CN218632648U - 一种对接装置、测试头及测试仪 - Google Patents

Abstract

本实用新型属于集成电路测试的技术领域，公开了一种对接装置、测试头及测试仪。对接装置用于测试头与外部设备的对接锁紧，其包括：外壳、运动组件以及驱动组件。外壳设置于测试头并设有供外部设备的销钉插入的对接孔；运动组件转动连接在外壳内，运动组件绕销钉的周向环设用于选择性抱紧销钉的多个锁紧端子。驱动组件与运动组件连接以驱动运动组件转动，使得多个锁紧端子随着运动组件的转动朝向靠近或远离销钉的一侧移动。该对接装置通过利用锁紧端子抱紧销钉，就可以快速完成测试头与外部设备对接锁紧，有效降低了对接难度，同时锁紧主要由销钉与锁紧端子的抵紧程度来决定，其受到干扰的方面较少，有利于提高测试头与外部设备的有效锁紧。

Description

一种对接装置、测试头及测试仪

技术领域

本实用新型涉及集成电路测试的技术领域，尤其涉及一种对接装置、测试头及测试仪。

背景技术

集成电路测试是指对半导体集成电路的各个性能进行检测，该测试会用到ATE(Automatic Test Equipment，集成电路自动测试机)。ATE在CP(Chip probing，晶圆探针测试)和FT(Final Test，终测)的测试环节之前，需要与相应的prober(探针台)或handler(分选机)等外部设备对接。

在ATE与外部设备对接之后，需要保持二者的相对位置不发生变动，因此对接过程不仅需要较高精度的导向，还需要在对接后保持较好的锁紧。

现有技术中，外部设备与ATE对接时，需要先在二者上分别加装工装配件，比如在探针台上加装探针台对接板等，然后才能对二者进行对接及锁紧。但是探针台上的空间是非常有限的。因此，在探针台上加装工装配件，其受到探针台等外部设备的空间限制，不仅工装配件的加装难度较大，还需要将其与测试头和探针台分别适配连接，导致整个对接过程难度较大，而且ATE与外部设备对接之后，二者的锁紧程度受到工装的安装稳定性等多方面因素的干扰，其锁紧的有效性也较低。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种对接装置、测试头及测试仪，其解决了现有技术中测试头与外部设备对接时，由于需要在有限的空间内加装工装配件，导致对接难度较大，锁紧的有效性较低的问题。

为达此目的，本实用新型采用以下技术方案：

一种对接装置，用于测试头与外部设备的对接锁紧，其包括：外壳、运动组件以及驱动组件。所述外壳设置于所述测试头并设有供所述外部设备的销钉插入的对接孔；运动组件转动连接在所述外壳内，所述运动组件绕所述销钉的周向环设有用于选择性抱紧所述销钉的多个锁紧端子。驱动组件与所述运动组件连接以驱动所述运动组件转动，使得多个所述锁紧端子随着所述运动组件的转动朝向靠近或远离所述销钉的一侧移动。

可选地，所述锁紧端子为锁紧轴，所述锁紧轴的侧壁用于与所述销钉抵紧，所述运动组件包括：旋转盘，所述旋转盘绕所述销钉的周向环设多个供所述锁紧轴滑动的弧形孔，所述弧形孔朝向靠近所述销钉一侧延伸，所述驱动组件与所述旋转盘相连接以带动所述旋转盘转动，使得所述锁紧轴在所述弧形孔内朝向靠近所述销钉一侧滑动。

可选地，所述对接装置还包括：凹槽和可插入所述凹槽内的凸起，其中一个设置于所述锁紧轴，另一个设置于所述销钉。

可选地，所述运动组件还包括：固定底板，设置于所述旋转盘下方，所述固定底板设置有多个绕所述销钉周向分布的滑孔，所述锁紧轴远离所述销钉的一端滑动连接在所述滑孔内。

可选地，所述驱动组件包括：旋转驱动件，与所述运动组件相连接以驱动所述运动组件绕所述销钉旋转。

可选地，所述运动组件滑动连接于所述外壳内，所述对接装置还包括：连接环，设置于所述外壳内，所述运动组件设有供所述连接环插入且滑动连接的连接槽，所述连接环的外侧壁、所述运动组件的顶部以及所述外壳的内壁之间形成密封腔；以及气路接口，设置于所述外壳并与外接气源连通，所述外接气源用于与所述驱动组件连通，所述驱动组件用于增大或减小所述密封腔的气压以驱动所述运动组件下降或上升，使得所述锁紧端子带动所述销钉相对于所述外壳移动。

可选地，所述对接装置还包括：第一密封圈，设置于所述运动组件的外侧并与所述外壳的内侧壁抵紧；第二密封圈，设置于所述连接槽的槽侧壁并与所述连接环的外侧壁抵紧。

可选地，所述外接气源为与所述气路接口连接的气动装置。

一种测试头，其包括：测试板；以及如上述中任一项所述的对接装置，设置在所述测试板上。

一种测试仪，其包括：如上述所述测试头；以及外部设备，所述外部设备设有用于插入所述测试头中对接装置的销钉。

本实用新型的有益效果：

通过该对接装置，外部设备的销钉插入对接孔内，通过驱动组件自动带动运动组件运行，从而将多个锁紧端子向靠近销钉的一侧移动，锁定端子在靠近销钉后，多个锁紧端子会从销钉的周边抱紧销钉，以快速将销钉固定于对接孔内。以此就可以快速完成测试头与外部设备对接锁紧，有效降低了对接难度，同时锁紧主要由销钉与锁紧端子的抵紧程度来决定，其受到干扰的方面较少，有利于提高测试头与外部设备的有效锁紧。

该测试头通过设置对接装置能够快速实现其与外部设备的对接锁紧，无需再加装工装配件，结构简单，操作方便，有效降低了二者在对接过程中的操作难度。

该测试仪在进行测试时，通过对接装置的设置，操作人员能够快速完成测试头与外部设备的对接锁紧，从而减少了设备安装连接过程中花费的时间，有效减少了测试过程中花费的时间，提高了测试效率。

附图说明

图1为本实用新型一些实施例中对接装置的结构示意图。

图2为本实用新型一些实施例中对接装置的爆炸结构示意图。

图3为本实用新型一些实施例中对接装置的旋转盘的结构示意图。

图4为本实用新型一些实施例中对接装置的仰视图。

图5为本实用新型一些实施例中对接装置的剖视图。

图6为本实用新型一些实施例中对接装置的旋转盘下降后的剖视图。

图7为本实用新型一些实施例中测试头的俯视图。

图中：

100、外壳；110、对接孔；120、凸起；130、凹槽；140、连接环；150、密封腔；160、第一密封圈；170、第二密封圈；200、运动组件；210、旋转盘；211、弧形孔；212、驱动轴；213、连接槽；220、固定底板；221、滑孔；300、驱动组件；310、驱动齿轮；320、驱动齿条；400、销钉；500、锁紧轴；600、测试板。

具体实施方式

下面结合附图和实施例对本实用新型作进一步的详细说明。可以理解的是，此处所描述的具体实施例仅仅用于解释本实用新型，而非对本实用新型的限定。另外还需要说明的是，为了便于描述，附图中仅示出了与本实用新型相关的部分而非全部结构。

在本实用新型的描述中，除非另有明确的规定和限定，术语“相连”、“连接”、“固定”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。

在本实用新型中，除非另有明确的规定和限定，第一特征在第二特征之“上”或之“下”可以包括第一和第二特征直接接触，也可以包括第一和第二特征不是直接接触而是通过它们之间的另外的特征接触。而且，第一特征在第二特征“之上”、“上方”和“上面”包括第一特征在第二特征正上方和斜上方，或仅仅表示第一特征水平高度大于第二特征。第一特征在第二特征“之下”、“下方”和“下面”包括第一特征在第二特征正下方和斜下方，或仅仅表示第一特征水平高度小于第二特征。

在本实施例的描述中，术语“上”、“下”、“右”、等方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述和简化操作，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。此外，术语“第一”、“第二”仅仅用于在描述上加以区分，并没有特殊的含义。

本实用新型提供了一种对接装置、测试头及测试仪。其能够简化测试头与外部设备对接所使用的结构，降低对接难度，简化对接操作，从而快速完成测试头与外部设备的对接，并确保测试头与外部设备的有效锁紧，使得操作人员能够利用该测试仪对集成电路快速进行测试，降低操作难度，提高测试效率。

图1为本实用新型一些实施例中对接装置的结构示意图。图2为本实用新型一些实施例中对接装置的爆炸结构示意图。参照图1和图2所示，该对接装置用于测试头与外部设备的对接锁紧，其包括：外壳100、运动组件200以及驱动组件300。外壳100设置于测试头上并设有供外部设备的销钉400插入的对接孔110。运动组件200转动连接在外壳100内，运动组件200绕销钉400的周向环设用于选择性抱紧销钉400的多个锁紧端子。驱动组件300与运动组件200连接以驱动运动组件200转动，使得多个锁紧端子随着运动组件200的转动朝向靠近或远离销钉400的一侧移动。

具体地，外壳100可以由上下两部分构成，其上部分呈圆盘状，其下部分呈立方体状，上下两部分可以一体成型，如此设置，该外壳上部分易于对接，下部分易于安装在测试头上，同时减小对接装置的整体体积。对接孔110位于外壳100的中间位置处。外壳100的内部中空以形成安装运动组件200的空腔，该空腔与对接孔100联通，该空腔的截面可以呈圆形，以便于运动组件200旋转。

多个锁紧端子的上端均伸出运动组件200，并围合出供销钉400插入的间隙，且锁紧端子的上端能够与销钉400穿过对接孔110的一端抵紧或分离，以实现对销钉400的选择性地锁紧。也就是将多个锁紧端子与销钉400相互贴紧且彼此挤压，在锁紧端子与销钉400之间形成较大的相互作用力，使得锁紧端子与销钉400保持相对地固定，也就实现对销钉400的抱紧固定，在多个锁紧端子与销钉400分离时，实现对销钉400的解锁。为了提高锁紧效果，可以在锁紧端子的上端与销钉400的下端分别设置可以产生连接的关系结构，比如凸块与卡槽，可相互吸附的磁铁或者可以相互勾连的弹性卡钩等。

驱动组件300则可以设置于外壳100的外部，采用电机或者气缸等作为动力源，并配合相应的传动结构来驱动运动组件200旋转，传动结构可以为齿轮啮合，还可以为齿轮齿条啮合等形式。应当理解的是，驱动组件300也可以位于外壳100内，比如采用微型马达等，具体可以根据外壳100内的空间大小来设计，本实用新型不做具体限定。

在利用该对接装置来进行测试头与外部设备对接时，直接将外部设备的销钉400插入对接孔110内，通过驱动组件300自动带动运动组件200运行，从而将多个锁紧端子向靠近销钉400的一侧移动。

锁定端子在靠近销钉400后，多个锁紧端子会从销钉400的周边抵紧销钉400，以快速将销钉400固定于对接孔110内。以此通过利用锁紧端子抱紧销钉400，就可以快速完成测试头与外部设备对接锁紧，有效简化了对接所使用的结构，降低了对接难度。同时锁紧主要由销钉400与锁紧端子的抵紧程度来决定，其受到干扰较少，有利于实现测试头与外部设备的有效锁紧。

图3为本实用新型一些实施例中对接装置的旋转盘的结构示意图。参照图2和图3所示，在本实用新型一些实施例中，锁紧端子为锁紧轴500，锁紧轴500的侧壁用于与销钉400抵紧。运动组件200包括旋转盘210。旋转盘210绕销钉400的周向环设多个供锁紧轴500滑动的弧形孔211，弧形孔211朝向靠近销钉400一侧延伸，旋转盘210与驱动组件300相连接以带动旋转盘210转动，使得锁紧轴500在弧形孔211内朝向靠近销钉400一侧滑动。

具体地，旋转盘210呈圆形，其转动连接于外壳100的空腔内，旋转盘210的外侧壁与该空腔的腔壁转动贴合。弧形孔211沿旋转盘210的厚度方向贯穿设置，并从旋转盘210外侧壁向旋转盘210的中心弯曲延伸，多个弧形孔211可以呈花瓣状间隔分布。

参照图2所示，锁紧轴500则穿设在该弧形孔211内。锁紧轴500与弧形孔211一一对应。锁紧轴500可以设置6个，也可以设置3个，具体数量可以根据销钉400及旋转盘210的尺寸来设计，本实用新型不做限定。在本实施例中，锁紧轴500和弧形孔211均设置6个。

在驱动组件300驱动旋转盘210转动时，弧形孔211的孔壁会挤压锁紧轴500，从而推动锁紧轴500在弧形孔211内滑移，锁紧轴500就会沿着弧形孔211的延伸方向移动，以逐渐靠近销钉400。

当锁紧轴500移动至弧形孔211靠近旋转盘210中间的一端时，锁紧轴500的上端就能够与销钉400的下端抵紧。多个锁紧轴500同步动作则就能够从销钉400的周向抱紧销钉400，完成对销钉400的固定。

参照图2所示，在本实用新型一些实施例中，对接装置还包括凹槽130和可插入凹槽130内的凸起120。凹槽130和凸起120的其中一个设置于锁紧轴500，另一个设置于销钉400。

具体地，在锁紧轴500的上端及销钉400的下端分别设置凹槽130或者凸起120，凹槽130可以呈环形设置，凸起120则可以通过嵌设钢珠来形成。具体凹槽130和凸起120的位置，可以根据实际的加工难易程度来设计，本实用新型不做限定。在本实施例中，凹槽130环设于锁紧轴500的上端，凸起120设置在销钉400的下端，且凸起120的数量对应锁紧轴500的数量，即凸起120绕销钉400的周向环设6个。

在锁紧轴500靠近销钉400时，销钉400上的凸起120就会插入对应的凹槽130内，从而使得销钉400与锁紧轴500形成卡接，以进一步提高销钉400与锁紧轴500之间的连接强度，从而提高对销钉400的锁紧效果。

参照图1和图2所示，在本实用新型一些实施例中，运动组件200还包括固定底板220。固定底板220设置于旋转盘210下方，固定底板220设置有多个绕销钉400周向分布的滑孔221，锁紧轴500远离销钉400的一端滑动连接在滑孔221内。

具体地，固定底板220设置在外壳100的下端面，且其底壁与外壳100的下端面齐平，以便于外壳100的安装布置。固定底板220可以呈圆盘状，但是固定底板220与外壳100不能相对旋转。

滑孔221可以沿固定底板220的厚度方向贯穿设置，并沿固定底板220的径向延伸。锁紧轴500的下端伸出弧形孔211并伸入滑孔221内。滑孔221的数量与锁紧轴500的数量一致，即在本实施例中，滑孔221也环设6个。

锁紧轴500可以为阶梯轴，其下端的外径小于上端的外径，锁紧轴500的下端伸入滑孔221内，而锁紧轴500上端的底壁则滑动贴合在固定底板220的顶壁上，使得固定底板220对锁紧轴500起到承托的作用。

通过将锁紧轴500的下端伸入滑孔221内，而固定底板220不能相对于外壳100旋转，则限定了锁紧轴500的移动方向，使得锁紧轴500仅能沿着固定底板220的径向滑动，也就是靠近或远离销钉400的方向。

通过锁紧轴500上端的底壁与固定底板220顶壁的抵紧，还可以对锁紧轴500在轴线方向上起到限位作用，减少锁紧轴500在轴线方向上发生移动的可能性，也就减少了锁紧轴500与滑孔221或者弧形孔211脱离的可能性。

图4为本实用新型一些实施例中对接装置的仰视图。图5为本实用新型一些实施例中对接装置的剖视图。参照图4和图5所示，在本实用新型一些实施例中，驱动组件300包括旋转驱动件。旋转驱动件与运动组件200相连接以驱动运动组件200绕销钉400旋转。

具体地，旋转驱动件可以采用步进电机，其通过联轴器等结构与旋转盘210相连接，还可以采用电机与齿轮的组合或者电机与齿轮及齿条的组合来与旋转盘210相连接。具体旋转驱动件的构成可以根据实际的安装空间以及传动要求来设计，本实用新型不做具体限定。

在本实施例中，旋转盘210的底壁上固定一个驱动轴212，驱动轴212穿过固定底板220并伸出外壳100，固定底板220上可以贯穿设置一个通孔，驱动轴212就穿过该通孔伸出外壳100，该通孔的直径大于驱动轴212的轴径。驱动轴212伸出外壳100的一端同轴固定一个驱动齿轮310，驱动齿轮310用于与驱动齿条320啮合，驱动齿条320则可以与电机或者气缸等动力源相连接，以通过带动驱动齿条320移动，从而带动驱动齿轮310转动，驱动齿轮310就会带动旋转盘210转动，以此就可以顺利驱动旋转盘210旋转。

参照图5所示，在本实用新型一些实施例中，运动组件200滑动连接于外壳100内，对接装置还包括连接环140和气路接口。连接环140设置于外壳100内，运动组件200设有供连接环140插入且滑动连接的连接槽213，连接环140的外侧壁、运动组件200的顶部以及外壳100的内壁之间形成密封腔150。

气路接口(图中未显示)设置于外壳100并与密封腔150连通，气路接口用于与外接气源连通，外接气源用于增大或减小密封腔150的气压以驱动运动组件200升降，使得锁紧轴500带动销钉400相对于外壳100移动。外接气源为与气路接口相连接的气动装置。

具体地，连接环140沿销钉400的轴线方向延伸，连接槽213位于旋转盘210的顶壁且呈环形，连接环140的下端插入连接槽213内。连接环140的外径小于旋转盘210的外径，以在连接环140的外侧壁形成密封腔150。

在外壳100的侧壁上开设与密封腔150连通的通孔，气路接口就设置于该通孔内。气动装置可以为气泵等，其气口通过管路与气路接口连通，以通过气路接口注气或者抽气，从而改变密封腔150内的气压。

图6为本实用新型一些实施例中对接装置的旋转盘下降后的剖视图。参照图5与图6所示，在锁紧轴500抱紧销钉400后，通过气动装置和气路接口向密封腔150内注入气体增大气压，就可以推动旋转盘210下移，旋转盘210在下移时会带动锁紧轴500同步下移，而锁紧轴500在与销钉400卡接后，锁紧轴500会拉动销钉400同步移动，使得销钉400相对于外壳100移动，而销钉400固定在外部设备上，则外部设备也会同步移动，以此就可以调整外部设备与测试头之间的间距。而且在完成调整后，只要保持密封腔150的气压不变，测试头与外部设备之间的间距也会固定不变。

参照图5和图6所示，在本实用新型一些实施例中，对接装置还包括第一密封圈160和第二密封圈170。第一密封圈160设置于运动组件200的外侧并与外壳100的内侧壁抵紧。第二密封圈170设置于连接槽213的槽侧壁并与连接环140的外侧壁抵紧。

具体地，在旋转盘210的外侧壁上且靠近下端面的一侧设置一个环形槽，第一密封圈160就固定在该环形槽内，第一密封圈160的一侧伸出环形槽以与外壳100的内侧壁抵紧。连接槽213的槽侧壁上也设置一个环形槽，第二密封圈170位于该环形槽内，且第二密封圈170的一侧伸出环形槽而与连接环140的外侧壁相抵紧。

以此通过第一密封圈160和第二密封圈170分别对密封腔150的上下两侧进行密封，以提高密封腔150的气密性，确保密封腔150内气体不会发生泄漏。

图7为本实用新型一些实施例中测试头的俯视图。参照图7所示，该测试头包括测试板600和如上述任一实施例中的对接装置。对接装置设置在测试板600上。具体地，测试板600的截面可以为方形，其中间部位设置相应的接口以用于与外部设备连接，进行相应的测试。对接装置就设置在测试板600侧边，其可以与测试板600焊接或者粘接固定，也可以通过螺栓等紧固件固定连接，本实用新型不做限定。

对接装置可以设置多个，多个对接装置绕测试板600的周向环设且间隔分布，比如可以在测试板600的每个拐角处均设置一个。在本实施例中，对接装置设置两列，两列对接装置位于测试板600的宽度方向的两侧，且每列设置三个。同时驱动组件300可以只设置一个，并通过传动结构同时带动多个对接装置的旋转盘210转动，以保证多个对接装置的同步动作。

该测试头通过设置对接装置能够快速实现其与外部设备的对接锁紧，无需再加装工装配件，结构简单，操作方便，有效降低了二者在对接过程中的操作难度。

该测试仪包括：外部设备和如上述实施例中的测试头。外部设备设有用于插入测试头中对接装置的销钉400。该外部设备可以为探针台，也可以为分选机等，本实用新型不做限定，外部设备靠近测试头的一侧设置上述实施例中的销钉400，销钉400的数量与对接装置的数量一致，也可以根据外部设备的外形及测试头的外形，在对应的位置设置销钉400，使得销钉400与对应的对接装置插接固定。

该测试仪在进行测试时，通过对接装置与销钉400的配合，操作人员能够快速完成测试头与外部设备的对接锁紧，从而减少了设备对接过程中花费时间，有效提高了测试效率。

在本实用新型一些实施例中，该测试仪还可以设置控制器和多个传感器，多个传感器可以分别检测销钉400的插入深度、销钉400与锁紧轴500之间的挤压力以及密封腔150内的气压等，控制器则与驱动组件300及多个传感器通讯连接，以根据对应的检测结果自动控制驱动组件300运行。同时还可以设置与控制器连接的显示面板，以在显示面板上实时显示各个检测结果，以便于操作人员了解对接的实时状态。

显然，本实用新型的上述实施例仅仅是为了清楚说明本实用新型所作的举例，而并非是对本实用新型的实施方式的限定。对于所属领域的普通技术人员来说，能够进行各种明显的变化、重新调整和替代而不会脱离本实用新型的保护范围。这里无需也无法对所有的实施方式予以穷举。凡在本实用新型的精神和原则之内所作的任何修改、等同替换和改进等，均应包含在本实用新型权利要求的保护范围之内。

Claims (10)

1.一种对接装置，其特征在于，所述对接装置用于测试头与外部设备的对接锁紧，其包括：

外壳(100)，设置于所述测试头并设有供所述外部设备的销钉(400)插入的对接孔(110)；

运动组件(200)，转动连接在所述外壳(100)内，所述运动组件(200)绕所述销钉(400)的周向环设有用于选择性抱紧所述销钉(400)的多个锁紧端子；以及

驱动组件(300)，与所述运动组件(200)连接以驱动所述运动组件(200)转动，使得多个所述锁紧端子随着所述运动组件(200)的转动朝向靠近或远离所述销钉(400)的一侧移动。

2.根据权利要求1所述的对接装置，其特征在于，所述锁紧端子为锁紧轴(500)，所述锁紧轴(500)的侧壁用于与所述销钉(400)抵紧，所述运动组件(200)包括：

旋转盘(210)，所述旋转盘(210)绕所述销钉(400)的周向环设多个供所述锁紧轴(500)滑动的弧形孔(211)，所述弧形孔(211)朝向靠近所述销钉(400)一侧延伸，所述驱动组件(300)与所述旋转盘(210)相连接以带动所述旋转盘(210)转动，使得所述锁紧轴(500)在所述弧形孔(211)内朝向靠近所述销钉(400)一侧滑动。

3.根据权利要求2所述的对接装置，其特征在于，所述对接装置还包括：

凹槽(130)和可插入所述凹槽(130)内的凸起(120)，其中一个设置于所述锁紧轴(500)，另一个设置于所述销钉(400)。

4.根据权利要求2所述的对接装置，其特征在于，所述运动组件(200)还包括：

固定底板(220)，设置在所述旋转盘(210)下方，所述固定底板(220)设置有多个绕所述销钉(400)周向分布的滑孔(221)，所述锁紧轴(500)远离所述销钉(400)的一端滑动连接在所述滑孔(221)内。

5.根据权利要求1所述的对接装置，其特征在于，所述驱动组件(300)包括：

旋转驱动件，与所述运动组件(200)相连接以驱动所述运动组件(200)绕所述销钉(400)旋转。

6.根据权利要求1至5中任一项所述的对接装置，其特征在于，所述运动组件(200)滑动连接于所述外壳(100)内，所述对接装置还包括：

连接环(140)，设置于所述外壳(100)内，所述运动组件(200)设有供所述连接环(140)插入且滑动连接的连接槽(213)，所述连接环(140)的外侧壁、所述运动组件(200)的顶部以及所述外壳(100)的内壁之间形成密封腔(150)；以及

气路接口，设置于所述外壳(100)并与所述密封腔(150)连通，所述气路接口用于与外接气源连通，所述外接气源用于增大或减小所述密封腔(150)的气压以驱动所述运动组件(200)下降或上升，使得所述锁紧端子带动所述销钉(400)相对于所述外壳(100)移动。

7.根据权利要求6所述的对接装置，其特征在于，所述对接装置还包括：

第一密封圈(160)，设置于所述运动组件(200)的外侧并与所述外壳(100)的内侧壁抵紧；

第二密封圈(170)，设置于所述连接槽(213)的槽侧壁并与所述连接环(140)的外侧壁抵紧。

8.根据权利要求6所述的对接装置，其特征在于，所述外接气源为与所述气路接口连接的气动装置。

9.一种测试头，其特征在于，所述测试头包括：

测试板(600)；以及

如权利要求1至8中任一项所述的对接装置，设置在所述测试板(600)上。

10.一种测试仪，其特征在于，所述测试仪包括：

如权利要求9所述测试头；以及

外部设备，所述外部设备设有用于插入所述测试头中对接装置的销钉(400)。

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