CN218677097U - 一种高洁净度高速芯片拾取机构 - Google Patents

Abstract

公开了一种高洁净度高速芯片拾取机构，包括驱动组件和拾取组件，驱动组件包括伺服电机、凸轮单元和压头单元，伺服电机带动凸轮单元转动从而带动压头单元升降，压头单元进一步带动拾取组件在垂直方向上进行升降运动，拾取组件包括吸嘴单元和弹性单元，弹性单元用于缓冲，能够调节拾取组件整体下压的力度，吸嘴单元通过精密滚珠滑组进行导向，提高了芯片拾取的效率，驱动组件和拾取组件外部设置有防护外罩，避免运动部位受油雾、粉尘等杂质的影响，使得拾取工作能够顺利进行。本申请的高洁净度高速芯片拾取机构，具有洁净度高，下压速度快，稳定性高，拾取力度可调等优点，且吸嘴杆和吸嘴以可拆卸的方式设置，易于换型。

Description

一种高洁净度高速芯片拾取机构

技术领域

本实用新型涉及芯片拾取装置的技术领域，具体是一种高洁净度高速芯片拾取机构。

背景技术

芯片拾取是芯片工艺中不可或缺的步骤，传统的晶芯片拾取装置大多采用吸嘴结合抽真空的方式对芯片进行拾取，但现有技术中存在芯片拾取装置下压力度不容易调节，使得芯片承受的冲击力大从而造成损伤的问题，另一方面，在实际生产中，拾取装置中的运动机构一旦受到油雾、粉尘的影响，将会造成不良的影响，降低芯片的良品率。因此，设计一款能够有效调节下压力度、稳定性高且能够对运动机构进行有效防护的芯片拾取机构成为亟待解决的问题。

实用新型内容

本实用新型提出了一种高洁净度高速芯片拾取机构，以解决上述背景技术中提出的问题，为实现上述目的，本实用新型提供如下方案:

根据本实用新型实施例的一种高洁净度高速芯片拾取机构，其特征在于，包括驱动组件和拾取组件，驱动组件包括伺服电机、凸轮单元和压头单元，伺服电机、凸轮单元和压头单元自上至下依次连接，压头单元可升降地设置在驱动组件上且与拾取组件相连接，驱动组件工作时，伺服电机带动凸轮单元运动使得压头单元上下运动，压头单元带动拾取组件在垂直方向上做升降运动，拾取组件包括吸嘴单元，吸嘴单元力度可调且可拆卸地设置在拾取组件上，驱动组件和拾取组件均设置有防护外罩。

驱动组件设置在拾取组件上方，且通过驱动组件的压头单元与拾取组件连接，驱动组件包括伺服电机、凸轮单元和压头单元，伺服电机、凸轮单元和压头单元自上至下依次连接，伺服电机工作时，带动下方的凸轮单元运动，进一步地，凸轮单元带动下方连接的压头单元在垂直方向上做升降运动，从而带动拾取组件在垂直方向上下运动，使得芯片拾取工作得以顺利进行，伺服电机和凸轮单元的组合可以有效提高下压的速度和稳定性，压头单元用于推动拾取组件在垂直方向下降或者上升，拾取组件的吸嘴单元力度可调地设置，能够减小对芯片的冲击力，避免芯片损伤，吸嘴单元可拆卸式地设置，使得芯片拾取结构能够适应不同尺寸芯片的拾取需求，防护外罩的设置使得驱动组件和拾取组件能够避免油雾、粉尘等杂质的影响，使得拾取工作能够顺利进行。

在具体的实施例中，压头单元包括压杆、压头和压缩弹簧，压缩弹簧固定设置在凸轮单元和固定座之间，压杆设置在压缩弹簧内部，压头与压杆固定连接。

伺服电机与凸轮单元配合从而带动压头单元上升或者下降时，设置在压头单元中的压缩弹簧起到了压紧缓冲的作用，能够控制压头单元在垂直方向上的升降运动。

在具体的实施例中，凸轮单元包括凸轮和凸轮随动器，凸轮与伺服电机的转轴连接，凸轮随动器与凸轮的下表面相接触。

伺服电机的转轴与凸轮的回转中心相连接，伺服电机工作时，转轴带动凸轮沿着回转中心旋转，凸轮随动器随着凸轮的旋转运动在垂直方向上进行升降，从而带动压头单元进行升降。

在具体的实施例中，凸轮为中空柱状结构，凸轮的下表面具有不同的高度尺寸，凸轮的下表面沿其直径方向的一侧至另一侧的高度逐渐增大。

凸轮随动器在压缩弹簧的作用下与凸轮的下表面接触，伺服电机工作带动凸轮旋转时，凸轮随动器沿凸轮下表面滚动，并将凸轮下表面的高度变化转换为其在垂直方向上的升降运动，从而带动压头单元进行升降，凸轮下表面的高度沿其直径方向的一侧至另一侧的高度逐渐增大，也使得压头单元所进行的升降运动具有连续性和稳定性，从而使得下方的拾取组件进行芯片拾取时不会因为高度的骤升和骤降对芯片产生过大的冲击力。

在具体的实施例中，拾取组件还包括弹性单元和托臂支架，弹性单元设置在压头单元的下方，托臂支架与所述弹性单元固定连接，吸嘴单元固定设置在托臂支架的前端。

弹性单元调控拾取组件的压力，从而控制拾取组件整体下压和上升的速度和力度，避免因为冲击力过大导致芯片损伤的情况发生，托臂支架用于固定吸嘴单元，拾取组件在驱动组件的作用下在垂直方向上做升降运动时，托臂支架跟随拾取组件整体上升或者下降，从而带动吸嘴单元在垂直方向上进行同步升降，使得芯片拾取工作能够顺利进行。

在具体的实施例中，拾取组件还包括精密滚珠滑组和支座，精密滚珠滑组与托臂支架固定连接，支座固定设置在精密滚珠滑组上并与吸嘴单元固定连接。

吸嘴单元通过精密滚珠滑组和支座固定设置在托臂支架的前端，托臂支架跟随拾取组件整体上升或者下降时，精密滚珠滑组对吸嘴单元起到了导向的作用。

在具体的实施例中，弹性单元包括弹簧和无油线性滑轨。

无油线性滑轨用于导向，使得拾取组件整体能够在垂直方向上运动，弹簧起到了缓冲的效果，用于调节下压力度。

在具体的实施例中，精密滚珠滑组包括滚珠滑轨和滑块座，滚珠滑轨与托臂支架固定连接，滚珠滑轨上的滑块座与所述吸嘴单元固定连接。

托臂支架跟随拾取组件整体上升或者下降时，精密滚珠滑组对吸嘴单元起到了导向的作用。

在具体的实施例中，支座内部设置有顶丝和微型弹簧，微型弹簧和顶丝由上至下固定设置在托臂支架的前端。

微型弹簧和顶丝用于调节下压力度，能够减少在拾取芯片工作过程中芯片受到的冲击力，避免芯片损伤，提高了拾取机构的工作效率。

在具体的实施例中，吸嘴单元包括吸嘴、吸嘴杆和气管，气管与吸嘴杆固定连接，吸嘴杆与吸嘴以可拆卸的方式连接。

通过气管抽真空产生吸力，将芯片从吸嘴处吸入吸嘴杆，吸嘴杆和吸嘴可单独拆离，易于换型。

在具体的实施例中，托臂支架为多孔托臂支架，所述气管通过所述多孔托臂支架上的开孔进行固定。

多孔托臂支架具有重量较轻，减小机构本身的负重的优点，支架上的开孔设置有利于对吸嘴单元中的气管进行固定，而无需其他的固定装置，进一步减轻了机构的负重，且简化了结构。

在进一步的实施例中，吸嘴杆和气管通过滑块座连接，吸嘴杆可拆卸地设置在滑块座上，吸嘴杆和滑块座通过O型圈密封。

O型圈具有设计简单，结构小巧，装拆方便且成本较低等优点，能够达到较好的密封效果。

在进一步的实施例中，拾取组件的防护外罩设置在无油线性滑轨外围，驱动组件的防护外罩设置在凸轮单元、压头单元与固定座所成半密闭空间的外围。

防护外罩的设置位置主要是为了保护驱动组件和拾取组件的运动部位不受油雾、粉尘等杂质的影响，防止污染芯片，提高良率。

本申请公开了一种高洁净度高速芯片拾取机构，包括驱动组件和拾取组件，驱动组件的伺服电机运动时，驱动凸轮单元进行旋转，并带动压头单元进行升降，从而带动压头单元下方的拾取单元做升降运动，拾取组件包括吸嘴单元和弹性单元，弹性单元包括无油线性滑轨和弹簧，用于缓冲，能够调节拾取组件整体下压的力度，吸嘴单元通过精密滚珠滑组进行导向，支座内部设置有顶丝和微型弹簧，从而减小了拾取组件带动吸嘴单元升降拾取芯片时的冲击力太大导致芯片收到损伤的可能性，提高了芯片拾取的效率，驱动组件和拾取组件外部还设置有防护外罩，避免运动部位受油雾、粉尘等杂质的影响，防止污染芯片，提高良率。本申请的高洁净度高速芯片拾取机构，具有洁净度高，下压速度快，稳定性高，拾取力度可调等优点，吸嘴杆以可拆卸的方式设置，且吸嘴杆和吸嘴可单独拆离，易于换型，在实例使用中，能够通过抽真空可有效避免油雾、粉尘等对产品直接产生污染，提高良品率。

附图说明

包括附图以提供对实施例的进一步理解并且附图被并入本说明书中并且构成本说明书的一部分。附图图示了实施例并且与描述一起用于解释本实用新型的原理。将容易认识到其它实施例和实施例的很多预期优点，因为通过引用以下详细描述，它们变得被更好地理解。附图的元件不一定是相互按照比例的。同样的附图标记指代对应的类似部件。

图1a为本实用新型技术方案的一种高洁净度高速芯片拾取机构的立体图；

图1b为本实用新型技术方案的一种高洁净度高速芯片拾取机构的结构示意图；

图2为本实用新型技术方案的一种高洁净度高速芯片拾取机构的驱动组件结构示意图；

图3为本实用新型技术方案的一种高洁净度高速芯片拾取机构的拾取组件结构示意图；

图4为本实用新型技术方案的一种高洁净度高速芯片拾取机构的吸嘴单元和托臂支架连接示意图。

具体实施方式

在以下详细描述中，参考附图，该附图形成详细描述的一部分，并且通过其中可实践本实用新型的说明性具体实施例来示出。对此，参考描述的图的取向来使用方向术语，例如“顶”、“底”、“左”、“右”、“上”、“下”等。因为实施例的部件可被定位于若干不同取向中，为了图示的目的使用方向术语并且方向术语绝非限制。应当理解的是，可以利用其他实施例或可以做出逻辑改变，而不背离本实用新型的范围。因此以下详细描述不应当在限制的意义上被采用，并且本实用新型的范围由所附权利要求来限定。

如图1a-b所示，本实用新型的一种高洁净度高速芯片拾取机构，包括驱动组件1和拾取组件2，驱动组件1包括防护外罩11、压头单元12、伺服电机13、凸轮单元14和固定座15，伺服电机13、凸轮单元14和压头单元12自上至下依次设置在固定座15上，压头单元12可升降地设置在驱动组件1上且与拾取组件2相连接，驱动组件1工作时，伺服电机13带动凸轮单元14运动使得压头单元12上下运动，压头单元12带动拾取组件2在垂直方向上做升降运动，拾取组件2包括防护外罩21和吸嘴单元22，吸嘴单元22力度可调且可拆卸地设置在所述拾取组件上。

驱动组件1设置在拾取组件2上方，且通过驱动组件1的压头单元12与拾取组件2连接，驱动组件包括压头单元12、伺服电机13和凸轮单元14，伺服电机13、凸轮单元14和压头单元12自上至下依次连接，伺服电机13工作时，带动下方的凸轮单元14运动，进一步地，凸轮单元14带动下方连接的压头单元12在垂直方向上做升降运动，从而带动拾取组件2垂直方向上下运动，使得芯片拾取工作得以顺利进行，伺服电机13和凸轮单元14的组合可以有效提高下压的速度和稳定性，压头单元12用于推动拾取组件在垂直方向下降或者上升，拾取组件2的吸嘴单元22力度可调地设置，能够减小对芯片的冲击力，避免芯片损伤，吸嘴单元22可拆卸式地设置，使得芯片拾取结构能够适应不同尺寸芯片的拾取需求，防护外罩的设置使得驱动组件和拾取组件能够避免油雾、粉尘等杂质的影响，使得拾取工作能够顺利进行。

在具体的实施例中，拾取组件2还包括弹性单元23、托臂支架24和精密滚珠滑组25，弹性单元23设置在压头单元12的下方，托臂支架24与弹性单元23固定连接，吸嘴单元22通过精密滚珠滑组25固定设置在托臂支架24的前端。

弹性单元23调控拾取组件2的压力，从而控制拾取组件2整体下压和上升的速度和力度，避免因为冲击力过大导致芯片损伤的情况发生，托臂支架24用于固定吸嘴单元22，精密滚珠滑组25进行导向，使得吸嘴单元22能够在垂直方向上进行升降，使得芯片拾取工作能够顺利进行。

图2示出了本实用新型技术方案的高洁净度高速芯片拾取机构的驱动组件结构示意图，如图2所示，压头单元12包括压杆122、压头123和压缩弹簧121，压缩弹簧121固定设置在凸轮单元14和固定座15之间，压杆122设置在压缩弹簧121内部，压头123与压杆122固定连接。

伺服电机13与凸轮单元14配合从而带动压头单元12上升或者下降时，设置在压头单元中的压缩弹簧121起到了压紧缓冲的作用，能够控制压头单元12在垂直方向上的升降运动。

在具体的实施例中，凸轮单元14包括凸轮141和凸轮随动器142，凸轮141与伺服电机13的转轴连接，凸轮随动器142与凸轮141的下表面相接触。

在具体的实施例中，凸轮141为中空柱状结构，凸轮141的下表面具有不同的高度尺寸，凸轮141的下表面沿其直径方向的一侧至另一侧的高度逐渐增大。

伺服电机13的转轴与凸轮141的回转中心相连接，伺服电机13工作时，转轴带动凸轮141沿着回转中心旋转，凸轮141为中空柱状结构，凸轮141的下表面具有不同的高度尺寸，具体的，本实施例中的中空柱状结构的凸轮下表面沿其直径方向的一侧至另一侧的高度逐渐增大，凸轮随动器142在压缩弹簧121的作用下与凸轮141的下表面接触，凸轮141旋转时凸轮随动器142沿凸轮下表面滚动并将凸轮下表面的高度变化转换为其在垂直方向上的升降运动，从而带动压头单元12进行升降，凸轮141下表面的高度沿其直径方向的一侧至另一侧的高度逐渐增大，也使得压头单元12所进行的升降运动具有连续性和稳定性，从而使得下方的拾取组件2进行芯片拾取时不会因为高度的骤升和骤降对芯片产生过大的冲击力。

图3示出了本实用新型技术方案的高洁净度高速芯片拾取机构的拾取组件结构示意图，如图3所示，弹性单元23包括弹簧231和无油线性滑轨232。

无油线性滑轨232用于导向，使得拾取组件2整体能够在垂直方向上运动，弹簧231起到了缓冲的效果，用于调节下压力度。

在具体的实施例中，吸嘴单元12包括吸嘴221、吸嘴杆222和气管223，气管223与吸嘴杆222固定连接，吸嘴杆222与吸嘴221以可拆卸的方式连接。

通过气管223抽真空产生吸力，将芯片从吸嘴221处吸入吸嘴杆222，吸嘴杆222和吸嘴221可单独拆离，易于换型。

图4示出了本实用新型技术方案的高洁净度高速芯片拾取机构的吸嘴单元和托臂支架连接示意图，如图4所示，拾取组件2(拾取组件2在图1中示出)包括精密滚珠滑组25和支座26，精密滚珠滑组25与托臂支架24固定连接，精密滚珠滑组25上固定设置的支座26与所述吸嘴单元22固定连接。

托臂支架24跟随拾取组件2整体上升或者下降时，精密滚珠滑组25对吸嘴单元22起到了导向的作用。

在具体的实施例中，支座26内固定设置有顶丝28和微型弹簧27，微型弹簧27和顶丝28由上至下固定设置在托臂支架24的前端。

微型弹簧27和顶丝28用于调节下压力度，能够减少在拾取芯片工作过程中芯片受到的冲击力，避免芯片损伤，提高了拾取机构的工作效率。

在具体的实施例中，托臂支架24为多孔托臂支架，所述气管223通过多孔托臂支架24上的开孔进行固定。

多孔托臂支架具有重量较轻，减小机构本身的负重的优点，支架上的开孔设置有利于对吸嘴单元22中的气管进行固定，而无需其他的固定装置，进一步减轻了机构的负重，且简化了结构。

在进一步的实施例中，吸嘴杆222和气管223通过滑块座254连接，吸嘴杆222可拆卸地设置在滑块座254上，吸嘴杆222和滑块座254通过O型圈224密封。

O型圈具有设计简单，结构小巧，装拆方便且成本较低等优点，能够达到较好的密封效果。

在进一步的实施例中，通过对气管223进行抽真空，能够有效避免油雾、粉尘等对产品直接产生污染，提高良品率。

本实用新型技术方案公开的一种高洁净度高速芯片拾取机构，包括驱动组件和拾取组件，驱动组件的伺服电机运动时，驱动凸轮单元进行旋转，并带动压头单元进行升降，从而带动压头单元下方的拾取单元做升降运动，拾取组件包括吸嘴单元和弹性单元，弹性单元包括无油线性滑轨和弹簧，用于缓冲，能够调节拾取组件整体下压的力度，吸嘴单元通过精密滚珠滑组进行导向，支座内设置有顶丝和微型弹簧，从而减小了拾取组件带动吸嘴单元升降拾取芯片时的冲击力太大导致芯片收到损伤的可能性，提高了芯片拾取的效率，驱动组件和拾取组件外部还设置有防护外罩，避免运动部位受油雾、粉尘等杂质的影响，使得拾取工作能够顺利进行。本申请的高洁净度高速芯片拾取机构，具有洁净度高，下压速度快，稳定性高，拾取力度可调等优点，吸嘴杆以可拆卸的方式设置，且吸嘴杆和吸嘴可单独拆离，易于换型，在实例使用中，能够通过抽真空可有效避免油雾、粉尘等对产品直接产生污染，提高良品率。

显然，本领域技术人员在不偏离本实用新型的精神和范围的情况下可以作出对本实用新型的实施例的各种修改和改变。以该方式，如果这些修改和改变处于本实用新型的权利要求及其等同形式的范围内，则本实用新型还旨在涵盖这些修改和改变。词语“包括”不排除未在权利要求中列出的其它元件或步骤的存在。某些措施记载在相互不同的从属权利要求中的简单事实不表明这些措施的组合不能被用于获利。权利要求中的任何附图标记不应当被认为限制范围。

Claims (10)

1.一种高洁净度高速芯片拾取机构，其特征在于，包括驱动组件和拾取组件，所述驱动组件包括伺服电机、凸轮单元和压头单元，所述伺服电机、凸轮单元和压头单元自上至下依次连接，所述压头单元可升降地设置在所述驱动组件上且与所述拾取组件相连接，所述驱动组件工作时，所述伺服电机带动所述凸轮单元运动使得所述压头单元上下运动，所述压头单元带动所述拾取组件在垂直方向上做升降运动，所述拾取组件包括吸嘴单元，所述吸嘴单元力度可调且可拆卸地设置在所述拾取组件上，所述驱动组件和所述拾取组件均设置有防护外罩。

2.根据权利要求1所述的一种高洁净度高速芯片拾取机构，其特征在于，所述压头单元包括压杆、压头和压缩弹簧，所述压缩弹簧固定设置在所述凸轮单元和固定座之间，所述压杆设置在所述压缩弹簧内部，所述压头与所述压杆固定连接。

3.根据权利要求1所述的一种高洁净度高速芯片拾取机构，其特征在于，所述凸轮单元包括凸轮和凸轮随动器，所述凸轮与所述伺服电机的转轴连接，所述凸轮随动器与所述凸轮的下表面相接触。

4.根据权利要求3所述的一种高洁净度高速芯片拾取机构，其特征在于，所述凸轮为中空柱状结构，所述凸轮的下表面具有不同的高度尺寸，所述凸轮的下表面沿其直径方向的一侧至另一侧的高度逐渐增大。

5.根据权利要求1所述的一种高洁净度高速芯片拾取机构，其特征在于，所述拾取组件还包括弹性单元和托臂支架，所述弹性单元设置在所述压头单元的下方，所述托臂支架与所述弹性单元固定连接，所述吸嘴单元固定设置在所述托臂支架的前端。

6.根据权利要求5所述的一种高洁净度高速芯片拾取机构，其特征在于，所述拾取组件还包括精密滚珠滑组和支座，所述精密滚珠滑组与所述托臂支架固定连接，所述支座固定设置在所述精密滚珠滑组上并与所述吸嘴单元固定连接。

7.根据权利要求5所述的一种高洁净度高速芯片拾取机构，其特征在于，所述弹性单元包括弹簧和无油线性滑轨。

8.根据权利要求6所述的一种高洁净度高速芯片拾取机构，其特征在于，所述支座内部设置有顶丝和微型弹簧，所述微型弹簧和顶丝由上至下固定设置在所述托臂支架的前端。

9.根据权利要求5所述的一种高洁净度高速芯片拾取机构，其特征在于，所述吸嘴单元包括吸嘴、吸嘴杆和气管，所述气管与所述吸嘴杆固定连接，所述吸嘴杆与所述吸嘴以可拆卸的方式连接。

10.根据权利要求9所述的一种高洁净度高速芯片拾取机构，其特征在于，所述托臂支架为多孔托臂支架，所述气管通过所述多孔托臂支架上的开孔进行固定。

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