CN218666395U - 一种晶体生长炉的升降机构 - Google Patents
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Abstract
一种晶体生长炉的升降机构，涉及升降装置技术领域，包括生长炉、底盘、立架、升降装置和支臂装置，所述的立架安装在底盘上，升降装置滑动安装于立架上，所述的支臂装置包括水平臂和齿轮，水平臂与升降装置固定连接，跟随升降装置在立架上滑动，水平臂的端部设置有支撑环，支撑环的上方有与支撑环同轴设置的旋转环，支撑环与旋转环之间设置有推力轴承，旋转环的侧壁设置有用于承托生长炉的托板，相应的生长炉侧壁带有限位托环；旋转环的外壁带有齿牙，所述的齿轮与旋转环外壁的齿牙啮合。本实用新型通过简单的结构实现了生长炉的转动。
Description
技术领域
本实用新型属于升降装置领域，尤其涉及一种晶体生长炉的升降机构。
背景技术
单晶炉拉制单晶硅棒的过程，将多晶料放入石英坩埚中，石英坩埚放入加热炉中，制得晶棒的过程需要利用定向凝固技术，现有技术一般为加热炉不动和坩埚不动，向上移动隔热笼，使隔热笼与下保温底板之间形成一个缝隙，热量从缝隙中泄露，坩埚底部冷却，从而使熔化后的多晶硅形成纵向温度梯度，纵向逐渐结晶，最终铸锭，由于加热炉与石英坩埚之间的缝隙本就不大，因此升降隔热笼非常的不便。当然现有技术也已经有加热炉升降装置，但是现有的加热炉升降装置只能升降加热炉，不能使加热炉转动。
实用新型内容
为实现加热炉在升降装置上旋转的目的，本实用新型提供一种晶体生长炉的升降机构，生长炉不仅能够实现升降，还能实现旋转，从而无需石墨坩埚托旋转，降低设计难度。
本实用新型提供的技术方案是：一种晶体生长炉的升降机构，包括生长炉、底盘、立架、升降装置和支臂装置，所述的立架安装在底盘上，升降装置滑动安装于立架上，所述的支臂装置包括水平臂和齿轮，水平臂与升降装置固定连接，跟随升降装置在立架上滑动，水平臂的端部设置有支撑环，支撑环的上方有与支撑环同轴设置的旋转环，支撑环与旋转环之间设置有推力轴承，旋转环的侧壁设置有用于承托生长炉的托板，相应的生长炉侧壁带有限位托环；旋转环的外壁带有齿牙，所述的齿轮与旋转环外壁的齿牙啮合。
作为进一步的技术方案是：所述的水平臂上固定安装有驱动电机，驱动电机与齿轮同轴连接，以驱动齿轮转动。
作为进一步的技术方案是：所述的托板可以在旋转环的径向上滑动。托板与旋转环通过顶出螺栓锁定。
作为进一步的技术方案是：托板上带有刻度线。
本实用新型的有益效果为：本实用新型可以升降生长炉，且生长炉还能够旋转，从而无需无需石墨坩埚托旋转，降低石墨坩埚托旋转的设计难度。
附图说明
图1是本实用新型的整体结构示意图。
图2是本实用新型中支臂装置的结构示意图。
图3是本实用新型中旋转环的俯视图。
图中：1、底盘；2、立架；3、升降装置；4、支臂装置；5、驱动电机；6、水平臂；7、齿轮；8、托板；9、旋转环；10、生长炉；11、托环；12、推力轴承；13、支撑环。
具体实施方式
为了使本实用新型所要解决的技术问题、技术方案及有益效果更加清楚明白，以下结合附图及实施例，对本实用新型进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本实用新型，并不用于限定本实用新型。
如图1-3所示，本实施例包括生长炉10、底盘1、立架2、升降装置3和支臂装置4。
所述的立架2竖直安装在底盘1上，立架2与底盘1为固定连接。
升降装置3滑动安装于立架2上，本实用新型不限定升降装置3的具体类型，可以是液压升降装置3，也可以是齿轮7-齿条式升降装置3。
本实施例的创新在于：所述的支臂装置4包括水平臂6和齿轮7，水平臂6与升降装置3固定连接，从而跟随升降装置3在立架2上滑动，水平臂6的端部设置有支撑环13，支撑环13的上方有与支撑环13同轴设置的旋转环9，支撑环13与旋转环9之间设置有推力轴承12，从而在支撑环13不动的情况下旋转环9可以转动。
旋转环9的侧壁设置有用于承托生长炉10的托板8，托板8可以在旋转环9的径向上滑动，托板8与旋转环9通过顶出螺栓锁定位置；相应的生长炉10侧壁带有限位托环11。当生长炉10套入到旋转环9以后，托板8卡在托环11的下方，从而将生长炉10托起。为了便于生长炉10在旋转环9内对中，所述的托板8上带有刻度线，通过刻度线将生长炉10与旋转环9对中。
由于传统单晶生长装置为了受热均匀，都是石墨坩埚托在转动，石墨坩埚托温度高，设转动装置十分不易，本实用新型为了降低石墨坩埚托转动的难度，将生长炉10设置成为可转动的结构。具体为：旋转环9的外壁带有齿牙，所述的齿轮7与旋转环9外壁的齿牙啮合，通过齿轮7驱动旋转环9转动，旋转环9转动能带动生长炉10转动，在水平臂6上固定安装有驱动电机5，驱动电机5与齿轮7同轴连接，以驱动齿轮7转动。
综上所述，本实用新型实现了生长炉10的对中和转动，降低了石墨坩埚托转动的设计难度。
Claims (4)
1.一种晶体生长炉的升降机构，其特征在于：包括生长炉(10)、底盘(1)、立架(2)、升降装置(3)和支臂装置(4)，所述的立架(2)安装在底盘(1)上，升降装置(3)滑动安装于立架(2)上，所述的支臂装置(4)包括水平臂(6)和齿轮(7)，水平臂(6)与升降装置(3)固定连接，跟随升降装置(3)在立架(2)上滑动，水平臂(6)的端部设置有支撑环(13)，支撑环(13)的上方有与支撑环(13)同轴设置的旋转环(9)，支撑环(13)与旋转环(9)之间设置有推力轴承(12)，旋转环(9)的侧壁设置有用于承托生长炉(10)的托板(8)，相应的生长炉(10)侧壁带有限位托环(11)；旋转环(9)的外壁带有齿牙，所述的齿轮(7)与旋转环(9)外壁的齿牙啮合。
2.根据权利要求1所述的一种晶体生长炉的升降机构，其特征在于：所述的水平臂(6)上固定安装有驱动电机(5)，驱动电机(5)与齿轮(7)同轴连接，以驱动齿轮(7)转动。
3.根据权利要求1所述的一种晶体生长炉的升降机构，其特征在于：所述的托板(8)可以在旋转环(9)的径向上滑动，托板(8)与旋转环(9)通过顶出螺栓锁定位置。
4.根据权利要求3所述的一种晶体生长炉的升降机构，其特征在于：托板(8)上带有刻度线。
Priority Applications (1)
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|---|---|---|---|
| CN202223107333.3U CN218666395U (zh) | 2022-11-23 | 2022-11-23 | 一种晶体生长炉的升降机构 |
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Publications (1)
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| CN218666395U true CN218666395U (zh) | 2023-03-21 |
Family
ID=85539463
Family Applications (1)
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2022
- 2022-11-23 CN CN202223107333.3U patent/CN218666395U/zh active Active
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