CN211946124U - Cvd水台升降旋转装置 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开了一种CVD水台升降旋转装置，其特征在于，包括支撑架，安装在支撑架上的升降机构，安装在升降机构上的升降架，以及安装在升降架上的旋转装置。本实用新型的马达带动丝杆旋转时可以使T形螺母沿丝杆上下移动，进而带动整个升降架沿丝杆上下移动，从而可以带动CVD水台升降；旋转装置旋转时带动安装轴旋转，从而带动安装在安装轴上的CVD水台旋转；本实用新型结构简单，易于加工。
Description
技术领域
本实用新型涉及一种升降旋转装置，具体是指一种CVD水台升降旋转装置。
背景技术
CVD水台用于安放生长金刚石膜的基体，其一般要求具有升降运动，这主要是为了调节热丝与水台之间的距离，如在实验准备阶段安放工件与安装热丝时往往需要将水台降低，以便于操作；在实验生长价段需要升高水台从而使水台表面形成适宜金刚石膜沉积的条件。除了升降运动外，水台还要求具备旋转运动，主要用于使金刚石膜沉积表面的湿度场均匀，提高成膜品质。然而传统的CVD金刚石沉积设备中用于控制水台运动的升降旋转装置结构复杂，其零部件的加工困难，制造成本高，维护保养困难；因此急需一种结构简单的CVD水台升降旋转装置。
实用新型内容
本实用新型的目的在于解决上述问题，提供一种结构简单的CVD水台升降旋转装置。
本实用新型的目的通过下述技术方案实现：CVD水台升降旋转装置，包括支撑架，安装在支撑架上的升降机构，安装在升降机构上的升降架，以及安装在升降架上的旋转装置10；所述升降机构包括相对安装在支撑架上的两根滑轨4，分别安装在两根滑轨4上的两个滑块3，安装在支撑架上的马达15，连接在马达15的转轴上的丝杆11；所述升降架连接在两个滑块3之间，升降架上安装有T形螺母5，所述丝杆11贯穿T形螺母5与T形螺母5螺纹配合。
进一步的，所述升降架包括连接在两个滑块3之间的滑块连杆17，分别设置在滑块连杆17两端的两根螺杆6，以及连接在两根螺杆6上端的安装板7；所述T形螺母5安装在滑块连杆17上，所述旋转装置10安装在安装板7上。
所述支撑架包括机架底板1，相对安装在机架底板1上的两根滑轨固定板2，连接在两根滑轨固定板2之间的马达长底板14；所述马达15安装在马达长底板14的下表面，其转轴贯穿马达长底板14后与丝杆11连接；两根滑轨4相对安装在马达长底板14上，并与滑轨固定板2固定。
所述滑轨固定板2的下端设置有弯折部12，所述弯折部12与机架底板1固定连接。
所述滑块连杆17的两端分别通过滑块垫板13与滑块3连接。
所述马达15的转轴通过联轴器16与丝杆11连接。
所述旋转装置10为旋转电机，旋转电机的转轴贯穿安装板7后连接有安装轴8。
所述马达长底板14与机架底板1之间安装有缓冲弹簧。
本实用新型与现有技术相比，具有以下优点及有益效果：本实用新型的马达带动丝杆旋转时可以使T形螺母沿丝杆上下移动，进而带动整个升降架沿丝杆上下移动，从而可以带动CVD水台升降；旋转装置旋转时带动安装轴旋转，从而带动安装在安装轴上的CVD水台旋转；本实用新型结构简单，易于加工。
附图说明
图1为本实用新型的结构图。
上述附图中的附图标记为：1—机架底板，2—滑轨固定板，3—滑块，4—滑轨，5—T形螺母，6—螺杆，7—安装板，8—安装轴，9—紧固螺母，10—旋转装置，11—丝杆，12—弯折部，13—滑块垫板，14—马达长底板，15—马达，16—联轴器，17—滑块连杆。
具体实施方式
下面结合实施例对本实用新型作进一步的详细说明，但本实用新型的实施方式不限于此。
实施例
如图1所示，本实用新型的CVD水台升降旋转装置，包括支撑架，安装在支撑架上的升降机构，安装在升降机构上的升降架，以及安装在升降架上的旋转装置10。
具体的，所述支撑架包括机架底板1，通过螺栓相对安装在机架底板1上的两根滑轨固定板2，固定焊接在两根滑轨固定板2之间的马达长底板14。为了使滑轨固定板2便好的固定在机架底板1上，两根滑轨固定板2的下端均设置有弯折部12，所述弯折部12与机架底板1之间通过螺栓固定连接。
所述升降机构包括相对安装在马达长底板14上的两根滑轨4，分别安装在两根滑轨4上的两个滑块3，安装在马达长底板14上的马达15，连接在马达15的转轴上的丝杆11。两根滑轨4还通过螺栓固定在滑轨固定板2上；所述马达15安装在马达长底板14的下表面，其转轴贯穿马达长底板14后通过联轴器16与丝杆11连接。该马达15通过螺栓安装在马达长底板14上。所述升降架连接在两个滑块3之间，升降架上安装有T形螺母5，所述丝杆11贯穿T形螺母5与T形螺母5螺纹配合。
进一步的，所述升降架包括连接在两个滑块3之间的滑块连杆17，分别设置在滑块连杆17两端的两根螺杆6，以及连接在两根螺杆6上端的安装板7。具体的，两根螺杆6的两端均通过紧固螺母9与滑块连杆17和安装板7固定连接；所述T形螺母5固定安装在滑块连杆17上，丝杆11的上端则贯穿T形螺母5，即丝杆11与T形螺母5为螺纹连接，当丝杆11旋转时，T形螺母5能够沿丝杆11上下移动，从而使整个升降架上下移动。所述滑块连杆17的两端分别通过滑块垫板13与滑块3连接，使升降架与滑块连接更稳固。
为了使CVD水台能够旋转，所述旋转装置10安装在安装板7上；具体的，所述旋转装置10为旋转电机，旋转电机的转轴贯穿安装板7后连接有安装轴8，该安装轴8的上端则连接CVD水台(图中未示出)。
所述马达长底板14与机架底板1之间安装有缓冲弹簧，即缓冲弹簧的一端固定连接在马达长底板14上、其另一端则固定连接在机架底板1上，该缓冲弹簧能对CVD水台升降和旋转时起缓冲作用。
工作时，马达15带动丝杆旋转，使T形螺母沿丝杆上下移动，进而带动整个升降架沿丝杆上下移动，此时滑块3也沿滑轨4移动，从而可以带动CVD水台升降；旋转装置旋转时带动安装轴8旋转，从而带动安装在安装轴8上的CVD水台旋转。
如上所述，便可很好的实现本实用新型。
Claims (8)
1.CVD水台升降旋转装置，其特征在于，包括支撑架，安装在支撑架上的升降机构，安装在升降机构上的升降架，以及安装在升降架上的旋转装置(10)；所述升降机构包括相对安装在支撑架上的两根滑轨(4)，分别安装在两根滑轨(4)上的两个滑块(3)，安装在支撑架上的马达(15)，连接在马达(15)的转轴上的丝杆(11)；所述升降架连接在两个滑块(3)之间，升降架上安装有T形螺母(5)，所述丝杆(11)贯穿T形螺母(5)与T形螺母(5)螺纹配合。
2.根据权利要求1所述的CVD水台升降旋转装置，其特征在于，所述升降架包括连接在两个滑块(3)之间的滑块连杆(17)，分别设置在滑块连杆(17)两端的两根螺杆(6)，以及连接在两根螺杆(6)上端的安装板(7)；所述T形螺母(5)安装在滑块连杆(17)上，所述旋转装置(10)安装在安装板(7)上。
3.根据权利要求2所述的CVD水台升降旋转装置，其特征在于，所述支撑架包括机架底板(1)，相对安装在机架底板(1)上的两根滑轨固定板(2)，连接在两根滑轨固定板(2)之间的马达长底板(14)；所述马达(15)安装在马达长底板(14)的下表面，其转轴贯穿马达长底板(14)后与丝杆(11)连接；两根滑轨(4)相对安装在马达长底板(14)上，并与滑轨固定板(2)固定。
4.根据权利要求3所述的CVD水台升降旋转装置，其特征在于，所述滑轨固定板(2)的下端设置有弯折部(12)，所述弯折部(12)与机架底板(1)固定连接。
5.根据权利要求4所述的CVD水台升降旋转装置，其特征在于，所述滑块连杆(17)的两端分别通过滑块垫板(13)与滑块(3)连接。
6.根据权利要求5所述的CVD水台升降旋转装置，其特征在于，所述马达(15)的转轴通过联轴器(16)与丝杆(11)连接。
7.根据权利要求6所述的CVD水台升降旋转装置，其特征在于，所述旋转装置(10)为旋转电机，旋转电机的转轴贯穿安装板(7)后连接有安装轴(8)。
8.根据权利要求7所述的CVD水台升降旋转装置，其特征在于，所述马达长底板(14)与机架底板(1)之间安装有缓冲弹簧。
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|---|---|---|---|---|
| CN113774360A (zh) * | 2021-11-11 | 2021-12-10 | 陛通半导体设备(苏州)有限公司 | 一种往复旋转升降的化学气相沉积设备 |
| CN113862639A (zh) * | 2021-09-15 | 2021-12-31 | 杭州中欣晶圆半导体股份有限公司 | 一种cvd低温氧化膜连续制备系统及制备方法 |
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