CN218414475U - 离子源辅助安装工具 - Google Patents

Abstract

本实用新型涉及一种离子源辅助安装工具，离子源辅助安装工具包括灯丝定位件和安装部，灯丝定位件与安装部连接，并凸出于安装部；安装部具有第一定位结构，第一定位结构用于与离子源的第二定位结构配合，用于限定离子源的支撑部的位置；灯丝定位件被配置为，当调整离子源的灯丝夹具与离子源的阴极电机夹具的相对位置时，灯丝定位件用于与灯丝夹具开设的凹槽相对，以定位灯丝夹具的位置。上述离子源辅助安装工具在辅助离子源安装灯丝时，保证了灯丝与阴极电极的开口的侧壁之间的距离符合使用需求，避免灯丝与阴极电极的开口的侧壁间距过小导致灯丝报废，或灯丝与阴极电极的开口的侧壁间距过大，无法满足使用需求的情况发生。

Description

离子源辅助安装工具

技术领域

本实用新型涉及半导体加工设备技术领域，特别是涉及离子源辅助安装工具。

背景技术

离子源包括灯丝和阴极电极，离子源工作时，灯丝位于阴极电极的外侧，并相互保持一定的间隔，以实现电隔离。然而，若灯丝与阴极电极的间距过小，容易造成灯丝与阴极电极接触而短路，从而导致灯丝报废；若灯丝与阴极电极的间距过大，则无法满足使用需求。目前的灯丝与阴极电极只能通过手动安装，两者之间的距离无法保证，因此，安装时需要多次调整试验，安装不方便。

实用新型内容

基于此，有必要针对目前的灯丝与阴极电极只能通过手动安装，两者之间的距离无法保证，因此，安装时需要多次调整试验，安装不方便的问题，提供一种离子源辅助安装工具。

本申请提供一种离子源辅助安装工具，离子源辅助安装工具包括：灯丝定位件和安装部，灯丝定位件与安装部连接，并凸出于安装部；安装部具有第一定位结构，第一定位结构用于与离子源的第二定位结构配合，用于限定离子源的支撑部沿第一方向和第二方向的位置，第一方向和第二方向分别垂直于安装部的凸出方向；灯丝定位件被配置为，当调整离子源的灯丝夹具与离子源的阴极电机夹具的相对位置时，灯丝定位件用于与灯丝夹具开设的凹槽相对，以定位灯丝夹具的位置。

上述离子源辅助安装工具在辅助离子源安装灯丝时，先将阴极电极从阴极电极夹具上拆卸，使得第二点位元件与第一定位结构配合，以使得第二定位结构被第一定位结构定位，从而阴极电极夹具被第一定位结构定位，用于第二定位结构和阴极电极夹具沿第一方向和第二方向的位置，进而限制支撑部沿第一方向和第二方向的位置。再调整灯丝夹具的位置，使得灯丝夹具与阴极电极电极之间的相对位置改变，当灯丝定位件与灯丝夹具开设的凹槽位置相对时，即定位了灯丝夹具的位置，进而定位灯丝的位置，保证灯丝与阴极电极夹具开设的通孔的位置固定。阴极电极与阴极电极夹具安装的一端开设有向内凹陷的开口，从而阴极电极安装后，灯丝与阴极电极的开口的侧壁的位置为调整好的位置，保证灯丝与开口的侧壁之间的距离符合使用需求，避免灯丝与开口的侧壁间距过小导致灯丝报废，或灯丝与开口的侧壁间距过大，无法满足使用需求的情况发生。

在其中一个实施例中，灯丝定位件的数量为两个，两个灯丝定位件沿第一方向间隔设置，且两个灯丝定位件分别用于与灯丝夹具开设的两个凹槽相对。

在其中一个实施例中，灯丝定位件的横截面为圆形，且圆形的直径为2mm，两个灯丝定位件分别距安装部沿第一方向的中轴线的尺寸为4.6mm。

在其中一个实施例中，第一定位结构和第二定位结构两者中的其中一者为滑槽，另一者为滑块，滑槽与滑块沿第三方向滑动配合，第三方向为安装部的凸出方向。

在其中一个实施例中，第一定位结构为滑槽；

安装部开设有两个滑槽，两个滑槽开设于安装部沿第二方向的一侧，且两个滑槽沿第一方向间隔设置，两个滑槽分别用于与离子源的两个滑块滑动配合。

在其中一个实施例中，滑槽沿第一方向的尺寸为15mm，滑槽沿第二方向凹陷的尺寸为4mm，滑槽沿第一方向的槽壁距安装部的侧壁的尺寸为0.25mm。

在其中一个实施例中，安装部背离灯丝定位件的一侧开设有定位孔，定位孔用于待离子源的阴极电极插入。

在其中一个实施例中，定位孔为圆形孔，圆形孔的直径为12mm。

在其中一个实施例中，圆形孔的圆心距离安装部背离第一定位结构的一侧的尺寸为16mm。

在其中一个实施例中，灯丝定位件为金属材质，安装部为金属材质。

附图说明

图1为一实施例中离子源辅助安装工具的结构示意图。

图2为离子源辅助安装工具与离子源的连接关系示意图；

图3为离子源辅助安装工具与离子源的另一连接关系示意图。

附图标记说明：

离子源辅助安装工具100；

灯丝定位件110；

安装部120；滑槽101；定位孔102；

离子源200；

支撑部210；支撑部本体211；滑块212；

灯丝夹具220；凹槽201；

阴极电极夹具230；通孔202；

阴极电极240；开口203。

具体实施方式

为使本实用新型的上述目的、特征和优点能够更加明显易懂，下面结合附图对本实用新型的具体实施方式做详细的说明。在下面的描述中阐述了很多具体细节以便于充分理解本实用新型。但是本实用新型能够以很多不同于在此描述的其它方式来实施，本领域技术人员可以在不违背本实用新型内涵的情况下做类似改进，因此本实用新型不受下面公开的具体实施例的限制。

在本实用新型的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“长度”、“宽度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”、“顺时针”、“逆时针”、“轴向”、“径向”、“周向”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。

此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括至少一个该特征。在本实用新型的描述中，“多个”的含义是至少两个，例如两个，三个等，除非另有明确具体的限定。

在本实用新型中，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”、“固定”等术语应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系，除非另有明确的限定。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。

在本实用新型中，除非另有明确的规定和限定，第一特征在第二特征“上”或“下”可以是第一和第二特征直接接触，或第一和第二特征通过中间媒介间接接触。而且，第一特征在第二特征“之上”、“上方”和“上面”可是第一特征在第二特征正上方或斜上方，或仅仅表示第一特征水平高度高于第二特征。第一特征在第二特征“之下”、“下方”和“下面”可以是第一特征在第二特征正下方或斜下方，或仅仅表示第一特征水平高度小于第二特征。

需要说明的是，当元件被称为“固定于”或“设置于”另一个元件，它可以直接在另一个元件上或者也可以存在居中的元件。当一个元件被认为是“连接”另一个元件，它可以是直接连接到另一个元件或者可能同时存在居中元件。本文所使用的术语“垂直的”、“水平的”、“上”、“下”、“左”、“右”以及类似的表述只是为了说明的目的，并不表示是唯一的实施方式。

请参考图1-图3，本申请提供一种离子源辅助安装工具100，离子源辅助安装工具100包括灯丝定位件110和安装部120，灯丝定位件110与安装部120连接，并凸出于安装部120。安装部120具有第一定位结构，第一定位结构用于与离子源200的第二定位结构配合，用于限定离子源200的支撑部210沿第一方向X和第二方向Y的位置，第一方向X和第二方向Y分别垂直于安装部120的凸出方向。灯丝定位件110被配置为，当调整离子源200的灯丝夹具220与离子源200的阴极电机夹具的相对位置时，灯丝定位件110用于与灯丝夹具220开设的凹槽201相对，以定位灯丝夹具220的位置。

具体地，离子源200包括支撑部210、灯丝夹具220以及阴极电极夹具230。支撑部210包括支撑部本体211和第二定位结构，支撑部本体211与阴极电极夹具230连接，阴极电极夹具230与灯丝夹具220连接，且灯丝夹具220相对于阴极电极240位置可调。阴极电极夹具230开设有通孔202，通孔202用于安装阴极电极240的一端，阴极电极240的与通孔202安装的该端开设有向内凹陷的开口203。灯丝夹具220开设有凹槽201，凹槽201用于安装灯丝。

上述离子源辅助安装工具100在辅助离子源200安装灯丝时，先将阴极电极240从阴极电极夹具230上拆卸，使得第二点位元件与第一定位结构配合，以使得第二定位结构被第一定位结构定位，从而阴极电极夹具230被第一定位结构定位，用于第二定位结构和阴极电极夹具230沿第一方向X和第二方向Y的位置，进而限制支撑部210沿第一方向X和第二方向Y的位置。再调整灯丝夹具220的位置，使得灯丝夹具220与阴极电极240电极之间的相对位置改变，当灯丝定位件110与灯丝夹具220开设的凹槽201位置相对时，即定位了灯丝夹具220的位置，进而定位灯丝的位置，保证灯丝与阴极电极夹具230开设的通孔202的位置固定。阴极电极240与阴极电极夹具230安装的一端开设有向内凹陷的开口203，从而阴极电极240安装后，灯丝与阴极电极240的开口203的侧壁的位置为调整好的位置，保证灯丝与开口203的侧壁之间的距离符合使用需求，避免灯丝与开口203的侧壁间距过小导致灯丝报废，或灯丝与开口203的侧壁间距过大，无法满足使用需求的情况发生。

请参考图1和图2，在一实施例中，灯丝定位件110的数量为两个，两个灯丝定位件110沿第一方向X间隔设置，且两个灯丝定位件110分别用于与灯丝夹具220开设的两个凹槽201相对。

具体地，由于灯丝有两个端部，从而为了固定灯丝的两个端部，灯丝夹具220设置为具有两个沿第一方向X间隔排列的凹槽201，两个凹槽201分别用于安装灯丝的两个端部。相应的，为了准确定位两个凹槽201的位置，设置有两个沿第一方向X间隔排列的灯丝定位件110，两个灯丝定位件110与两个凹槽201一一对应。调整灯丝夹具220的位置时，使得两个凹槽201分别与两个灯丝定位件110相对，则对两个凹槽201进行定位，确保灯丝的两个端部距离阴极电极240的开口203的侧壁的位置满足需求。

请参考图1，在一实施例中，灯丝定位件110的横截面为圆形，且圆形的直径为2mm，两个灯丝定位件110分别距安装部120沿第一方向X的中轴线的尺寸为4.6mm。

具体地，由于灯丝的横截面为圆形，为了与灯丝的形状适配，更好的保证灯丝的位置，从而将灯丝定位件110的横截面设置为圆形，提高了定位精度。并且，为了适应需求，将灯丝定位件110的直径设置为2mm，且两个灯丝定位件110分别距安装部120沿第一方向X的中轴线的尺寸为4.6mm。

在其他实施例中，灯丝定位件110的直径和两个灯丝定位件110分别距安装部120沿第一方向X的中轴线的尺寸也可以为其他尺寸，根据具体使用需求设置。

请参考图1-图3，在一实施例中，第一定位结构和第二定位结构两者中的其中一者为滑槽101，另一者为滑块212，滑槽101与滑块212沿第三方向Z滑动配合，第三方向Z为安装部120的凸出方向。

具体地，在本实施例中，第一定位结构为滑槽101，第二定位结构为滑块212，通过滑块212与滑槽101沿第三方向Z滑动配合限定离子源200的支撑部210沿第一方向X和第二方向Y的位置，从而灯丝定位件110能够沿第三方向Z穿过阴极电极夹具230开设的通孔202。当灯丝定位件110的周面与沿灯丝夹具220开设的凹槽201的槽壁紧贴，并能够沿凹槽201滑动时，表明灯丝夹具220的位置合适，即灯丝的位置满足使用需求。通过滑块212与滑槽101滑动配合，使得灯丝定位件110的周面与沿灯丝夹具220开设的凹槽201的槽壁紧贴，进一步确保灯丝定位件110与凹槽201的位置，提高定位精度。

在其他实施例中，也可以是第一定位结构为滑块212，第二定位结构为滑槽101，滑块212与滑槽101沿第三方向Z滑动配合。

请参考图1-图3，在一实施例中，

第一定位结构为滑槽101。

安装部120开设有两个滑槽101，两个滑槽101开设于安装部120沿第二方向Y的一侧，且两个滑槽101沿第一方向X间隔设置，两个滑槽101分别用于与离子源200的两个滑块212滑动配合。

具体地，由于安装部120开设有两个滑槽101，两个滑槽101沿第一方向X间隔设置，且两个滑槽101与离子源200的两个滑块212一一对应，从而支撑部210被沿第一方向X的两个滑槽101和两个滑块212定位，进一步使得支撑部210沿第一方向X被定位，确保支撑部210在使用过程中不会发生晃动，影响调节精度。

请参考图1-图3，在一实施例中，为了适应需求，

将滑槽101沿第一方向X的尺寸设置为15mm，滑槽101沿第二方向Y凹陷的尺寸设置为4mm，滑槽101沿第一方向X的槽壁距安装部120的侧壁的尺寸设置为0.25mm。

请参考图1和图3，在一实施例中，安装部120背离灯丝定位件110的一侧开设有定位孔102，定位孔102用于待离子源200的阴极电极240插入。

具体地，当灯丝夹具220开设的凹槽201的位置被确定后，将阴极电极240具有开口203的一端伸入阴极电极夹具230的通孔202内，并将阴极电极240与阴极电极夹具230固定，此时，使得第一定位结构和第二定位结构配合，检测阴极电极240能够伸入定位孔102内。若阴极电极240正好伸入定位孔102内，则表明阴极电极240与灯丝的位置被调节准确。若阴极电极240无法伸入定位孔102内，则表明阴极电极240与灯丝的位置未被调节合适，需对离子源200进行全面检查，并在检查后再次进行安装定位操作。

请参考图1和图3，在一实施例中，为了适应圆形的阴极电极240，从而将定位孔102设置为圆形孔圆形孔的直径设置为12mm。

在其他实施例中，定位孔102也可以为多边形孔，只要能保证阴极电极240伸入位置不变即可。

在一实施例中，圆形孔的圆心距离安装部120背离第一定位结构的一侧的尺寸为16mm。

在一实施例中，灯丝定位件110为金属材质，安装部120为金属材质。

以上所述实施例的各技术特征可以进行任意的组合，为使描述简洁，未对上述实施例中的各个技术特征所有可能的组合都进行描述，然而，只要这些技术特征的组合不存在矛盾，都应当认为是本说明书记载的范围。

以上所述实施例仅表达了本实用新型的几种实施方式，其描述较为具体和详细，但并不能因此而理解为对实用新型专利范围的限制。应当指出的是，对于本领域的普通技术人员来说，在不脱离本实用新型构思的前提下，还可以做出若干变形和改进，这些都属于本实用新型的保护范围。因此，本实用新型专利的保护范围应以所附权利要求为准。

Claims (10)

1.一种离子源辅助安装工具，其特征在于，所述离子源辅助安装工具包括：灯丝定位件和安装部，所述灯丝定位件与所述安装部连接，并凸出于所述安装部；所述安装部具有第一定位结构，所述第一定位结构用于与离子源的第二定位结构配合，用于限定所述离子源的支撑部沿第一方向和第二方向的位置，所述第一方向和所述第二方向分别垂直于所述安装部的凸出方向；当调整所述离子源的灯丝夹具与所述离子源的阴极电机夹具的相对位置时，所述灯丝定位件用于与所述灯丝夹具开设的凹槽相对，以定位所述灯丝夹具的位置。

2.根据权利要求1所述的离子源辅助安装工具，其特征在于，所述灯丝定位件的数量为两个，两个所述灯丝定位件沿所述第一方向间隔设置，且两个所述灯丝定位件分别用于与所述灯丝夹具开设的两个所述凹槽相对。

3.根据权利要求2所述的离子源辅助安装工具，其特征在于，所述灯丝定位件的横截面为圆形，且所述圆形的直径为2mm，两个所述灯丝定位件分别距所述安装部沿所述第一方向的中轴线的尺寸为4.6mm。

4.根据权利要求1所述的离子源辅助安装工具，其特征在于，所述第一定位结构和所述第二定位结构两者中的其中一者为滑槽，另一者为滑块，所述滑槽与所述滑块沿第三方向滑动配合，所述第三方向为所述安装部的凸出方向。

5.根据权利要求4所述的离子源辅助安装工具，其特征在于，所述第一定位结构为所述滑槽；

所述安装部开设有两个所述滑槽，两个所述滑槽开设于所述安装部沿第二方向的一侧，且两个所述滑槽沿第一方向间隔设置，两个所述滑槽分别用于与所述离子源的两个所述滑块滑动配合。

6.根据权利要求5所述的离子源辅助安装工具，其特征在于，所述滑槽沿所述第一方向的尺寸为15mm，所述滑槽沿所述第二方向凹陷的尺寸为4mm，所述滑槽沿所述第一方向的槽壁距所述安装部的侧壁的尺寸为0.25mm。

7.根据权利要求1所述的离子源辅助安装工具，其特征在于，所述安装部背离所述灯丝定位件的一侧开设有定位孔，所述定位孔用于待所述离子源的阴极电极插入。

8.根据权利要求7所述的离子源辅助安装工具，其特征在于，所述定位孔为圆形孔，所述圆形孔的直径为12mm。

9.根据权利要求8所述的离子源辅助安装工具，其特征在于，所述圆形孔的圆心距离所述安装部背离所述第一定位结构的一侧的尺寸为16mm。

10.根据权利要求1所述的离子源辅助安装工具，其特征在于，所述灯丝定位件为金属材质，所述安装部为金属材质。

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