CN218556662U - 一种立式滚磨设备用硅筒工装 - Google Patents

Abstract

本实用新型涉及半导体滚磨技术领域，尤其涉及一种立式滚磨设备用硅筒工装。一种立式滚磨设备用硅筒工装，包括底座、连接盘、支撑单元以及至少组固定单元，底座通过连接盘能够可拆卸地设置在立式滚磨设备上；支撑单元能够支撑硅筒的内壁顶端；固定单元以底座的中心为圆心周向等间距的设置在底座上；每组固定单元均包括卡盘爪和抵推块，卡盘爪可沿底座径向移动的连接在底座上，抵推块竖直设置在卡盘爪的外侧壁上，卡盘爪能够带动抵推块靠近或远离底座的中心，使抵推块抵推在硅筒的孔壁以从硅筒的内孔向外施加递推力。该硅筒工装能够安装于立式滚磨设备上并能够夹持硅筒，使立式滚磨设备对硅筒进行加工，实现了立式滚磨设备的一机多用。

Description

一种立式滚磨设备用硅筒工装

技术领域

本实用新型涉及半导体滚磨技术领域，尤其涉及一种立式滚磨设备用硅筒工装。

背景技术

立式滚磨设备常规加工过程中，是对硅棒进行滚外周处理。随着生产需求，期望利用立式滚磨设备对硅筒的外周进行处理，但在实际应用的过程中，立式滚磨设备无法直接安装硅筒并对其进行滚筒外周处理。

因此，亟需一种硅筒工装用于夹紧硅筒，使立式滚磨设备能够对滚筒进行处理。

实用新型内容

(一)要解决的技术问题

鉴于现有技术的上述缺点、不足，本实用新型提供一种立式滚磨设备用硅筒工装，能够安装于立式滚磨设备上并能够固定硅筒，使立式滚磨设备对硅筒进行加工，实现了立式滚磨设备的一机多用。

(二)技术方案

为了达到上述目的，本实用新型采用的主要技术方案包括：

本实用新型提供了一种立式滚磨设备用硅筒工装，包括底座、连接盘、支撑单元以及至少组固定单元，所述底座通过连接盘能够可拆卸地设置在立式滚磨设备上；所述底座为圆柱形结构，所述支撑单元同轴设置于所述底座上以能够支撑硅筒的内壁顶端；所述固定单元以所述底座的中心为圆心周向等间距的设置在所述底座上；每组所述固定单元均包括卡盘爪和抵推块，所述卡盘爪可沿所述底座径向移动的连接在所述底座上，所述抵推块竖直设置在所述卡盘爪的外侧壁上，所述卡盘爪能够带动所述抵推块靠近或远离所述底座的中心，使所述抵推块抵推在所述硅筒的孔壁以从所述硅筒的内孔向外施加递推力。

优选地，所述支撑单元与所述底座高度可调地可拆卸连接。

优选地，所述支撑单元包括连接杆和支撑盘；所述连接杆的底端与所述底座螺纹连接，所述连接杆的顶部与所述支撑盘可拆卸连接。

优选地，所述固定单元还包括底部支承块；所述底部支承块设置在所述卡盘爪上且位于所述抵推块的下方，以支撑所述硅筒的底端。

优选地，所述底部支承块的材质为橡胶。

优选地，还包括多个调整杆；所述调整杆以所述底座的中心为圆心等间距排布在所述连接盘上，所述调整杆高度可调，且所述调整杆的顶面的最低高度低于所述底部支承块的顶面，所述调整杆的顶面的最高高度高于所述底部支承块的顶面，所述调整杆的顶端能够支承所述硅筒的底部。

优选地，还包括驱动机构，所述驱动机构设置在所述底座的内部，所述驱动机构能够驱动所有固定单元的所述卡盘爪同步靠近或远离所述底座的中心。

优选地，包括3组所述固定单元。

(三)有益效果

本实用新型的有益效果是：

本实用新型提供的一种立式滚磨设备用硅筒工装，能够通过连接盘安装于立式滚磨设备上，并通过支撑单元抵接硅筒的内壁顶端以对硅筒进行支撑，通过固定单元向外扩张抵推在硅筒的孔壁上以固定硅筒，进而便于立式滚磨设备对硅筒进行加工，实现了立式滚磨设备的一机多用。

附图说明

图1为本实用新型立式滚磨设备用硅筒工装的正视图；

图2为本实用新型立式滚磨设备用硅筒工装的正视图，其中示出硅筒的截面图；

图3为本实用新型立式滚磨设备用硅筒工装的俯视图；

图4为底座的结构示意图。

【附图标记说明】

1：底座；

2：连接盘；

3：支撑单元；31：连接杆；32：支撑盘；

4：固定单元；41：卡盘爪；42：抵推块；43：底部支承块；

5：调整杆；

A：硅筒。

具体实施方式

为了更好的理解上述技术方案，下面将参照附图更详细地描述本实用新型的示例性实施例。虽然附图中显示了本实用新型的示例性实施例，然而应当理解，可以以各种形式实现本实用新型而不应被这里阐述的实施例所限制。相反，提供这些实施例是为了能够更清楚、透彻地理解本实用新型，并且能够将本实用新型的范围完整的传达给本领域的技术人员。

如图1所示，本实施例提供了一种立式滚磨设备用硅筒工装，包括如图4所示的底座1、连接盘2、支撑单元3以及至少2组固定单元4。如图3所示，在本实施例中包括3组固定单元4，当然可根据实际需求设置4组或5组。

其中，底座1通过连接盘2能够可拆卸地设置在立式滚磨设备上，底座1为圆柱形结构，支撑单元3同轴设置于底座1上以支撑硅筒A的内壁顶端，多组固定单元4以底座1的中心为圆心周向等间距的设置在底座1上，每组固定单元均包括卡盘爪41和抵推块42，卡盘爪41可沿底座1径向移动的连接在底座1上，抵推块42竖直设置在卡盘爪41的外侧壁上，卡盘爪41能够带动抵推块42靠近或远离底座1的中心使抵推块42抵推在硅筒A的孔壁从硅筒A的内孔向外施加递推力以固定硅筒A。在本实施例中，立式滚磨设备用硅筒工装还包括驱动机构(未示出)，驱动机构设置在卡盘体的内部，驱动机构与卡盘爪41连接且能够驱动所有固定单元4的卡盘爪41同步靠近或远离底座1的中心，进而使与卡盘爪41上的抵推块42向外扩张抵推在硅筒A的孔壁上以固定硅筒A。

本实施例提供的一种立式滚磨设备用硅筒工装，能够通过连接盘2安装于立式滚磨设备上，并通过支撑单元3支撑硅筒A的内壁顶端以对硅筒A进行支撑，通过固定单元向外扩张抵推在硅筒A的孔壁上以固定硅筒A，进而便于立式滚磨设备对硅筒A进行加工，实现了立式滚磨设备的一机多用。

在本实施例中，支撑单元3与底座1高度可调地可拆卸连接。具体的，支撑单元3包括连接杆31和支撑盘32，底座1为环形结构，底座1的中心设有圆形通孔，连接杆31的底端与底座1的中心通孔螺纹连接，连接杆31的顶部与支撑盘32可拆卸连接，应当说明的是，可通过连接杆31与底座1的螺纹连接可调整连接杆31伸出底座1的高度，进而使连接杆31顶端的支撑盘32适应不同尺寸的硅筒A。

为了便于硅筒A的安装，固定单元4还包括底部支承块43，底部支承块43设置在卡盘爪41上且位于抵推块42的下方，以支撑硅筒A的底端。为了避免硅筒A安装时的损坏，底部支承块43的材质为橡胶。

如图2所示，为了保证硅筒A与支撑单元3中连接杆31的同轴度，立式滚磨设备用硅筒工装还包括多个调整杆5，调整杆5以底座1的中心为圆心等间距排布在连接盘2上，调整杆5高度可调，且调整杆5的顶面的最低高度低于底部支承块43的顶面，调整杆5的顶面的最高高度高于底部支承块43的顶面，调整杆5的顶端能够与硅筒A的底端抵接，其中，调整杆5为伸缩杆，通过调节调整杆5的高度，来调整硅筒A底端的平面度进而保证硅筒A与连接杆31的同轴度。

在本实用新型的描述中，需要理解的是，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本实用新型的描述中，“多个”的含义是两个或两个以上，除非另有明确具体的限定。

在本实用新型中，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”、“固定”等术语应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连；可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。

在本实用新型中，除非另有明确的规定和限定，第一特征在第二特征“上”或“下”，可以是第一和第二特征直接接触，或第一和第二特征通过中间媒介间接接触。而且，第一特征在第二特征“之上”、“上方”和“上面”，可以是第一特征在第二特征正上方或斜上方，或仅仅表示第一特征水平高度高于第二特征。第一特征在第二特征“之下”、“下方”和“下面”，可以是第一特征在第二特征正下方或斜下方，或仅仅表示第一特征水平高度低于第二特征。

在本说明书的描述中，术语“一个实施例”、“一些实施例”、“实施例”、“示例”、“具体示例”或“一些示例”等的描述，是指结合该实施例或示例描述的具体特征、结构、材料或者特点包含于本实用新型的至少一个实施例或示例中。在本说明书中，对上述术语的示意性表述不必须针对的是相同的实施例或示例。而且，描述的具体特征、结构、材料或者特点可以在任一个或多个实施例或示例中以合适的方式结合。此外，在不相互矛盾的情况下，本领域的技术人员可以将本说明书中描述的不同实施例或示例以及不同实施例或示例的特征进行结合和组合。

尽管上面已经示出和描述了本实用新型的实施例，可以理解的是，上述实施例是示例性的，不能理解为对本实用新型的限制，本领域的普通技术人员在本实用新型的范围内可以对上述实施例进行改动、修改、替换和变型。

Claims (8)

1.一种立式滚磨设备用硅筒工装，其特征在于，包括底座(1)、连接盘(2)、支撑单元(3)以及至少2组固定单元(4)，所述底座(1)通过连接盘(2)能够可拆卸地设置在立式滚磨设备上；

所述底座(1)为圆柱形结构，所述支撑单元(3)同轴设置于所述底座(1)上以支撑硅筒(A)的内壁顶端；

所述固定单元(4)以所述底座(1)的中心为圆心周向等间距的设置在所述底座(1)上；

每组所述固定单元(4)均包括卡盘爪(41)和抵推块(42)，所述卡盘爪(41)可沿所述底座(1)径向移动的连接在所述底座(1)上，所述抵推块(42)竖直设置在所述卡盘爪(41)的外侧壁上，所述卡盘爪(41)能够带动所述抵推块(42)靠近或远离所述底座(1)的中心，使所述抵推块(42)抵推在所述硅筒(A)的孔壁以从所述硅筒(A)的内孔向外施加递推力。

2.如权利要求1所述的立式滚磨设备用硅筒工装，其特征在于：

所述支撑单元(3)与所述底座(1)高度可调地可拆卸连接。

3.如权利要求2所述的立式滚磨设备用硅筒工装，其特征在于：

所述支撑单元(3)包括连接杆(31)和支撑盘(32)；

所述连接杆(31)的底端与所述底座(1)螺纹连接，所述连接杆(31)的顶部与所述支撑盘(32)可拆卸连接。

4.如权利要求1所述的立式滚磨设备用硅筒工装，其特征在于：

所述固定单元(4)还包括底部支承块(43)；

所述底部支承块(43)设置在所述卡盘爪(41)上且位于所述抵推块(42)的下方，以支撑所述硅筒(A)的底端。

5.如权利要求4所述的立式滚磨设备用硅筒工装，其特征在于：

所述底部支承块(43)的材质为橡胶。

6.如权利要求4所述的立式滚磨设备用硅筒工装，其特征在于：

还包括多个调整杆(5)；

所述调整杆(5)以所述底座(1)的中心为圆心等间距排布在所述连接盘(2)上，所述调整杆(5)高度可调，且所述调整杆(5)的顶面的最低高度低于所述底部支承块(43)的顶面，所述调整杆(5)的顶面的最高高度高于所述底部支承块(43)的顶面，所述调整杆(5)的顶端能够支承所述硅筒(A)的底部。

7.如权利要求1所述的立式滚磨设备用硅筒工装，其特征在于：

还包括驱动机构，所述驱动机构设置在所述底座(1)的内部，所述驱动机构能够驱动所有固定单元(4)的所述卡盘爪(41)同步靠近或远离所述底座(1)的中心。

8.如权利要求1所述的立式滚磨设备用硅筒工装，其特征在于：

包括3组所述固定单元(4)。

Images