CN218321608U - 一种多边固定式镀膜装载夹具 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开了一种多边固定式镀膜装载夹具,包括夹具框架、第一固定机构和第二固定机构,所述第一固定机构和第二固定机构数量均设为两个,两个所述第一固定机构分别设置于夹具框架前后两侧,两个所述第二固定机构分别设置于夹具框架左右两侧,所述第一固定机构由第一旋转轴、第一载板和第一螺杆组成。本实用新型通过在夹具框架前后两侧以及左右两侧分别设置第一固定机构和第二固定机构,借助第一固定机构和第二固定机构的切换来对产品进行不同方向的固定,使得产品未镀膜的区域显露出来,方便后续进行二次补镀,同时,第一固定机构和第二固定机构均可带动产品进行翻面,方便对产品正反两面进行镀膜,有利于提升产品的全表面镀膜质量。
Description
技术领域
本实用新型涉及镀膜装载夹具技术领域,具体涉及一种多边固定式镀膜装载夹具。
背景技术
真空蒸镀,简称蒸镀,是指在真空条件下,采用一定的加热蒸发方式蒸发镀膜材料(或称膜料)并使之气化,粒子飞至基片表面凝聚成膜的工艺方法。蒸镀是使用较早、用途较广泛的气相沉积技术,具有成膜方法简单、薄膜纯度和致密性高、膜结构和性能独特等优点。在对工件进行镀膜时,通常是将待镀工件固定于装载夹具上,再将装载夹具安装于镀膜伞架上,蒸镀靶材设置于镀膜伞架下方,通过蒸发而将靶材冲至镀膜伞架,从而对待镀工件的朝向镀膜伞架下方的一面进行镀膜。
现有的镀膜装载夹具在使用时,其上的固定机构对产品侧边进行固定时,不仅会对产品表面造成一定的遮挡,影响镀膜效果,而且无法对工件进行旋转翻面,需要将产品拆下后进行人工翻面,费时费力,不利于对产品进行全表面镀膜,例如申请号为CN202121009036.8公开的一种无挡边镀膜装载夹具,该专利通过螺杆配合第一螺纹孔与第二螺纹孔,使夹板对镀膜产品进行夹持固定,而夹板会对产品表面造成一定的遮挡,影响镀膜效果,且无法对产品进行旋转翻面,对产品进行全表面镀膜时,需要将产品拆下后进行人工翻面。
因此,发明一种多边固定式镀膜装载夹具来解决上述问题很有必要。
实用新型内容
本实用新型的目的是提供一种多边固定式镀膜装载夹具,以解决技术中现有的镀膜装载夹具在使用时,其上的固定机构对产品侧边进行固定时,不仅会对产品表面造成一定的遮挡,影响镀膜效果,而且无法对工件进行旋转翻面,需要将产品拆下后进行人工翻面,费时费力,不利于对产品进行全表面镀膜的问题。
为了实现上述目的,本实用新型提供如下技术方案:一种多边固定式镀膜装载夹具,包括夹具框架、第一固定机构和第二固定机构,所述第一固定机构和第二固定机构数量均设为两个,两个所述第一固定机构分别设置于夹具框架前后两侧,两个所述第二固定机构分别设置于夹具框架左右两侧,所述第一固定机构由第一旋转轴、第一载板和第一螺杆组成,所述第一旋转轴一端与夹具框架转动连接,所述第一旋转轴另一端固定连接有第一旋钮,所述第一载板固定连接于第一旋转轴中部,所述第一螺杆数量设为两个,两个所述第一螺杆分别螺纹连接于第一载板两端,所述第二固定机构由第二旋转轴、第二载板和第二螺杆组成,所述第二旋转轴一端与夹具框架转动连接,所述第二旋转轴另一端固定连接有第二旋钮,所述第二载板固定连接于第二旋转轴中部,所述第二螺杆数量设为两个,两个所述第二螺杆分别螺纹连接于第二载板两端。
优选的,所述夹具框架前后两侧顶部均开设有第一限位上槽,所述夹具框架前后两侧底部均开设有第一限位下槽。
优选的,所述第一限位上槽和第一限位下槽数量均设为两个,两个所述第一限位上槽和两个所述第一限位下槽均关于第一载板中线对称分布。
优选的,两个所述第一限位上槽均与其中一个所述第一螺杆相匹配,两个所述第一限位下槽均与另一个所述第一螺杆相匹配,两个第一限位上槽和两个第一限位下槽的设置方便在旋转后对两个第一螺杆进行限位。
优选的,所述夹具框架左右两侧顶部均开设有第二限位上槽,所述夹具框架左右两侧底部均开设有第二限位下槽。
优选的,所述第二限位上槽和第二限位下槽数量均设为两个,两个所述第二限位上槽和两个所述第二限位下槽均关于第二载板中线对称分布。
优选的,两个所述第二限位上槽均与其中一个所述第二螺杆相匹配,两个所述第二限位下槽均与另一个所述第二螺杆相匹配,两个第二限位上槽和两个第二限位下槽的设置方便在旋转后对两个第二螺杆进行限位。
优选的,所述第一螺杆和第二螺杆一端均固定连接有蝶形拨片,所述第一螺杆和第二螺杆另一端均固定连接有橡胶抵块,蝶形拨片的设置方便对第一螺杆和第二螺杆进行旋动,橡胶抵块的设置有利于提高第一螺杆和第二螺杆对产品的固定效果。
在上述技术方案中,本实用新型提供的技术效果和优点:
通过在夹具框架前后两侧以及左右两侧分别设置第一固定机构和第二固定机构,借助第一固定机构和第二固定机构的切换来对产品进行不同方向的固定,使得产品未镀膜的区域显露出来,方便后续进行二次补镀,同时,第一固定机构和第二固定机构均可带动产品进行翻面,方便对产品正反两面进行镀膜,有利于提升产品的全表面镀膜质量。
附图说明
图1为本实用新型的整体结构示意图;
图2为本实用新型夹具框架的结构示意图;
图3为本实用新型通过第一固定机构对产品进行固定时的结构示意图;
图4为本实用新型通过第二固定机构对产品进行固定时的结构示意图;
图5为本实用新型通过第二固定机构对产品进行翻转后的结构示意图;
图6为本实用新型通过第一固定机构对翻转后的产品进行固定时结构示意图。
附图标记说明:
1、夹具框架;2、第一旋转轴;3、第一载板;4、第一螺杆;5、第一旋钮;6、第二旋转轴;7、第二载板;8、第二螺杆;9、第二旋钮;10、第一限位上槽;11、第一限位下槽;12、第二限位上槽;13、第二限位下槽;14、蝶形拨片;15、橡胶抵块。
具体实施方式
为了使本领域的技术人员更好地理解本实用新型的技术方案,下面将结合附图对本实用新型作进一步的详细介绍。
本实用新型提供了如图1-6所示的一种多边固定式镀膜装载夹具,包括夹具框架1、第一固定机构和第二固定机构,所述第一固定机构和第二固定机构数量均设为两个,两个所述第一固定机构分别设置于夹具框架1前后两侧,两个所述第二固定机构分别设置于夹具框架1左右两侧,所述第一固定机构由第一旋转轴2、第一载板3和第一螺杆4组成,所述第一旋转轴2一端与夹具框架1转动连接,所述第一旋转轴2另一端固定连接有第一旋钮5,所述第一载板3固定连接于第一旋转轴2中部,所述第一螺杆4数量设为两个,两个所述第一螺杆4分别螺纹连接于第一载板3两端,所述第二固定机构由第二旋转轴6、第二载板7和第二螺杆8组成,所述第二旋转轴6一端与夹具框架1转动连接,所述第二旋转轴6另一端固定连接有第二旋钮9,所述第二载板7固定连接于第二旋转轴6中部,所述第二螺杆8数量设为两个,两个所述第二螺杆8分别螺纹连接于第二载板7两端。
所述夹具框架1前后两侧顶部均开设有第一限位上槽10,所述夹具框架1前后两侧底部均开设有第一限位下槽11。
所述第一限位上槽10和第一限位下槽11数量均设为两个,两个所述第一限位上槽10和两个所述第一限位下槽11均关于第一载板3中线对称分布。
两个所述第一限位上槽10均与其中一个所述第一螺杆4相匹配,两个所述第一限位下槽11均与另一个所述第一螺杆4相匹配。
所述夹具框架1左右两侧顶部均开设有第二限位上槽12,所述夹具框架1左右两侧底部均开设有第二限位下槽13。
所述第二限位上槽12和第二限位下槽13数量均设为两个,两个所述第二限位上槽12和两个所述第二限位下槽13均关于第二载板7中线对称分布。
两个所述第二限位上槽12均与其中一个所述第二螺杆8相匹配,两个所述第二限位下槽13均与另一个所述第二螺杆8相匹配。
所述第一螺杆4和第二螺杆8一端均固定连接有蝶形拨片14,所述第一螺杆4和第二螺杆8另一端均固定连接有橡胶抵块15。
本实用新型工作原理:
参照说明书附图1-6,在使用本实用新型时,首先将待镀膜产品放置于夹具框架1内部,通过蝶形拨片14对两个第一固定机构上的第一螺杆4进行转动,并使得第一螺杆4推动橡胶抵块15对产品前后两侧进行挤压,从而借助两个第一固定机构对产品进行固定,此时产品正面朝上,待产品固定后,将装载夹具安装于镀膜伞架上,并对产品背面进行初次蒸镀;
待产品背面初次镀膜完成后,先通过蝶形拨片14对两个第二固定机构上的第二螺杆8进行转动,并使得第二螺杆8推动橡胶抵块15对产品左右两侧进行挤压,从而借助两个第二固定机构对产品进行固定,再通过蝶形拨片14对两个第一固定机构上的第一螺杆4进行转动,并使得第一螺杆4带动橡胶抵块15从产品前后两侧撤离,使得初次蒸镀时背面未镀膜的区域显露出来,再对产品进行二次蒸镀,实现产品背面的全域镀膜;
然后通过第二旋钮9对第二旋转轴6进行旋转,并带动两个第二固定机构和产品一起进行180度翻转,使得产品正面朝下,接着便可对产品正面进行初次蒸镀;
待产品正面初次镀膜完成后,先通过两个第一固定机构对产品进行固定,再取消两个第二固定机构对产品的固定,使得正面未镀膜的区域显露出来,再对产品进行二次蒸镀,实现产品正面的全域镀膜。
Claims (8)
1.一种多边固定式镀膜装载夹具,包括夹具框架(1)、第一固定机构和第二固定机构,其特征在于:所述第一固定机构和第二固定机构数量均设为两个,两个所述第一固定机构分别设置于夹具框架(1)前后两侧,两个所述第二固定机构分别设置于夹具框架(1)左右两侧,所述第一固定机构由第一旋转轴(2)、第一载板(3)和第一螺杆(4)组成,所述第一旋转轴(2)一端与夹具框架(1)转动连接,所述第一旋转轴(2)另一端固定连接有第一旋钮(5),所述第一载板(3)固定连接于第一旋转轴(2)中部,所述第一螺杆(4)数量设为两个,两个所述第一螺杆(4)分别螺纹连接于第一载板(3)两端,所述第二固定机构由第二旋转轴(6)、第二载板(7)和第二螺杆(8)组成,所述第二旋转轴(6)一端与夹具框架(1)转动连接,所述第二旋转轴(6)另一端固定连接有第二旋钮(9),所述第二载板(7)固定连接于第二旋转轴(6)中部,所述第二螺杆(8)数量设为两个,两个所述第二螺杆(8)分别螺纹连接于第二载板(7)两端。
2.根据权利要求1所述的一种多边固定式镀膜装载夹具,其特征在于:所述夹具框架(1)前后两侧顶部均开设有第一限位上槽(10),所述夹具框架(1)前后两侧底部均开设有第一限位下槽(11)。
3.根据权利要求2所述的一种多边固定式镀膜装载夹具,其特征在于:所述第一限位上槽(10)和第一限位下槽(11)数量均设为两个,两个所述第一限位上槽(10)和两个所述第一限位下槽(11)均关于第一载板(3)中线对称分布。
4.根据权利要求2所述的一种多边固定式镀膜装载夹具,其特征在于:两个所述第一限位上槽(10)均与其中一个所述第一螺杆(4)相匹配,两个所述第一限位下槽(11)均与另一个所述第一螺杆(4)相匹配。
5.根据权利要求1所述的一种多边固定式镀膜装载夹具,其特征在于:所述夹具框架(1)左右两侧顶部均开设有第二限位上槽(12),所述夹具框架(1)左右两侧底部均开设有第二限位下槽(13)。
6.根据权利要求5所述的一种多边固定式镀膜装载夹具,其特征在于:所述第二限位上槽(12)和第二限位下槽(13)数量均设为两个,两个所述第二限位上槽(12)和两个所述第二限位下槽(13)均关于第二载板(7)中线对称分布。
7.根据权利要求5所述的一种多边固定式镀膜装载夹具,其特征在于:两个所述第二限位上槽(12)均与其中一个所述第二螺杆(8)相匹配,两个所述第二限位下槽(13)均与另一个所述第二螺杆(8)相匹配。
8.根据权利要求1所述的一种多边固定式镀膜装载夹具,其特征在于:所述第一螺杆(4)和第二螺杆(8)一端均固定连接有蝶形拨片(14),所述第一螺杆(4)和第二螺杆(8)另一端均固定连接有橡胶抵块(15)。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN202222281502.9U CN218321608U (zh) | 2022-08-29 | 2022-08-29 | 一种多边固定式镀膜装载夹具 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN202222281502.9U CN218321608U (zh) | 2022-08-29 | 2022-08-29 | 一种多边固定式镀膜装载夹具 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
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CN218321608U true CN218321608U (zh) | 2023-01-17 |
Family
ID=84886951
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
CN202222281502.9U Active CN218321608U (zh) | 2022-08-29 | 2022-08-29 | 一种多边固定式镀膜装载夹具 |
Country Status (1)
Country | Link |
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CN (1) | CN218321608U (zh) |
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2022
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