CN218746944U - 蓝宝石衬底抛光装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型提供蓝宝石衬底抛光装置，涉及抛光装置技术领域，该蓝宝石衬底抛光装置包括承载座和安装台，所述承载座上设置有圆周设置有多个吸气孔组，每个所述吸气孔组内的吸气孔呈圆形排列，所述承载座的底部设置有多个分别与多个吸气孔组相连通的管道，所述管道的另一端通过电磁阀连接有气压泵，所述安装台上设置有升降装置，所述升降装置的移动端安装有抛磨盘和用于驱动抛光盘旋转的驱动装置；把蓝宝石衬底贴着吸气孔组放置，启动气压泵使吸气孔内产生负压，从而使蓝宝石衬底贴着承载座，然后启动升降装置和驱动装置使抛光盘对陶瓷片进行打磨，这样设置方便固定蓝宝石衬底。

Description

蓝宝石衬底抛光装置

技术领域

本实用新型涉及抛光装置技术领域，具体是蓝宝石衬底抛光装置。

背景技术

随着高亮度LED在照明工程领域需求量的急剧增长，带动了国内蓝宝石衬底材料制备产业的发展。由于蓝宝石晶体具有耐高温、耐腐蚀、透光波段宽等显著特点，是外延长的首选衬底材料，但也正是由于蓝宝石硬度极高、脆性大、化学性质稳定的特点，给材料加工，尤其是晶片表面纳米级抛光在技术上带来很多困难，为应对光电技术的发展对产品衬底材料表面提出的超光滑、无损伤的要求，必须对蓝宝石衬底进行精细抛光。

但是，传统的蓝宝石衬底抛光机抛光时通常使用水把蓝宝石衬底贴在固定槽内，或者使用蜡把蓝宝石衬底贴再陶瓷盘上，这样固定比较麻烦，因此影响效率。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供蓝宝石衬底抛光装置，旨在解决现有技术中的蓝宝石衬底抛光机抛光时，固定蓝宝石衬底比较麻烦，因此影响效率的问题。

为实现上述目的，本实用新型采用如下技术方案：所述蓝宝石衬底抛光装置，包括承载座和安装台，所述承载座上设置有圆周设置有多个吸气孔组，每个所述吸气孔组内的吸气孔呈圆形排列，所述承载座的底部设置有多个分别与多个吸气孔组相连通的管道，所述管道的另一端通过电磁阀连接有气压泵，所述安装台上设置有升降装置，所述升降装置的移动端安装有抛磨盘和用于驱动抛光盘旋转的驱动装置。

本实用新型的进一步的技术方案为，所述升降装置包括安装在安装台上的液压杆。

本实用新型的进一步的技术方案为，所述驱动装置为安装在液压杆移动端的电机，所述电机的输出端与抛磨盘连接。

本实用新型的进一步的技术方案为，所述承载座的轴心处转动安装有旋转轴，所述旋转轴的侧面上圆周设置有多个清洗刷，所述承载座的底部安装有用于控制旋转轴旋转的驱动机构。

本实用新型的进一步的技术方案为，所述驱动机构为安装在承载座的驱动电机。

本实用新型的进一步的技术方案为，所述清洗刷的底部设置有硅胶条。

本实用新型的进一步的技术方案为，所述旋转轴顶部的侧面上安装有多个喷头，所述旋转轴的内部设置有与喷头相连通的通道，所述承载座的下方安装有冷却液供给装置。

本实用新型的进一步的技术方案为，所述冷却液供给装置包括安装在旋转轴上的旋转接头，所述旋转接头的通过管道连通有冷却液箱，所述冷却液箱内安装有输液泵。

本实用新型的有益效果是：

本实用新型使用时，把蓝宝石衬底贴着吸气孔组放置，启动气压泵使吸气孔内产生负压，从而使蓝宝石衬底贴着承载座，然后启动升降装置和驱动装置使抛光盘对陶瓷片进行打磨，这样设置方便固定蓝宝石衬底。

附图说明

图1是本实用新型的具体实施例的结构示意图。

图2是本实用新型的具体实施例去掉安装台后的结构示意图。

图3是本实用新型的具体实施例中冷却液供给装置的结构示意图。

图中：1、承载座；11、吸气孔组；12、气压泵；13、旋转轴；14、清洗刷；15、驱动机构；16、喷头；17、冷却液供给装置；171、旋转接头；172、冷却液箱；2、升降装置；3、抛光盘；4、驱动装置。

具体实施方式

下面结合附图对本实用新型的具体实施方式作进一步的说明。

如图1所示，蓝宝石衬底抛光装置，包括承载座1和安装台，承载座1上设置有圆周设置有多个吸气孔组11，每个吸气孔组11内的吸气孔呈圆形排列，承载座1的底部设置有多个分别与多个吸气孔组11相连通的管道，管道的另一端通过电磁阀连接有气压泵12，安装台上设置有升降装置2，升降装置2的移动端安装有抛磨盘3和用于驱动抛光盘3旋转的驱动装置4，把蓝宝石衬底贴着吸气孔组11放置，启动气压泵12使吸气孔内产生负压，从而使蓝宝石衬底贴着承载座1，然后启动升降装置2和驱动装置4使抛光盘3对陶瓷片进行打磨，这样设置方便固定蓝宝石衬底。

优选的，升降装置2包括安装在安装台上的液压杆。

具体的，驱动装置4为安装在液压杆移动端的电机，电机的输出端与抛磨盘3连接。

如图2和3所示，具体的，承载座1的轴心处转动安装有旋转轴13，旋转轴13的侧面上圆周设置有多个清洗刷14，承载座1的底部安装有用于控制旋转轴13旋转的驱动机构15，抛光结束后，取下蓝宝石衬底，然后启动驱动机构15使旋转轴13带着清洗刷14旋转，从而使承载座1上的冷却液刮下来，方便进行清洁。

优选的，驱动机构15为安装在承载座1的驱动电机。

进一步的，清洗刷14的底部设置有硅胶条。

进一步的，旋转轴13顶部的侧面上安装有多个喷头16，旋转轴13的内部设置有与喷头16相连通的通道，承载座1的下方安装有冷却液供给装置17。

具体的，冷却液供给装置17包括安装在旋转轴13上的旋转接头171，旋转接头171的通过管道连通有冷却液箱172，冷却液箱172内安装有输液泵。

在本实用新型的描述中，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。

对于本领域技术人员而言，显然本实用新型不限于上述示范性实施例的细节，而且在不背离本实用新型的精神或基本特征的情况下，能够以其他的具体形式实现本实用新型。因此，无论从哪一点来看，均应将实施例看作是示范性的，而且是非限制性的，本实用新型的范围由所附权利要求而不是上述说明限定，因此旨在将落在权利要求的等同要件的含义和范围内的所有变化囊括在本实用新型内。不应将权利要求中的任何附图标记视为限制所涉及的权利要求。

此外，应当理解，虽然本说明书按照实施方式加以描述，但并非每个实施方式仅包含一个独立的技术方案，说明书的这种叙述方式仅仅是为清楚起见，本领域技术人员应当将说明书作为一个整体，各实施例中的技术方案也可以经适当组合，形成本领域技术人员可以理解的其他实施方式。

Claims (8)

1.蓝宝石衬底抛光装置，其特征在于，包括承载座(1)和安装台，所述承载座(1)上设置有圆周设置有多个吸气孔组(11)，每个所述吸气孔组(11)内的吸气孔呈圆形排列，所述承载座(1)的底部设置有多个分别与多个吸气孔组(11)相连通的管道，所述管道的另一端通过电磁阀连接有气压泵(12)，所述安装台上设置有升降装置(2)，所述升降装置(2)的移动端安装有抛磨盘(3)和用于驱动抛光盘(3)旋转的驱动装置(4)。

2.根据权利要求1所述的蓝宝石衬底抛光装置，其特征在于，所述升降装置(2)包括安装在安装台上的液压杆。

3.根据权利要求2所述的蓝宝石衬底抛光装置，其特征在于，所述驱动装置(4)为安装在液压杆移动端的电机，所述电机的输出端与抛磨盘(3)连接。

4.根据权利要求3所述的蓝宝石衬底抛光装置，其特征在于，所述承载座(1)的轴心处转动安装有旋转轴(13)，所述旋转轴(13)的侧面上圆周设置有多个清洗刷(14)，所述承载座(1)的底部安装有用于控制旋转轴(13)旋转的驱动机构(15)。

5.根据权利要求4所述的蓝宝石衬底抛光装置，其特征在于，所述驱动机构(15)为安装在承载座(1)的驱动电机。

6.根据权利要求4所述的蓝宝石衬底抛光装置，其特征在于，所述清洗刷(14)的底部设置有硅胶条。

7.根据权利要求6所述的蓝宝石衬底抛光装置，其特征在于，所述旋转轴(13)顶部的侧面上安装有多个喷头(16)，所述旋转轴(13)的内部设置有与喷头(16)相连通的通道，所述承载座(1)的下方安装有冷却液供给装置(17)。

8.根据权利要求7所述的蓝宝石衬底抛光装置，其特征在于，所述冷却液供给装置(17)包括安装在旋转轴(13)上的旋转接头(171)，所述旋转接头(171)的通过管道连通有冷却液箱(172)，所述冷却液箱(172)内安装有输液泵。

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