探针11，实现不同条件下使用不同针尖径的多样性。

作为一实施例，所述针尖臂112的宽度小于1mm，所述凸部221的宽度为约3mm。在其他的实施例中，可以根据所述针尖臂112的直径设置对应的所述凸部221的宽度。根据研究发现，所述凸部211的宽度不小于所述针尖臂112的三倍时，能够起到较为稳定的固定作用。

图4所示为图2中209区域的局部放大图。作为一具体实施方式，所述针臂111具有容置所述针尖臂112的容置腔202，所述针尖臂112插入所述容置腔202内；所述容置腔202的底部设置有弹片204，用于加固针尖臂112和针臂111的连接。通过在容置腔202底部设置弹片204，使针尖臂112插入所述针臂111时得到一个额外的弹力支撑，使针尖臂112与针臂111的结合更稳固，避免使用时松动影响测试结果。

继续参考图2，所述探针卡结构还包括支撑装置203，所述支撑装置203设置于所述针臂111与所述衬底10之间，以用于支撑所述针臂111。作为一实施例，所述支撑装置203的材料为环氧树脂。通过在针尖臂112与所述衬底10之间设置所述支撑装置203，使所述针尖臂112与所述针臂111的中轴线位于同一平面上，减少外力对所述探针11的损伤。所述支撑装置203与所述可拆卸固定装置12的材料均为环氧树脂，具有良好的绝缘性，能够起到很好的保护探针11的作用。同时环氧树脂原材料容易获取，能够控制生产成本。

如图5所示，作为一实施例，所述探针卡结构还包括过载保护器114与接触片115。所述过载保护器114与所述针臂111连接。所述接触片115一端通过导线119与所述过载保护器114连接，另一端与测试机台(未图示)连接。在连接每一根探针11的导线119中增加过载保护器114，避免实际使用过程中因为针卡瞬时电流和功率过大导致的针尖113损坏。所述过载保护器114可拆卸更换，实现不同条件下使用不同针尖径和不同型号保护元件的多样性。作为一实施例，所述过载保护器114为保险丝，所述接触片115表面镀金属导电，与所述测试机台上的弹簧针(POGO PIN)连接。

根据以上内容可以看出，本实施例提供的探针卡结构，通过把整根形式的探针11改为针尖臂112可以单独安装/拆卸并通过可拆卸固定装置12固定；当针尖113损坏时，只需拆卸螺栓201与固定组件211，即可进行针尖113的更换操作，改善更换损坏针尖113的便捷性，可实现单独更换针尖113，还可以根据需要安装不同类型针尖113。所述可拆卸固定装置12通过设置有多个凹槽222可同时放置多个探针11，实现不同条件下使用不同针尖径的多样性。通过在针尖臂112设置凸部221，起到固定针尖臂112的作用，减少针尖臂112滑动带来的针尖113损伤。通过在容置腔202底部设置弹片204，使针尖臂112插入所述针臂111时得到一个额外的弹力支撑，使针尖臂112与针臂111的结合更稳固，避免使用时松动影响测试结果。通过在针尖臂112与所述衬底10之间设置所述支撑装置203，使所述针尖臂112与所述针臂111的中轴线位于同一平面上，减少外力对所述探针11的损伤。此外，在每一根探针11的导线119中增加过载保护器114，减少过载造成的针尖113损伤。

基于同一发明构思，本实用新型还提供了一种测试设备，改善更换损坏针尖113的便捷性，可实现单独更换针尖113。

请参阅图6，其是本实用新型所述测试设备的具体实施方式的架构示意图。如图6所示，所述测试设备100包括：测试机台101和探针卡结构102。所述探针卡结构102为图1～图5所示的探针卡结构，详见前文描述，此处不再赘述。

作为一种具体实施方式，所述测试设备100用于测试存储器、DRAM、NAND Flash等存储芯片。

上述技术方案，通过把整根形式的探针11改为针尖臂112可以单独安装/拆卸并通过可拆卸固定装置12固定，实现更换针尖113的便捷性，还可以根据需要安装不同类型针尖113。通过在针尖臂112设置凸部221，起到固定针尖臂112的作用，减少针尖臂112滑动带来的针尖113损伤。此外，在每一根探针11的导线119中增加过载保护器114，减少过载造成的针尖113损伤。

应注意到，在说明书中对“一实施例”、“实施例”、“示例性实施例”、“一些实施例”等的引用指示所描述的实施例可以包括特定的特征、结构或特性，但是每个实施例可能不一定包括该特定的特征、结构或特性。而且，这样的短语不一定指代相同的实施例。此外，当结合实施例描述特定的特征、结构或特性时，无论是否明确描述，结合其它实施例来实现这样的特征、结构或特性都在相关领域的技术人员的知识范围内。

通常，可以至少部分地从上下文中的用法理解术语。例如，如在本文中所使用的术语“一个或多个”至少部分取决于上下文，可以用于以单数意义描述任何特征、结构或特性，或可以用于以复数意义描述特征、结构或特征的组合。类似地，至少部分取决于上下文，诸如“一”、“某一”或“该”的术语同样可以被理解为表达单数用法或表达复数用法。另外，术语“基于”可以被理解为不一定旨在表达一组排他性的因素，而是可以替代地，同样至少部分地取决于上下文，允许存在不一定明确描述的其它因素。在本说明书中也应当注意的是，“连接/耦接”不仅指一个部件与另一个部件直接耦接，也指一个部件通过中间部件与另一个部件间接地耦接。

需要说明的是，本实用新型的文件中涉及的术语“包括”和“具有”以及它们的变形，意图在于覆盖不排他的包含。术语“第一”、“第二”等是用于区别类似的对象，而不必用于描述特定的顺序或先后次序，除非上下文有明确指示，应该理解这样使用的数据在适当情况下可以互换。另外，在不冲突的情况下，本实用新型中的实施例及实施例中的特征可以相互组合。此外，在以上说明中，省略了对公知组件和技术的描述，以避免不必要地混淆本实用新型的概念。上述各个实施例中，每个实施例重点说明的都是与其它实施例的不同之处，各个实施例之间相同/相似的部分互相参见即可。

以上所述仅是本实用新型的优选实施方式，应当指出，对于本技术领域的普通技术人员，在不脱离本实用新型原理的前提下，还可以做出若干改进和润饰，这些改进和润饰也应视为本实用新型的保护范围。

Claims (10)

1.一种探针卡结构，其特征在于，包括：

衬底；

至少一探针，所述探针包括针臂、针尖臂与针尖；

所述针臂固定于所述衬底表面；

所述针尖臂通过可拆卸固定装置固定于所述衬底表面，所述针尖臂一端与所述针尖固定连接，另一端与所述针臂可拆卸连接。

2.根据权利要求1所述的探针卡结构，其特征在于，所述探针卡结构包括多个探针，多个所述探针的针尖臂通过同一所述可拆卸固定装置固定于所述衬底表面。

3.根据权利要求1所述的探针卡结构，其特征在于，所述可拆卸固定装置在所述衬底表面的投影为圆形。

4.根据权利要求1所述的探针卡结构，其特征在于，所述可拆卸固定装置包括固定于所述衬底表面的固定组件以及与所述固定组件相对设置的可拆卸组件，所述针尖臂夹持于所述固定组件与所述可拆卸组件之间，所述固定组件与所述可拆卸组件之间通过螺栓固定。

5.根据权利要求4所述的探针卡结构，其特征在于，所述探针卡结构还包括支撑装置，所述支撑装置设置于所述针臂与所述衬底之间，以用于支撑所述针臂；其中，所述支撑装置与所述可拆卸固定装置的材料均为环氧树脂。

6.根据权利要求1所述的探针卡结构，其特征在于，

所述针尖臂设置有凸部；

所述可拆卸固定装置上设置有与所述凸部相适配的凹槽，所述针尖臂通过所述凸部与所述凹槽卡接，从而与所述可拆卸固定装置固定连接。

7.根据权利要求6所述的探针卡结构，其特征在于，所述针尖臂的宽度小于1mm，所述凸部的宽度为约3mm。

8.根据权利要求1所述的探针卡结构，其特征在于，所述针臂具有容置所述针尖臂的容置腔，所述容置腔的底部设置有弹片，用于加固针尖臂和针臂的连接。

9.根据权利要求1所述的探针卡结构，其特征在于，所述探针卡结构还包括：过载保护器，所述过载保护器与所述针臂连接；

接触片，所述接触片一端通过导线与所述过载保护器连接，另一端与测试机台连接。

10.一种测试设备，其特征在于，所述测试设备包括测试机台和权利要求1～9任一项所述的探针卡结构。

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