CN218776264U - 一种蓝宝石衬底的双面减薄加工装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型提供一种蓝宝石衬底的双面减薄加工装置，涉及技术领域，该蓝宝石衬底的双面减薄加工装置包括基座，所述基座的顶部固定连接有安装座，所述安装座的侧壁固定连接有支撑台，所述安装座的内部沿其长度方向开设有滑槽，所述滑槽的内部滑动连接有两个支板，且两个所述支板对称分布在支撑台的左右两侧，所述滑槽的内部设置有用于推动两个支板沿滑槽反向滑移的推送部件，两个所述支板相对的一侧均转动连接有打磨盘；将工件放置在支撑台的顶部，通过调节推送部件推动两个支板沿滑槽反向滑移相互靠近，使两个打磨盘由两侧推动工件至支撑台的中心部位，而后调节压紧机构对工件进行压紧固定，并通过驱动机构带动打磨盘转动。

Description

一种蓝宝石衬底的双面减薄加工装置

技术领域

本实用新型涉及晶片加工技术领域，具体是一种蓝宝石衬底的双面减薄加工装置。

背景技术

通常，GaN基材料和器件的外延层主要生长在蓝宝石衬底上。蓝宝石衬底有许多的优点：首先，蓝宝石衬底的生产技术成熟、器件质量较好；其次，蓝宝石的稳定性很好，能够运用在高温生长过程中；最后，蓝宝石的机械强度高，易于处理和清洗。因此，大多数工艺一般都以蓝宝石作为衬底。

在授权公告号为CN214685935U的中国专利中公开了一种4寸LED蓝宝石衬底的双面减薄加工装置，其特征在于：包括机体、下研磨盘、上研磨盘、转轴A、电机A、转轴B、电机B、磨削液槽、进液管、供液管、水泵、蠕动泵、储液罐A、储液罐B、进液口A、进液口B、研磨盘支架、磨盘护板、测厚仪、粗糙度测量仪；能够实现通过在设置上下两个研磨盘提高磨削加工效率，并采用蠕动泵供料；配合悬浮剂的使用提高了产品品质，降低成本。

但是，上述技术方案还存在以下缺陷，该设备在使用时由上下两侧对工件进行打磨，受到下研磨盘的阻挡，不仅无法较好的对掉落的碎屑进行收集，而且掉落的碎屑受到下研磨盘的击打，会大范围的飞散，更加难以收集，需要使用者手动清扫，较为的麻烦不便。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种蓝宝石衬底的双面减薄加工装置，旨在解决现有技术中的无法较好的对掉落的碎屑进行收集的问题。

为实现上述目的，本实用新型采用如下技术方案：所述蓝宝石衬底的双面减薄加工装置，包括：基座，所述基座的顶部固定连接有安装座，所述安装座的侧壁固定连接有支撑台，所述安装座的内部沿其长度方向开设有滑槽，所述滑槽的内部滑动连接有两个支板，且两个所述支板对称分布在支撑台的左右两侧，所述滑槽的内部设置有用于推动两个支板沿滑槽反向滑移的推送部件，两个所述支板相对的一侧均转动连接有打磨盘，所述打磨盘的一侧设置有用于驱动其转动的驱动机构，所述支撑台的底部设置有位于基座顶部的回收盘，所述安装座的一侧设置有用于工件固定的压紧机构。

为了使得本实用新型具有较好的推动两个支板反向移动的作用，本实用新型的进一步的技术方案为，所述推送部件为转动连接在滑槽内部的丝杆，所述丝杆的外部设置有两段旋向相反的螺纹，两个所述支板分别螺纹连接在两段螺纹的外部，所述丝杆的端部设置有用于驱动其转动的第一电机。

为了使得本实用新型具有较好的驱动打磨盘转动的作用，本实用新型的进一步的技术方案为，所述驱动机构为固定安装在支板侧壁的第二电机，所述第二电机的输出端固定连接在打磨盘的中部。

为了使得本实用新型具有较好的对工件压紧的作用，本实用新型的进一步的技术方案为，所述压紧机构包括固定连接在安装座顶部的L形板，所述L形板的底部设置有位于支撑台正上方的压板，所述L形板上设置有用于推动压板升降的液压缸，所述压板的底部设置有防护垫。

为了使得本实用新型具有较好的对回收盘固定的作用，本实用新型的进一步的技术方案为，所述支撑台的底部开设有T形槽，所述回收盘的顶部固定连接有滑动在T形槽内部的T形板。

为了使得本实用新型具有较好的对基座进行支撑的作用，本实用新型的进一步的技术方案为，所述基座的底部固定连接有支撑轴，所述支撑轴的底部固定连接有垫板。

本实用新型的有益效果是：

本实用新型在使用时，将工件放置在支撑台的顶部，通过调节推送部件推动两个支板沿滑槽反向滑移相互靠近，使两个打磨盘由两侧推动工件至支撑台的中心部位，而后调节压紧机构对工件进行压紧固定，并通过驱动机构带动打磨盘转动，并配合推送部件，使两个打磨盘由两侧对工件的两面进行减薄，能够有效的避免碎屑因被转动的打磨轮击打而大范围飞散，使得位于支撑台下方的回收盘能够较好的对掉落的碎屑进行收集，省去了工作人员清扫收集的麻烦，提高设备的实用性能。

附图说明

图1是本实用新型的具体实施例的结构示意图。

图2是本实用新型的具体实施例的正视图。

图3是本实用新型的具体实施例回收盘的结构示意图。

图中：1、基座；2、安装座；3、支撑台；4、滑槽；5、支板；6、打磨盘；7、回收盘；8、丝杆；9、螺纹；10、第一电机；11、第二电机；12、L形板；13、压板；14、液压缸；15、T形槽；16、T形板；17、支撑轴；18、垫板。

具体实施方式

下面结合附图对本实用新型的具体实施方式作进一步的说明。

如图1-3所示，一种蓝宝石衬底的双面减薄加工装置，包括：基座1，基座1的顶部固定连接有安装座2，安装座2的侧壁固定连接有支撑台3，安装座2的内部沿其长度方向开设有滑槽4，滑槽4的内部滑动连接有两个支板5，且两个支板5对称分布在支撑台3的左右两侧，滑槽4的内部设置有用于推动两个支板5沿滑槽4反向滑移的推送部件，两个支板5相对的一侧均转动连接有打磨盘6，打磨盘6的一侧设置有用于驱动其转动的驱动机构，支撑台3的底部设置有位于基座1顶部的回收盘7，安装座2的一侧设置有用于工件固定的压紧机构。

在本具体实施例中，将工件放置在支撑台3的顶部，通过调节推送部件推动两个支板5沿滑槽4反向滑移相互靠近，使两个打磨盘6由两侧推动工件至支撑台3的中心部位，而后调节压紧机构对工件进行压紧固定，并通过驱动机构带动打磨盘6转动，并配合推送部件，使两个打磨盘6由两侧对工件的两面进行减薄，能够有效的避免碎屑因被转动的打磨轮击打而大范围飞散，使得位于支撑台3下方的回收盘7能够较好的对掉落的碎屑进行收集，省去了工作人员清扫收集的麻烦，提高设备的实用性能。

具体的，推送部件为转动连接在滑槽4内部的丝杆8，丝杆8的外部设置有两段旋向相反的螺纹9，两个支板5分别螺纹连接在两段螺纹9的外部，转动丝杆8，通过两段螺纹9能够较好的推动两个支板5沿滑槽4反向滑移相互靠近或远离。

进一步的，丝杆8的端部设置有用于驱动其转动的第一电机10，通过第一电机10能够较好的驱动丝杆8进行转动。

具体的，驱动机构为固定安装在支板5侧壁的第二电机11，第二电机11的输出端固定连接在打磨盘6的中部，通过第二电机11能够较好的驱动打磨盘6转动。

具体的，压紧机构包括固定连接在安装座2顶部的L形板12，L形板12的底部设置有位于支撑台3正上方的压板13，L形板12上设置有用于推动压板13升降的液压缸14，通过液压缸14推动压板13下降，能够较好的对工件进行压紧固定。

进一步的，压板13的底部设置有防护垫，通过防护垫的设置能够较好的对工件进行保护，避免造成工件损伤。

优选的，支撑台3的底部开设有T形槽15，回收盘7的顶部固定连接有滑动在T形槽15内部的T形板16，通过T形槽15和T形板16相互配合能够较好的对回收盘7进行定位，使其无法左右滑动。

优选的，基座1的底部固定连接有支撑轴17，支撑轴17的底部固定连接有垫板18，通过支撑轴17和垫板18的设置，能够较好的对基座1进行支撑。

在本实用新型的描述中，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。

对于本领域技术人员而言，显然本实用新型不限于上述示范性实施例的细节，而且在不背离本实用新型的精神或基本特征的情况下，能够以其他的具体形式实现本实用新型。因此，无论从哪一点来看，均应将实施例看作是示范性的，而且是非限制性的，本实用新型的范围由所附权利要求而不是上述说明限定，因此旨在将落在权利要求的等同要件的含义和范围内的所有变化囊括在本实用新型内。不应将权利要求中的任何附图标记视为限制所涉及的权利要求。

此外，应当理解，虽然本说明书按照实施方式加以描述，但并非每个实施方式仅包含一个独立的技术方案，说明书的这种叙述方式仅仅是为清楚起见，本领域技术人员应当将说明书作为一个整体，各实施例中的技术方案也可以经适当组合，形成本领域技术人员可以理解的其他实施方式。

Claims (8)

1.一种蓝宝石衬底的双面减薄加工装置，其特征在于，包括：基座(1)，所述基座(1)的顶部固定连接有安装座(2)，所述安装座(2)的侧壁固定连接有支撑台(3)，所述安装座(2)的内部沿其长度方向开设有滑槽(4)，所述滑槽(4)的内部滑动连接有两个支板(5)，且两个所述支板(5)对称分布在支撑台(3)的左右两侧，所述滑槽(4)的内部设置有用于推动两个支板(5)沿滑槽(4)反向滑移的推送部件，两个所述支板(5)相对的一侧均转动连接有打磨盘(6)，所述打磨盘(6)的一侧设置有用于驱动其转动的驱动机构，所述支撑台(3)的底部设置有位于基座(1)顶部的回收盘(7)，所述安装座(2)的一侧设置有用于工件固定的压紧机构。

2.根据权利要求1所述的蓝宝石衬底的双面减薄加工装置，其特征在于，所述推送部件为转动连接在滑槽(4)内部的丝杆(8)，所述丝杆(8)的外部设置有两段旋向相反的螺纹(9)，两个所述支板(5)分别螺纹连接在两段螺纹(9)的外部。

3.根据权利要求2所述的蓝宝石衬底的双面减薄加工装置，其特征在于，所述丝杆(8)的端部设置有用于驱动其转动的第一电机(10)。

4.根据权利要求1所述的蓝宝石衬底的双面减薄加工装置，其特征在于，所述驱动机构为固定安装在支板(5)侧壁的第二电机(11)，所述第二电机(11)的输出端固定连接在打磨盘(6)的中部。

5.根据权利要求1所述的蓝宝石衬底的双面减薄加工装置，其特征在于，所述压紧机构包括固定连接在安装座(2)顶部的L形板(12)，所述L形板(12)的底部设置有位于支撑台(3)正上方的压板(13)，所述L形板(12)上设置有用于推动压板(13)升降的液压缸(14)。

6.根据权利要求5所述的蓝宝石衬底的双面减薄加工装置，其特征在于，所述压板(13)的底部设置有防护垫。

7.根据权利要求1-6任一项所述的蓝宝石衬底的双面减薄加工装置，其特征在于，所述支撑台(3)的底部开设有T形槽(15)，所述回收盘(7)的顶部固定连接有滑动在T形槽(15)内部的T形板(16)。

8.根据权利要求1-6任一项所述的蓝宝石衬底的双面减薄加工装置，其特征在于，所述基座(1)的底部固定连接有支撑轴(17)，所述支撑轴(17)的底部固定连接有垫板(18)。

Images