CN218471918U - 一种匀胶显影机的硅片转移装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种匀胶显影机的硅片转移装置，包括机械手，所述机械手的执行端安装有硅片支托装置，其特征在于：所述硅片支托装置包括固定于所述执行端上的支托环，该支托环成开口状，所述支托环上设置有安装有至少三个支撑块，每个支撑块上设置有至少两个用于支撑硅片的支撑面，各支撑面的高度不同形成了台阶状，每个支撑块上设置有与每个支撑面一一对应的定位圆弧面，所述定位圆弧面与硅片边缘定位配合，同层的定位圆弧面处于同一个定位圆上，不同层的定位圆同心设置且直径不同；该装置能够对不同尺寸硅片进行支托，避免了由于不同尺寸硅片需要频繁更换支托环的繁琐，且能对硅片进行准确定位，提高精确度和效率。

Description

一种匀胶显影机的硅片转移装置

技术领域

本实用新型涉及硅片运输技术领域，尤其涉及一种匀胶显影机的硅片转移装置。

背景技术

硅片是指制作硅半导体电路所用的硅晶片，其原始材料是硅；高纯度的多晶硅溶解后掺入硅晶体晶种，然后慢慢拉出，形成圆柱形的单晶硅；硅晶棒在经过研磨、抛光、切片后，形成硅晶圆片，也就是硅片，硅片的特点是不能有表面损伤，且硅片具有机械脆性，因此硅片转移时需要专业的运输装置，如专利号CN202211086730.9公开了一种晶圆运输系统及晶圆运输方法，包括机械手臂，所述机械手臂用于将晶圆在所述晶圆承载平台和所述工艺腔室之间运输；所述机械手臂包括支撑臂、主转动臂、上转动臂、下转动臂、上承托板、下承托板、升降机构、第一驱动件和两个第二驱动件；所述升降机构设置于所述传送腔室内并与所述支撑臂相连接，用于驱使所述支撑臂升降；所述第一驱动件设置于支撑臂上并与所述主转动臂相连接，以驱动所述主转动臂转动；两个所述第二驱动件均设置于所述主转动臂上且分别与所述上转动臂和所述下转动臂相连接，两个所述第二驱动件分别用于驱动所述上转动臂和所述下转动臂转动；所述上承托板与所述上转动臂相连接，所述下承托板与所述下转动臂相连接，所述上承托板和所述下承托板均用于承托晶圆；该结构通过上承托板和下承托板能够承托晶圆，当生产不同尺寸晶圆时，又需要更换上承托板和下承托板，这样影响移动效率，且上承托板和下承托板上下平行安装，这样上承托板和下承托板需要特定的晶圆放置平台，适应性不够广，因此提供一种匀胶显影机的硅片转移装置来解决上述问题。

实用新型内容

本实用新型所要解决的技术问题是：提供一种匀胶显影机的硅片转移装置，该装置能够对不同尺寸硅片进行支托，避免了由于不同尺寸硅片需要频繁更换支托环的繁琐，且能对硅片进行准确定位，提高精确度和效率。

为解决上述技术问题，本实用新型的技术方案是：一种匀胶显影机的硅片转移装置，包括机械手，所述机械手的执行端安装有硅片支托装置，所述硅片支托装置包括固定于所述执行端上的支托环，该支托环成开口状，所述支托环上设置有安装有至少三个支撑块，每个支撑块上设置有至少两个用于支撑硅片的支撑面，各支撑面的高度不同形成了台阶状，每个支撑块上设置有与每个支撑面一一对应的定位圆弧面，所述定位圆弧面与硅片边缘定位配合，同层的定位圆弧面处于同一个定位圆上，不同层的定位圆同心设置且直径不同。

作为一种优选的方案，所述支撑块上设置有若干个导向斜面，各导向斜面与定位圆弧面一一对应用于将硅片导向至支撑面上。

作为一种优选的方案，所述支撑块包括第一块体、第二块体和第三块体，所述第一块体和第二块体之间、第二块体和第三块体之间通过连接片连接，所述第三块体上还设置有支撑片，所述支撑面设置于所述连接片和支撑片的上表面，所述第一块体、第二块体和第三块体上位于连接片的两侧设置有定位凸起部，所述导向斜面和定位圆弧面均设置于定位凸起部上。

作为一种优选的方案，所述第一块体和第二块体之间连接片、第二块体和第三块体之间的连接片结构相同，所述第一块体和第二块体之间连接片包括水平连接部和竖直连接部，所述水平连接部和竖直连接部形成了L形，所述水平连接部连接于第一块体上，所述竖直连接部连接于第二块体上。

作为一种优选的方案，所述支撑片包括位于外部的外侧连接部和位于内侧的内侧支撑部，所述外侧连接部连接于第三块体上，所述外侧连接部的宽度大于内侧支撑部的宽度。

作为一种优选的方案，所述支撑块的数量为三个且圆周均布。

作为一种优选的方案，所述支托环通过螺栓可拆卸固定于所述的执行端上。

作为一种优选的方案，所述支托环的开口的角度为90-110°。

采用了上述技术方案后，本实用新型的效果是：由于匀胶显影机的硅片转移装置，包括机械手，所述机械手的执行端安装有硅片支托装置，所述硅片支托装置包括固定于所述执行端上的支托环，该支托环成开口状，所述支托环上设置有安装有至少三个支撑块，每个支撑块上设置有至少两个用于支撑硅片的支撑面，各支撑面的高度不同形成了台阶状，每个支撑块上设置有与每个支撑面一一对应的定位圆弧面，所述定位圆弧面与硅片边缘定位配合，同层的定位圆弧面处于同一个定位圆上，不同层的定位圆同心设置且直径不同；首先机械手驱动支托环移动至硅片下方，接着硅片下降，使硅片通过定位圆弧面落在相应大小尺寸的支撑面上，定位圆弧面限定硅片位置；该装置能够对不同尺寸硅片进行支托，避免了由于不同尺寸硅片需要频繁更换支托环的繁琐，且能对硅片进行准确定位，提高精确度和效率。

又由于所述支撑块上设置有若干个导向斜面，各导向斜面与定位圆弧面一一对应用于将硅片导向至支撑面上；这样就能进行配合通过导线鞋面使硅片滑落，准确落在支撑面上，能够自动定位准确，提高定位效率。

又由于所述支撑块包括第一块体、第二块体和第三块体，所述第一块体和第二块体之间、第二块体和第三块体之间通过连接片连接，所述第三块体上还设置有支撑片，所述支撑面设置于所述连接片和支撑片的上表面，所述第一块体、第二块体和第三块体上位于连接片的两侧设置有定位凸起部，所述导向斜面和定位圆弧面均设置于定位凸起部上；这样能使定位圆弧面与硅片的接触面积更小，且依然能进行准确定位，减轻加工难度，保证良好的支托移动效率。

又由于所述第一块体和第二块体之间连接片、第二块体和第三块体之间的连接片结构相同，所述第一块体和第二块体之间连接片包括水平连接部和竖直连接部，所述水平连接部和竖直连接部形成了L形，所述水平连接部连接于第一块体上，所述竖直连接部连接于第二块体上，L形的连接板能保证连接为阶梯状，方便连接。

又由于所述支撑片包括位于外部的外侧连接部和位于内侧的内侧支撑部，所述外侧连接部连接于第三块体上，所述外侧连接部的宽度大于内侧支撑部的宽度；一方面能使支撑片安装牢固，另一方面减少与硅片底部的接触面积，减少磨损。

又由于所述支撑块的数量为三个且圆周均布；三个支撑块能稳定牢固的支撑起硅片，不需要过多支撑块，节省成本。

又由于所述支托环通过螺栓可拆卸固定于所述的执行端上；方便支托环的拆装，进一步方便更换。

又由于所述支托环的开口的角度为90-110°；这样能使开口尽可能大的同时还能使支拖硅片稳定，保证支撑性。

附图说明

下面结合附图和实施例对本实用新型进一步说明。

图1是本实用新型实施例的立体图；

图2是本实用新型实施例的支撑块的结构示意图；

附图中：1、机械手；2、支托环；3、支撑块；4、第一块体；5、第二块体；6、第三块体；7、连接片；71、水平连接部；72、竖直连接部；8、支撑片；9、支撑面；10、定位凸起部；11、导向斜面；12、定位圆弧面；13、螺栓；14、沉孔。

具体实施方式

下面通过具体实施例对本实用新型作进一步的详细描述。

如图1和图2所示，一种匀胶显影机的硅片转移装置，包括机械手1，所述机械手1的执行端安装有硅片支托装置，所述硅片支托装置包括固定于所述执行端上的支托环2，该支托环2成开口状，所述支托环2上设置有安装有至少三个支撑块3，每个支撑块3上设置有至少两个用于支撑硅片的支撑面9，各支撑面9的高度不同形成了台阶状，每个支撑块3上设置有与每个支撑面9一一对应的定位圆弧面12，所述定位圆弧面12与硅片边缘定位配合，同层的定位圆弧面12处于同一个定位圆上，不同层的定位圆同心设置且直径不同。

在本实施例中，所述支撑块3上设置有若干个导向斜面11，各导向斜面11与定位圆弧面12一一对应用于将硅片导向至支撑面9上；这样就能进行配合通过导线鞋面使硅片滑落，准确落在支撑面9上，能够自动定位准确，提高定位效率。

如图2所示，所述支撑块3包括第一块体4、第二块体5和第三块体6，所述第一块体4和第二块体5之间、第二块体5和第三块体6之间通过连接片7连接，所述第三块体6上还设置有支撑片8，所述支撑面9设置于所述连接片7和支撑片8的上表面，所述第一块体4、第二块体5和第三块体6上位于连接片7的两侧设置有定位凸起部10，所述导向斜面11和定位圆弧面12均设置于定位凸起部10上；当定位圆弧面12与硅片侧面接触时，就会对硅片进行定位，但过大的接触面积就会导致定位圆弧面12需要加工足够细致以确保与硅片贴合且定位准确，因此将定位圆弧面12设置于定位凸起部10上，与硅片的接触面积减少，方便加工，再通过设置于支撑块3两边的导向斜面11进行导向，完成硅片的支托。

在本实施例中，所述第一块体4和第二块体5之间连接片7、第二块体5和第三块体6之间的连接片7结构相同，所述第一块体4和第二块体5之间连接片7包括水平连接部71和竖直连接部72，所述水平连接部71和竖直连接部72形成了L形，所述水平连接部71连接于第一块体4上，所述竖直连接部72连接于第二块体5上；L形的连接板能保证连接为阶梯状，方便连接，且连接片7的水平连接部71和竖直连接部72均能进行调节尺寸，这样就能按照硅片尺寸制造不同的支托范围，提高灵活性。

进一步的，所述支撑片8包括位于外部的外侧连接部和位于内侧的内侧支撑部，所述外侧连接部连接于第三块体6上，所述外侧连接部的宽度大于内侧支撑部的宽度；一方面能使支撑片8安装牢固，另一方面减少与硅片底部的接触面积，减少磨损。

在本实施例中，所述支撑块3的数量为三个且圆周均布，这样就形成了三层阶梯结构，这样能支托三种不同尺寸的硅片，大大提高了支托效率，省去了更换支托环2的繁琐。

进一步的，所述支托环2通过螺栓13可拆卸固定于所述的执行端上，方便支托环2的拆装，进一步方便更换；所述第一支撑块3上开设有两个沉孔14，这样通过螺栓13将第一支撑块3安装在支撑环上，固定牢固。

再进一步的，所述支托环2的开口的角度为90-110°，这样能使开口尽可能大的同时还能使支拖硅片稳定，保证支撑性。

本实施例的工作原理：首先通过机械手1带动支托环2移动至硅片下方，接着硅片下降，硅片边缘与相应尺寸的第一块体4或第二块体5或第三块体6的导向斜面11接触，从而滑落至相应的支撑面9上且被定位圆弧面12限定位置，从而完成支托。

以上所述实施例仅是对本实用新型的优选实施方式的描述，不作为对本实用新型范围的限定，在不脱离本实用新型设计精神的基础上，对本实用新型技术方案作出的各种变形和改造，均应落入本实用新型的权利要求书确定的保护范围内。

Claims (8)

1.一种匀胶显影机的硅片转移装置，包括机械手，所述机械手的执行端安装有硅片支托装置，其特征在于：所述硅片支托装置包括固定于所述执行端上的支托环，该支托环成开口状，所述支托环上设置有安装有至少三个支撑块，每个支撑块上设置有至少两个用于支撑硅片的支撑面，各支撑面的高度不同形成了台阶状，每个支撑块上设置有与每个支撑面一一对应的定位圆弧面，所述定位圆弧面与硅片边缘定位配合，同层的定位圆弧面处于同一个定位圆上，不同层的定位圆同心设置且直径不同。

2.如权利要求1所述的一种匀胶显影机的硅片转移装置，其特征在于：所述支撑块上设置有若干个导向斜面，各导向斜面与定位圆弧面一一对应用于将硅片导向至支撑面上。

3.如权利要求2所述的一种匀胶显影机的硅片转移装置，其特征在于：所述支撑块包括第一块体、第二块体和第三块体，所述第一块体和第二块体之间、第二块体和第三块体之间通过连接片连接，所述第三块体上还设置有支撑片，所述支撑面设置于所述连接片和支撑片的上表面，所述第一块体、第二块体和第三块体上位于连接片的两侧设置有定位凸起部，所述导向斜面和定位圆弧面均设置于定位凸起部上。

4.如权利要求3所述的一种匀胶显影机的硅片转移装置，其特征在于：所述第一块体和第二块体之间连接片、第二块体和第三块体之间的连接片结构相同，所述第一块体和第二块体之间连接片包括水平连接部和竖直连接部，所述水平连接部和竖直连接部形成了L形，所述水平连接部连接于第一块体上，所述竖直连接部连接于第二块体上。

5.如权利要求4所述的一种匀胶显影机的硅片转移装置，其特征在于：所述支撑片包括位于外部的外侧连接部和位于内侧的内侧支撑部，所述外侧连接部连接于第三块体上，所述外侧连接部的宽度大于内侧支撑部的宽度。

6.如权利要求5所述的一种匀胶显影机的硅片转移装置，其特征在于：所述支撑块的数量为三个且圆周均布。

7.如权利要求6所述的一种匀胶显影机的硅片转移装置，其特征在于：所述支托环通过螺栓可拆卸固定于所述的执行端上。

8.如权利要求7所述的一种匀胶显影机的硅片转移装置，其特征在于：所述支托环的开口的角度为90-110°。

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