CN218395019U - 一种划片刀多功能清洗机 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种划片刀多功能清洗机，属于半导体设备领域，包括机身，机身的内侧转动安装有浸泡桶以及与浸泡桶错开的清洗桶，浸泡桶的下端固定安装有出液管，清洗桶的下端固定安装有进水管以及与进水管错开的出水管，出液管的一端、进水管的一端和出水管的一端均延伸出机身内部，机身的上壁设置有上料机构，机身的下壁设置有吸紧机构，上料机构包括设置在机身上壁的传动组件，传动组件上设置有机头组件，机头组件的一端设置有连接轴，连接轴的一端固定安装有夹具连接套，它可以实现便于更划片刀在不同的空间分别进行清洗和干燥，减少划片刀干燥时随气流附着的碎屑，以提高划片刀清洗和干燥后产品的洁净度。

Description

一种划片刀多功能清洗机

技术领域

本实用新型涉及半导体设备领域，更具体地说，涉及一种划片刀多功能清洗机。

背景技术

划片刀(dicing blade)是用来切割晶圆，制造芯片的重要工具，它对于芯片的质量和寿命有直接的影响，划片刀常常是由合金和金刚砂熔铸而成，在生产加工时，存在一定程度的油污和碎屑，碎屑能够被磁场吸引，为了便于下道工序的生产和销售，一般都会对产品进行清洗；

经专利检索发现，公开号为CN214718863U的中国专利公开了一种硬质合金刀片生产用自动清洗装置，包括装置座、固定杆、连接箱、过滤板、弹簧、限位槽、刀片工件、水泵、出水管、连接管、出气管、单向阀、气泵、连接架、螺栓、马达和齿轮轴，其虽然通过水泵鼓动出水管中的水，将水喷入限位槽，再通过马达带动支撑架进行转动，使刀片工件进行转动清洗，清洗效果较好，刀片工件清洗后的废水通过装置座向下流入连接箱的内部，通过固定板对废水进行过滤，使过滤后的废水可以循环使用，然后气泵通过出气管向连接管的内部鼓风，空气通过出气管向刀片工件表面排出，使刀片工件进行风干，使该装置集硬质合金刀片清洗和烘干的功能于一体；

但是并未解决现有硬质合金刀片生产用自动清洗装置在清洗划片刀的过程中，通过限位槽放置划片刀，先通过水泵和出水管泵送水，来冲洗限位槽中划片刀上的油污和碎屑，而部分碎屑在沉降作用下附着在限位槽的内壁，再通过气泵和出气管向限位槽中鼓入空气，来干燥划片刀，划片刀的清洗和干燥均在同一空间内进行，使得气流吹动限位槽内壁附着的碎屑，碎屑飞落到划片刀上，划片刀被二次污染，造成划片刀在同一空间进行清洗和干燥后产品洁净度不高的问题，为此我们提出一种划片刀多功能清洗机。

实用新型内容

1.要解决的技术问题

针对现有技术中存在的问题，本实用新型的目的在于提供一种划片刀多功能清洗机，它可以实现便于更划片刀在不同的空间分别进行清洗和干燥，减少划片刀干燥时随气流附着的碎屑，以提高划片刀清洗和干燥后产品的洁净度。

2.技术方案

为解决上述问题，本实用新型采用如下的技术方案。

一种划片刀多功能清洗机，包括机身，所述机身的内侧转动安装有浸泡桶以及与浸泡桶错开的清洗桶，所述浸泡桶的下端固定安装有出液管，所述清洗桶的下端固定安装有进水管以及与进水管错开的出水管，所述出液管的一端、进水管的一端和出水管的一端均延伸出机身内部，所述机身的上壁设置有上料机构，所述机身的下壁设置有吸紧机构。

进一步的，所述上料机构包括设置在机身上壁的传动组件，所述传动组件上设置有机头组件，所述机头组件的一端设置有连接轴，所述连接轴的一端固定安装有夹具连接套，所述夹具连接套远离连接轴的一端固定安装有夹具。

进一步的，所述吸紧机构包括固定安装在机身下壁的电磁铁，所述电磁铁的一端电性连接有电动开关。

进一步的，所述出液管的外侧装配有出液球阀，所述出水管的外侧装配有出水球阀。

进一步的，所述清洗桶的下端和进水管的一端之间通过设置有活结固定连接，所述进水管的外侧装配有进水球阀。

进一步的，所述电磁铁的数量为两个，两个所述电磁铁分别位于浸泡桶的正下方和清洗桶的正下方。

3.有益效果

相比于现有技术，本实用新型的优点在于：

(1)本方案将浸泡桶中灌入足量的溶液，通过上料机构移动划片刀，直至划片刀完全没入浸泡桶的溶液中，上料机构带动划片刀旋转，划片刀上附着的碎屑和油渍在离心作用下脱离，溶液可以清洗划片刀上的污垢和油渍，当溶液不可用再用或回收时，可以通过出液管定期排出，使得碎屑和油渍随溶液留在浸泡桶中，再通过上料机构将浸泡桶中的划片刀送入清洗桶中，进水管向清洗桶中输送纯水，同时上料机构带动划片刀旋转，来冲洗划片刀上残留的碎屑和油渍，并且被用过的纯水通过出水管排出，直至纯水排空，再通过上料机构带动划片刀旋转，方便甩干划片刀上的水分，便于更划片刀在不同的空间分别进行清洗和干燥，减少划片刀干燥时随气流附着的碎屑，以提高划片刀清洗和干燥后产品的洁净度。

(2)本方案当划片刀旋转时，划片刀带动浸泡桶中的溶液或清洗桶中的纯水和气流流动，溶液、纯水或气流分别带动浸泡桶和清洗桶中的碎屑旋转，碎屑接近浸泡桶或清洗桶中的划片刀，通过控制电动开关闭合，为电磁铁接通电源，电磁铁的磁场作用在碎屑上，碎屑被电磁铁吸引而向电磁铁运动，直至碎屑接触浸泡桶的下壁或清洗桶的下壁，使得碎屑堆积在浸泡桶的下壁或清洗桶的下壁，减少接近划片刀的碎屑，降低碎屑二次附着在划片刀上的情况发生。

附图说明

图1为本实用新型的主视的结构示意图；

图2为本实用新型的后视的结构示意图；

图3为本实用新型的主视的透视结构示意图；

图4为本实用新型的后视的透视结构示意图；

图5为本实用新型的传动组件的主视结构示意图；

图6为本实用新型的机头组件的主视结构示意图；

图7为本实用新型的浸泡桶的主视结构示意图；

图8为本实用新型的清洗桶的主视结构示意图。

图中标号说明：

1、机身；2、浸泡桶；3、出液管；4、清洗桶；5、进水管；6、出水管；7、连接轴；8、夹具连接套；9、夹具；10、电磁铁；11、电动开关；12、出液球阀；13、出水球阀；14、活结；15、进水球阀；16、操作对开门；17、前检查对开门；18、右检查对开门；19、左检查对开门；20、后检查门；21、后维护门；22、左维护门；23、电控柜；24、安装板；25、直线导轨；26、纵向传动KK模组；27、横向传动KK模组；28、纵向传动电机；29、纵向传动拖链；30、横向传动电机；31、横向传动拖链；32、连接板；33、机头电机；34、进水压力表；35、电机罩壳；36、电缆罩壳。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述；显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例，基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

实施例：

请参阅图1-8，一种划片刀多功能清洗机，包括机身1，机身1的内侧转动安装有浸泡桶2以及与浸泡桶2错开的清洗桶4，浸泡桶2位于机身1内部的左边，清洗桶4位于机身1内部的右边，浸泡桶2的下端固定安装有出液管3，清洗桶4的下端固定安装有进水管5以及与进水管5错开的出水管6，出液管3的一端、进水管5的一端和出水管6的一端均延伸出机身1内部，机身1的上壁设置有上料机构，机身1的下壁设置有吸紧机构，工作时，将浸泡桶2中灌入足量的溶液，通过上料机构移动划片刀，直至划片刀完全没入浸泡桶2的溶液中，上料机构带动划片刀以200～300r/min的转速在指定时间段内旋转，划片刀上附着的碎屑和油渍在离心作用下脱离，溶液可以清洗划片刀上的污垢和油渍，当溶液不可用再用或回收时，可以通过出液管3定期排出，使得碎屑和油渍随溶液留在浸泡桶2中，再通过上料机构将浸泡桶2中的划片刀送入清洗桶4中，进水管5向清洗桶4中输送纯水，同时上料机构带动划片刀以200～300r/min的转速在指定时间段内旋转，来冲洗划片刀上残留的碎屑和油渍，并且被用过的纯水通过出水管6排出，直至纯水排空，再通过上料机构带动划片刀以3000r/min的转速在指定时间段内旋转，方便甩干划片刀上的水分，便于更划片刀在不同的空间分别进行清洗和干燥，减少划片刀干燥时随气流附着的碎屑，以提高划片刀清洗和干燥后产品的洁净度，从而清洗机具有浸泡、冲洗和甩干三种功能，不但可以连续运行，也可以按照生产工艺要求切换运行，特别是一键甩干。

参阅图3和图6，上料机构包括设置在机身1上壁的传动组件，传动组件上设置有机头组件，机头组件的一端设置有连接轴7，连接轴7的一端固定安装有夹具连接套8，夹具连接套8远离连接轴7的一端固定安装有夹具9，夹具连接套8的一端和夹具9的一端通过设置有螺栓固定连接，此技术方案为现有技术，图中未画出，当划片刀需要上料时，通过夹具连接套8上的夹具9夹紧划片刀，方便传动组件带动夹具9和划片刀在机身1的内部水平和竖直移动，再通过机头组件旋转连接轴7，方便带动夹具9和划片刀转动，而当需要装夹尺寸不同的划片刀，通过拆下夹具连接套8和夹具9连接处的螺栓，方便更换对应的夹具9，来装夹尺寸不同的划片刀，以使清洗机具有尺寸不同的划片刀可以选择，进一步地，该清洗机的传动组件设置在机身1上壁的后部，不仅仅可以节省空间，更重要的是可以阻隔浸泡桶2溶液挥发和清洗桶4内的水渍或水蒸气，达到干湿分离的效果。

参阅图3和图5，传动组件包括固定安装在机身1上壁的安装板24，安装板24远离机身1的一侧设置有两个直线导轨25，两个直线导轨25相互垂直且错开，其中，一个直线导轨25固定安装在安装板24的一侧，安装板24的一侧还固定安装有与直线导轨25平行的纵向传动KK模组26，另一个直线导轨25滑动安装在纵向传动KK模组26的一侧，纵向传动KK模组26的一侧还滑动安装有与另一个直线导轨25平行的横向传动KK模组27，当划片刀需要水平移动时，通过横向传动KK模组27带动机头组件和夹具9水平移动，夹具9上的划片刀进行水平位移，当划片刀需要竖直移动时，通过纵向传动KK模组26带动横向传动KK模组27、机头组件和夹具9竖直移动，夹具9上的划片刀进行竖直位移，以使划片刀在机身1的内部能够进入或离开浸泡桶2的内部和清洗桶4的内部。

参阅图3和图5，纵向传动KK模组26的一端固定安装有纵向传动电机28，纵向传动电机28的输出端和安装板24的一边通过设置有纵向传动拖链29连接，纵向传动拖链29沿纵向设置在机身1的内部，当纵向传动电机28正转时，纵向传动电机28的输出端卷绕纵向传动拖链29，纵向传动KK模组26被纵向传动电机28拉向纵向传动拖链29，反之，当纵向传动电机28反转时，纵向传动电机28的输出端放卷纵向传动拖链29，纵向传动KK模组26被纵向传动电机28推离纵向传动拖链29，以使纵向传动KK模组26在纵向能够往复运动。

参阅图3和图5，横向传动KK模组27的一端固定安装有横向传动电机30，横向传动电机30的输出端和安装板24的一边通过设置有横向传动拖链31连接，横向传动拖链31沿横向设置在机身1的内部，当横向传动电机30正转时，横向传动电机30的输出端卷绕纵向传动拖链29，横向传动KK模组27被横向传动电机30拉向纵向传动拖链29，反之，当横向传动电机30反转时，横向传动电机30的输出端放卷纵向传动拖链29，横向传动KK模组27被横向传动电机30推离纵向传动拖链29，以使横向传动KK模组27在纵向能够往复运动。

参阅图5和图6，机头组件包括滑动安装在横向传动KK模组27一侧的连接板32，连接板32的一侧和连接轴7的一端之间通过设置有机头电机33转动连接，机头电机33的输出端固定连接于连接轴7的一端，当划片刀需要旋转时，通过机头电机33的输出端带动夹具9和划片刀旋转，进一步地机头电机33的材质为刹车电机，方便机头电机33带动划片刀及时停转。

参阅图3和图5，机头电机33的外侧通过螺钉固定安装有电机罩壳35，连接板32外侧通过螺钉固定安装有电缆罩壳36，通过电缆罩壳36笼罩机头电机33的输电线，并通过电机罩壳35笼罩机头电机33，来阻拦飞向机头电机33及其输电线的水滴，方便提高机头电机33的防护性能，减少机头电机33因被水滴浸入导致故障的情况发生。

参阅图4，吸紧机构包括固定安装在机身1下壁的电磁铁10，电磁铁10的一端电性连接有电动开关11，电磁铁10的数量为两个，两个电磁铁10分别位于浸泡桶2的正下方和清洗桶4的正下方，当划片刀旋转时，划片刀带动浸泡桶2中的溶液或清洗桶4中的纯水和气流流动，溶液、纯水或气流分别带动浸泡桶2和清洗桶4中的碎屑旋转，碎屑接近浸泡桶2或清洗桶4中的划片刀，通过控制电动开关11闭合，为电磁铁10接通电源，电磁铁10的磁场作用在碎屑上，碎屑被电磁铁10吸引而向电磁铁10运动，直至碎屑接触浸泡桶2的下壁或清洗桶4的下壁，使得碎屑堆积在浸泡桶2的下壁或清洗桶4的下壁，减少接近划片刀的碎屑，降低碎屑二次附着在划片刀上的情况发生。

参阅图4和图7，出液管3的外侧装配有出液球阀12，出液管3延伸出机身1内部的一端连接有溶液源，出水管6的外侧装配有出水球阀13，当浸泡桶2中的溶液需要排出时，通过打开出液球阀12，溶液能够沿着出液管3排出，当清洗桶4中纯水需要排出时，通过打开出水球阀13，纯水能够沿着出水管6排出，反之，通过关闭出液球阀12或出液球阀12，能够溶液和纯水能够分别存储在浸泡桶2内部和清洗桶4内部。

参阅图4和图8，清洗桶4的下端和进水管5的一端之间通过设置有活结14固定连接，进水管5的外侧装配有进水球阀15，进水管5上还装配有进水压力表34以及与进水压力表34错开的电磁阀，此技术方案为现有技术，图中未画出，进水管5延伸出机身1内部的一端连接有纯水源，当清洗桶4中需要加入纯水时，通过打开进水球阀15，进水管5中的纯水能够流通，方便为清洗桶4灌入纯水，直至清洗桶4内部被灌满，进水压力表34测得水压力超出指定范围，电磁阀关闭，停止灌水，而当进水管5或进水球阀15需要维护时，通过拧松活结14，方便拆下清洗桶4的进水管5，以方便维护进水管5或进水球阀15。

参阅图1、图2和图3，机身1的正面铰接有操作对开门16以及位于操作对开门16下方的前检查对开门17，机身1的右侧铰接有右检查对开门18，机身1的左侧铰接有左检查对开门19以及位于左检查对开门19上方的左维护门22，机身1的背面铰接有后检查门20以及位于后检查门20上方的后维护门21，机身1的外侧且位于右检查对开门18上方固定安装有电控柜23，电控柜23的内部固定安装有控制器，控制器用于控制电动开关11、纵向传动电机28和横向传动电机30，该设备的机身1外表材质为塑料，具有耐酸碱耐腐蚀的作用；机身1上的操作对开门16、前检查对开门17、右检查对开门18、左检查对开门19和后检查门20可以被操作者开合；后维护门21和左维护门22只有维修者用专用工具才可以开合；该结构的设计区分方法，可以有效减少失误操作，而造成的设备故障问题，同时，纵向传动拖链29和横向传动拖链31将电缆整齐排放，然后输出到电控柜23里，方便维护。

工作原理：工作时，将浸泡桶2中灌入足量的溶液，通过上料机构移动划片刀，直至划片刀完全没入浸泡桶2的溶液中，上料机构带动划片刀以200～300r/min的转速在指定时间段内旋转，划片刀上附着的碎屑和油渍在离心作用下脱离，溶液可以清洗划片刀上的污垢和油渍，当溶液不可用再用或回收时，可以通过出液管3定期排出，使得碎屑和油渍随溶液留在浸泡桶2中，再通过上料机构将浸泡桶2中的划片刀送入清洗桶4中，进水管5向清洗桶4中输送纯水，同时上料机构带动划片刀以200～300r/min的转速在指定时间段内旋转，来冲洗划片刀上残留的碎屑和油渍，并且被用过的纯水通过出水管6排出，直至纯水排空，再通过上料机构带动划片刀以3000r/min的转速在指定时间段内旋转，方便甩干划片刀上的水分，便于更划片刀在不同的空间分别进行清洗和干燥，减少划片刀干燥时随气流附着的碎屑，以提高划片刀清洗和干燥后产品的洁净度。

当划片刀旋转时，划片刀带动浸泡桶2中的溶液或清洗桶4中的纯水和气流流动，溶液、纯水或气流分别带动浸泡桶2和清洗桶4中的碎屑旋转，碎屑接近浸泡桶2或清洗桶4中的划片刀，通过控制电动开关11闭合，为电磁铁10接通电源，电磁铁10的磁场作用在碎屑上，碎屑被电磁铁10吸引而向电磁铁10运动，直至碎屑接触浸泡桶2的下壁或清洗桶4的下壁，使得碎屑堆积在浸泡桶2的下壁或清洗桶4的下壁，减少接近划片刀的碎屑，降低碎屑二次附着在划片刀上的情况发生。

以上所述，仅为本实用新型较佳的具体实施方式；但本实用新型的保护范围并不局限于此。任何熟悉本技术领域的技术人员在本实用新型揭露的技术范围内，根据本实用新型的技术方案及其改进构思加以等同替换或改变，都应涵盖在本实用新型的保护范围内。

Claims (6)

1.一种划片刀多功能清洗机，包括机身(1)，其特征在于：所述机身(1)的内侧转动安装有浸泡桶(2)以及与浸泡桶(2)错开的清洗桶(4)，所述浸泡桶(2)的下端固定安装有出液管(3)，所述清洗桶(4)的下端固定安装有进水管(5)以及与进水管(5)错开的出水管(6)，所述出液管(3)的一端、进水管(5)的一端和出水管(6)的一端均延伸出机身(1)内部，所述机身(1)的上壁设置有上料机构，所述机身(1)的下壁设置有吸紧机构。

2.根据权利要求1所述的一种划片刀多功能清洗机，其特征在于：所述上料机构包括设置在机身(1)上壁的传动组件，所述传动组件上设置有机头组件，所述机头组件的一端设置有连接轴(7)，所述连接轴(7)的一端固定安装有夹具连接套(8)，所述夹具连接套(8)远离连接轴(7)的一端固定安装有夹具(9)。

3.根据权利要求1所述的一种划片刀多功能清洗机，其特征在于：所述吸紧机构包括固定安装在机身(1)下壁的电磁铁(10)，所述电磁铁(10)的一端电性连接有电动开关(11)。

4.根据权利要求1所述的一种划片刀多功能清洗机，其特征在于：所述出液管(3)的外侧装配有出液球阀(12)，所述出水管(6)的外侧装配有出水球阀(13)。

5.根据权利要求1所述的一种划片刀多功能清洗机，其特征在于：所述清洗桶(4)的下端和进水管(5)的一端之间通过设置有活结(14)固定连接，所述进水管(5)的外侧装配有进水球阀(15)。

6.根据权利要求3所述的一种划片刀多功能清洗机，其特征在于：所述电磁铁(10)的数量为两个，两个所述电磁铁(10)分别位于浸泡桶(2)的正下方和清洗桶(4)的正下方。

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