CN218621107U - 一种电镀阳极机构和电镀设备 - Google Patents

Abstract

本实用新型提供一种电镀阳极机构和电镀设备，该电镀阳极机构包括上阳极机构，上阳极机构包括：两个横梁；若干电镀阳极，每个电镀阳极的两端分别设置在两个横梁上；阳极板，阳极板位于横梁的下方，通过连接件固定在横梁或电镀阳极上，阳极板的长度方向与横梁一致。本实用新型通过横梁下方的阳极板对薄膜基材边缘提供阳极电，对薄膜基材边缘进行电镀，解决了横梁下方没有电镀阳极导致薄膜基材边缘的镀层厚度薄，镀层均匀性差的技术问题。

Description

一种电镀阳极机构和电镀设备

技术领域

本实用新型涉及薄膜基材生产技术领域，具体涉及一种电镀阳极机构和电镀设备。

背景技术

现有电镀设备中，电镀槽中的钛蓝的长度方向与薄膜基材的长度方向垂直，上下钛蓝长时间使用后，钛蓝内会产生阳极泥，每隔一段时间，钛蓝需要整体取出进行清洗，因此钛蓝的两端分别可拆卸地挂置固定在两个横梁上，便于拆卸取出钛蓝。由于导电带分别位于两个横梁的外侧，因此，薄膜基材的宽度应该大于钛蓝的长度，例如，专利号为CN114164478A，名称为一种水平电镀设备、以及专利号为CN114182328A，名称为一种阴极边缘导电机构及水平电镀设备的阴极导电模组，该设置方式，使得横梁下方不具有电镀阳极，导致横梁下方薄膜基材的镀层厚度很薄，薄膜基材镀层均匀性较差的问题。

实用新型内容

有鉴于此，本实用新型实施例的目的在于提供一种电镀阳极机构和电镀设备，以解决现有技术中横梁下方没有电镀阳极导致薄膜基材边缘的镀层厚度薄，镀层均匀性差的技术问题。

为达上述目的，本实用新型实施例提供了一种电镀阳极机构，所述电镀阳极机构包括上阳极机构，所述上阳极机构包括：

两个横梁；

若干电镀阳极，每个所述电镀阳极的两端分别设置在所述两个横梁上；

阳极板，所述阳极板位于所述横梁的下方，通过连接件固定在所述横梁或所述电镀阳极上，所述阳极板的长度方向与所述横梁一致。

在一些可能的实施方式中，所述阳极板横向设置在所述若干电镀阳极的两侧，且与所述若干电镀阳极的底面在同一个水平面上。

在一些可能的实施方式中，所述阳极板为磷铜板。

在一些可能的实施方式中，所述连接件为C型件，所述C型件的上端固定于所述横梁上，所述阳极板设置在所述C型件的下端。

在一些可能的实施方式中，所述连接件为Z型件，所述Z型件的上端挂设在每个所述电镀阳极上，所述阳极板设置在所述Z型件的下端。

在一些可能的实施方式中，所述连接件的数量为多个，每个所述连接件的下端设置有存放台，每个所述存放台用于放置所述阳极板。

在一些可能的实施方式中，所述若干电镀阳极为钛蓝，其两端分别具有挂置部，通过所述挂置部挂置于所述两个横梁上；

所述挂置部包括带有孔洞的竖板，所述Z型件的上端挂设在所述孔洞上。

在一些可能的实施方式中，每个所述电镀阳极的长度方向与薄膜基材的走膜方向垂直。

在一些可能的实施方式中，所述电镀阳极机构还包括下阳极机构，所述下阳极机构位于所述上阳极机构的下方，所述下阳极机构为钛蓝，所述钛蓝的长度与所述两个横梁下方的所述阳极板之间的最大间距相同。

第二方面，本实用新型实施例提供了一种电镀设备，所述电镀设备包括电镀槽以及上述任意一种电镀阳极机构，所述电镀阳极机构设置在所述电镀槽内。

上述技术方案的有益技术效果在于：

本实用新型实施例提供的一种电镀阳极机构和电镀设备，电镀阳极机构包括上阳极机构，上阳极机构包括：两个横梁；若干电镀阳极，每个电镀阳极的两端分别设置在两个横梁上；阳极板，阳极板位于所述横梁的下方，通过连接件固定在横梁或电镀阳极上，阳极板的长度方向与所述横梁一致。本实用新型实施例中，通过横梁下方的阳极板对薄膜基材边缘提供阳极电，对薄膜基材边缘进行电镀，解决了横梁下方没有电镀阳极导致薄膜基材边缘的镀层厚度薄，镀层均匀性差的技术问题。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1是本实用新型实施例的一种上阳极机构的立体图；

图2是本实用新型实施例的一种上阳极机构的仰视立体图；

图3是本实用新型实施例的一种连接件的示意图；

图4是本实用新型实施例的另一种连接件的示意图；

图5是本实用新型实施例的一种上阳极机构的侧视图；

图6是本实用新型实施例的一种电镀阳极机构的整体结构示意图。

附图标号说明：

1、上阳极机构；11、横梁；12、电镀阳极；121、挂置部；13、阳极板；14、连接件；

2、下阳极机构。

具体实施方式

下面将详细描述本实用新型的各个方面的特征和示例性实施例。在下面的详细描述中，提出了许多具体细节，以便提供对本实用新型的全面理解。但是，对于本领域技术人员来说很明显的是，本实用新型可以在不需要这些具体细节中的一些细节的情况下实施。下面对实施例的描述仅仅是为了通过示出本实用新型的示例来提供对本实用新型的更好的理解。在附图和下面的描述中，至少部分的公知结构和技术没有被示出，以便避免对本实用新型造成不必要的模糊；并且，为了清晰，可能夸大了部分结构的尺寸。此外，下文中所描述的特征、结构或特性可以以任何合适的方式结合在一个或更多实施例中。

图1是本实用新型实施例的一种上阳极机构的立体图，如图1所示，该电镀阳极机构包括上阳极机构1，上阳极机构1包括两个横梁11、若干电镀阳极12、阳极板13和连接件14，每个电镀阳极12的两端分别设置在两个横梁11上；阳极板13位于横梁11的下方，通过连接件14固定在横梁11或电镀阳极12上，阳极板13的长度方向与横梁11一致，具体的，阳极板13的长度方向指的是阳极板13的整体方向，比如，阳极板13的数量是一个，那就是一个阳极板13的长度方向；再比如，阳极板13的数量为多个时，即全部阳极板13的长度方向。具体的，通过横梁11下方的阳极板13对薄膜基材边缘提供阳极电，对薄膜基材边缘进行电镀，解决了横梁11下方没有电镀阳极12导致薄膜基材边缘的镀层厚度薄，镀层均匀性差的技术问题。本实用新型实施例中，通过电镀阳极12和阳极板13 同时对薄膜基材提供阳极电，可以实现对横梁11下方的薄膜基材进行镀膜，覆盖了薄膜基材的整个幅宽，一起为薄膜基材的上表面进行镀膜，极大地提高了镀膜的均匀性。

图2是本实用新型实施例的一种上阳极机构的仰视立体图，如图2所示，在一些实施例中，阳极板13横向设置在若干电镀阳极12的两侧，且与若干电镀阳极12的底面在同一个水平面上。这样，阳极板13与薄膜基材之间的距离等于若干电镀阳极12与薄膜基材之间的距离，进一步增加镀膜的均匀性。可选的，阳极板13可以为磷铜板。

图3是本实用新型实施例的一种连接件的示意图，如图2和图3所示，连接件14为C型件，此时，C型件的上端固定于横梁11上，若干电镀阳极12的两端设置在C型件上，以提高C型件的稳固性，阳极板13设置在C型件的下端，避免C型件晃动刮擦薄膜基材。

图4是本实用新型实施例的另一种连接件的示意图，如图4所示，在一些实施例中，该连接件14为Z型件，Z型件的上端挂设在每个电镀阳极12上，阳极板13设置在Z型件的下端。

在一些实施例中，连接件14的数量为多个，每个连接件14的下端设置有存放台，每个存放台用于放置阳极板13，具体的，连接件14的数量与若干电镀阳极12的宽度而定，以保证放置在每个存放台上的阳极板13的宽度和等于若干电镀阳极12的宽度，以保证薄膜基材上表面镀膜的均匀性。本实用新型实施例中，每个存放台上的阳极板13的宽度和等于若干电镀阳极12的宽度和，以保证薄膜基材上表面镀膜的均匀性。

图5是本实用新型实施例的一种上阳极机构的侧视图，如图5所示，在一些实施例中，若干电镀阳极12为钛蓝，钛蓝的数量可以为多个，每个钛蓝的两端分别具有挂置部121，通过挂置部121挂置于两个横梁11上；挂置部121包括带有孔洞的竖板，Z型件的上端挂设在孔洞上，并且可以通过任意锁定件将Z型件的上端锁定在竖板的孔洞上，以增加Z型件的稳定。

在一些实施例中，每个电镀阳极12的长度方向与薄膜基材的走膜方向垂直，以在电镀过程中均匀的提供阳极电。

图6是本实用新型实施例的一种电镀阳极机构的整体结构示意图，如图6所示，电镀阳极机构还包括下阳极机构2，下阳极机构2位于上阳极机构1的下方，下阳极机构2为钛蓝，钛蓝的长度与两个横梁11下方的阳极板13之间的最大间距相同，即下阳极机构2 对薄膜基材下表面提供阳极电的宽幅与上阳极机构1对薄膜基材的上表面提供阳极电的宽幅相等，如图6所示，本实施例中的连接件14为C型件，阳极板13设置在C型件的下端，当然，连接件14也可以为Z型件。本实用新型实施例中，下阳极机构2对薄膜基材下表面提供阳极电的宽幅与上阳极机构1对薄膜基材的上表面提供阳极电的宽幅相等，可以保证薄膜基材上下表面镀膜的一致性。

另外，本实用新型实施例还提供了一种电镀设备，该电镀设备包括电镀槽以及上述任意一种电镀阳极机构，电镀阳极机构设置在电镀槽内，通过在电镀槽中使用上述的电镀阳极机构对薄膜基材的两面进行电镀，可以保证薄膜基材上下表面整体镀膜的一致性。

本实用新型实施例的有益效果如下：

本实用新型实施例中，通过电镀阳极12和阳极板13同时对薄膜基材提供阳极电，可以实现对横梁11下方的薄膜基材进行镀膜，覆盖了薄膜基材的整个幅宽，一起为薄膜基材的上表面进行镀膜，极大地提高了镀膜的均匀性；

本实用新型实施例中，阳极板13与薄膜基材之间的距离等于若干电镀阳极12与薄膜基材之间的距离，进一步增加镀膜的均匀性；

本实用新型实施例中，C型件的上端固定于横梁11上，若干电镀阳极12的两端设置在C型件上，以提高C型件的稳固性，阳极板13设置在C型件的下端，避免C型件晃动刮擦薄膜基材；

本实用新型实施例中，每个存放台上的阳极板13的宽度和等于若干电镀阳极12的宽度，以保证薄膜基材上表面镀膜的均匀性；

本实用新型实施例中，下阳极机构2对薄膜基材下表面提供阳极电的宽幅与上阳极机构1对薄膜基材的上表面提供阳极电的宽幅相等，可以保证薄膜基材上下表面镀膜的一致性。

在本实用新型实施例的描述中，需要说明的是，术语中的“上、下、内和外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。此外，术语“第一、第二或第三”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。

本实用新型实施例中除非另有明确的规定和限定，术语“安装、相连、连接”应做广义理解，例如：可以是固定连接、可拆卸连接或一体式连接；同样可以是机械连接、电连接或直接连接，也可以通过中间媒介间接相连，也可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。

虽然已经参考优选实施例对本实用新型进行了描述，但在不脱离本实用新型的范围的情况下，可以对其进行各种改进并且可以用等效物替换其中的部件。尤其是，只要不存在结构冲突，各个实施例中所提到的各项技术特征均可以任意方式组合起来。本实用新型并不局限于文中公开的特定实施例，而是包括落入权利要求的范围内的所有技术方案。

Claims (10)

1.一种电镀阳极机构，其特征在于，所述电镀阳极机构包括上阳极机构(1)，所述上阳极机构(1)包括：

两个横梁(11)；

若干电镀阳极(12)，每个所述电镀阳极(12)的两端分别设置在所述两个横梁(11)上；

阳极板(13)，位于所述横梁(11)的下方，通过连接件(14)固定在所述横梁(11)或所述电镀阳极(12)上，所述阳极板(13)的长度方向与所述横梁(11)一致。

2.根据权利要求1所述的一种电镀阳极机构，其特征在于，所述阳极板(13)横向设置在所述若干电镀阳极(12)的两侧，且与所述若干电镀阳极(12)的底面在同一个水平面上。

3.根据权利要求2所述的一种电镀阳极机构，其特征在于，所述阳极板(13)为磷铜板。

4.根据权利要求1所述的一种电镀阳极机构，其特征在于，所述连接件(14)为C型件，所述C型件的上端固定于所述横梁(11)上，所述阳极板(13)设置在所述C型件的下端。

5.根据权利要求1所述的一种电镀阳极机构，其特征在于，所述连接件(14)为Z型件，所述Z型件的上端挂设在每个所述电镀阳极(12)上，所述阳极板(13)设置在所述Z型件的下端。

6.根据权利要求4或5所述的一种电镀阳极机构，其特征在于，所述连接件(14)的数量为多个，每个所述连接件(14)的下端设置有存放台，每个所述存放台用于放置所述阳极板(13)。

7.根据权利要求5所述的一种电镀阳极机构，其特征在于，所述若干电镀阳极(12)为钛蓝，其两端分别具有挂置部(121)，通过所述挂置部(121)挂置于所述两个横梁(11)上；

所述挂置部(121)包括带有孔洞的竖板，所述Z型件的上端挂设在所述孔洞上。

8.根据权利要求1所述的一种电镀阳极机构，其特征在于，每个所述电镀阳极(12)的长度方向与薄膜基材的走膜方向垂直。

9.根据权利要求1所述的一种电镀阳极机构，其特征在于，所述电镀阳极机构还包括下阳极机构(2)，所述下阳极机构(2)位于所述上阳极机构(1)的下方，所述下阳极机构(2)为钛蓝，所述钛蓝的长度与所述两个横梁(11)下方的所述阳极板(13)之间的最大间距相同。

10.一种电镀设备，其特征在于，所述电镀设备包括电镀槽以及权利要求1至9中任一项所述的电镀阳极机构，所述电镀阳极机构设置在所述电镀槽内。

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