CN114594362A - 一种测试机构及其测试装置 - Google Patents

Abstract

本发明公开了一种测试机构，包括主板、X轴模组、Y轴模组、Z轴模组和用于连接测试板的接触板，X轴模组和接触板均固定在主板上，X轴模组设置在所述接触板的两端，Y轴模组与X轴模组滑动连接，Z轴模组与所述Y轴模组滑动连接，Z轴模组设置在所述接触板的上方，Z轴模组包括导电针和用于推动导电针向下运动的推动器，接触板包括多个导电端，导电端与测试板上的待测芯片电性连接，当导电针向下运动时点击导电端。其还公开了一种包括测试机构的测试装置，还包括测试板和测试信号发生器，测试板与接触板电性连接，测试信号发生器与导电针电性连接。其成本低且检修方便。

Description

一种测试机构及其测试装置

技术领域

本发明涉及芯片测试领域，尤其涉及一种测试机构及其测试装置。

背景技术

在测试芯片领域，由于要一次性测试多块芯片，而需要在测试板上安装很多继电器，再通过继电器的断开或吸合使测试板上的待测芯片断电和通电或者是否接收测试信号，而实现分批次测试芯片的目的。

由于几乎测试板上的每一个待测芯片都需一个继电器来实现是否接受测试信号的功能，则所需继电器的数量众多，使测试的成本增加，也会使测试装置的线路复杂，检修测试装置时经常需要拆卸各个继电器，导致检修非常不方便。

发明内容

为了克服现有技术的不足，本发明的目的之一在于提供一种测试机构，其成本低且检修方便；

本发明的目的之二在于提供一种测试装置。

本发明的目的之一采用以下技术方案实现：

一种测试机构，包括主板、X轴模组、Y轴模组、Z轴模组和用于连接测试板的接触板，所述X轴模组和所述接触板均固定在所述主板上，所述X轴模组设置在所述接触板的两端，所述Y轴模组与所述X轴模组滑动连接，所述Z轴模组与所述Y轴模组滑动连接，所述Z轴模组设置在所述接触板的上方，所述Z轴模组包括导电针和用于推动所述导电针向下运动的推动器，所述接触板包括多个导电端，所述导电端与测试板上的待测芯片电性连接，当所述导电针向下运动时点击所述导电端。

优选的，所述X轴模组包括第一X轴模组和第二X轴模组，所述第一X轴模组与所述第二X轴模组平行设置，所述第一X轴模组与所述第二X轴模组分别设置在所述接触板的两侧。

优选的，所述Y轴模组包括第一Y轴模组和第二Y轴模组，所述第一Y轴模组与所述第二Y轴模组固定连接，所述第一Y轴模组与所述第一X轴模组滑动连接，所述第二Y轴模组与所述第二X轴模组滑动连接。

优选的，所述Z轴模组包括第一Z轴模组和第二Z轴模组，所述第一Z轴模组与所述第一Y轴模组滑动连接，所述第二Z轴模组与所述第二X轴模组滑动连接。

优选的，所述第一Z轴模组包括第一导电针和用于推动所述第一导电针的第一推动器，所述第一导电针设置在所述第一推动器的下端；所述第二Z轴模组包括第二导电针和用于推动所述第二导电针的第二推动器，所述第二导电针设置在所述第二推动器的下端。

优选的，所述第一X轴模组包括第一滑轴、第一滑块和第一连接板，所述第一滑轴固定在所述主板上，所述第一滑轴与所述第一滑块滑动连接，所述第一连接板固定在所述第一滑轴上，所述第一Y轴模组设置在所述第一连接板上。

优选的，所述第二X轴模组还包括第二滑块和第二连接板，所述第二滑块固定在所述主板上，所述第二连接板与所述第二滑块滑动连接，所述第二Y轴模组和所述第二Z轴模组分别固定在所述第二连接板上。

优选的，所述接触板包括第一接触板和第二接触板，所述第一接触板设置在所述第一Z轴模组的下方，所述第二接触板设置在所述第二Z轴模组的下方。

优选的，所述测试机构还包括用于驱动所述Y轴模组和所述Z轴模组的皮带轮，所述皮带轮设置在所述主板上。

本发明的目的之二采用以下技术方案实现：

一种包括上述任一项所述测试机构的测试装置，还包括测试板和测试信号发生器，所述测试板与所述接触板电性连接，所述测试信号发生器与所述导电针电性连接。

相比现有技术，本发明的有益效果在于：

本申请设置有X轴模组、Y轴模组和Z轴模组，所述Z轴模组上设置有导电针，所述Z轴模组可以通过所述Y轴模组在所述X轴模组上滑动，且所述Z轴模组上设置有推动所述导电针向下运动的推动器，这样所述Z轴模组上的导电针就可以在所述接触板上面上下左右运动，使所述导电针能分批次与多个导电端一一接触，而实现待测芯片的断电和通电或者是否接收测试信号，从而代替了继电器的功能，且所需导电针和推动器的数量不多，而降低了成本；同时，本测试机构无需复杂的线路，检修时只需把X轴模组、Y轴模组、Z轴模组和接触板进行检修，而不用拆卸各个继电器，从而使检修方便。

附图说明

图1为本发明的测试机构的结构示意图；

图2为本发明的测试机构去掉接触板后的结构示意图；

图3为本发明的测试机构去掉接触板后的仰视图；

图4为本发明的第一X轴模组的结构示意图；

图5为本发明的第一Y轴模组的爆炸结构示意图；

图6为本发明的第一Z轴模组的爆炸结构示意图；

图7为图1中A处的放大结构示意图；

图8为本发明的接触板的结构示意图。

图中：1.测试机构；10、X轴模组；11、第一X轴模组；111、第一滑轴；112、第一滑块；113、第一连接板；12、第二X轴模组；121、第二滑块；122、第二连接板；20、Y轴模组；21、第一Y轴模组；211、第一滑板；212、第一固定板；213、第三固定板；214、固定条；22、第二Y轴模组；221、第二固定板；222、第二滑板；30、Z轴模组；31、第一Z轴模组；311、第一推动器；312、第一导电针；313、第一稳定板；314、第三推动器；315、第三导电针；316、第一连接块；317、第二连接块；318、第一托板；319、背板；32、第二Z轴模组；321、第二推动器；322、第二导电针；323、第二稳定板；324、第二托板；40、主板；41、接触板；411、导电端；412、第一接触板；413、第二接触板；42、插槽；43、第一隔热板；44、第二隔热板。

具体实施方式

为了能够更清楚地理解本发明的具体技术方案、特征和优点，下面结合附图和具体实施方式对本发明进行进一步的详细描述。

在本发明的描述中，需要说明的是，术语“上”、“下”、“左”、“右”、“横向”、“纵向”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，或者是该发明产品使用时惯常摆放的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。此外，术语“第一”、“第二”、“第三”等仅用于区分描述，而不能理解为指示或暗示相对重要性。

如图1所示，本申请公开了一种测试机构1，包括主板40、X轴模组10、Y轴模组20、Z轴模组30和用于连接测试板的接触板41，所述X轴模组10和所述接触板41均固定在所述主板40上，所述X轴模组10设置在所述接触板41的两端，所述Y轴模组20与所述X轴模组10滑动连接，所述Z轴模组30与所述Y轴模组20滑动连接，所述Z轴模组30设置在所述接触板41的上方，所述Z轴模组30包括导电针和用于推动所述导电针向下运动的推动器，所述接触板41包括多个导电端411，所述导电端411与测试板41上的待测芯片电性连接，当所述导电针向下运动时点击所述导电端411。

在上述实施方式中，所述导电针为探针，所述推动器可以为气缸，所述气缸可以带动所述探针上下运动去点击或分离所述导电端411，所述导电端411为圆柱形接线端，为了便于美观和利于安装，多个接线端呈矩阵排列在所述接触板41本体上。

本测试机构1上的Z轴模组可以通过所述Y轴模组在所述X轴模组上左右滑动，且所述Z轴模组上设置有推动所述导电针向下运动的推动器，这样所述Z轴模组上的导电针就可以在所述接触板的上方上下左右运动，使所述导电针能分批次与多个导电端一一接触，而实现待测芯片的断电和通电或者待测芯片是否接收测试信号，而实现了继电器断开和吸合的功能，且所需导电针和推动器的数量不多，而降低了成本；同时，本测试机构无需复杂的线路，检修时只需把X轴模组、Y轴模组、Z轴模组和接触板进行检修，而不用拆卸各个继电器，从而使检修方便。

如图2-4所示，在一种优选的实施方式中，所述X轴模组10包括第一X轴模组11和第二X轴模组12，所述第一X轴模组11与所述第二X轴模组12平行设置，所述第一X轴模组11与所述第二X轴模组12分别设置在所述接触板41的两侧。所述第一X轴模组11包括第一滑轴111、第一滑块112和第一连接板113，所述第一滑轴111固定在所述主板40上，所述第一滑轴111与所述第一滑块112滑动连接，所述第一连接板113固定在所述第一滑轴111上，所述第一Y轴模组21设置在所述第一连接板113上。所述第二X轴模组12包括第二滑块121和第二连接板122，所述第二滑块121固定在所述主板40上，所述第二连接板122与所述第二滑块121滑动连接，所述第二Y轴模组22和所述第二Z轴模组32分别固定在所述第二连接板122上。

在上述实施方式中，所述第一滑轴111沿着所述第一滑块112滑动，而带动所述第一连接板113上的第一Y轴模组21滑动，从而带动第一Y轴模组21上的第一Z轴模组31在平行于所述接触板40的平面内滑动；所述第二连接板122沿着所述第二滑块滑动，而带动所述第二连接板122上的第二Y轴模组22和第二Z轴模组32在平行于所述接触板40的平面内滑动。为了保持所述第一Z轴模组31和所述第二Z轴模组同步，所述第一连接板113和所述第二连接板122滑动的速度相等。所述第一滑轴111可使用电动滑轴。为了使所述第一滑轴111滑动的更平稳，所述第一滑块112的两侧设置有凹槽，所述第一滑轴111上设置有与所述凹槽相配合的凸起，所述第一滑块112嵌合在所述第一滑轴111内；为了便于所述第一连接板113滑动，所述第一滑轴111呈凸字形，所述第一连接板113为与所述第一滑轴111相配合的凹字形。

其中，如图3所示，所述主板40上设置有第一隔热板43和第二隔热板44，所述第一隔热板43和所述第二隔热板44分别设置在所述接触板41的两侧，所述第一隔热板43能隔绝所述第一滑轴111滑动产生的热量，所述第二隔热板44能隔绝所述第二滑块121滑动产生的热量。

如图5-7所示，所述Y轴模组20包括第一Y轴模组21和第二Y轴模组22，所述第一Y轴模组21与所述第二Y轴模组22固定连接，所述第一Y轴模组21与所述第一X轴模组11滑动连接，所述第二Y轴模组22与所述第二X轴模组12滑动连接。

在上述实施方式中，所述第一Y轴模组21包括第一滑板211、第一固定板212、若干固定条和第三固定板213，所述第一滑板211与所述第一Z轴模组31滑动连接，所述第一滑板211通过所述第一固定板212与所述第一连接板113固定连接，为了使所述第一滑板211更稳固，在所述第一固定板212与所述第一连接板113之间设置有所述固定条214，所述第一滑板211可通过所述第三固定板213与所述第二Y轴模组22固定连接，所述第三固定板213与所述第二Y轴模组22之间当然也可以通过所述固定条214固定。

如图7所示，所述第一Y轴模组21包括第二固定板221和第二滑板222，所述第二滑板222与所述第一滑板211通过所述第三固定板213固定连接，所述第二滑板222通过所述第二固定板221与所述第二连接板122固定连接，或者所述第二固定板221与所述第二连接板122合为一体。

如图6所示，在一种优选的实施方式中，所述Z轴模组30包括第一Z轴模组31和第二Z轴模组32，所述第一Z轴模组31与所述第一Y轴模组21滑动连接，所述第二Z轴模组32与所述第二X轴模组12滑动连接。所述第一Z轴模组31包括第一导电针312和用于推动所述第一导电针312的第一推动器311，所述第一导电针312设置在所述第一推动器311的下端；所述第二Z轴模组32包括第二导电针322和用于推动所述第二导电针322的第二推动器321，所述第二导电针322设置在所述第二推动器314的下端。

在上述实施方式中，所述第一推动器311和所述第二推动器314均为气缸，所述第一导电针312和所述第二导电针322均为探针。所述第一Z轴模组31还包括背板319、第一连接块316、第一导电针312、第一托板318和第一稳定板313。所述第一推动器311通过所述第一稳定板313与所述第一导电针312连接，所述第一推动器311通过所述第一连接块316与所述第一托板318连接，所述第一托板318与所述背板319固定连接，所述背板319与所述第一滑板211连接。为了增加测试的线路或者信号路数，在所述第一连接块316的两侧还设置有第二连接块317，所述第二连接块317上设置有第三推动器314，所述第三推动器314的下端设置有第三导电针315。当所述第一推动器311向下运动时，可使所述第一导电针312和所述第三导电针315点击所述接触板41上的导电端411。

其中，如图7所示，所述第二Z轴模组32包括第二推动器321、第二稳定板323、第二导电针322和第二托板324，所述第二推动器321通过所述第二托板324与所述第二连接板122连接，所述第二推动器321通过所述第二稳定板323连接所述第二导电针322。

优选的，如图7-8所示，所述接触板41包括第一接触板412和第二接触板413，所述第一接触板412设置在所述第一Z轴模组31的下方，所述第二接触板413设置在所述第二Z轴模组32的下方。所述主板40包括插槽42，所述接触板41安装在所述插槽42内。所述测试机构1还包括用于驱动所述Y轴模组20和所述Z轴模组30的皮带轮，所述皮带轮设置在所述主板40上。

其中，所述第一导电针312和所述第三导电针315设置在所述第一接触板412的上方，所述第二导电针322设置在所述第二接触板413的上方。所述插槽42也利于所述接触板41与测试板电性连接。可以理解地，为了测试更多的待测芯片，可以设置更多的接触板41和导电针。

本申请还公开了一种包括上述所述测试机构1的测试装置，该测试装置包括测试板和测试信号发生器，所述测试板与所述接触板41电性连接，所述测试信号发生器与所述导电针电性连接。

在本测试装置中，所述测试信号发生器发出测试信号，当所述导电针与所述导电端411接触时，测试信号经过所述测试机构1上的导电针传输给所述接触板41，再传导给测试板上的待测芯片，而对待测芯片进行测试。当所述导电针与所述导电端411分离时，测试中断。

综述，本测试机构1上的Z轴模组可以通过所述Y轴模组20在所述X轴模组10上左右滑动，这样所述Z轴模组30上的导电针就可以在所述接触板40的上方上下左右运动，使所述导电针能分批次的与多个导电端一一接触，而实现待测芯片的断电和通电或者待测芯片是否接收测试信号的功能，而避免了使用继电器去实现，从而降低了成本和利于检修。

以上显示和描述了本发明的基本原理、主要特征和优点。本行业的技术人员应该了解，本发明不受上述实施例的限制，上述实施例和说明书中的描述的只是说明本发明的原理，在不脱离本发明精神和范围的前提下，本发明还会有各种变化和改进，这些变化和改进都落入要求保护的本发明范围内。本发明要求保护范围由所附的权利要求书及其等效物界定。

Claims (10)

1.一种测试机构，其特征在于：包括主板、X轴模组、Y轴模组、Z轴模组和用于连接测试板的接触板，所述X轴模组和所述接触板均固定在所述主板上，所述X轴模组设置在所述接触板的两端，所述Y轴模组与所述X轴模组滑动连接，所述Z轴模组与所述Y轴模组滑动连接，所述Z轴模组设置在所述接触板的上方，所述Z轴模组包括导电针和用于推动所述导电针向下运动的推动器，所述接触板包括多个导电端，所述导电端与测试板上的待测芯片电性连接，当所述导电针向下运动时点击所述导电端。

2.根据权利要求1所述的测试机构，其特征在于：所述X轴模组包括第一X轴模组和第二X轴模组，所述第一X轴模组与所述第二X轴模组平行设置，所述第一X轴模组与所述第二X轴模组分别设置在所述接触板的两侧。

3.根据权利要求2所述的测试机构，其特征在于：所述Y轴模组包括第一Y轴模组和第二Y轴模组，所述第一Y轴模组与所述第二Y轴模组固定连接，所述第一Y轴模组与所述第一X轴模组滑动连接，所述第二Y轴模组与所述第二X轴模组滑动连接。

4.根据权利要求3所述的测试机构，其特征在于：所述Z轴模组包括第一Z轴模组和第二Z轴模组，所述第一Z轴模组与所述第一Y轴模组滑动连接，所述第二Z轴模组与所述第二X轴模组滑动连接。

5.根据权利要求4所述的测试机构，其特征在于：所述第一Z轴模组包括第一导电针和用于推动所述第一导电针的第一推动器，所述第一导电针设置在所述第一推动器的下端；所述第二Z轴模组包括第二导电针和用于推动所述第二导电针的第二推动器，所述第二导电针设置在所述第二推动器的下端。

6.根据权利要求4所述的测试机构，其特征在于：所述第一X轴模组包括第一滑轴、第一滑块和第一连接板，所述第一滑轴固定在所述主板上，所述第一滑轴与所述第一滑块滑动连接，所述第一连接板固定在所述第一滑轴上，所述第一Y轴模组设置在所述第一连接板上。

7.根据权利要求6所述的测试机构，其特征在于：所述第二X轴模组还包括第二滑块和第二连接板，所述第二滑块固定在所述主板上，所述第二连接板与所述第二滑块滑动连接，所述第二Y轴模组和所述第二Z轴模组分别固定在所述第二连接板上。

8.根据权利要求4所述的测试机构，其特征在于：所述接触板包括第一接触板和第二接触板，所述第一接触板设置在所述第一Z轴模组的下方，所述第二接触板设置在所述第二Z轴模组的下方。

9.根据权利要求1所述的测试机构，其特征在于：所述测试机构还包括用于驱动所述Y轴模组和所述Z轴模组的皮带轮，所述皮带轮设置在所述主板上。

10.一种包括权利要求1-9任一项所述测试机构的老化测试装置，其特征在于：还包括测试板和测试信号发生器，所述测试板与所述接触板电性连接，所述测试信号发生器与所述导电针电性连接。

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