CN218767058U - 一种半导体原板用刀片式探针、探针单元及检测探头 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种半导体原板检测用刀片式探针，包括定位部，所述定位部包括第一边和第二边，第一边与第二边相对设置，还包括第一端和第二端，第一端和第二端垂直于第一边，分别设置在第一边的两端；所述第一端向第一边方向延伸出第一延伸部，第二边向外延伸出第二延伸部；所述第一延伸部包括设置在端部的定位头，所述定位头上设置宽度小于定位头的接触头；所述第二延伸部包括连接在一起的第二延伸端和第二接触端，本实用新型还公开了由上述刀片式探针组成的一种半导体原板检测用刀片式探针单元和用于承载刀片式探针单元的检测探头。本实用新型的主要用途是检测具有微小像素间距的平板型显示装置并保护所使用的刀片式探针。

Description

一种半导体原板用刀片式探针、探针单元及检测探头

技术领域

本实用新型涉及平板显示器面板检测领域，更具体地说，涉及一种半导体原板用刀片式探针、探针单元及检测探头。

背景技术

原板(Mather Glass)是制作LCD或OLED面板时所用的大形玻璃面板。以智能手机OLED 面板为例，原板排列为数十个OLED面板，OLED面板制造完成后，将从原板中分离出来，成为智能手机用的OLED显示屏面板。LCD的构造是在两片平行的玻璃基板当中放置液晶盒，下基板玻璃上设置TFT(薄膜晶体管)，上基板玻璃上设置彩色滤光片，通过TFT上的信号与电压改变来控制液晶分子的转动方向，从而控制每个像素点偏振光出射而达到显示的目的，在LCD制作完成后，都需要检测其背光和连接线路是否正常。

液晶显示屏(LCD)等平板型显示装置在生产过程中，需要先对平板型显示装置使用的平板显示面板进行良品检测，检测结果均为良性后再将平板显示面板组装成平板型显示装置。其中，在检测平板显示面板时，将检测平板显示面板上的面板电路与探针单元电接触，探针单元连接有驱动IC，然后将驱动IC中的电源及控制信号传导至平板显示面板的面板电路上，将平板显示面板点亮后，进行平板显示面板的良品检测。

经检索，中国专利授权公众号：CN 202548163 U，申请日：2011.12.12，专利名称：探针装置，该申请案涉及一种探针装置，是用于薄膜覆晶式液晶面板检测，包含有：一基座，具有一凹部朝向一待测液晶面板；一抵接件，具有一顶面与一底面，该抵接件以该顶面固设于该凹部的表面，并以该底面朝向该待测液晶面板，该抵接件向一侧且向下斜向延伸一弹性臂，该弹性臂于其末端受到下方上顶的外力时略微向上挠曲变形并产生一复归弹力。该发明提供的探针装置会与待检测面板发生磨损，损坏待检测面板的同时还磨损了刀片式探针，使待检测面板后续检测不够准确的同时，刀片式探针也无法循环使用，大大增加了成本消耗。

实用新型内容

1.实用新型要解决的技术问题

鉴于现有的半导体原板检测装置会损伤半导体原板电路，导致后续检测不够精确，且刀片式探针力学性能差，易断裂的问题，本实用新型提供了一种半导体原板的检测探针单元及检测探头，避免了上述问题。

2.技术方案

为达到上述目的，本实用新型的一种半导体原板检测用刀片式探针，包括定位部，所述定位部包括第一边和第二边，第一边与第二边相对设置，还包括第一端和第二端，第一端和第二端垂直于第一边，分别设置在第一边的两端；所述第一端向第一边方向延伸出第一延伸部，第二边向外延伸出第二延伸部；所述第一延伸部包括设置在端部的定位头，所述定位头上设置宽度小于定位头的接触头；所述第二延伸部包括连接在一起的第二延伸端和第二接触端，所述第二接触端连接柔性电路板。

更进一步地，所述的第一延伸部与定位头通过第一延伸端连接，所述第一延伸端为“L”形，一端连接定位头中部，一端连接第一延伸部端部。

更进一步地，所述接触头上设置第一接触端，所述第一接触端与第二接触端朝向相反。

更进一步地，所述的第一边向外延伸出第三延伸部，所述第一延伸部与第三延伸部之间存在间隙。

更进一步地，所述第一延伸部含有与延伸方向同向的孔条。

更进一步地，所述定位部与每个延伸部的连接处均设置开口圆孔。

更进一步地，所述刀片式探针的厚度为0.08mm，所述接触头的厚度为所述刀片式探针厚度的30％～50％。

更进一步地，包括多个相互独立的所述的探针。

更进一步地，还包括壳体，刀片式探针完全嵌入壳体上的前定位件和后定位件，壳体侧边加装有保护板。

更进一步地，在支撑板上安装柔性电路板，第二延伸端插入用于定位的导向膜的小孔并与柔性电路板电接触。

3.有益效果

采用本实用新型提供的技术方案，与已有的公知技术相比，具有如下有益效果：

(1)现有的半导体原板检测装置中的刀片式探针与显示面板的接触部位发生磨损，进而损伤显示面板和刀片式探针，使刀片式探针无法长期循环使用，且显示面板受损部位会导致后续检测不够准确，容易发生误判，本实用新型在保证刀片式探针的强度的基础上将接触头与显示面板的接触面积最小化，且本实用新型提供的刀片式探针采用MEMS工艺制作的半导体，不具腐蚀性，耐磨性强，具有较长的使用寿命。

(2)现有的半导体原板检测装置中的刀片式探针表面平整度不够统一，每个刀片式探针与电路板的接触面不一致，从而每个探针的接触阻抗也不一样，可能会导致面板电回路和探针单元接触不良，甚至划伤面板电路，进而导致面板电路和探针单元没有一一对应，使检测结果不够准确。本实用新型提供的一种平板显示器面板检测探针单元及检测探头中的刀片式探针头部为平整的平面结构，每个刀片式探针与面板电路的接触面均为平面接触，避免不同阻抗的发生，且平整的刀片式探针头部可减少其在面板电路上的滑动，不会对面板电路造成划伤。

(3)现有的半导体原板检测装置，所有刀片式探针均固定在检测装置上，若某一个探针发生故障则需要更换整个检测装置，使检测成本加大。此外，所有刀片式探针均固定在检测装置上，不便于对检测装置的清洁，装置内部无法得到有效清洁，若有导电物质落入检测装置中，可能导致检测电路发生短路现象，从而影响检测的准确性。本实用新型提供的一种平板显示器面板检测探针单元及检测探头中的刀片式探针相互独立，每个刀片式探针均可从检测装置中拆下，可实现对故障探针的单独更换，此外，所有的刀片式探针均拆下之后，便于对每个刀片式探针和检测装置进行清洁。

附图说明

图1为本实用新型的整体结构拆解图；

图2为本实用新型的侧面剖视图；

图3为本实用新型的刀片式探针侧视图；

图4为本实用新型的刀片式探针的局部立体视角图。

示意图中的标号说明：1、壳体；2、固定件；

31、前定位件；32、后定位件；

4、刀片式探针；

41、定位部；411、第一孔洞；412、第二孔洞；413、第三孔洞；414、开口圆孔；

42、第一延伸部；421、第一延伸端；422、定位头；423、第一接触端；424、孔条；425、接触头；

43、第三延伸部；

44、第二延伸部；441、第二延伸端；442、第二接触端；

45、第一边；46、第二边；47、第一端；48、第二端；

5、柔性电路板；6、支撑板；7、导向膜；8、保护板。

具体实施方式

为进一步了解本实用新型的内容，结合附图和实施例对本实用新型作详细描述。

实施例

在检测平板显示面板时，将待检测平板显示面板上的面板电路与探针单元电接触，探针单元连接有柔性电路板5，然后将柔性电路板5中的电源及控制信号传导至平板显示面板的面板电路上，将平板显示面板点亮后，进行平板显示面板的良品检测，本实施例提供一种刀片式探针4及检测探头，用于连接待检测平板显示面板和柔性电路板5。

在刀片式探针4的使用过程中，可能会有少量的刀片式探针4发生损坏，使检测结果不够准确，而更换整个检测探头则代价昂贵，造成不必要的浪费。如图1所示，为了便于单独更换刀片式探针4，本实施例提供的检测探头包括多个相互独立的刀片式探针4，每个刀片式探针4的形状大小完全相同，每个刀片式探针4均可在拆下后单独更换，且拆下后可便于对检测装置进行清洁。

本实施例提供的一种半导体原板检测用刀片式探针4，如图3所示，包括用于将刀片式探针4固定在壳体1上的定位部41，所述定位部41包括第一边45和第二边46，第一边45与第二边46相对设置，还包括第一端47和第二端48，第一端47和第二端48垂直于第一边45，分别设置在第一边45的两端；所述第一端47向第一边45方向延伸出第一延伸部42，第二边46向外延伸出第二延伸部44；所述第一延伸部42包括设置在端部的用于与平板型显示面板进行定位的定位头422，所述定位头422上设置宽度小于定位头422的接触头425；所述第二延伸部44包括连接在一起的第二延伸端441和第二接触端442，所述第二接触端442 连接柔性电路板5。

如图3所示，为使定位头422更凸出第一延伸部42，方便与平板型显示面板电路进行定位，也为使第一接触头425露出壳体1，第一延伸部42与定位头422通过第一延伸端421连接，使定位头422和接触头425更加凸出，其中，第一延伸端421为“L”形，一端连接定位头422中部，一端连接第一延伸部42端部。

如图4所示，为避免接触头425与平板型显示面板接触处出现接触不良，本实施例提供的接触头425上设置第一接触端423，第一接触端423为表面平整的平面结构。

如图3所示，刀片式探针4在工作时，需要提供一定的弹力以使第一接触端423与平板型显示面板电路紧密贴合，第二接触端442与柔性电路板5紧密贴合，为便于在其中一侧提供压力的同时，另一侧也具备相同的压力，本实施例提供的刀片式探针4为一体化设计，其中，第一接触端423与第二接触端442朝向相反，不论在哪一侧对刀片式探针4的接触端提供压力，其另一侧也具备相同的压力，以使两侧的接触部均紧密贴合。

如图2及图3所示，刀片式探针4在工作时需要对第一接触端423和第二接触端442提供压力，为避免刀片式探针4出现较大形变甚至造成刀片式探针4损毁，刀片式探针4需具备一定的弹力，本实施例中第一边45向外延伸出第三延伸部43，所述第一延伸部42与第三延伸部43之间存在间隙，第三延伸部43的底部与壳体1接触，第一延伸部42与第三延伸部43之间存在的间隙可为刀片式探针4提供一定的弹性，避免刀片式探针4出现损毁。

如图3所示，本实施例中为进一步控制刀片式探针4所受的弹力大小，在第一延伸部42 含有与延伸方向同向的孔条424，以释放部分施加在第一延伸部42上的弹力，同时，孔条424 还可以减轻刀片式探针4整体的重量。本实施例为进一步减轻刀片式探针4的重量及增加结构强度，设置了第一孔洞411、第二孔洞412和第三孔洞413。

如图3所示，本实施例为进一步便于刀片式探针4所受压力的释放，定位部41与每个延伸部的连接处均设置开口圆孔414，在每个延伸部受力时，其与定位部41连接处的开口圆孔 414更便于延伸部的弹性形变，对刀片式探针4进一步提供保护。

如图4所示，本实施例提供的刀片式探针4为满足结构强度，其厚度设置为0.08mm，因接触头425与平板型显示面板的接触端不宜过厚，显示面板电路之间间距较小，本实施例中的接触头425的厚度为所述刀片式探针4厚度的30％～50％。

如图1所示，因多个刀片式探针4需要组合并同时进行工作，本实施例包括将上述刀片式探针4进行组合的壳体1，刀片式探针4完全嵌入壳体1上的前定位件31和后定位件32，前定位件31和后定位件32均设置隔板，即使刀片式探针4在工作中发生弹性形变，刀片式探针4之间也不会相互接触，不会造成刀片式探针4之间发生短路现象，保障使用安全。

本实施例中，前定位件31固定在壳体1上，后定位件32可卡在固定件2上完成定位，刀片式探针4完成固定后，固定件2通过螺栓固定在壳体1上。为保证前定位件31和后定位件32在受力的过程中不会发生侧移，壳体1侧边加装有保护板8，保护板8通过螺栓固定在壳体1上。

如图1及图2所示，在支撑板6上安装柔性电路板5，本实施例为避免第二接触端442与柔性电路板5发生接触不良，设置避免第二延伸端441偏移的导向膜7，第二延伸端441 插入用于定位的导向膜7的小孔并与柔性电路板5电接触，在导向膜7设置的小孔中，第二接触端442与柔性电路板5接触良好，不会因为受力而导致第二接触端442的滑动，从而避免了接触不良现象的发生。

以上示意性的对本实用新型及其实施方式进行了描述，该描述没有限制性，附图中所示的也只是本实用新型的实施方式之一，实际的结构并不局限于此。所以，如果本领域的普通技术人员受其启示，在不脱离本实用新型创造宗旨的情况下，不经创造性的设计出与该技术方案相似的结构方式及实施例，均应属于本实用新型的保护范围。

Claims (10)

1.一种半导体原板检测用刀片式探针，其特征在于：包括定位部(41)，所述定位部(41)包括第一边(45)和第二边(46)，第一边(45)与第二边(46)相对设置，还包括第一端(47)和第二端(48)，第一端(47)和第二端(48)垂直于第一边(45)，分别设置在第一边(45)的两端；所述第一端(47)向第一边(45)方向延伸出第一延伸部(42)，第二边(46)向外延伸出第二延伸部(44)；所述第一延伸部(42)包括设置在端部的定位头(422)，所述定位头(422)上设置宽度小于定位头(422)的接触头(425)；所述第二延伸部(44)包括连接在一起的第二延伸端(441)和第二接触端(442)，所述第二接触端(442)连接柔性电路板(5)。

2.根据权利要求1所述的一种半导体原板检测用刀片式探针，其特征在于：所述的第一延伸部(42)与定位头(422)通过第一延伸端(421)连接，所述第一延伸端(421)为“L”形，一端连接定位头(422)中部，一端连接第一延伸部(42)端部。

3.根据权利要求1所述的一种半导体原板检测用刀片式探针，其特征在于：所述接触头(425)上设置第一接触端(423)，所述第一接触端(423)与第二接触端(442)朝向相反。

4.根据权利要求1所述的一种半导体原板检测用刀片式探针，其特征在于：所述的第一边(45)向外延伸出第三延伸部(43)，所述第一延伸部(42)与第三延伸部(43)之间存在间隙。

5.根据权利要求1所述的一种半导体原板检测用刀片式探针，其特征在于：所述第一延伸部(42)含有与延伸方向同向的孔条(424)。

6.根据权利要求1所述的一种半导体原板检测用刀片式探针，其特征在于：所述定位部(41)与每个延伸部的连接处均设置开口圆孔(414)。

7.根据权利要求1所述的一种半导体原板检测用刀片式探针，其特征在于：所述刀片式探针(4)的厚度为0.08mm，所述接触头(425)的厚度为所述刀片式探针(4)厚度的30％～50％。

8.一种半导体原板检测用刀片式探针单元，其特征在于：包括多个相互独立的如权利要求1-7任一项所述的探针。

9.一种半导体原板的检测探头，包括如权利要求8所述的探针单元，其特征在于：还包括壳体(1)，刀片式探针(4)完全嵌入壳体(1)上的前定位件(31)和后定位件(32)，壳体(1)侧边加装有保护板(8)。

10.根据权利要求9所述的一种半导体原板的检测探头，其特征在于：在支撑板(6)上安装柔性电路板(5)，第二延伸端(441)插入用于定位的导向膜(7)的小孔并与柔性电路板(5)电接触。

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