CN217757650U - 一种石墨舟以及镀膜设备 - Google Patents

Abstract

本申请涉及太阳能电池技术领域，具体而言，涉及一种石墨舟以及镀膜设备。石墨舟包括：多个依次间隔设置的石墨舟页以及分别位于石墨舟页的长度方向的相对两侧的石墨条组件；石墨条组件包括沿石墨舟页高度方向间隔设置的第一石墨条和第二石墨条，且第一石墨条和第二石墨条均沿石墨舟页厚度方向延伸。沿第一石墨条的延伸方向，第一石墨条朝向石墨舟页的表面依次间隔开设有多个第一凹槽；沿第二石墨条的延伸方向，第二石墨条朝向石墨舟页的表面依次间隔开设有多个第二凹槽；上舟耳伸入第一凹槽内并与第一凹槽卡接，下舟耳伸入第二凹槽内并与第二凹槽卡接。本申请的石墨舟能够有效解决石墨舟在清洗后舟页间连接块的间隙处容易附着盐或碱结晶的问题。

Description

一种石墨舟以及镀膜设备

技术领域

本申请涉及太阳能电池技术领域，具体而言，涉及一种石墨舟以及镀膜设备。

背景技术

在生产TOPCon电池片的过程中，需要先将石墨舟表面沉积一层氮化硅膜作为饱和过程，然后再将电池片放入石墨舟内，并对电池片表面沉积Poly硅膜及SIO膜。随着石墨舟使用次数的增加，石墨舟片的导电性能变差，因此需要清洗石墨舟以保证石墨舟的正常使用。

目前，主要采用酸碱结合方式对石墨舟进行清洗，先利用氢氟酸与氮化硅的反应以将石墨舟表面的氮化硅层清洗掉，进而使得Poly硅层逐渐剥离掉并漂浮在液面之上；将石墨舟水洗后再碱洗，通过碱液对残留Poly硅层进行腐蚀溶解，从而去除石墨舟表面残留的Poly硅层；水洗后再对石墨舟进行酸洗以中和石墨舟表面残留的碱；最后水洗烘干完成整个石墨舟的清洗流程。

但是，对石墨舟清洗过程中的酸碱中和会生产盐，且碱液容易产生碱结晶；盐或碱结晶容易附着在石墨舟的舟页间的连接块的间隙处，导致石墨舟被清洗后舟页间连接块的间隙处存在明显的发白现象，使得石墨舟无法正常使用或影响镀膜效果，不利于产线正常生产。

实用新型内容

本申请提供一种石墨舟以及镀膜设备，其旨在改善现有的石墨舟在清洗后舟页间连接块的间隙处容易附着盐或碱结晶而影响石墨舟正常使用的技术问题。

第一方面，本申请提供一种石墨舟，包括：

多个石墨舟页，沿石墨舟页的厚度方向，多个石墨舟页依次间隔设置；以及

石墨条组件，石墨条组件分别位于石墨舟页的长度方向的相对两侧；石墨条组件包括沿石墨舟页的高度方向间隔设置的第一石墨条和第二石墨条，且第一石墨条和第二石墨条均沿石墨舟页的厚度方向延伸。

沿第一石墨条的延伸方向，第一石墨条的朝向石墨舟页的表面依次间隔开设有多个第一凹槽；沿第二石墨条的延伸方向，第二石墨条的朝向石墨舟页的表面依次间隔开设有多个第二凹槽；石墨舟页的上舟耳伸入第一凹槽内并与第一凹槽卡接，石墨舟页的下舟耳伸入第二凹槽内并与第二凹槽卡接。

第一石墨条沿石墨舟页的厚度方向延伸，且沿第一石墨条的延伸方向，第一石墨条的朝向石墨舟页的表面依次间隔开设有多个第一凹槽，间隔设置的石墨舟页的上舟耳分别伸入第一石墨条上对应的第一凹槽内并与第一凹槽卡接，实现了通过一个第一石墨条共同电连接多个石墨舟页的上舟耳；第二石墨条沿石墨舟页的厚度方向延伸，且沿第二石墨条的延伸方向，第二石墨条的朝向石墨舟页的表面依次间隔开设有多个第二凹槽，间隔设置的石墨舟页的下舟耳分别伸入第二石墨条上对应的第二凹槽内并与第二凹槽卡接，实现了通过一个第二石墨条共同电连接多个石墨舟页的下舟耳。相比传统的每相邻的两个上舟耳之间或每相邻的两个下舟耳之间均通过一个石墨块电连接的方式，能够有效避免由于相邻的两个石墨连接块之间存在间隙，而导致的清洗后的石墨舟上石墨连接块之间的间隙处容易附着盐或碱结晶的现象，有利于提高对石墨舟的清洗效果，进而有利于石墨舟的正常使用。此外，第一石墨条共同电连接多个上舟耳以及第二石墨条共同电连接多个下舟耳，可以实现石墨条与多个上舟耳之间或多个下舟耳之间电连接的一体拆装，有利于提高石墨舟页间电连接的拆装效率。

在本申请第一方面的一些实施例中，沿石墨舟页的长度方向，第一凹槽的深度至少为上舟耳的尺寸的50％；和/或，沿石墨舟页的长度方向，第二凹槽的深度至少为下舟耳的尺寸的50％。

上述设置方式，可以使得上舟耳能够伸入第一凹槽或者下舟耳能够伸入第二凹槽的深度较深，有利于提高卡接效果，提高第一石墨条或第二石墨条对舟耳的连接固定稳定性。

在本申请第一方面的一些实施例中，沿石墨舟页的厚度方向，上舟耳的尺寸与第一凹槽的尺寸相等；和/或，沿石墨舟页的厚度方向，下舟耳的尺寸与第二凹槽的尺寸相等。

上述设置方式，可以使得第一凹槽沿石墨舟页厚度方向的相对两个槽壁能够共同抵持于上舟耳沿石墨舟页厚度方向的两个表面，避免上舟耳在第一凹槽内沿石墨舟页的厚度方向上有移动空间，有利于提高卡接效果；同理，也可以使得第二凹槽沿石墨舟页厚度方向的相对两个槽壁能够共同抵持于下舟耳沿石墨舟页厚度方向的两个表面，避免下舟耳在第二凹槽内沿石墨舟页的厚度方向上有移动空间，有利于提高卡接效果。

在本申请第一方面的一些实施例中，第一石墨条上相邻的两个第一凹槽之间还设置有第一气流孔，第一气流孔沿石墨舟页的长度方向贯穿第一石墨条。和/或，第二石墨条上相邻的两个第二凹槽之间还设置有第二气流孔，第二气流孔沿石墨舟页的长度方向贯穿第二石墨条。

第一气流孔或第二气流孔的设置，可以使得相邻的两个石墨舟页被第一石墨条或者第二石墨条遮挡处也能够通过气流，提高石墨舟在镀膜设备中使用时相邻的两个石墨舟页间的气流通过量，有利于保证镀膜效果；也可以避免由于相邻的两个石墨舟页被第一石墨条或者第二石墨条遮挡而导致的被封挡处形成气流旋涡的现象，有利于避免局部气流不均匀，进而提高镀膜沉积的均匀性，有利于提高电池片的良率。

在本申请第一方面的一些实施例中，第一气流孔贯穿第一石墨条的上表面或下表面；和/或，第二石墨条贯穿第二石墨条的上表面或下表面。

上述设置方式，可以在实现第一石墨条共同电连接多个上舟耳或第二石墨条共同电连接多个下舟耳的基础上，进一步提高相邻的两个石墨舟页被第一石墨条或者第二石墨条遮挡处的气流通过量，有利于提高镀膜沉积的均匀性。

在本申请第一方面的一些实施例中，沿第一石墨条的高度方向，定义第一石墨条被第一气流孔贯穿的表面为第一表面；第一气流孔的朝向第一表面的内壁为朝向第一表面弯设的弧面。

和/或，沿第二石墨条的高度方向，定义第二石墨条被第二气流孔贯穿的表面为第二表面；第二气流孔的朝向第二表面的内壁为朝向第二表面弯设的弧面。

上述设置方式，可以使得经第一气流孔或第二气流孔的气体被呈弧面的孔内壁导流，有利于使得气流能够更加顺畅地经第一气流孔或第二气流孔进入相邻的两个石墨舟页之间，有利于提高镀膜沉积的均匀性。

在本申请第一方面的一些实施例中，位于每个第一凹槽相对两侧的第一气流孔分别贯穿第一石墨条的上表面和下表面；和/或，位于每个第二凹槽相对两侧的第二气流孔分别贯穿第二石墨条的上表面和下表面。

上述设置方式，相对于第一气流孔均贯穿第一石墨条的同一表面的方式或第二气流孔均贯穿第二石墨条的同一表面的方式，可以提高整个第一石墨条或第二石墨条的结构强度，有利于避免由于第一气流孔均贯穿第一石墨条的同一表面或第二气流孔均贯穿第二石墨条的同一表面，而造成的第一石墨条被第一气流孔贯穿的表面或第二石墨条被第二气流孔贯穿的表面易产生裂痕等破损的现象。

在本申请第一方面的一些实施例中，第一石墨条的表面设置有金镀层；和/或，第二石墨条的表面设置有金镀层。

由于石墨在微观下是疏松多孔的结构，石墨的表面并不光滑，导致石墨舟在清洗过程中第一石墨条或第二石墨条的表面也容易附着细小的盐或碱结晶颗粒。在第一石墨条或第二石墨条表面设置金镀层，提高了第一石墨条和第二石墨条表面的光滑性，有利于避免碱结晶及盐类颗粒堆积，进而提高石墨舟的清洗效果。且在第一石墨条或第二石墨条表面设置金镀层，不仅有利于避免第一石墨条或第二石墨条被酸液或碱液腐蚀，也有利于提高第一石墨条或第二石墨条的导电性，有利于提高镀膜沉积效果。

在本申请第一方面的一些实施例中，沿第一石墨条的延伸方向，第一石墨条设置有贯穿第一石墨条的第一安装孔；沿石墨舟页的厚度方向，上舟耳设置有贯穿上舟耳的第二安装孔；石墨舟还包括第一陶瓷杆，第一陶瓷杆穿过第一安装孔和第二安装孔，并与第一石墨条延伸方向的相对两端连接。

和/或，沿第二石墨条的延伸方向，第二石墨条设置有贯穿第二石墨条的第三安装孔；沿石墨舟页的厚度方向，下舟耳设置有贯穿下舟耳的第四安装孔；石墨舟还包括第二陶瓷杆，第二陶瓷杆穿过第三安装孔和第四安装孔，并与第二石墨条延伸方向的相对两端连接。

上述设置方式，有利于避免上舟耳在第一凹槽内或下舟耳在第二凹槽内沿石墨舟页的高度方向移动，进而提高第一石墨条在沿石墨舟页的高度方向上对上舟耳的固定效果或第二石墨条在沿石墨舟页的高度方向上对下舟耳的固定效果。此外，陶瓷杆具有一定的强度，能够提高第一石墨条对上舟耳的支撑效果或第二石墨条对下舟耳的支撑效果。

第二方面，本申请还提供一种镀膜设备，包括镀膜腔和位于镀膜腔内的如上述第一方面提供的石墨舟。

附图说明

为了更清楚地说明本申请实施例的技术方案，下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍，应当理解，以下附图仅示出了本申请的某些实施例，因此不应被看作是对范围的限定，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他相关的附图。

图1示出了本申请实施例提供的石墨舟的俯视图。

图2示出了本申请实施例提供的石墨舟的侧视图。

图3示出了本申请实施例提供的石墨舟中石墨舟页的结构示意图。

图4示出了本申请实施例提供的石墨舟中第一石墨条的结构示意图。

图5示出了本申请实施例提供的石墨舟中第二石墨条和舟脚的结构示意图。

图6示出了图4中A处的放大图。

图标：100-石墨舟；110-石墨舟页；111-上舟耳；1111-第二安装孔；1112-第六安装孔；112-下舟耳；1121-第四安装孔；1122-第八安装孔；120-石墨条组件；121-第一石墨条；1211-第一凹槽；1212-第一气流孔；122-第二石墨条；1221-第二凹槽；1222-第二气流孔；130-舟脚；140-陶瓷杆；150-石墨杆。

具体实施方式

为使本申请实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本申请实施例中的附图，对本申请实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本申请一部分实施例，而不是全部的实施例。通常在此处附图中描述和示出的本申请实施例的组件可以以各种不同的配置来布置和设计。

因此，以下对在附图中提供的本申请的实施例的详细描述并非旨在限制要求保护的本申请的范围，而是仅仅表示本申请的选定实施例。基于本申请中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本申请保护的范围。

应注意到：相似的标号和字母在下面的附图中表示类似项，因此，一旦某一项在一个附图中被定义，则在随后的附图中不需要对其进行进一步定义和解释。

在本申请实施例的描述中，需要理解的是，术语“上”、“下”、“左”、“右”、“前”、“后”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，或者是该申请产品使用时惯常摆放的方位或位置关系，或者是本领域技术人员惯常理解的方位或位置关系，仅是为了便于描述本申请和简化描述，而不是指示或暗示所指的设备或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本申请的限制。

在本申请实施例的描述中，还需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“设置”、“安装”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本申请中的具体含义。

实施例

图1示出了本申请实施例提供的石墨舟100的俯视图，图2示出了本申请实施例提供的石墨舟100的侧视图，请参阅图1和图2，本申请提供了一种石墨舟100，石墨舟100包括多个石墨舟页110以及石墨条组件120。沿石墨舟页110的厚度方向，多个石墨舟页110依次间隔设置。石墨条组件120分别位于石墨舟页110的长度方向的相对两侧。相邻的两个石墨舟页110的间隙内用于放置电池片，石墨条组件120用于电连接多个石墨舟页110。

在本申请中，石墨舟页110的长度方向是指图1中由左至右的方向，石墨舟页110的高度方向是指图2中由上至下的方向，石墨舟页110的厚度方向是指图1中由上至下的方向或图2中由左至右的方向。

石墨条组件120包括沿石墨舟页110的高度方向间隔设置的第一石墨条121和第二石墨条122，且第一石墨条121和第二石墨条122均沿石墨舟页110的厚度方向延伸。第一石墨条121位于第二石墨条122的上方。

图3示出了本申请实施例提供的石墨舟100中石墨舟页110的结构示意图，请参阅图1至图3，石墨舟页110沿石墨舟页110的厚度方向依次间隔分布，且每片石墨舟页110沿石墨舟页110的长度方向的相对两端均设置有舟耳。沿石墨舟页110高度方向，位于上方的舟耳为上舟耳111，位于下方的舟耳为下舟耳112。

图4示出了本申请实施例提供的石墨舟100中第一石墨条121的结构示意图，请参阅图1至图4，沿第一石墨条121的延伸方向，第一石墨条121的朝向石墨舟页110的表面依次间隔开设有多个第一凹槽1211；石墨舟页110的上舟耳111伸入第一凹槽1211内并与第一凹槽1211卡接。间隔设置的石墨舟页110的上舟耳111分别伸入第一石墨条121上对应的第一凹槽1211内并与第一凹槽1211卡接，实现了通过一个第一石墨条121共同电连接多个石墨舟页110的上舟耳111。相比传统的每相邻的两个上舟耳111之间均通过一个石墨块电连接的方式，能够有效避免由于相邻的两个石墨连接块之间存在间隙，而导致的清洗后的石墨舟100上石墨连接块之间的间隙处容易附着盐或碱结晶的现象，有利于提高对石墨舟100的清洗效果，进而有利于石墨舟100的正常使用。此外，第一石墨条121共同电连接多个上舟耳111，可以实现第一石墨条121与多个上舟耳111之间的一体拆装，有利于提高石墨舟页110间电连接的拆装效率。

进一步地，沿第一石墨条121的延伸方向，第一石墨条121上相邻的两个第一凹槽1211之间的间距相等，可以使得与第一石墨条121连接的多个石墨舟页110之间的间距相等，有利于提高镀膜的沉积均匀性。

图5示出了本申请实施例提供的石墨舟100中第二石墨条122和舟脚130的结构示意图，请参阅图1至图3以及图5，石墨舟100还包括舟脚130，舟脚130分别位于沿石墨舟页110的长度方向的相对两端，并用于支撑整个石墨舟100。每个第二石墨条122均与两个舟脚130连接，且舟脚130位于第二石墨条122的下方。

在本申请中，沿第二石墨条122的延伸方向，第二石墨条122的朝向石墨舟页110的表面依次间隔开设有多个第二凹槽1221；石墨舟页110的下舟耳112伸入第二凹槽1221内并与第二凹槽1221卡接。间隔设置的石墨舟页110的下舟耳112分别伸入第二石墨条122上对应的第二凹槽1221内并与第二凹槽1221卡接，实现了通过一个第二石墨条122共同电连接多个石墨舟页110的下舟耳112。相比传统的每相邻的两个下舟耳112之间均通过一个石墨块电连接的方式，能够有效避免由于相邻的两个石墨连接块之间存在间隙，而导致的清洗后的石墨舟100上石墨连接块之间的间隙处容易附着盐或碱结晶的现象，有利于提高对石墨舟100的清洗效果，进而有利于石墨舟100的正常使用。此外，第二石墨条122共同电连接多个下舟耳112，可以实现第二石墨条122与多个下舟耳112之间的一体拆装，有利于提高石墨舟页110间电连接的拆装效率。

进一步地，沿第二石墨条122的延伸方向，第二石墨条122上相邻的两个第二凹槽1221之间的间距相等，可以使得与第二石墨条122连接的多个石墨舟页110之间的间距相等，有利于提高镀膜的沉积均匀性。

在本申请中，沿石墨舟页110的长度方向，第一凹槽1211的深度至少为上舟耳111的尺寸的50％；或，沿石墨舟页110的长度方向，第二凹槽1221的深度至少为下舟耳112的尺寸的50％；或，沿石墨舟页110的长度方向，第一凹槽1211的深度至少为上舟耳111的尺寸的50％且第二凹槽1221的深度至少为下舟耳112的尺寸的50％。上述设置方式，可以使得上舟耳111能够伸入第一凹槽1211或者下舟耳112能够伸入第二凹槽1221的深度较深，有利于提高第一凹槽1211对上舟耳111的卡接效果或第二凹槽1221对下舟耳112的卡接效果，提高第一石墨条121或第二石墨条122对舟耳的连接固定稳定性。

作为示例性地，沿石墨舟页110的长度方向，第一凹槽1211的深度可以为上舟耳111的尺寸的50％、70％、90％或者100％等等；沿石墨舟页110的长度方向，第二凹槽1221的深度可以为下舟耳112的尺寸的50％、70％、90％或者100％等等。进一步地，在本本申请中，沿石墨舟页110的长度方向，第一凹槽1211的深度与上舟耳111的尺寸相等；或，第二凹槽1221的深度与下舟耳112的尺寸相等；或，沿石墨舟页110的长度方向，第一凹槽1211的深度与上舟耳111的尺寸相等且第二凹槽1221的深度与下舟耳112的尺寸相等。上述设置方式，可以进一步提高第一凹槽1211对上舟耳111的卡接效果或第二凹槽1221对下舟耳112的卡接效果。

在本实施中，沿石墨舟页110的长度方向，第一凹槽1211的深度与上舟耳111的尺寸相等且第二凹槽1221的深度与下舟耳112的尺寸相等。

在本申请中，沿石墨舟页110的厚度方向，上舟耳111的尺寸与第一凹槽1211的尺寸相等；或，沿石墨舟页110的厚度方向，下舟耳112的尺寸与第二凹槽1221的尺寸相等；或，沿石墨舟页110的厚度方向，上舟耳111的尺寸与第一凹槽1211的尺寸相等且下舟耳112的尺寸与第二凹槽1221的尺寸相等。上述设置方式，可以使得第一凹槽1211沿石墨舟页110厚度方向的相对两个槽壁能够共同抵持于上舟耳111沿石墨舟页110厚度方向的两个表面，避免上舟耳111在第一凹槽1211内沿石墨舟页110的厚度方向上有移动空间，有利于提高第一凹槽1211对上舟耳111的卡接效果；或使得第二凹槽1221沿石墨舟页110厚度方向的相对两个槽壁能够共同抵持于下舟耳112沿石墨舟页110厚度方向的两个表面，避免下舟耳112在第二凹槽1221内沿石墨舟页110的厚度方向上有移动空间，有利于提高第二凹槽1221对下舟耳112的卡接效果。

在本实施例中，沿石墨舟页110的厚度方向，上舟耳111的尺寸与第一凹槽1211的尺寸相等且下舟耳112的尺寸与第二凹槽1221的尺寸相等。

为了提高第一石墨条121在沿石墨舟页110的高度方向对上舟耳111的固定效果，请再次参阅图1至图3，在本申请中，沿第一石墨条121的延伸方向(即石墨舟页110的厚度方向)，第一石墨条121设置有贯穿第一石墨条121的第一安装孔(图中未示出)；沿石墨舟页110的厚度方向，上舟耳111设置有贯穿上舟耳111的第二安装孔1111；设置陶瓷杆140穿过第一安装孔和第二安装孔1111，并与第一石墨条121延伸方向的相对两端连接。

同理，为了提高第二石墨条122在沿石墨舟页110的高度方向对下舟耳112的固定效果，请再次参阅图1至图3，在本申请中，沿第二石墨条122的延伸方向，第二石墨条122设置有贯穿第二石墨条122的第三安装孔(图中未示出)；沿石墨舟页110的厚度方向，下舟耳112设置有贯穿下舟耳112的第四安装孔1121；设置陶瓷杆140穿过第三安装孔和第四安装孔1121，并与第二石墨条122延伸方向的相对两端连接。

设置陶瓷杆140同时穿过第一石墨条121和多个上舟耳111，或设置陶瓷杆140同时穿过第二石墨条122和多个下舟耳112，有利于避免上舟耳111在第一凹槽1211内或下舟耳112在第二凹槽1221内沿石墨舟页110的高度方向移动，进而提高第一石墨条121在沿石墨舟页110的高度方向上对上舟耳111的固定效果或第二石墨条122在沿石墨舟页110的高度方向上对下舟耳112的固定效果。此外，陶瓷杆140具有一定的强度，能够提高第一石墨条121对上舟耳111的支撑效果或第二石墨条122对下舟耳112的支撑效果。

在本实施例中，设置陶瓷杆140同时穿过第一石墨条121和多个上舟耳111，且设置陶瓷杆140同时穿过第二石墨条122和多个下舟耳112。需要说明的是，在本申请的其他实施例中，也可以仅设置陶瓷杆140同时穿过第一石墨条121和多个上舟耳111，或设置陶瓷杆140同时穿过第二石墨条122和多个下舟耳112。

作为示例性地，在本实施例中，通过在陶瓷杆140上的相对两端套设螺母以与第一石墨条121或第二石墨条122沿石墨舟页110厚度方向的相对两端抵持，实现陶瓷杆140与第一石墨条121或第二石墨条122的相对两端的连接。需要说明的是，本申请不对陶瓷杆140与第一石墨条121或第二石墨条122延伸方向的相对两端连接的方式进行限定。

为了进一步提高第一石墨条121在沿石墨舟页110的高度方向上对上舟耳111的固定效果，并提高第一石墨条121对石墨舟页110的导电性，在本申请中，沿第一石墨条121的延伸方向(即石墨舟页110的厚度方向)，第一石墨条121设置有贯穿第一石墨条121的第五安装孔(图中未示出)；沿石墨舟页110的厚度方向，上舟耳111设置有贯穿上舟耳111的第六安装孔1112；设置石墨杆150穿过第五安装孔和第六安装孔1112，并与第一石墨条121延伸方向的相对两端连接。

同理，为了进一步提高第二石墨条122在沿石墨舟页110的高度方向上对下舟耳112的固定效果，并提高第二石墨条122对石墨舟页110的导电性，沿第二石墨条122的延伸方向，第二石墨条122设置有贯穿第二石墨条122的第七安装孔(图中未示出)；沿石墨舟页110的厚度方向，下舟耳112设置有贯穿下舟耳112的第八安装孔1122；设置石墨杆150穿过第七安装孔和第八安装孔1122，并与第二石墨条122延伸方向的相对两端连接。

在本实施例中，设置石墨杆150同时穿过第一石墨条121和多个上舟耳111，且设置石墨杆150同时穿过第二石墨条122和多个下舟耳112。需要说明的是，在本申请的其他实施例中，也可以仅，设置石墨杆150同时穿过第一石墨条121和多个上舟耳111，或设置石墨杆150同时穿过第二石墨条122和多个下舟耳112。作为示例性地，在本实施例中，通过在石墨杆150上的相对两端套设螺母以与第一石墨条121或第二石墨条122沿石墨舟页110厚度方向的相对两端抵持，实现石墨杆150与第一石墨条121或第二石墨条122的相对两端的连接。需要说明的是，本申请不对石墨杆150与第一石墨条121或第二石墨条122延伸方向的相对两端连接的方式进行限定。

在本实施例中，第一凹槽1211的尺寸与上舟耳111的尺寸相等，第二凹槽1221的尺寸与下舟耳112的尺寸相等，可以使得上舟耳111完全卡接于第一凹槽1211内，下舟耳112完全卡接于第二凹槽1221内，有利于提高第一石墨条121对上舟耳111的连接固定效果或第二石墨条122对下舟耳112的连接固定效果。需要说明的是，在本申请的其他实施例中，也可以仅设置第一凹槽1211的尺寸与上舟耳111的尺寸相等，或仅设置第二凹槽1221的尺寸与下舟耳112的尺寸相等。

在本申请中，第一石墨条121的表面为平面结构；或，第二石墨条122的表面为平面结构；或，第一石墨条121的表面为平面结构且第二石墨条122的表面为平面结构。上述设置方式，相比传统的采用相邻的两个上舟耳或相邻的两个下舟耳之间均通过一个石墨块电连接的方式，能够有效避免能够有效避免由于相邻的两个石墨连接块的高度不平，而导致的清洗后的石墨舟上石墨连接块之间的高低不平处容易附着盐或碱结晶的现象，有利于提高对石墨舟的清洗效果，进而有利于石墨舟的正常使用。

在本实施例中，第一石墨条121的表面为平面结构，且第二石墨条122的表面为平面结构。

为了使得在镀膜过程中相邻的两个石墨舟页110被第一石墨条121遮挡处也能够通过气流，请参阅图2和图4，本申请中，第一石墨条121上相邻的两个第一凹槽1211之间还设置有第一气流孔1212，第一气流孔1212沿石墨舟页110的长度方向贯穿第一石墨条121。

同理，为了使得在镀膜过程中相邻的两个石墨舟页110被第二石墨条122遮挡处也能够通过气流，请参阅图2和图5，在本申请中，第二石墨条122上相邻的两个第二凹槽1221之间还设置有第二气流孔1222，第二气流孔1222沿石墨舟页110的长度方向贯穿第二石墨条122。

第一气流孔1212或第二气流孔1222的设置，可以使得相邻的两个石墨舟页110被第一石墨条121或者第二石墨条122遮挡处也能够通过气流，提高石墨舟100在镀膜设备中使用时相邻的两个石墨舟页110间的气流通过量，有利于保证镀膜效果；也可以避免由于相邻的两个石墨舟页110被第一石墨条121或者第二石墨条122遮挡而导致的被封挡处形成气流旋涡的现象，有利于避免局部气流不均匀，进而提高镀膜沉积的均匀性，有利于提高电池片的良率。

在本实施例中，第一石墨条121上设置第一气流孔1212且第二石墨条122上设置第二气流孔1222。需要说明的是，在本申请的其他实施例中，可以仅在第一石墨条121上设置第一气流孔1212，或仅在第二石墨条122上设置第二气流孔1222。

在本实施例中，相邻的两个第一凹槽1211之间仅设置1个第一气流孔1212，相邻的两个第二凹槽1221之间仅设置1个第二气流孔1222。需要说明的是，在其他可行的实施例中，相邻的两个第一凹槽1211之间也可以设置多个第一气流孔1212，或相邻的两个第二凹槽1221之间也可以设置多个第二气流孔1222。

进一步地，第一气流孔1212贯穿第一石墨条121的上表面或下表面；或，第二石墨条122贯穿第二石墨条122的上表面或下表面；或，第一气流孔1212贯穿第一石墨条121的上表面或下表面且第二石墨条122贯穿第二石墨条122的上表面或下表面。上述设置方式，可以在实现第一石墨条121共同电连接多个上舟耳111或第二石墨条122共同电连接多个下舟耳112的基础上，进一步提高相邻的两个石墨舟页110被第一石墨条121或者第二石墨条122遮挡处的气流通过量，有利于提高镀膜沉积的均匀性。

再进一步地，位于每个第一凹槽1211相对两侧的第一气流孔1212分别贯穿第一石墨条121的上表面和下表面；或，位于每个第二凹槽1221相对两侧的第二气流孔1222分别贯穿第二石墨条122的上表面和下表面；或，位于每个第一凹槽1211相对两侧的第一气流孔1212分别贯穿第一石墨条121的上表面和下表面，且位于每个第二凹槽1221相对两侧的第二气流孔1222分别贯穿第二石墨条122的上表面和下表面。上述设置方式，相对于第一气流孔1212均贯穿第一石墨条121的同一表面的方式或第二气流孔1222均贯穿第二石墨条122的同一表面的方式，可以提高整个第一石墨条121或第二石墨条122的结构强度，有利于避免由于第一气流孔1212均贯穿第一石墨条121的同一表面或第二气流孔1222均贯穿第二石墨条122的同一表面，而造成的第一石墨条121被第一气流孔1212贯穿的表面或第二石墨条122被第二气流孔1222贯穿的表面易产生裂痕等破损的现象。

在本实施例中，位于每个第一凹槽1211相对两侧的第一气流孔1212分别贯穿第一石墨条121的上表面和下表面，且位于每个第二凹槽1221相对两侧的第二气流孔1222分别贯穿第二石墨条122的上表面和下表面。

沿第一石墨条121的高度方向，定义第一石墨条121被第一气流孔1212贯穿的表面为第一表面；沿第二石墨条122的高度方向，定义第二石墨条122被第二气流孔1222贯穿的表面为第二表面。图6示出了图4中A处的放大图，请参阅图4至图6，在本申请中，第一气流孔1212的朝向第一表面的内壁为朝向第一表面弯设的弧面；或，第二气流孔1222的朝向第二表面的内壁为朝向第二表面弯设的弧面；或，第一气流孔1212的朝向第一表面的内壁为朝向第一表面弯设的弧面且第二气流孔1222的朝向第二表面的内壁为朝向第二表面弯设的弧面。上述设置方式，可以使得经第一气流孔1212或第二气流孔1222的气体被呈弧面的孔内壁导流，有利于使得气流能够更加顺畅地经第一气流孔1212或第二气流孔1222进入相邻的两个石墨舟页110之间，有利于提高镀膜沉积的均匀性。

在本实施例中，第一气流孔1212的朝向第一表面的内壁为朝向第一表面弯设的弧面且第二气流孔1222的朝向第二表面的内壁为朝向第二表面弯设的弧面。

由于石墨在微观下是疏松多孔的结构，石墨的表面并不光滑，导致石墨舟100在清洗过程中石墨条的表面也容易附着细小的盐或碱结颗粒。为了避免石墨舟100在清洗过程中石墨条的表面也容易附着细小的盐或碱结颗粒的现象，在本申请中，在第一石墨条121表面设置金镀层；或，第二石墨条122表面设置金镀层；或，在第一石墨条121表面设置金镀层且第二石墨条122表面设置金镀层。上述设置方式，提高了第一石墨条121或第二石墨条122表面的光滑性，有利于避免碱结晶及盐类颗粒堆积，进而提高石墨舟100的清洗效果。且在第一石墨条121或第二石墨条122表面设置金镀层，不仅有利于避免第一石墨条121或第二石墨条122被酸液或碱液腐蚀，也有利于提高第一石墨条121或第二石墨条122的导电性，有利于提高镀膜沉积效果。

本申请提供的石墨舟100至少具有以下优点：

沿石墨舟页110的厚度方向，多个石墨舟页110依次间隔设置。石墨条组件120分别位于石墨舟页110的长度方向的相对两侧。石墨条组件120包括沿石墨舟页110的高度方向间隔设置的第一石墨条121和第二石墨条122。第一石墨条121沿石墨舟页110的厚度方向延伸，且沿第一石墨条121的延伸方向，第一石墨条121的朝向石墨舟页110的表面依次间隔开设有多个第一凹槽1211，间隔设置的石墨舟页110的上舟耳111分别伸入第一石墨条121上对应的第一凹槽1211内并与第一凹槽1211卡接，实现了通过一个第一石墨条121共同电连接多个石墨舟页110的上舟耳111；第二石墨条122沿石墨舟页110的厚度方向延伸，且沿第二石墨条122的延伸方向，第二石墨条122的朝向石墨舟页110的表面依次间隔开设有多个第二凹槽1221，间隔设置的石墨舟页110的下舟耳112分别伸入第二石墨条122上对应的第二凹槽1221内并与第二凹槽1221卡接，实现了通过一个第二石墨条122共同电连接多个石墨舟页110的下舟耳112。相比传统的每相邻的两个上舟耳111之间或每相邻的两个下舟耳112之间均通过一个石墨块电连接的方式，能够有效避免由于相邻的两个石墨连接块之间存在间隙以及相邻的两个石墨连接块的高度不一致，而导致的清洗后的石墨舟100上石墨连接块之间的间隙处或高低不平处容易附着盐或碱结晶的现象，有利于提高对石墨舟100的清洗效果，进而有利于石墨舟100的正常使用。此外，第一石墨条121共同电连接多个上舟耳111以及第二石墨条122共同电连接多个下舟耳112，可以实现石墨条与多个上舟耳111之间或多个下舟耳112之间电连接的一体拆装，有利于提高石墨舟页110间电连接的拆装效率。

本申请还提供一种镀膜设备(未示出)，包括镀膜腔和位于镀膜腔内的石墨舟100。镀膜设备用于对石墨舟100内放置的电池片表面进行沉积镀膜。

本申请提供的镀膜设备至少具有石墨舟100所具有的优点。

以上所述仅为本申请的优选实施例而已，并不用于限制本申请，对于本领域的技术人员来说，本申请可以有各种更改和变化。凡在本申请的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本申请的保护范围之内。

Claims (10)

1.一种石墨舟，其特征在于，包括：

多个石墨舟页，沿所述石墨舟页的厚度方向，多个所述石墨舟页依次间隔设置；以及

石墨条组件，所述石墨条组件分别位于所述石墨舟页的长度方向的相对两侧；所述石墨条组件包括沿所述石墨舟页的高度方向间隔设置的第一石墨条和第二石墨条，且所述第一石墨条和所述第二石墨条均沿所述石墨舟页的厚度方向延伸；

沿所述第一石墨条的延伸方向，所述第一石墨条的朝向所述石墨舟页的表面依次间隔开设有多个第一凹槽；沿所述第二石墨条的延伸方向，所述第二石墨条的朝向所述石墨舟页的表面依次间隔开设有多个第二凹槽；所述石墨舟页的上舟耳伸入所述第一凹槽内并与所述第一凹槽卡接，所述石墨舟页的下舟耳伸入所述第二凹槽内并与所述第二凹槽卡接。

2.根据权利要求1所述的石墨舟，其特征在于，沿所述石墨舟页的长度方向，所述第一凹槽的深度至少为所述上舟耳的尺寸的50％；

和/或，沿所述石墨舟页的长度方向，所述第二凹槽的深度至少为所述下舟耳的尺寸的50％。

3.根据权利要求1所述的石墨舟，其特征在于，沿所述石墨舟页的厚度方向，所述上舟耳的尺寸与所述第一凹槽的尺寸相等；

和/或，沿所述石墨舟页的厚度方向，所述下舟耳的尺寸与所述第二凹槽的尺寸相等。

4.根据权利要求1所述的石墨舟，其特征在于，所述第一石墨条上相邻的两个所述第一凹槽之间还设置有第一气流孔，所述第一气流孔沿所述石墨舟页的长度方向贯穿所述第一石墨条；

和/或，所述第二石墨条上相邻的两个所述第二凹槽之间还设置有第二气流孔，所述第二气流孔沿所述石墨舟页的长度方向贯穿所述第二石墨条。

5.根据权利要求4所述的石墨舟，其特征在于，所述第一气流孔贯穿所述第一石墨条的上表面或下表面；

和/或，所述第二石墨条贯穿所述第二石墨条的上表面或下表面。

6.根据权利要求5所述的石墨舟，其特征在于，沿所述第一石墨条的高度方向，定义所述第一石墨条被所述第一气流孔贯穿的表面为第一表面；所述第一气流孔的朝向所述第一表面的内壁为朝向所述第一表面弯设的弧面；

和/或，沿所述第二石墨条的高度方向，定义所述第二石墨条被所述第二气流孔贯穿的表面为第二表面；所述第二气流孔的朝向所述第二表面的内壁为朝向所述第二表面弯设的弧面。

7.根据权利要求4所述的石墨舟，其特征在于，位于每个所述第一凹槽相对两侧的所述第一气流孔分别贯穿所述第一石墨条的上表面和下表面；

和/或，位于每个所述第二凹槽相对两侧的所述第二气流孔分别贯穿所述第二石墨条的上表面和下表面。

8.根据权利要求1所述的石墨舟，其特征在于，所述第一石墨条的表面设置有金镀层；

和/或，所述第二石墨条的表面设置有金镀层。

9.根据权利要求1所述的石墨舟，其特征在于，沿所述第一石墨条的延伸方向，所述第一石墨条设置有贯穿所述第一石墨条的第一安装孔；沿所述石墨舟页的厚度方向，所述上舟耳设置有贯穿所述上舟耳的第二安装孔；所述石墨舟还包括第一陶瓷杆，所述第一陶瓷杆穿过所述第一安装孔和所述第二安装孔，并与所述第一石墨条延伸方向的相对两端连接；

和/或，沿所述第二石墨条的延伸方向，所述第二石墨条设置有贯穿所述第二石墨条的第三安装孔；沿所述石墨舟页的厚度方向，所述下舟耳设置有贯穿所述下舟耳的第四安装孔；所述石墨舟还包括第二陶瓷杆，所述第二陶瓷杆穿过所述第三安装孔和所述第四安装孔，并与所述第二石墨条延伸方向的相对两端连接。

10.一种镀膜设备，其特征在于，包括镀膜腔和位于所述镀膜腔内的如权利要求1-9中任一项所述的石墨舟。

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