CN218372483U - 一种蒸镀治具 - Google Patents

Abstract

本实用新型提供一种蒸镀治具，包括固定盘；三组爪板以环形阵列的形式固设于固定盘上，爪板弯折设置；三组镀锅的中心处通过滚轮连接在爪板的端部，通过弯折设置的爪板，以使连接在爪板端部上相邻的镀锅之间的距离得以调节；多层安装孔以环形阵列的形式设置在镀锅上，每一层安装孔的数量以镀锅的圆心为中心向外递增；载盘固设于安装孔上。本实用新型中的蒸镀治具通过将爪板以预设的角度进行弯折，从而使得连接在爪板一端的镀锅之间的间隙能够增大，进而能够扩大镀锅的面积，而在载盘上以环形阵列的方式设置有多层安装孔，使得镀锅上的安装孔的数量能够有效的增多，从而能够有效的提升镀锅上的载盘数量。

Description

一种蒸镀治具

技术领域

本实用新型涉及加工治具技术领域，特别涉及一种蒸镀治具。

背景技术

随着我国半导体行业的飞速发展，我国于2003年正式实施“国家半导体照明工程”，并在“十五”、“十一五”重点攻关课题和“863”计划中，将MOCVD设备国产化列入重点支持方向。

蒸镀，属于一种物理沉积，是通过某种方式将蒸镀材料升华使其变成气体分子蒸镀材料，气体分子蒸镀材料在真空环境中运动附着在待蒸镀物表面，从而在待蒸镀物表面形成薄膜的过程。

现有技术当中，蒸镀治具采用了小角度的三爪和大尺寸的滚轮，三爪行星式99片镀锅，三爪的弯曲角度为34°，每个镀锅承载33片4寸晶圆的载盘，由于三爪的弯曲角度为34°，使得镀锅之间的间距更为紧密，因此使得镀锅上的载盘数量较少。

实用新型内容

基于此，本实用新型的目的是提供一种蒸镀治具，其目的在于以至少解决现有技术中的不足。

本实用新型提供以下技术方案，一种蒸镀治具，包括：

固定盘；

三组爪板，以环形阵列的形式固设于所述固定盘上，所述爪板弯折设置；

三组镀锅，三组所述镀锅的中心处通过滚轮连接在所述爪板的端部，通过弯折设置的所述爪板，以使连接在所述爪板端部上相邻的所述镀锅之间的距离得以调节；

多层安装孔，以环形阵列的形式设置在所述镀锅上，每一层所述安装孔的数量以所述镀锅的圆心为中心向外递增；

载盘，固设于所述安装孔上。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：通过将爪板以预设的角度进行弯折，从而使得连接在爪板一端的镀锅之间的间隙能够增大，进而能够扩大镀锅的面积，而在载盘上以环形阵列的方式设置有多层安装孔，使得镀锅上的安装孔的数量能够有效的增多，从而能够有效的提升镀锅上的载盘数量。

进一步的，所述爪板与所述固定盘连接的一端上对称设置有第一连接孔，所述爪板与所述镀锅的中心处连接的一端上设置有第二连接孔。

进一步的，三组所述镀锅的中心处设置有环形导轨，所述滚轮设置在所述环形导轨上。

进一步的，所述爪板弯折处的两侧设有第三连接孔，在所述爪板的底部连接有防污板，所述防污板的长度小于所述爪板的长度，所述防污板的宽度大于所述爪板的宽度。

进一步的，所述防污板与所述爪板仿形设置，所述防污板上设有与所述爪板上第三连接孔相对应的第四连接孔。

进一步的，所述载盘顶部呈平边结构，所述平边结构中部设有条形槽，所述条形槽的两侧均设有凸起结构，其中之一所述凸起结构中部设有倒角结构。

进一步的，所述载盘底部设置有T形支架。

进一步的，所述载盘底部两侧设有支脚，所述支脚呈弯折设置。

进一步的，所述载盘表面设置有多个弯折设置的支点。

进一步的，所述镀锅上的最外两层安装孔的间隔处设置有小型载台。

附图说明

图1为本实用新型的俯视图；

图2为本实用新型的主视图；

图3为本实用新型的载盘的俯视图；

图4为本实用新型的载盘的主视图；

图5为本实用新型的爪板的主视图；

图6为本实用新型的爪板的仰视图；

图7为本实用新型的防污板的主视图；

图8为本实用新型的防污板的仰视图；

图9为本实用新型的滚轮的俯视图；

图10为本实用新型的滚轮的主视图。

主要元件符号说明：

固定盘	10	滚轮	11
				镀锅	20	安装孔	21
载盘	22	T型支架	23
				支脚	24	支点	25
条形槽	26	凸起结构	27
				爪板	30	第一连接孔	31
第二连接孔	32	第三连接孔	33
				环形导轨	40	防污板	50
第四连接孔	51	小型载台	60

如下具体实施方式将结合上述附图进一步说明本实用新型。

具体实施方式

为了便于理解本实用新型，下面将参照相关附图对本实用新型进行更全面的描述。附图中给出了本实用新型的若干实施例。但是，本实用新型可以以许多不同的形式来实现，并不限于本文所描述的实施例。相反地，提供这些实施例的目的是使对本实用新型的公开内容更加透彻全面。

需要说明的是，当元件被称为“固设于”另一个元件，它可以直接在另一个元件上或者也可以存在居中的元件。当一个元件被认为是“连接”另一个元件，它可以是直接连接到另一个元件或者可能同时存在居中元件。本文所使用的术语“垂直的”、“水平的”、“左”、“右”以及类似的表述只是为了说明的目的。

除非另有定义，本文所使用的所有的技术和科学术语与属于本实用新型的技术领域的技术人员通常理解的含义相同。本文中在本实用新型的说明书中所使用的术语只是为了描述具体的实施例的目的，不是旨在于限制本实用新型。本文所使用的术语“及/或”包括一个或多个相关的所列项目的任意的和所有的组合。

请参阅图1至图2，所示为本实用新型实施例中的蒸镀治具，包括固定盘10、三组镀锅20、多层安装孔21、载盘22以及三组爪板30。

三组所述爪板30以环形阵列的形式固设于所述固定盘10上，所述爪板30弯折设置，在本实施例中爪板30的弯折角度为37°，三组所述镀锅20的中心处通过滚轮11连接在所述爪板30的端部，通过弯折设置的所述爪板30，以使连接在所述爪板30端部上相邻的所述镀锅20之间的距离得以调节，所述镀锅20上以环形阵列的形式设置有多层安装孔21，每一层所述安装孔21的数量以所述镀锅20的圆心为中心向外递增，所述载盘22固设于所述安装孔21上。

可以理解的是，弯折角度为37°的爪板30，其竖直高度在本实施例中为132mm，爪板30的宽度在本实施例中为55mm，如此设置，在爪板30的一端通过滚轮11连接镀锅20的中心处时，三组镀锅20根据爪板30的弯折角度，镀锅20的倾斜角度也为37°，因此镀锅20之间的距离较大，可以适当增大镀锅20的面积，使得镀锅20上的安装孔21的数量也随着增多，在具体实施时，镀锅20上的安装孔21具有三层，在镀锅20最内层的安装孔21设置有6个，第二层安装孔21具有12个，镀锅20最外层的安装孔21具有17个，由于载盘22是安装在安装孔21上的，因此该镀锅20最多能够安装35个载盘，相比于现有的33个载盘，该镀锅20上的35个载盘22能够承载35片晶圆，而由于在蒸镀过程中，一个制成周期内所消耗的物料是固定的，所以在一个制成周期中提高作业的晶圆片数，也就是增加载盘22的数量，可以提高产能并降低平均物料成本。

值得说明的是，如图1所示，在最外层的安装孔21与第二层的安装孔21之间设置有小型载台60，小型载台60的作用可以放置量测用的测试晶圆片，以便能够在使用该治具之前，进行测试。

请参阅图5和图6，在本实施例中，所述爪板30与所述固定盘10连接的一端上对称设置有第一连接孔31，所述爪板30与所述镀锅20的中心处连接的一端设置于第二连接孔32，通过如此设置，可以往第一连接孔31上安装固定螺栓等连接零件，使得爪板30与蒸镀机台上的固定盘10能够稳固的连接在一起，而通过在第二连接孔32上装入轴套与螺丝，如图9和图10所示，滚轮11上也可以通过轴套和螺丝，从而可以使得爪板30的一端能够与滚轮11和镀锅20稳定的连接在一起。其中，滚轮11采用金属材质制成，以提升滚轮11的工作强度。

请参阅图5至图8，在本实施例中，所述爪板30弯折出的两侧设有第三连接孔33，在所述爪板30的底部连接有防污板50，所述防污板50的长度小于所述爪板30的长度，所述防污板50的宽度大于所述爪板30的宽度，所述防污板50与所述爪板30仿形设置，所述防污板50上设有与所述爪板30上第三连接孔33相对应的第四连接孔51。

可以理解的是，通过爪板30上的第三连接孔33与防污板50上相对应的第四连接孔51，可以通过螺丝等连接零部件将爪板30与防污板50连接在一起，使得在蒸镀过程中，蒸镀的材料直接附着在爪板30上，有效的提升了爪板30的使用寿命，与爪板30仿形设置的防污板50能够有效的覆盖爪板30的表面，并且由于防污板50的宽度略大于爪板30，使得防污板50能够更好的遮挡住蒸镀的材料，防污板50的长度略小于爪板30，使得爪板30在连接固定盘10与镀锅20时有足够的空间去进行安装。

具体的，如图1和图2所述，三组所述镀锅20的中心处设置有环形导轨40，所述滚轮11设置在所述环形导轨40上，且滚轮11是倾斜的设置在环形导轨40上的，环形导轨40在具体实施时为蒸镀机台上的环形导轨40，通过如此设置，当固定盘10被蒸镀机台上的电机驱动时，此时固定盘10带动三组爪板30进行转动，三组爪板30在转动时，此时滚轮11在环形导轨40上进行转动，滚轮11在转动的过程中带动镀锅20进行转动，从而使得镀锅20上的晶圆能够得到更加全面的蒸镀。

请参阅图3和图4，在本实施例中，所示载盘22顶部呈平边结构，所示平边结构中部设有条形槽26，所示条形槽26的两侧均设有凸起结构27，一侧所述凸起结构27中部设有倒角结构，条形槽26的作用为在装卸晶圆时起到伸缩固定弹簧的作用，而一侧的凸起起到紧绷固定弹簧的作用。

具体的，在所述载盘22底部设置有T型支架23，在本实施例中，T型支架23向下弯折，也是起到固定弹簧的作用。

具体的，所述载盘22底部两侧设有支脚24，所述支脚24呈弯折设置，当载盘22固定在安装孔21上时，此时通过弯折的支脚24，使得载盘22能够便捷的固定在镀锅20上的安装孔21上。

具体的，所述载盘22表面设置有多个弯折设置的支点25，在本实施例中，弯折设置的支点25具体设置有三个，当载盘22上承载晶圆时，此时支点25能够将晶圆固定在载盘22上。

综上，本实用新型上述实施例当中的蒸镀治具，通过将爪板30以预设角度进行弯折，调整与爪板30连接的镀锅20的倾斜角度，从而使得镀锅20之间的间隙足够，以便于扩大镀锅20的面积，进而使得镀锅20上的载盘22能够放置更多的晶圆，使得该治具在一个蒸镀制成周期内消耗相同的物料能够蒸镀更多的晶圆，有效的提高产能和降低成本。

在本说明书的描述中，参考术语“一个实施例”、“一些实施例”、“示例”、“具体示例”、或“一些示例”等的描述意指结合该实施例或示例描述的具体特征、结构、材料或者特点包含于本实用新型的至少一个实施例或示例中。在本说明书中，对上述术语的示意性表述不一定指的是相同的实施例或示例。而且，描述的具体特征、结构、材料或者特点可以在任何的一个或多个实施例或示例中以合适的方式结合。

以上所述实施例仅表达了本实用新型的几种实施方式，其描述较为具体和详细，但并不能因此而理解为对本实用新型专利范围的限制。应当指出的是，对于本领域的普通技术人员来说，在不脱离本实用新型构思的前提下，还可以做出若干变形和改进，这些都属于本实用新型的保护范围。因此，本实用新型专利的保护范围应以所附权利要求为准。

Claims (10)

1.一种蒸镀治具，其特征在于，包括：

固定盘；

三组爪板，以环形阵列的形式固设于所述固定盘上，所述爪板弯折设置；

三组镀锅，三组所述镀锅的中心处通过滚轮连接在所述爪板的端部，通过弯折设置的所述爪板，以使连接在所述爪板端部上相邻的所述镀锅之间的距离得以调节；

多层安装孔，以环形阵列的形式设置在所述镀锅上，每一层所述安装孔的数量以所述镀锅的圆心为中心向外递增；

载盘，固设于所述安装孔上。

2.根据权利要求1所述的蒸镀治具，其特征在于，所述爪板与所述固定盘连接的一端上对称设置有第一连接孔，所述爪板与所述镀锅的中心处连接的一端上设置有第二连接孔。

3.根据权利要求1所述的蒸镀治具，其特征在于，三组所述镀锅的中心处设置有环形导轨，所述滚轮设置在所述环形导轨上。

4.根据权利要求1所述的蒸镀治具，其特征在于，所述爪板弯折处的两侧设有第三连接孔，在所述爪板的底部连接有防污板，所述防污板的长度小于所述爪板的长度，所述防污板的宽度大于所述爪板的宽度。

5.根据权利要求4所述的蒸镀治具，其特征在于，所述防污板与所述爪板仿形设置，所述防污板上设有与所述爪板上第三连接孔相对应的第四连接孔。

6.根据权利要求1所述的蒸镀治具，其特征在于，所述载盘顶部呈平边结构，所述平边结构中部设有条形槽，所述条形槽的两侧均设有凸起结构，其中之一所述凸起结构中部设有倒角结构。

7.根据权利要求1所述的蒸镀治具，其特征在于，所述载盘底部设置有T形支架。

8.根据权利要求1所述的蒸镀治具，其特征在于，所述载盘底部两侧设有支脚，所述支脚呈弯折设置。

9.根据权利要求1所述的蒸镀治具，其特征在于，所述载盘表面设置有多个弯折设置的支点。

10.根据权利要求1所述蒸镀治具，其特征在于，所述镀锅上的最外两层安装孔的间隔处设置有小型载台。

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