CN218801545U - 一种抛光液供给装置 - Google Patents
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Abstract
本申请涉及抛光设备技术领域，尤其是涉及一种抛光液供给装置，包括：存储罐，所述存储罐具有多个，多个所述存储罐呈线性排列，每个存储罐均包括：罐体，所述罐体内用于存储抛光液；进出液组件，所述进出液组件包括：进液管，所述进液管位于所述罐体的顶部，所述进液管与所述罐体连通，用于向所述罐体内补充抛光液，所述进液管上连接有进液阀。解决了抛光液供给装置功能相对单一且不完善的技术问题，达到了完善抛光液供给装置功能的技术效果。
Description
技术领域
本申请涉及抛光设备技术领域，尤其是涉及一种抛光液供给装置。
背景技术
化学机械抛光(CMP)是一种对半导体材料或是其它类型材料的衬底进行平坦化或是抛光的方法。广泛应用于集成电路(IC)制造业中。化学机械抛光是结合抛光液中化学溶液的腐蚀和磨粒的机械磨削双重作用，使硅晶片获得极高的平面度和平整度的一项工艺。
现有技术中，针对半导体抛光工艺，抛光液的温度、PH、金属离子以及结晶情况对晶圆抛后质量都有很大的影响，且人工参与加液和换液存在抛光液污染的风险。因此现有的抛光液供给装置功能往往相对单一且不完善，亟待提出一种自动化程度较高的抛光液供给装置。
因此，现有技术的技术问题在于：抛光液供给装置功能相对单一且不完善。
实用新型内容
本申请提供一种抛光液供给装置，解决了抛光液供给装置功能相对单一且不完善的技术问题，达到了完善抛光液供给装置功能的技术效果。
本申请提供的一种抛光液供给装置，采用如下的技术方案：
一种抛光液供给装置，包括：存储罐，所述存储罐具有多个，多个所述存储罐呈线性排列，每个存储罐均包括：罐体，所述罐体内用于存储抛光液；进出液组件，所述进出液组件包括：进液管，所述进液管位于所述罐体的顶部，所述进液管与所述罐体连通，用于向所述罐体内补充抛光液，所述进液管上连接有进液阀；排液管，所述排液管位于所述罐体的底部，所述排液管与所述罐体连通，用于所述罐体内抛光液的排出，所述排液管上连接有排液阀；以及液位检测组件，所述液位检测组件包括：液位传感器，所述液位传感器具有多个，所述液位传感器设置于所述罐体的侧壁上，多个所述液位传感器位于不同高度，所述液位传感器用于向所述罐体内检测液位；以及供液组件，所述供液组件包括：供液管，所述供液管位于所述罐体的底部侧边，所述供液管与所述罐体连通，用于向抛光设备供给抛光液，所述供液管上连接有泵体和滤芯。
作为优选，所述存储罐包括第一存储罐、第二存储罐以及第三存储罐，所述第一存储罐用于存储第一抛光液，所述第二存储罐用于存储第二抛光液，所述第三存储罐用于存储第三抛光液。
作为优选，所述进液管延伸至所述罐体的内底部。
作为优选，所述液位传感器具有四个，四个所述液位传感器沿竖直方向布设。
作为优选，所述存储罐还包括冷却组件，所述冷却组件包括：冷却管，所述冷却管容置于所述罐体的内部，所述冷却管用于流通冷却液，所述冷却管上连接有冷却液阀。
作为优选，所述存储罐还包括冷却组件，所述冷却组件包括：冷却管，所述冷却管位于所述罐体的外部，且所述冷却管与所述罐体的外壁相贴合，所述冷却管用于流通冷却液，所述冷却管上连接有冷却液阀。
作为优选，所述冷却管呈螺旋状或锯齿状设置。
作为优选，所述存储罐还包括搅拌组件，所述搅拌组件包括：搅拌件，所述搅拌件位于所述罐体的内部，所述搅拌件转动连接于罐体上；电机，所述电机位于所述罐体的外部，所述电机连接于所述罐体并作用于所述搅拌件上，使得所述搅拌件旋转而对抛光液进行搅拌。
作为优选，所述存储罐还包括抛光液检测组件，所述抛光液检测组件包括：温度检测件，所述温度检测件连接于所述罐体上并通入抛光液内；pH检测件，所述pH检测件连接于所述罐体上并通入抛光液内。
作为优选，所述进出液组件还包括纯水管，所述纯水管位于所述罐体的顶部，所述纯水管与所述罐体连通，用于向所述罐体内补充纯水，所述纯水管上连接有纯水阀。
综上所述，本申请包括以下至少一种有益技术效果：
1、本申请在存储罐上设置液位检测组件和进出液组件，通过对罐体内抛光液的变化监测，通过进出液管进行增补，同时还可以通过排液管进行抛光液替换，设置了多个存储罐以存储不同的抛光液，提高抛光液供给的多样性，并提高抛光液供给的功能；解决了抛光液供给装置功能相对单一且不完善的技术问题，达到了完善抛光液供给装置功能的技术效果。
2、本申请在每个存储罐上设置了搅拌组件，对抛光液进行搅拌，防止抛光液在罐体的内部发生结晶。
3、本申请通过设置冷却组件以对抛光液进行降温、设置抛光液检测组件以检测抛光液的温度和pH值，提高和完善了存储罐的功能。
附图说明
图1是本申请所述抛光液供给装置示意图。
附图标记说明：1、液位传感器；2、pH检测件；3、温度检测件；4、罐体；5、搅拌件；6、电机；7、纯水管；8、纯水阀；9、进液管；10、进液阀；11、冷却管；12、冷却液阀；13、供液管；14、泵体；15、滤芯；16、排液管；17、排液阀。
具体实施方式
本文中为部件所编序号本身，例如“第一”、“第二”等，仅用于区分所描述的对象，不具有任何顺序或技术含义。而本申请所说“连接”、“联接”，如无特别说明，均包括直接和间接连接(联接)。在本申请的描述中，需要理解的是，术语“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”、“顺时针”、“逆时针”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本申请和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本申请的限制。
在本申请中，除非另有明确的规定和限定，第一特征在第二特征“上”或“下”可以是第一和第二特征直接接触，或第一和第二特征通过中间媒介间接接触。而且，第一特征在第二特征“之上”、“上方”和“上面”可是第一特征在第二特征正上方或斜上方，或仅仅表示第一特征水平高度高于第二特征。第一特征在第二特征“之下”、“下方”和“下面”可以是第一特征在第二特征正下方或斜下方，或仅仅表示第一特征水平高度小于第二特征。
本申请实施例提供了一种抛光液供给装置，解决了抛光液供给装置功能相对单一且不完善的技术问题，达到了完善抛光液供给装置功能的技术效果。
为了更好的理解上述技术方案，下面将结合说明书附图以及具体的实施方式对上述技术方案进行详细的说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅用以解释本申请，并不用于限定本申请。
一种抛光液供给装置，用于对抛光设备中抛光液进行供给，抛光液供给装备包括若干个存储罐，若干个存储罐呈线性排列，分别用于对同一抛光设备中的各个抛光盘进行抛光液的供给，在一个实施例中，存储罐具有三个，包括第一存储罐、第二存储罐以及第三存储罐，第一存储罐用于存储第一抛光液，第二存储罐用于存储第二抛光液，第三存储罐用于存储第三抛光液。
存储罐，用于抛光液的供给。每个存储罐均包括罐体4、进出液组件、液位检测组件、供液组件、冷却组件、搅拌组件以及抛光液检测组件；罐体4用于存储抛光液；进出液组件用于罐体4内抛光液的补充和排出；液位检测组件用于检测罐体4内抛光液的液位；供液组件用于向抛光设备的抛光盘供给抛光液；冷却组件用于罐体4内抛光液的冷却；搅拌组件用于罐体4内抛光液的搅拌；抛光液检测组件用于检测抛光液的温度和pH值。
罐体4，罐体4用于存储抛光液。罐体4具有一盖体，使得在罐体4内部形成有一容置空间，容置空间用于存储抛光液。
进出液组件，进出液组件用于罐体4内抛光液的补充和排出。进出液组件包括进液管9、排液管16以及纯水管7，通过进液管9和纯水管7向罐体4内补充液体，通过排水管罐体4内液体的排出，具体的，进液管9用于向罐体4内补充抛光液，进液管9连接于罐体4的顶部，进液管9与罐体4连通，且进液管9穿设经过盖体延伸至罐体4的内底部，其中，进液管9上连接有进液阀10，通过该进液阀10控制进液管9内抛光液的流通；纯水管7用于向罐体4内补充纯水，纯水管7连接于罐体4的顶部，纯水管7与罐体4连通，且纯水管7穿设经过盖体延伸至罐体4的内底部，其中，纯水管7上连接有纯水阀8，通过该纯水控制纯水管7内纯水的流通；排液管16用于罐体4内抛光液的排出，排液管16连接于罐体4的底部，排液管16与罐体4连通，其中，排液管16上连接有排液阀17，通过该排液阀17控制排液管16内抛光液的流通。
液位检测组件，液位检测组件用于检测罐体4内抛光液的液位。液位检测组件包括若干液位传感器1，在一个实施例中，液位传感器1具有四个，四个液位传感器1沿竖直方向连接于罐体4的侧壁上，用于向内检测罐体4内部抛光液的液面高度，具体的，位于最高位置的液位传感器1检测点位即为罐体4内抛光液的高液位，位于最低位置的液位传感器1监测点位即为罐体4内抛光液的液位，高液位或低液位信号反馈至PLC等分析系统，即可控制进液管9进行补充抛光液或控制排液管16进行排液。
供液组件，供液组件用于向抛光设备的抛光盘供给抛光液。供液组件包括供液管13，供液管13位于罐体4的底部侧边，供液管13与罐体4连通，供液管13用于向抛光设备的抛光盘供给抛光液，供液管13上连接有泵体14和滤芯15，泵体14用于作为抛光液供给的动力源，抛光液经过滤芯15过滤后输送至抛光盘上。
冷却组件，冷却组件用于罐体4内抛光液的冷却。冷却组件包括冷却管11，冷却管11内用于通入冷却水，通过冷却管11和罐体4之间进行热交换从而实现对罐体4和抛光液的冷却，在一个实施例中，冷却管11容置于罐体4的内部，冷却管11上连接有冷却液阀12，冷却管11连通外部冷却液源，通过冷却液阀12驱动冷却液循环流动；在其他实施例中，冷却管11位于罐体4的外部，冷却管11与罐体4的外壁相贴合，使得冷却管11和罐体4之间能够进行热交换；进一步的，冷却管11形状可以布置为螺旋状或锯齿状，以提高冷却管11的接触面积，从而提高冷却效果。
搅拌组件，搅拌组件用于罐体4内抛光液的搅拌。搅拌组件包括搅拌件5和电机6，搅拌件5位于罐体4的内部，具体的，搅拌件5转动连接于罐体4的盖体上，使得搅拌件5能够旋转而搅动抛光液，在一个实施例中，搅拌件5可以采用为叶轮或搅拌桨；电机6位于罐体4的顶部，电机6连接于盖体上，并作用于是搅拌件5的转轴上，用于驱动搅拌件5旋转。
抛光液检测组件，抛光液检测组件用于检测抛光液的温度和pH值。抛光液检测组件包括温度检测件3和pH检测件2，温度检测件3用于检测罐体4内抛光液的温度，温度检测件3固定连接于盖体上并通入抛光液中；pH检测件2用于检测罐体4内抛光液的pH值，pH检测件2固定连接于盖体上并通入抛光液中。
工作原理/步骤：
液位传感器1检测罐体4内抛光液液位，高液位或低液位信号反馈至PLC等分析系统，即可控制进液管9进行补充抛光液或控制排液管16进行排液；同时对抛光液的温度和pH值进行监控并反馈至后台；电机6驱动搅拌件5旋转对抛光液进行搅动，防止抛光液结晶；泵体14驱动抛光液通过供液管13输送至抛光盘，完成抛光液的供液。
技术效果：
1、本申请在存储罐上设置液位检测组件和进出液组件，通过对罐体4内抛光液的变化监测，通过进出液管进行增补，同时还可以通过排液管16进行抛光液替换，设置了多个存储罐以存储不同的抛光液，提高抛光液供给的多样性，并提高抛光液供给的功能；解决了抛光液供给装置功能相对单一且不完善的技术问题，达到了完善抛光液供给装置功能的技术效果。
2、本申请在每个存储罐上设置了搅拌组件，对抛光液进行搅拌，防止抛光液在罐体4的内部发生结晶。
3、本申请通过设置冷却组件以对抛光液进行降温、设置抛光液检测组件以检测抛光液的温度和pH值，提高和完善了存储罐的功能。
尽管已描述了本申请的优选实施例，但本领域内的技术人员一旦得知了基本创造性概念，则可对这些实施例作出另外的变更和修改。所以，所附权利要求意欲解释为包括优选实施例以及落入本申请范围的所有变更和修改。
显然，本领域的技术人员可以对本申请进行各种改动和变型而不脱离本申请的精神和范围。这样，倘若本申请的这些修改和变型属于本申请权利要求及其等同技术的范围之内，则本申请也意图包含这些改动和变型在内。
Claims (10)
1.一种抛光液供给装置，其特征在于，包括：
存储罐，所述存储罐具有多个，多个所述存储罐呈线性排列，每个存储罐均包括：
罐体(4)，所述罐体(4)内用于存储抛光液；
进出液组件，所述进出液组件包括：
进液管(9)，所述进液管(9)位于所述罐体(4)的顶部，所述进液管(9)与所述罐体(4)连通，用于向所述罐体(4)内补充抛光液，所述进液管(9)上连接有进液阀(10)；
排液管(16)，所述排液管(16)位于所述罐体(4)的底部，所述排液管(16)与所述罐体(4)连通，用于所述罐体(4)内抛光液的排出，所述排液管(16)上连接有排液阀(17)；以及
液位检测组件，所述液位检测组件包括：
液位传感器(1)，所述液位传感器(1)具有多个，所述液位传感器(1)设置于所述罐体(4)的侧壁上，多个所述液位传感器(1)位于不同高度，所述液位传感器(1)用于向所述罐体(4)内检测液位；以及
供液组件，所述供液组件包括：
供液管(13)，所述供液管(13)位于所述罐体(4)的底部侧边，所述供液管(13)与所述罐体(4)连通，用于向抛光设备供给抛光液，所述供液管(13)上连接有泵体(14)和滤芯(15)。
2.根据权利要求1所述的一种抛光液供给装置，其特征在于，所述存储罐包括第一存储罐、第二存储罐以及第三存储罐，所述第一存储罐用于存储第一抛光液，所述第二存储罐用于存储第二抛光液，所述第三存储罐用于存储第三抛光液。
3.根据权利要求1所述的一种抛光液供给装置，其特征在于，所述进液管(9)延伸至所述罐体(4)的内底部。
4.根据权利要求2所述的一种抛光液供给装置，其特征在于，所述液位传感器(1)具有四个，四个所述液位传感器(1)沿竖直方向布设。
5.根据权利要求1所述的一种抛光液供给装置，其特征在于，所述存储罐还包括冷却组件，所述冷却组件包括：
冷却管(11)，所述冷却管(11)容置于所述罐体(4)的内部，所述冷却管(11)用于流通冷却液，所述冷却管(11)上连接有冷却液阀(12)。
6.根据权利要求1所述的一种抛光液供给装置，其特征在于，所述存储罐还包括冷却组件，所述冷却组件包括：
冷却管(11)，所述冷却管(11)位于所述罐体(4)的外部，且所述冷却管(11)与所述罐体(4)的外壁相贴合，所述冷却管(11)用于流通冷却液，所述冷却管(11)上连接有冷却液阀(12)。
7.根据权利要求5或6所述的一种抛光液供给装置，其特征在于，所述冷却管(11)呈螺旋状或锯齿状设置。
8.根据权利要求1所述的一种抛光液供给装置，其特征在于，所述存储罐还包括搅拌组件，所述搅拌组件包括：
搅拌件(5)，所述搅拌件(5)位于所述罐体(4)的内部，所述搅拌件(5)转动连接于罐体(4)上；
电机(6)，所述电机(6)位于所述罐体(4)的外部，所述电机(6)连接于所述罐体(4)并作用于所述搅拌件(5)上，使得所述搅拌件(5)旋转而对抛光液进行搅拌。
9.根据权利要求1所述的一种抛光液供给装置，其特征在于，所述存储罐还包括抛光液检测组件，所述抛光液检测组件包括：
温度检测件(3)，所述温度检测件(3)连接于所述罐体(4)上并通入抛光液内；
pH检测件(2)，所述pH检测件(2)连接于所述罐体(4)上并通入抛光液内。
10.根据权利要求1所述的一种抛光液供给装置，其特征在于，所述进出液组件还包括纯水管(7)，所述纯水管(7)位于所述罐体(4)的顶部，所述纯水管(7)与所述罐体(4)连通，用于向所述罐体(4)内补充纯水，所述纯水管(7)上连接有纯水阀(8)。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN202222998160.2U CN218801545U (zh) | 2022-11-11 | 2022-11-11 | 一种抛光液供给装置 |
Applications Claiming Priority (1)
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| CN202222998160.2U CN218801545U (zh) | 2022-11-11 | 2022-11-11 | 一种抛光液供给装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN218801545U true CN218801545U (zh) | 2023-04-07 |
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| CN (1) | CN218801545U (zh) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN116787331A (zh) * | 2023-08-10 | 2023-09-22 | 浙江晶盛机电股份有限公司 | 抛光液供给系统及晶圆抛光机 |
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2022
- 2022-11-11 CN CN202222998160.2U patent/CN218801545U/zh active Active
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN116787331A (zh) * | 2023-08-10 | 2023-09-22 | 浙江晶盛机电股份有限公司 | 抛光液供给系统及晶圆抛光机 |
| CN116787331B (zh) * | 2023-08-10 | 2024-01-09 | 浙江晶盛机电股份有限公司 | 抛光液供给系统及晶圆抛光机 |
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