CN218613241U - 一种圆晶处理装置 - Google Patents

Abstract

一种圆晶处理装置，包括机座、设置在所述机座内的转动装置、设置在所述机座上并通过所述转动装置带动转动的修圆装置以及设置在所述机座上并用于压紧所述修圆装置的压紧装置，其中，所述机座上开设有用于容纳所述修圆装置的圆形凹槽，所述机座包括用于控制所述转动装置和所述压紧装置进行运行的电磁阀。本实用新型结构简单、制造成本低，此设计可以将改成圆晶的产品放在研磨机上面进行研磨或抛光，可以将改圆后的产品周边加工粗糙度提升到镜面等级。

Description

一种圆晶处理装置

技术领域

本实用新型涉及圆晶生产设备领域，具体为一种圆晶处理装置。

背景技术

圆晶是指硅半导体集成电路制作所用的硅芯片，由于其形状为圆形，故称为圆晶。单晶硅棒经过抛光、切片之后，就成为了圆晶，但是圆晶经过切割后周边表面有稜角毛刺崩边甚至有裂缝或其它缺陷，边缘表面比较粗糙，传统的圆晶周边加工设备在使用时，圆晶固定方式复杂，同时稳定性差，经过周边处理后，可能还会有稜角毛刺崩边甚至有裂缝或其它缺陷，其处理效果相对较差，降低了产品的成品率，提高了生产成本。而常见的化学机械处理可以使圆晶表面平坦度更加佳，但是其加工时间冗长，从而导致其处理效率低，不利于生产。

因此，有必要提供一种圆晶处理装置，解决上述技术问题。

实用新型内容

本实用新型所要解决的技术问题是，提供一种结构简单，生产成本低，效率高的圆晶产品处理装置。

本实用新型解决其技术问题所采用的技术方案，一种圆晶处理装置包括机座、设置在所述机座内的转动装置、设置在所述机座上并通过所述转动装置带动转动的修圆装置以及设置在所述机座上并用于压紧所述修圆装置的压紧装置，其中，所述机座上开设有用于容纳所述修圆装置的圆形凹槽，所述机座包括用于控制所述转动装置和所述压紧装置进行运行的电磁阀。

进一步地，所述转动装置包括第一变频电机、第一变速箱、第二齿轮组、第一齿轮组、第二变速箱、第二变频电机，所述第一变频电机与所述第一变速箱、所述第二变速箱与所述第二变频电机之间均通过皮带相连接，所述第一变速箱与所述第二齿轮组、所述第二变速箱与所述第一齿轮组之间均通过皮带相连接，且所述第二齿轮组与所述第一齿轮组啮合转动。

进一步地，所述第二齿轮组包括固定设置在所述机座底部、并能够在所述机座底部转动的第二转轴，所述第二转轴上固定设置有第二下齿轮、第二上齿轮，其中，所述第二下齿轮通过皮带与所述第一变速箱相连接，所述第二上齿轮与所述第一齿轮组相啮合。

进一步地，所述第一齿轮组包括固定设置在所述机座底部、并能够在所述机座底部转动的第一转轴，所述第一转轴上端穿过所述机座顶部并与所述修圆装置相连接，其中，所述第一转轴的外表面固定设置有第二轴承，所述第二轴承上固定设置有轴套，所述轴套上端穿过所述机座1顶部并与所述修圆装置相连接。

进一步地，所述修圆装置包括上研磨盘、下研磨盘、拨轮、胶木游轮、研磨游轮，其中，所述拨轮与第一齿轮组固定连接；所述拨轮外表面设置有竖向凹轨，所述上研磨盘的内圈设置有与所述竖向凹轨相对应的凸块；所述下研磨盘上固定设置有胶木游轮，所述胶木游轮上设置有若干个用于放置产品的研磨游轮，且所述下研磨盘与第一齿轮组固定连接。

进一步地，所述上研磨盘上固定设置有圆形压盘，所述圆形压盘通过连接杆固定设置在所述上研磨盘，且所述圆形压盘上表面开设有环形凹槽。

进一步地，所述连接杆共为四组，四组所述连接杆大小相等，规格相同，等距安装。

进一步地，所述压紧装置包括支撑柱、横向固定架、伸缩气缸、横块、转盘、圆形压盘、传感器以及连接杆，其中，所述支撑柱设置在所述机座上方并位于所述修圆装置的一端，所述横向固定架固定设置在所述支撑柱顶部，所述伸缩气缸固定设置在所述横向固定架远离所述支撑柱的一端，且所述伸缩气缸的输出轴依次穿过所述横向固定架、所述横块并连接所述转盘。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：

圆晶周边处理时通过修圆装置机体结构，利用机构内的研磨游轮，同时上、下研磨盘形成封闭式环境，增加了圆晶在处理时的稳定性，避免了稜角毛刺崩边甚至有裂缝情况的出现，保证了装置的成品率。

电磁阀控制转动装置和压紧装置运行，保障了修圆装置内部压强的问题，进而增加了圆晶安装在修圆结构内部的稳定性，避免圆晶在打磨时出现转动，提高了圆晶打磨的稳定性，减少了加工时间。

附图说明

图1为本实用新型的结构示意图；

图2为本实用新型的剖面图；

图3为本实用新型的压紧装置示意图；

图4为本实用新型的修圆装置示意图。

图中：1.机座、2.第一变速箱、3.第一齿轮组、4.第一转轴、5.第一变频电机、6.锁紧轮、7.伸缩气缸、8.第二齿轮组、9.圆形压盘、10.第二变速箱、11.第二变频电机、12.下水管道、13.电磁阀、16.上研磨盘、17.横块、18.转盘、19.传感器、20.连接杆、21.拨轮、23.胶木游轮、24.研磨游轮、25.下研磨盘。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

请参见图1至图4所示，本实用新型的一种圆晶处理装置包括机座1、设置在所述机座1内的转动装置、设置在所述机座1上并通过所述转动装置带动转动的修圆装置以及设置在所述机座1上并用于压紧所述修圆装置的压紧装置，其中，所述机座1上开设有用于容纳所述修圆装置的圆形凹槽，所述机座1包括用于控制所述转动装置和所述压紧装置进行运行的电磁阀13。

进一步地如图1-2所示，所述转动装置包括第一变频电机5、第一变速箱2、第二齿轮组8、第一齿轮组3、第二变速箱10、第二变频电机11，所述第一变频电机5与所述第一变速箱2、所述第二变速箱10与所述第二变频电机11之间均通过皮带相连接，所述第一变速箱2与所述第二齿轮组8、所述第二变速箱10与所述第一齿轮组3之间均通过皮带相连接，且所述第二齿轮组8与所述第一齿轮组3啮合转动。

进一步地，所述第一变速箱2上设置有锁紧轮6，所述锁紧轮6锁紧第二齿轮组8与第一变速箱2的传动皮带，从而避免皮带脱落情况的出现。

进一步地，所述第二齿轮组8包括固定设置在所述机座1底部、并能够在所述机座1底部转动的第二转轴，所述第二转轴上固定设置有第二下齿轮、第二上齿轮，其中，所述第二下齿轮通过皮带与所述第一变速箱2相连接，所述第二上齿轮与所述第一齿轮组3相啮合；具体地，所述第二转轴通过第一轴承固定在所述机座1底部，即第二转轴与第一轴承的内圈固定连接，第一轴承的外圈固定在机座1底部。

进一步地，所述第一齿轮组3包括固定设置在所述机座1底部、并能够在所述机座1底部转动的第一转轴4，所述第一转轴4上端穿过所述机座1顶部并与所述修圆装置相连接，其中，所述第一转轴4的外表面固定设置有第二轴承，所述第二轴承上固定设置有轴套，所述轴套顶部穿过所述机座1顶部并与所述修圆装置相连接。具体地，所述第一转轴4通过第三轴承固定在所述机座1底部，即第一转轴与第三轴承的内圈固定连接，第三轴承的外圈固定在机座1底部。

进一步地，位于所述机座1内、第一转轴4上设置有第一下齿轮和第一上齿轮，所述第一下齿轮固定设置在所述机座1底部与轴套之间的第一转轴上，且所述第一下齿轮通过皮带与所述第二变速箱10相连接；所述第一上齿轮固定设置在所述轴套外表面，且所述第一齿轮通过皮带与所述第二上齿轮啮合。从而通过第一变频电机5的转动能够带动轴套转动，通过第二变频电机11能够带动第一转轴转动。

进一步如图3-4所示，所述修圆装置包括上研磨盘16、下研磨盘25、拨轮21、胶木游轮23、研磨游轮24，所述拨轮21与第一齿轮组3固定连接，具体地，所述拨轮21与第一转轴4固定连接，其中，所述拨轮21外表面设置有竖向凹轨，所述上研磨盘16的内圈设置有与所述竖向凹轨相对应的凸块；从而通过压紧装置使上研磨盘16与拨轮22凹轨结合，从而使上研磨盘16与拨轮21水平固定，实现拨轮21带动上研磨盘16转动；所述下研磨盘25上固定设置有胶木游轮23，所述胶木游轮23上设置有若干个用于放置产品的研磨游轮24，其中，所述下研磨盘24与第二齿轮组固定连接，具体地，所述下研磨盘25与所述轴套固定连接。从而通过轴套的转动带动下研磨盘25进行转动。

进一步地，所述第一变频电机5和第二变速箱10为相互方向转动，进而使得放置在研磨游轮23中的产品研磨更加充分。

进一步地，所述上研磨盘16上固定设置有圆形压盘9，所述圆形压盘9通过连接杆20固定设置在所述上研磨盘16，其中所述圆形压盘9上表面开设有环形凹槽。具体地，所述连接杆20共为四组，大小相同，等距安装。

进一步，所述压紧装置包括支撑柱、横向固定架、伸缩气缸7、横块17、转盘18、圆形压盘9、传感器19以及连接杆20，其中，所述支撑柱设置在所述机座1上方并位于所述修圆装置的一端、所述横向固定架固定设置在所述支撑柱顶部，所述伸缩气缸7固定设置在所述横向固定架远离所述支撑柱的一端，且所述伸缩气缸7的输出轴依次穿过所述横向固定架、所述横块17并与所述转盘18固定连接，具体地，所述转盘18与所述圆形压盘9中心处相抵触，所述横块17的两端固定设置有压杆，所述压杆位于所述环形凹槽内。更具体地，所述传感器19固定设置在所述伸缩气缸7的输出轴上，并位于所述横块17的上方；从而通过伸缩气缸7的输出轴上下运动，当伸缩气缸7的输出轴下压，使得与连接杆20固定的上研磨盘16和下研磨盘24闭合，从而使其形成一个封闭式环境，同时通过转盘18与所述圆形压盘9中心处相抵触，保障了圆形压盘9与上研磨盘16的转动，并且，伸缩气缸7的输出轴上的重力传感器19可实时监控上研磨盘16反馈的压强，进而实现高效的压力监控，保障压力平衡，提高了装置的稳定性。

进一步如图所示，所述机架1设置有用于安装下水管道12的通孔，所述水管道12一端与修圆装置下端固定连接，另一端通过机架1上的通孔与外界连接，进而当产品进行周边外观处理时，其内部研磨所用到的水可以直接通过下水管道12排出，从而简化了装置维护步骤，提高了生产效率。

Claims (8)

1.一种圆晶处理装置，其特征在于：包括机座（1）、设置在所述机座（1）内的转动装置、设置在所述机座（1）上并通过所述转动装置带动转动的修圆装置以及设置在所述机座（1）上并用于压紧所述修圆装置的压紧装置，其中，所述机座（1）上开设有用于容纳所述修圆装置的圆形凹槽；所述机座（1）包括用于控制所述转动装置和所述压紧装置进行运行的电磁阀（13），所述转动装置包括第一变频电机（5）、第一变速箱（2）、第二齿轮组（8）、第一齿轮组（3）、第二变速箱（10）、第二变频电机（11），所述第一变频电机（5）与所述第一变速箱（2）、所述第二变速箱（10）与所述第二变频电机（11）之间均通过皮带相连接，所述第一变速箱（2）与所述第二齿轮组（8）、所述第二变速箱（10）与所述第一齿轮组（3）之间均通过皮带相连接，且所述第二齿轮组（8）与所述第一齿轮组（3）啮合转动，所述修圆装置包括上研磨盘（16）、下研磨盘（25）、拨轮（21）、胶木游轮（23）、研磨游轮（24），其中，所述拨轮（21）与第一齿轮组（3）固定连接；所述拨轮（21）外表面设置有竖向凹轨，所述上研磨盘（16）的内圈设置有与所述竖向凹轨相对应的凸块；所述下研磨盘（25）上固定设置有胶木游轮（23），所述胶木游轮（23）上设置有若干个用于放置产品的研磨游轮（24），且所述下研磨盘（25）与第一齿轮组（3）固定连接。

2.根据权利要求1所述的一种圆晶处理装置，其特征在于：所述第二齿轮组（8）包括固定设置在所述机座（1）底部、并能够在所述机座（1）底部转动的第二转轴，所述第二转轴上固定设置有第二下齿轮、第二上齿轮，其中，所述第二下齿轮通过皮带与所述第一变速箱（2）相连接，所述第二上齿轮与所述第一齿轮组（3）相啮合。

3.根据权利要求2所述的一种圆晶处理装置，其特征在于：所述第一齿轮组（3）包括固定设置在所述机座（1）底部、并能够在所述机座（1）底部转动的第一转轴（4），所述第一转轴（4）上端穿过所述机座（1）顶部并与所述修圆装置相连接，其中，所述第一转轴（4）的外表面固定设置有第二轴承，所述第二轴承上固定设置有轴套，所述轴套上端穿过所述机座（1）顶部并与所述修圆装置相连接。

4.根据权利要求3所述的一种圆晶处理装置，其特征在于：所述上研磨盘（16）上固定设置有圆形压盘（9），所述圆形压盘（9）通过连接杆（20）固定设置在所述上研磨盘（16），且所述圆形压盘（9）上表面开设有环形凹槽。

5.根据权利要求4所述的一种圆晶处理装置，其特征在于：所述连接杆（20）共为四组，四组所述连接杆（20）大小相等，规格相同，等距安装。

6.根据权利要求5所述的一种圆晶处理装置，其特征在于：所述压紧装置包括支撑柱、横向固定架、伸缩气缸（7）、横块（17）、转盘（18）、传感器（19）以及连接杆，其中，所述支撑柱设置在所述机座（1）上方并位于所述修圆装置的一端，所述横向固定架固定设置在所述支撑柱顶部，所述伸缩气缸（7）固定设置在所述横向固定架远离所述支撑柱的一端，且所述伸缩气缸（7）的输出轴依次穿过所述横向固定架、所述横块（17）并与所述转盘（18）固定连接。

7.根据权利要求6所述的一种圆晶处理装置，其特征在于：所述转盘（18）与所述圆形压盘（9）中心处相抵触，所述横块（17）的两端固定设置有压杆，所述压杆位于所述环形凹槽内。

8.根据权利要求6所述的一种圆晶处理装置，其特征在于：所述传感器（19）固定设置在所述伸缩气缸（7）的输出轴上，并位于所述横块（17）的上方。

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