CN218610777U - Pvd载板自动清洁装置及pvd设备 - Google Patents

Abstract

本实用新型属于光伏板生产设备技术领域，尤其涉及一种PVD载板自动清洁装置，包括：输送台；吸尘罩，吸尘罩固定在输送台的上方，吸尘罩的底部设有至少一排吸尘嘴，至少一排吸尘嘴的宽度不小于PVD载板的宽度，且吸尘嘴的底部与输送台的输送平面之间形成供PVD载板通过的间隙；以及负压源，负压源与吸尘罩通过气管连通。本实用新型的PVD载板自动清洁装置中设置了输送台，能够在连续生产的过程中进行工作，无需停机；能够对PVD板全面吸取，不会有遗漏，不会有粉尘残留而划伤硅片。

Description

PVD载板自动清洁装置及PVD设备

技术领域

本实用新型属于光伏板生产设备技术领域，尤其涉及一种PVD载板自动清洁装置及PVD设备。

背景技术

PVD(即Physical Vapor Deposition，物理气相沉积)载板的作用是运载硅片在工艺区运动，从而对硅片进行对应的加工。在连线生产的过程中，硅片与PVD载板之间会发生刮擦、抖动，产生硅粉、镀膜颗粒、碎片等。随着时间的增加，这些粉尘、颗粒会逐渐积累，硅片表面容易沾上颗粒粉尘，影响硅片外观，同时容易造成划伤。

为了避免这些问题，一般情况下，会选择在停产期间，通过人工的方式清洁载板，通过毛刷、毛巾等方式将积累的粉尘清扫下来。但是这种方式容易出现遗漏未清洁的地方，残留的粉尘还是会造成硅片划伤。同时，由于这种方式在清洁时必须将生产暂停，会影响正常的生产。

实用新型内容

本实用新型实施例提供一种PVD载板自动清洁装置，旨在解决现有技术中PVD载板上粉尘清理需要停机、容易残留造成硅片划伤的问题。

本实用新型实施例是这样实现的：

一种PVD载板自动清洁装置，包括：

输送台；

吸尘罩，所述吸尘罩固定在所述输送台的上方，所述吸尘罩的底部设有至少一排吸尘嘴，同一排中位于首尾两端的两个所述吸尘嘴之间的间距不小于PVD载板的宽度，且所述吸尘嘴的底部与所述输送台的输送平面之间形成供所述PVD载板通过的间隙；以及

负压源，所述负压源与所述吸尘罩通过气管连通。

更进一步地，所述吸尘嘴与位于所述输送平面上的PVD载板的间距为5mm～15mm。

更进一步地，所述吸尘罩包括吸尘板和固定在所述吸尘板两侧的支架板，所述支架板与所述输送台固定连接，所述吸尘嘴设置在所述吸尘板上且所述吸尘板内设有与所述吸尘嘴连通的气道，所述气管与所述气道连通。

更进一步地，所述吸尘嘴的孔径为10mm～15mm，相邻两个所述吸尘嘴的间距为20mm～35mm。

更进一步地，还包括滤尘盒，所述滤尘盒设有进风口和出风口，所述滤尘盒内在所述出风口的前侧设有过滤件；

所述气管的两端分别连接所述吸尘罩和所述进风口，所述出风口与所述负压源连接。

更进一步地，所述负压源包括壳体和位于所述壳体内的风机，所述壳体设有抽风口和排风口，所述风机驱动气流由所述抽风口到所述排风口，所述抽风口与所述出风口连接。

更进一步地，还包括用于检测有无PVD载板的传感器，沿所述输送台的输送方向，所述传感器设置在所述吸尘嘴的前方；所述传感器与所述负压源电性连接，当检测到由PVD载板时，所述传感器输出负压源启动信号。

更进一步地，所述气管与所述吸尘罩的连接处设有单向开关，所述单向开关的开启方向为由所述吸尘罩到所述滤尘盒的方向。

更进一步地，所述传感器与所述吸尘嘴的距离为2cm～3cm。

更进一步地，所述输送台设有若干旋转的输送滚轮，各所述输送滚轮的顶端组成所述输送平面。

本实用新型还提供一种PVD设备，包括如上所述的载板自动清洁装置，还包括上料机构和下料机构，所述输送台的进料端与所述上料机构连接，所述输送台的出料端与所述下料机构连接。

本实用新型所达到的有益效果是：

本实用新型的PVD载板自动清洁装置及PVD设备中设置了输送台，能够在连续生产的过程中进行工作，无需停机；通过吸尘罩和负压源的配合，能够产生负压，由吸尘嘴吸取其下方经过的PVD载板上的粉尘，由于至少一排吸尘嘴的宽度不小于PVD载板的宽度，当整个PVD载板经过吸尘嘴下方时，整个PVD载板上都被吸取过，不会有遗漏，吸尘嘴的底部与输送台的输送平面之间形成所述PVD载板通过的间隙，该间隙足够小，能够确保吸尘嘴对粉尘的吸力足够，吸取时确保吸取干净，不会有粉尘残留而划伤硅片。

附图说明

图1是本实用新型实施例提供的输送台与上料机构、下料机构连接的示意图；

图2是本实用新型实施例提供的吸尘罩、负压源连接的示意图；

图3是本实用新型实施例提供的吸尘罩、输送台、PVD载板的侧视图；

图4是本实用新型实施例提供的吸尘罩、输送台、PVD载板的俯视图；

图5是本实用新型实施例提供的气管、滤尘盒、负压源的连接示意图。

附图标记：

1-输送台；11-进料端；12-出料端；13-输送平面；14-输送滚轮；

2-吸尘罩；21-吸尘板；211-吸尘嘴；22-支架板；

3-负压源；31-壳体；311-抽风口；312-排风口；32-风机；

4-气管；

5-滤尘盒；51-进风口；52-出风口；53-过滤件；

6-传感器；

7-单向开关；71-挡板；72-转轴；

8-上料机构；9-下料机构；10-PVD载板。

具体实施方式

为了使本实用新型的目的、技术方案及优点更加清楚明白，以下结合附图及实施例，对本实用新型进行进一步详细说明。所述实施例的示例在附图中示出，其中自始至终相同或类似的标号表示相同或类似的元件或具有相同或类似功能的元件。下面通过参考附图描述的实施例是示例性的，仅用于解释本实用新型，而不能理解为对本实用新型的限制。此外，应当理解，此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本实用新型，并不用于限定本实用新型。

在本实用新型的描述中，需要理解的是，术语“长度”、“宽度”、“上”、“下”、“左”、“右”、“水平”、“顶”、“底”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。

此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个所述特征。在本实用新型的描述中，“多个”的含义是两个或两个以上，除非另有明确具体的限定。

在本实用新型的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接或可以相互通讯；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。

在本实用新型中，除非另有明确的规定和限定，第一特征在第二特征之“上”或之“下”可以包括第一和第二特征直接接触，也可以包括第一和第二特征不是直接接触而是通过它们之间的另外的特征接触。而且，第一特征在第二特征“之上”、“上方”和“上面”包括第一特征在第二特征正上方和斜上方，或仅仅表示第一特征水平高度高于第二特征。第一特征在第二特征“之下”、“下方”和“下面”包括第一特征在第二特征正下方和斜下方，或仅仅表示第一特征水平高度小于第二特征。

下文的公开提供了许多不同的实施例或例子用来实现本实用新型的不同结构。为了简化本实用新型的公开，下文中对特定例子的部件和设置进行描述。当然，它们仅仅为示例，并且目的不在于限制本实用新型。此外，本实用新型可以在不同例子中重复参考数字和/或参考字母，这种重复是为了简化和清楚的目的，其本身不指示所讨论各种实施例和/或设置之间的关系。此外，本实用新型提供了的各种特定的工艺和材料的例子，但是本领域普通技术人员可以意识到其它工艺的应用和/或其它材料的使用。

本实用新型的PVD载板自动清洁装置中设置了输送台，连接上料机构和下料机构，能够在连续生产的过程中进行工作，无需停机，采用负压抽吸的方式吸取粉尘，确保吸力足够，确保抽吸粉尘时无残留。

实施例一

参照图1至图5，一种PVD载板自动清洁装置，包括输送台1、吸尘罩2和负压源3。

其中，参照图1，在实际工作时，输送台1的进料端11连接上料机构8，输送台1的出料端12连接下料机构9。在输送台1中，硅片的输送方向是由进料端11到出料端12，因此，可以对接上料机构8和下料机构9，由上料机构8将PVD载板10输送到输送台1，在输送台1上输送的过程中，会由吸尘罩2将PVD载板10上的粉尘吸走，再输送至下料机构9，由下料机构9输送至下一工位进行处理，在整个抽吸过程中，无需将PVD载板10的输送停下。输送台1可以是输送带机构或输送辊机构等。

参照图3和图4，吸尘罩2固定在输送台1的上方，吸尘罩2的底部设有至少一排吸尘嘴211，同一排中位于首尾两端的两个吸尘嘴211之间的间距不小于PVD载板10的宽度，且吸尘嘴211的底部与输送台1的输送平面13之间形成供PVD载板10通过的间隙。由于同一排种位于两端的两个吸尘嘴211之间的间距不小于PVD载板10的宽度，因此，一排吸尘嘴211能够在宽度方向上将PVD载板10覆盖，从而在抽吸清洁的过程中，能够对PVD载板10进行全面清洁，不会有疏漏的地方。一排吸尘嘴211中，吸尘嘴211的数量不少于两个，例如三个、五个乃至更多个，具体的数量可以根据实际需求和吸力的大小而设置调整。同样地，吸尘嘴211的排数也可以根据根据实际需求而设置，可以是一排、两排、三排等等，排数越多，则抽吸的更加干净。在本实施例中，吸尘嘴211只有一排，这一排中吸尘嘴211的数量为23个。

参照图3，吸尘嘴211和输送平面13之间的间隙的设置，使得PVD载板10能够在抽吸清洁的过程中，还能够保持移动，不需要停止PVD板的输送。可以理解的，该间隙的高度仅需要比PVD载板10稍高一点即可，使得吸尘嘴211的底部尽可能地与PVD载板10贴近，从而确保抽吸清洁时的吸力足够，能够将下方的粉尘抽吸完。

参照图2和图5，负压源3与吸尘罩2通过气管4连通。负压源3能够形成负压以进行抽吸，从而通过气管4、吸尘罩2对PVD载板10进行粉尘的抽吸，吸走粉尘，避免粉尘对后续的硅片造成划伤。

基于以上的结构，本实用新型的PVD载板自动清洁装置能够在连续生产的过程中进行工作，无需停机；通过吸尘罩2和负压源3的配合，能够吸取从吸尘嘴211下方经过的PVD载板10上的粉尘，不会有遗漏，吸取时确保吸取干净，不会有粉尘残留而划伤硅片。

其中，吸尘嘴211与位于输送平面13上的PVD载板10的间距为5mm～15mm，例如8mm、10mm、13mm等，以确保吸尘嘴211能够将PVD载板10上附着的粉尘抽吸起来。在本实施例中，吸尘嘴211与PVD载板10的间距为10mm。

实施例二

参照图1至图5，本实施例为一种PVD载板自动清洁装置，在实施例一的基础上，还具有以下设计：

参照图2，吸尘罩2包括吸尘板21和固定在吸尘板21两侧的支架板22，支架板22与输送台1固定连接，吸尘嘴211设置在吸尘板21上且吸尘板21内设有与吸尘嘴211连通的气道，气管4与气道连通。

即吸尘板21和两侧的支架板22组成了类似“冂”字型的结构，从而使得吸尘罩2跨在输送台1的上方，前后两端之间形成通道以供PVD载板10通过。

支架板22与输送台1的机架具体可以采用螺栓进行固定连接，从而方便后续的调整和维护。

在吸尘板21内设置了气道，因此，在与各个吸尘嘴211连接时，仅通过该气道即可将气管4与各个吸尘嘴211连接，不再需要额外的软管连接，可以减少因工作过程中软管的破损造成的故障。该气道的形成可以是吸尘板21在浇注成型同步形成的，也可以是在吸尘板21上通过车铣加工形成的。

其中，吸尘嘴211的孔径为10mm～15mm，例如12mm或14mm。相邻两个吸尘嘴211的间距为20mm～35mm，例如25mm或30mm，以对下方经过的PVD载板10进行宽度上的全部覆盖，不遗漏。在本实施例中，吸尘嘴211的孔径为13mm，相邻两个吸尘嘴211的间距为22mm。

实施例三

参照图1至图5，本实施例为一种PVD载板自动清洁装置，在实施例一或二的基础上，还具有以下设计：

参照图5，本实施例的PVD载板自动清洁装置还包括滤尘盒5，滤尘盒5设有进风口51和出风口52，滤尘盒5内在出风口52的前侧设有过滤件53；气管4的两端分别连接吸尘罩2和进风口51，出风口52与负压源3连接。可以理解的，滤尘盒5除了进风口51和出风口52以外，没有其它的可供气流通过的开口。工作时，气流从进风口51到出风口52，在这过程中，会经过过滤件53，并被过滤掉气流中混杂的粉尘。过滤件53具体是滤网。其中，气管4为软管。粉尘被吸入吸尘罩2后，会经过气管4上的滤尘盒5，被过滤留在滤尘盒5内，而其余的空气则从负压源3的气口排出。

基于以上结构，负压源3启动工作后，形成由吸尘罩2到负压源3的气流，将PVD载板10上的粉尘吸起来，该气流携带着粉尘经过滤尘盒5，在经过过滤件53时被过滤件53过滤下来，避免这些气流和粉尘直接排出到外部空气中，造成生产车间的粉尘飞舞，减少对工作人员的健康的损害，也避免了这些粉尘重新飘回到PVD载板10上，造成硅片的外观划伤。

其中，滤尘盒5是可拆卸的，例如通过卡扣或螺钉连接，连接的位置上设置密封圈，确保安装后气密性良好。滤尘盒5内的过滤件53也是可以拆卸地，例如通过插槽的方式安装过滤件53或直接采用螺钉的方式安装过滤件53。当过滤件53长时间使用后，会积累很多粉尘，造成其通气能力下降，影响吸尘嘴211的吸尘效果，则可以拆开滤尘盒5，将过滤件53进行更换。

实施例四

参照图1至图5，本实施例为一种PVD载板自动清洁装置，在实施例一至三中任一个的基础上，还具有以下设计：

参照图5，负压源3包括壳体31和位于壳体31内的风机32，壳体31设有抽风口311和排风口312，风机32驱动气流由抽风口311到排风口312，抽风口311与出风口52连接。

风机32包括电机和叶轮，电机启动后带动叶轮转动，从而驱动壳体31内的气流由抽风口311流向排风口312，进而带动气流从吸尘嘴211到该抽风口311流动，从而能够吸取PVD板上的粉尘。可以理解的，壳体31上除了抽风口311和排风口312以外，没有其它的可供气流通过的开口，以确保抽风效果。

其中，在本实施例中，负压源3在输送PVD载板10的过程中全程开启，无需额外的控制设备，可减少设备的成本。当然在其它的实施例中，也可以设置负压源3间隔开启，例如仅在PVD载板10经过吸尘嘴211下方的时候开启，以减少负压源3的实际工作时间，降低能耗。在其它的一些实施例中，负压源3为气泵。

实施例五

参照图1至图5，本实施例为一种PVD载板自动清洁装置，在实施例一至四中任一个的基础上，还具有以下设计：

参照3和图4，本实施例的PVD载板自动清洁装置还包括用于检测有无PVD载板10的传感器6，沿输送台1的输送方向，传感器6设置在吸尘嘴211的前方；传感器6与负压源3电性连接，当检测到由PVD载板10时，传感器6输出负压源3启动信号。即PVD载板10在输送台1上输送时，先经过传感器6被感应到，传感器6输出负压源3启动信号，从而负压源3启动，PVD载板10再经过吸尘嘴211，从而在到达吸尘嘴211时，可以被吸附粉尘。其中，该传感器6可以是光学感应器或光电开关。其中，传感器6与吸尘嘴211的距离为2cm～3cm，以提前触发启动负压源3。

基于以上结构，本实施例的PVD载板自动清洁装置中，负压源3能够间隔启动，仅在传感器6感应到有PVD载板10经过时才启动负压源3，进行吸附粉尘。传感器6没有感应到有PVD载板10经过时，负压源3不启动，从而能够减少负压源3工作的时间，减少能耗。

可以理解地，负压源3的关闭可以设置延迟关闭，当PVD载板10的末端经过了传感器6后，延迟一小段时间(例如1s或2s)再关闭负压源3，以确保在PVD载板10的末端经过吸尘嘴211时依然还能够进行吸取粉尘。该延时关闭的时间长短可以根据输送台1的输送速度进行对应设置，只要满足PVD载板10的末端经过吸尘嘴211时依然还能够进行吸取粉尘且完全经过后停止即可。

参照图5，在本实施例中，气管4与吸尘罩2的连接处设有单向开关7，单向开关7的开启方向为由吸尘罩2到滤尘盒5的方向。即气管4与吸尘罩2之间的连通有该单向开关7控制，当进行抽气时，该单向开关7是打开的，不对粉尘的吸取造成阻碍，当负压源3停止抽气后，该单向开关7关闭，避免气管4内的粉尘返流从吸尘嘴211中吹出又落到PVD载板10上，造成粉尘残留，对后续的硅片输送造成划损。

具体地，参照图5，该单向开关7包括挡板71、转轴72和弹性复位件，挡板71通过转轴72安装在吸尘板21与气管4的连接处，挡板71与该连接处的形状匹配。弹性复位件的弹力将挡板71维持在关闭位置上，此时挡板71将吸尘板21与气管4之间的隔开，二者不形成连通，当负压源3启动时，由于弹性件的弹力较小，在挡板71两侧气压差的作用下，挡板71克服弹性复位件的弹力转动至打开位置，使吸尘板21与气管4连通，能够进行正常的吸尘工作。当负压源3关闭后，在弹性复位件的弹力作用下，挡板71恢复到原来的关闭的位置，重新将吸尘板21与气管4之间的隔开。其中，弹性复位件可以是扭簧。

实施例六

参照图1至图5，本实施例为一种PVD载板自动清洁装置，在实施例一至四中任一个的基础上，还具有以下设计：

参照图3，输送台1设有若干旋转的输送滚轮14，各输送滚轮14的顶端组成输送平面13。

通过若干输送滚轮14组合起来对PVD载板10一起进行输送，确保输送时更加平稳。其中，输送套还包括机架、传动机构和驱动器，各输送滚轮14通过转轴转动地安装在机架上，各个转轴在同一水平面上且轴线方向平行。驱动器通过传动机构与各转轴连接，以驱动转轴转动，其中，传动机构可以是齿轮组或带轮组等。驱动器为电机，其转动后带动齿轮组或带轮组转动，从而驱动各个输送滚轮14同步、同向转动，从而将其上方的PVD载板10往前输送。

实施例七

参照图1至图5，本实施例为一种PVD设备，包括如实施例一至实施六中任一的载板自动清洁装置，如图1所示，还包括上料机构8和下料机构9，所述输送台1的进料端11与所述上料机构连接，所述输送台1的出料端12与所述下料机构连接。

通过上料机构对载板自动清洁装置的输送台进行PVD载板10的上料供给，这些PVD载板10在经过载板自动清洁装置时，其上的粉尘会被吸走而获得清洁，然后从下料机构9处排出，流出至下一工位进行对应的处理。

其中，上料机构8和/下料机构9可以是输送带机构或输送辊机构等。

基于以上结构，本实施例的PVD设备在连续生产的过程中，能够对PVD板进行自动清洁，避免粉尘划伤硅片，有利于提升产品的良品率。

在本说明书的描述中，参考术语“一些实施例”、“示意性实施例”、“示例”、“具体示例”、或“一些示例”等的描述意指结合所述实施例或示例描述的具体特征、结构、材料或者特点包含于本实用新型的至少一个实施例或示例中。在本说明书中，对上述术语的示意性表述不一定指的是相同的实施例或示例。而且，描述的具体特征、结构、材料或者特点可以在任何的一个或多个实施例或示例中以合适的方式结合。

此外，以上所述仅为本实用新型的较佳实施例而已，并不用以限制本实用新型，凡在本实用新型的精神和原则之内所作的任何修改、等同替换和改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。

Claims (11)

1.一种PVD载板自动清洁装置，其特征在于，包括：

输送台；

吸尘罩，所述吸尘罩固定在所述输送台的上方，所述吸尘罩的底部设有至少一排吸尘嘴，同一排中位于首尾两端的两个所述吸尘嘴之间的间距不小于PVD载板的宽度，且所述吸尘嘴的底部与所述输送台的输送平面之间形成供所述PVD载板通过的间隙；以及

负压源，所述负压源与所述吸尘罩通过气管连通。

2.根据权利要求1所述的PVD载板自动清洁装置，其特征在于，所述吸尘嘴与位于所述输送平面上的PVD载板的间距为5mm～15mm。

3.根据权利要求1所述的PVD载板自动清洁装置，其特征在于，所述吸尘罩包括吸尘板和固定在所述吸尘板两侧的支架板，所述支架板与所述输送台固定连接，所述吸尘嘴设置在所述吸尘板上且所述吸尘板内设有与所述吸尘嘴连通的气道，所述气管与所述气道连通。

4.根据权利要求1所述的PVD载板自动清洁装置，其特征在于，所述吸尘嘴的孔径为10mm～15mm，相邻两个所述吸尘嘴的间距为20mm～35mm。

5.根据权利要求1所述的PVD载板自动清洁装置，其特征在于，还包括滤尘盒，所述滤尘盒设有进风口和出风口，所述滤尘盒内在所述出风口的前侧设有过滤件；

所述气管的两端分别连接所述吸尘罩和所述进风口，所述出风口与所述负压源连接。

6.根据权利要求5所述的PVD载板自动清洁装置，其特征在于，所述负压源包括壳体和位于所述壳体内的风机，所述壳体设有抽风口和排风口，所述风机驱动气流由所述抽风口到所述排风口，所述抽风口与所述出风口连接。

7.根据权利要求5所述的PVD载板自动清洁装置，其特征在于，还包括用于检测有无PVD载板的传感器，沿所述输送台的输送方向，所述传感器设置在所述吸尘嘴的前方；所述传感器与所述负压源电性连接，当检测到由PVD载板时，所述传感器输出负压源启动信号。

8.根据权利要求7所述的PVD载板自动清洁装置，其特征在于，所述气管与所述吸尘罩的连接处设有单向开关，所述单向开关的开启方向为由所述吸尘罩到所述滤尘盒的方向。

9.根据权利要求7所述的PVD载板自动清洁装置，其特征在于，所述传感器与所述吸尘嘴的距离为2cm～3cm。

10.根据权利要求1所述的PVD载板自动清洁装置，其特征在于，所述输送台设有若干旋转的输送滚轮，各所述输送滚轮的顶端组成所述输送平面。

11.一种PVD设备，其特征在于，包括如权利要求1-10中任一项所述的PVD载板自动清洁装置，还包括上料机构和下料机构，所述输送台的进料端与所述上料机构连接，所述输送台的出料端与所述下料机构连接。

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