CN218436020U - 单晶炉 - Google Patents

Abstract

本公开涉及一种单晶炉，本单晶炉包括：炉体、炉盖和泄压装置；所述炉盖连接于所述炉体，所述炉盖上开设有泄压口；所述泄压装置包括泄压管道和密封盖，所述泄压管道的第一端与所述泄压口连接并连通，所述密封盖连接于所述泄压管道的第二端，所述密封盖能够打开或封闭所述泄压管道的第二端。本单晶炉通过将泄压装置的泄压管道与单晶炉的炉盖的泄压口进行连接，能够二次泄压排气的作用，起到保险作用，即使单晶炉随着使用时间的增加，炉底附着沉积物将炉底的排气口堵塞后，单晶炉内压力升高时，也可以通过泄压装置进行泄压排气，能够避免单晶炉出现爆炸隐患，保证操作人员的人身安全。

Description

单晶炉

技术领域

本公开涉及单晶硅制造技术领域，具体地，涉及一种单晶炉。

背景技术

单晶硅主要采用直拉法生长的方式进行生产制造，在生产制造过程中会用到单晶炉。

目前的单晶炉在炉底设置有排气管道，排气管道上配置有防爆阀，当单晶炉内气压升高时，可通过防爆阀排气泄压。但是，随着单晶炉的使用时间增加，炉底会附着沉积物，沉积物易堵塞炉底用于与排气管道连接的排气口，从而导致单晶炉的压力无法释放，导致单晶炉仍然存在爆炸的安全隐患。

实用新型内容

本公开的目的是提供一种单晶炉，以解决现有单晶炉堵塞炉底排气口引发安全事故的问题。

为了实现上述目的，本公开提供一种单晶炉，包括：炉体、炉盖和泄压装置；

所述炉盖连接于所述炉体，所述炉盖上开设有泄压口；

所述泄压装置包括泄压管道和密封盖，所述泄压管道的第一端与所述泄压口连接并连通，所述密封盖连接于所述泄压管道的第二端，所述密封盖能够打开或封闭所述泄压管道的第二端。

可选地，所述泄压管道包括管体和形成在所述管体上的支撑部，所述管体的第一端与所述泄压口连接，所述支撑部位于所述管体的第二端，所述密封盖与所述支撑部铰接，所述密封盖能够转动贴合在所述支撑部上并将所述管体的第二端封闭。

可选地，所述管体呈水平设置，所述管体的第二端的端面设置为倾斜面，所述倾斜面构造为由下至上逐渐朝向所述管体的方向倾斜，所述支撑部形成在所述倾斜面的端面，所述支撑部构造为沿径向方向向外延伸，以使所述支撑部呈由下至上逐渐朝向所述管体的方向倾斜。

可选地，所述密封盖的底部与所述支撑部的底部铰接。

可选地，所述泄压管道还包括第一密封圈，所述第一密封圈连接于所述支撑部，所述第一密封圈夹持在所述支撑部和所述密封盖之间。

可选地，所述管体包括直管和弯头，所述直管的第一端与所述弯头的第一端连接，所述弯头的第二端与所述泄压口连接，所述支撑部形成在所述直管的第二端上。

可选地，所述泄压装置还包括连接法兰和第二密封圈，所述连接法兰连接于所述泄压管道的第一端，所述第二密封圈连接于所述连接法兰远离所述泄压管道的一端，所述连接法兰与所述泄压口连接，所述第二密封圈夹持于所述连接法兰和所述泄压口之间。

可选地，所述泄压装置还包括导流罩，所述导流罩连接于所述泄压管道的第二端，所述密封盖位于所述导流罩内，所述导流罩上开设有导流口。

可选地，所述导流口开设在所述导流罩的底端，所述导流罩的侧壁开设有操作口；

所述泄压装置还包括封闭门板，所述封闭门板滑动连接于所述导流罩，所述封闭门板能够打开或关闭所述操作口。

可选地，所述导流罩的外侧壁设置有两个相对设置的滑轨，两个所述滑轨分别靠近所述操作口的两侧并沿所述操作口的侧边的长度方向延伸，两个所述滑轨相对设置的一面均开设有滑槽，所述封闭门板的两侧能够分别滑入两个所述滑槽中。

上述技术方案，通过将泄压装置的泄压管道与单晶炉的炉盖的泄压口进行连接，能够二次泄压排气的作用，起到保险作用，即使单晶炉随着使用时间的增加，炉底附着沉积物将炉底的排气口堵塞后，单晶炉内压力升高时，也可以通过泄压装置进行泄压排气，能够避免单晶炉出现爆炸隐患，保证操作人员的人身安全。通过设置的密封盖能够对泄压管道进行封闭，避免外界杂质进入，同时保证单晶炉内的温度，当需要泄压时，由于单晶炉内的压力升高，可将密封盖冲开，实现泄压，非常方便。

本公开的其他特征和优点将在随后的具体实施方式部分予以详细说明。

附图说明

附图是用来提供对本公开的进一步理解，并且构成说明书的一部分，与下面的具体实施方式一起用于解释本公开，但并不构成对本公开的限制。在附图中：

图1是本公开的一种实施方式的泄压装置与炉盖的连接关系的结构示意图；

图2是本公开的一种实施方式的泄压装置的一种状态的结构示意图；

图3是本公开的一种实施方式的泄压装置的另一种状态的结构示意图；

图4是本公开的一种实施方式的泄压管道的结构示意图。

附图标记说明

1、泄压管道；2、管体；201、直管；202、弯头；3、支撑部；4、连接法兰；5、连接板；6、密封盖；7、铰链；8、导流罩；9、导流口；10、第一密封圈；11、第二密封圈；12、操作口；13、封闭门板；14、限位提手部；15、滑轨；16、滑槽；17、炉盖；18、泄压口。

具体实施方式

以下结合附图对本公开的具体实施方式进行详细说明。应当理解的是，此处所描述的具体实施方式仅用于说明和解释本公开，并不用于限制本公开。

在本公开中，在未作相反说明的情况下，使用的方位词如“上、下、左、右”通常是附图的图面的方向定义的，“内、外”是指相关零部件的内、外。此外，术语“第一”、“第二”等仅用于区分描述，而不能理解为指示或暗示相对重要性。

在本公开的描述中，还需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“设置”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本公开中的具体含义。

随着光伏行业的快速发展，国内晶硅行业竞争日益加剧，目前晶硅制造业主要朝着大热场、大装料、大尺寸方向发展，单晶硅主要采用直拉法生长的方式进行生产制造，在生产制造过程中会用到单晶炉。但是，单晶炉在运行在空气和水进入后，容易产生水煤气，导致炉内压力上升，从而易发生安全事故。

目前的单晶炉在炉底设置有排气管道，排气管道上配置有防爆阀，当单晶炉内气压升高时，可通过防爆阀排气泄压。

但是，随着单晶炉的使用时间增加，炉底会附着沉积物，沉积物易堵塞炉底用于与排气管道连接的排气口，从而导致单晶炉的压力无法释放，导致单晶炉仍然存在爆炸的安全隐患。

为此，如图1-图4所示，本公开提供一种单晶炉，包括：炉体、炉盖17和泄压装置。

炉盖17连接于炉体，炉盖17上开设有泄压口18。

泄压装置包括泄压管道1和密封盖6，泄压管道1的第一端与泄压口18连接并连通，密封盖6连接于泄压管道1的第二端，密封盖6能够打开或封闭泄压管道1的第二端。

其中，泄压管道1位于单晶炉的炉盖17上，通过将泄压管道1与单晶炉的炉盖17进行连接，能够从单晶炉的上方进行泄压，从而能够避免单晶炉内的物质将泄压管道1堵塞，能够保证排气泄压效果。

其中，密封盖6与泄压管道1的第二端连接，当单晶炉内的压力过高时，可以将密封盖6冲开，能够实现自动泄压，保证单晶炉的安全运行。

本泄压装置可与现有的单晶炉上设置的排气管道外加防爆阀的结构相结合使用，其中排气管道依然连接于单晶炉的底端，通过底端排气和排熔硅，而泄压装置连接于单晶炉的炉盖17，从而泄压装置能够起到二次保险的作用，若单晶炉的底端的排气口被堵塞后，可以通过泄压装置进行泄压，避免发生安全事故。

因此，相对现有的单晶炉而言，即时单晶炉内的沉积物将炉体的炉底的排气口堵塞而无法泄压时，可通过泄压管道1进行泄压排气，避免出现爆炸隐患。

上述技术方案中，通过将泄压装置的泄压管道1与单晶炉的炉盖17的泄压口18进行连接，能够二次泄压排气的作用，起到保险作用，即使单晶炉随着使用时间的增加，炉底附着沉积物将炉底的排气口堵塞后，单晶炉内压力升高时，也可以通过泄压装置进行泄压排气，能够避免单晶炉出现爆炸隐患，保证操作人员的人身安全。通过设置的密封盖6能够对泄压管道1进行封闭，避免外界杂质进入，同时保证单晶炉内的温度，当需要泄压时，由于单晶炉内的压力升高，可将密封盖6冲开，实现泄压，非常方便。

可选地，本公开的一种实施方式中，泄压管道1的第一端与单晶炉的炉盖17能够可拆卸地连接，从而能够对泄压装置进行更换，当发生一次熔硅喷出的事情后，需要将泄压装置进行更换，以避免熔硅堵塞泄压管道1。

可选地，本公开的一种实施方式中，泄压管道1包括管体2和形成在管体2上的支撑部3，管体2的第一端与泄压口18连接，支撑部3位于管体2的第二端，密封盖6与支撑部3铰接，密封盖6能够转动贴合在支撑部3上并将管体2的第二端封闭。

其中，本实施方式中，管体2用于导流气体，使得单晶炉内的气体能够经管体2排放至外界。而支撑部3与管体2一体成型，支撑部3用于支撑密封盖6，从而密封盖6转动至支撑部3时，可以与支撑部3贴合，从而可以增加密封面积，保证对管体2的密封性。

其中，本实施方式中，密封盖6能够相对支撑部3进行转动，可以理解的是，当密封盖6朝远离支撑部3的方向转动时，此时管体2的第二端被打开，可以进行泄压，而当需要将密封盖6与支撑部3接触，对管体2的第二端封闭时，可人为进行转动操作，使得密封盖6朝向支撑部3转动。

可选地，本公开的一种实施方式中，管体2呈水平设置，管体2的第二端的端面设置为倾斜面，倾斜面构造为由下至上逐渐朝向管体2的方向倾斜，支撑部3形成在倾斜面的端面，支撑部3构造为沿径向方向向外延伸，以使支撑部3呈由下至上逐渐朝向管体2的方向倾斜。

其中，本实施方式中，管体2呈水平设置，能够将气流水平导出，通过将管体2水平设置，可以避让位于炉盖17上方的设备。在另一些示例中，若炉盖17的上方没有设备，也可将管体2朝斜向上的方向进行倾斜。

其中，管体2的第二端设置为倾斜面，使得形成在管体2的第二端的端面的支撑部3也可为倾斜结构，从而当密封盖6转动到盖合在支撑部3上后，密封盖6位于支撑部3的斜上方，密封盖6能够在重力作用下紧密贴合在支撑部3上，能够保证密封性。

其中，本实施方式中，支撑部3由管体2的第二端的端面沿径向方向向外延伸形成，从而支撑部3为管体2的第二端的端面的翻边。在另一些实施例中，也可以直接在管体2的第二端的外侧壁形成有沿径向方向向外凸出的环状结构，只要能够与密封盖6接触实现密封效果即可。

可选地，本公开的一种实施方式中，密封盖6的底部与支撑部3的底部铰接。

其中，本实施方式中，密封盖6的底部与支撑部3的底部进行铰接，使得密封盖6与支撑部3的转动轴线位于密封盖6的底部与支撑部3的底部位置，从而密封盖6不会在重力作用下自发的向支撑部3转动，使得管体2的第二端不会出现随意被封闭的情况，从而避免出现泄压不完全的情况。在本实施方式中，密封盖6需要人为操作进行转动，才能盖向支撑部3。

在一些示例中，密封盖6的底部和支撑部3的底部能够通过铰链7进行铰接。需要说明的是，若出现熔硅经管体2的第二端排出后，该泄压装置即需要进行更换，从而不会出现铰链7被覆盖无法泄压的问题。

当然，在另一些实施方式中，密封盖6的顶部也可以与支撑部3的顶部进行铰接，同样能够实现泄压排气的效果，只是排气可能出现不完全的情况。

可选地，本公开的一种实施方式中，泄压管道1还包括第一密封圈10，第一密封圈10连接于支撑部3，第一密封圈10夹持在支撑部3和密封盖6之间。

其中，本实施方式中，第一密封圈10沿支撑部3的边沿进行设置，能够实现环形密封。可以理解的是，当密封盖6朝支撑部3转动，盖在支撑部3上后，密封盖6能够与第一密封圈10接触。当没有泄压需要时，单晶炉内的气压低，此时在外界大气压的作用下，密封盖6被压向支撑部3，使得密封盖6与第一密封圈10紧密接触，保证密封性。在一些示例中，第一密封圈10为橡胶材质。

可选地，本公开的一种实施方式中，管体2包括直管201和弯头202，直管201的第一端与弯头202的第一端连接，弯头202的第二端与泄压口18连接，支撑部3形成在直管201的第二端上。

其中，本实施方式中，弯头202能够利于与泄压口18进行连接，能够适应单晶炉的炉盖17的形状，从而使得直管201能够避让开炉盖17上方的设备，使得直管201能够呈水平设置。在一些示例中，弯头202的弯曲角度为90度。在另一些示例中，弯头202的弯曲角度可为30度、60度或者45度。

可选地，本公开的一种实施方式中，泄压装置还包括连接法兰4和第二密封圈11，连接法兰4连接于泄压管道1的第一端，第二密封圈11连接于连接法兰4远离泄压管道1的一端，连接法兰4与泄压口18连接，第二密封圈11夹持于连接法兰4和泄压口18之间。

其中，本实施方式中，连接法兰4位于上述实施方式中的弯头202的第二端的端面，通过连接法兰4能够方便与炉盖17进行可拆卸地连接。可以理解的是，炉盖17上的泄压口18设置有对应的匹配法兰，连接法兰4与匹配法兰进行连接，可实现弯头202的第二端与泄压口18的连接装配。

其中，本实施方式中，第二密封圈11可粘接在连接法兰4上，当连接法兰4与匹配法兰进行连接时，第二密封圈11可夹持在连接法兰4和匹配法兰之间，从而能够保证密封性。第二密封圈11产生环向密封效果，第二密封圈11可为橡胶材质。

可选地，本公开的一种实施方式中，泄压装置还包括导流罩8，导流罩8连接于泄压管道1的第二端，密封盖6位于导流罩8内，导流罩8上开设有导流口9。

其中，导流罩8能够对泄压管道1的第二端排出的气体或者熔硅进行导流，使得高温气体和熔硅能够朝向指定位置进行排放，能够避免出现误伤操作人员的情况。

本泄压装置通过设置的泄压管道1和导流罩8，能够将高温气体或者熔硅朝向指定位置进行排放，避免四散喷出，误伤操作人员，从而有效的避免了安全事故的发生。

可选地，本公开的一种实施方式中，上述实施方式中的直管201的第二端穿入导流罩8内，直管201的第二端的外侧壁上形成有连接板5，连接板5与导流罩8的外侧壁连接。

其中，本实施方式中，连接板5一体成型在直管201的第二端的外侧壁上，连接板5可与导流罩8的外侧壁通过螺栓连接，能够提高直管201与导流罩8的连接强度。

可选地，本公开的一种实施方式中，导流口9开设在导流罩8的底端，导流罩8的侧壁开设有操作口12。

泄压装置还包括封闭门板13，封闭门板13滑动连接于导流罩8，封闭门板13能够打开或关闭操作口12。

其中，本实施方式中，通过将导流口9设置在导流罩8的底端，使得高温气体和熔硅能够朝向下方排出，避免误伤操作人员。

其中，本实施方式中，导流罩8的侧壁开设的操作口12能够方便操作人员对密封盖6进行转动操作，使得将密封盖6朝向支撑部3进行转动。其中，封闭门板13能够相对导流罩8进行滑动，能够打开或关闭操作口12。可以理解的是，当封闭门板13在导流罩8上进行滑动，将操作口12露出时，操作人员可进行相应操作，而当封闭门板13在导流罩8上滑动，件操作口12封闭时，此时操作人员无法对密封盖6进行操作。通过设置的封闭门板13能够将操作口12在进行相应操作时进行封闭，以避免高温气体从操作口12排出。

可选地，本公开的一种实施方式中，导流罩8包括顶板和三个相互连接的侧板，三个侧板的顶端分别与顶板的三个侧边连接，顶板和三个侧板合围成长方体结构。其中未设置有侧板的一面即为操作口12，而未设置底板的位置即为导流口9。

可选地，本公开的一种实施方式中，导流罩8的外侧壁设置有两个相对设置的滑轨15，两个滑轨15分别靠近操作口12的两侧并沿操作口12的侧边的长度方向延伸，两个滑轨15相对设置的一面均开设有滑槽16，封闭门板13的两侧能够分别滑入两个滑槽16中。

其中，本实施方式中，两个滑轨15平行相对设置，每个滑轨15上的滑槽16沿对应的滑轨15的长度方向设置，从而封闭门板13的两侧分别在两个滑轨15的滑槽16中滑动时，可以将操作口12打开或关闭。

在一些示例中，两个滑轨15竖直设置，每个滑轨15上的滑槽16同样竖直设置，从而封闭门板13能够进行上下方向的滑动。可以理解的是，封闭门板13在操作口12的正前方滑动。可选地，封闭门板13的顶端设置有限位提手部14，通过限位提手部14能够方便带动封闭门板13进行上下滑动。另外，在封闭门板13将操作口12封闭时，限位提手部14能够与上述实施方式的顶板进行抵顶，能够避免封闭门板13从导流罩8上掉落。

其中，在一些示例中，两个滑轨15分别连接在上述实施方式中的两个相对设置的侧板的侧壁上。

以上结合附图详细描述了本公开的优选实施方式，但是，本公开并不限于上述实施方式中的具体细节，在本公开的技术构思范围内，可以对本公开的技术方案进行多种简单变型，这些简单变型均属于本公开的保护范围。

另外需要说明的是，在上述具体实施方式中所描述的各个具体技术特征，在不矛盾的情况下，可以通过任何合适的方式进行组合，为了避免不必要的重复，本公开对各种可能的组合方式不再另行说明。

此外，本公开的各种不同的实施方式之间也可以进行任意组合，只要其不违背本公开的思想，其同样应当视为本公开所公开的内容。

Claims (10)

1.一种单晶炉，其特征在于，包括：炉体、炉盖和泄压装置；

所述炉盖连接于所述炉体，所述炉盖上开设有泄压口；

所述泄压装置包括泄压管道和密封盖，所述泄压管道的第一端与所述泄压口连接并连通，所述密封盖连接于所述泄压管道的第二端，所述密封盖能够打开或封闭所述泄压管道的第二端。

2.根据权利要求1所述的单晶炉，其特征在于，所述泄压管道包括管体和形成在所述管体上的支撑部，所述管体的第一端与所述泄压口连接，所述支撑部位于所述管体的第二端，所述密封盖与所述支撑部铰接，所述密封盖能够转动贴合在所述支撑部上并将所述管体的第二端封闭。

3.根据权利要求2所述的单晶炉，其特征在于，所述管体呈水平设置，所述管体的第二端的端面设置为倾斜面，所述倾斜面构造为由下至上逐渐朝向所述管体的方向倾斜，所述支撑部形成在所述倾斜面的端面，所述支撑部构造为沿径向方向向外延伸，以使所述支撑部呈由下至上逐渐朝向所述管体的方向倾斜。

4.根据权利要求2所述的单晶炉，其特征在于，所述密封盖的底部与所述支撑部的底部铰接。

5.根据权利要求2所述的单晶炉，其特征在于，所述泄压管道还包括第一密封圈，所述第一密封圈连接于所述支撑部，所述第一密封圈夹持在所述支撑部和所述密封盖之间。

6.根据权利要求2所述的单晶炉，其特征在于，所述管体包括直管和弯头，所述直管的第一端与所述弯头的第一端连接，所述弯头的第二端与所述泄压口连接，所述支撑部形成在所述直管的第二端上。

7.根据权利要求1所述的单晶炉，其特征在于，所述泄压装置还包括连接法兰和第二密封圈，所述连接法兰连接于所述泄压管道的第一端，所述第二密封圈连接于所述连接法兰远离所述泄压管道的一端，所述连接法兰与所述泄压口连接，所述第二密封圈夹持于所述连接法兰和所述泄压口之间。

8.根据权利要求1-7中任一项所述的单晶炉，其特征在于，所述泄压装置还包括导流罩，所述导流罩连接于所述泄压管道的第二端，所述密封盖位于所述导流罩内，所述导流罩上开设有导流口。

9.根据权利要求8所述的单晶炉，其特征在于，所述导流口开设在所述导流罩的底端，所述导流罩的侧壁开设有操作口；

所述泄压装置还包括封闭门板，所述封闭门板滑动连接于所述导流罩，所述封闭门板能够打开或关闭所述操作口。

10.根据权利要求9所述的单晶炉，其特征在于，所述导流罩的外侧壁设置有两个相对设置的滑轨，两个所述滑轨分别靠近所述操作口的两侧并沿所述操作口的侧边的长度方向延伸，两个所述滑轨相对设置的一面均开设有滑槽，所述封闭门板的两侧能够分别滑入两个所述滑槽中。

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