CN218315214U - 一种半导体材料定中心双边夹持机构 - Google Patents

Abstract

本实用新型涉及一种半导体材料定中心双边夹持机构，包括依次设置的第一双边夹持机构、粘尘机组、第二双边夹持机构和压膜机组，所述第一双边夹持机构包括第一接驳滚轮以及设于所述第一接驳滚轮一侧的左机板，另一侧的右机板，所述右机板和所述左机板之间设置有第一导向杆，所述第一导向杆的一侧设置左滑块，所述第一导向杆的另一侧设置有右滑块，所述右滑块和所述左滑块的顶部设置有第一导正轮，所述第一导正轮位于所述第一接驳滚轮的两侧。本申请的第一双边夹持机构和第二双边夹持机构不仅可通过接驳滚轮辅助材料的移动支撑，而且可通过转动的导正轮对材料的宽侧进行夹持导正，以减少导正轮与材料之间的摩擦产生灰尘，从而提升材料的压膜良率。

Description

一种半导体材料定中心双边夹持机构

技术领域

本实用新型涉及夹持定位领域，特别涉及一种半导体材料定中心双边夹持机构。

背景技术

在半导体行业中，许多压膜的产品是从前制程的流水线过来的板材，需直接进入到压膜机中进行压膜。由于前制程的流水线出来的板材位置每次会有区别，则进入压膜机压膜时需提前将板材的位置调整到设定位置，以进行准确的压膜制程。

目前，现有设备在对前制程过来的板材进行导正时，一般用到的是平板类夹持机构，将板材进行导正。由于平板类夹持机构容易与板材宽侧进行摩擦产生灰尘，可能会粘附于产品的表面，在压膜作业时影响压膜的良率。

实用新型内容

为解决上述技术问题，本实用新型提供了一种半导体材料定中心双边夹持机构，具有能够减少板材摩擦产生灰尘，提升压膜良率的优点。

为达到上述目的，本实用新型的技术方案如下：

一种半导体材料定中心双边夹持机构，包括依次设置的第一双边夹持机构、粘尘机组、第二双边夹持机构和压膜机组，所述第一双边夹持机构包括第一接驳滚轮以及设于所述第一接驳滚轮一侧的左机板，另一侧的右机板，所述右机板和所述左机板之间设置有第一导向杆，所述第一导向杆的一侧设置左滑块，所述第一导向杆的另一侧设置有右滑块，所述右滑块和所述左滑块的顶部设置有第一导正轮，所述第一导正轮位于所述第一接驳滚轮的两侧，所述左机板的一侧设置有第一手把轮和第二手把轮，所述第一手把轮通过第一丝杆与所述右滑块上的螺帽连接，所述第二手把轮通过第二丝杆与所述左滑块上的螺帽连接。

实现上述技术方案，在材料进行粘尘和压膜前，先调整第一双边夹持机构和第二双边夹持机构上导正轮的位置；通过旋转第一手把轮和第二手把轮，由第一手把轮和第二手把轮分别带动第一丝杆和第二丝杆旋转，第一丝杆旋转带动螺帽所连接的右滑块在第一导向杆上进行移动，而第二丝杆旋转带动螺帽所连接的左滑块在第一导向杆上进行移动，以调整左滑块和右滑块上的第一导正轮，使第一导正轮到达材料边缘所需要对应的位置，而第一接驳滚轮用于辅助材料的移动支撑。

作为本申请的一种优选方案，所述第一双边夹持机构的进料一侧设置有与所述左机板和所述右机板连接的标尺，所述标尺的零点设于所述标尺的中间。

实现上述技术方案，以便于对材料的宽侧进行读数以及左滑块和右滑块的移动对位。

作为本申请的一种优选方案，所述第二双边夹持机构包括第二接驳滚轮以及设于所述第二接驳滚轮一侧的左侧板，另一侧的右侧板，所述左侧板和所述右侧板之间设置有第二导向杆，所述第二导向杆的一侧设置滑块一，所述第二导向杆的另一侧设置滑块二，所述滑块一和所述滑块二的顶部设置有第二导正轮，所述第二导正轮位于第二接驳滚轮的两侧。

实现上述技术方案，第二接驳滚轮用于辅助材料的移动支撑，而滑块一和滑块二用于在第二导向杆上进行移动，以调整第二导正轮在材料宽侧夹持的位置。

作为本申请的一种优选方案，所述左侧板和所述右侧板的顶部设置有提手。

实现上述技术方案，以便于将第二双边夹持机构提起。

作为本申请的一种优选方案，所述滑块一和所述滑块二背对的一侧设置有与所述第二导向杆滑动连接的固定块，所述固定块上竖直安装有锁紧杆，所述锁紧杆的顶部设置有手把轮，所述锁紧杆的底部连接有与第二导向杆连接的压块。

实现上述技术方案，通过手把轮正向旋转锁紧杆，使锁紧杆底部的压块压紧在第二导向杆，使滑块一或滑块二固定在第二导向杆上，反之使压块与第二导向杆分离，使滑块一或滑块二可在第二导向杆上进行移动。

作为本申请的一种优选方案，所述第一导向杆和第二导向杆至少设置有两个。

实现上述技术方案，以便于滑块的水平移动；其中，滑块上设置有与导向杆连接的导套。

综上所述，本实用新型具有如下有益效果：

1.本申请的第一双边夹持机构和第二双边夹持机构不仅可通过接驳滚轮辅助材料的移动支撑，而且可通过转动的导正轮对材料的宽侧进行夹持导正，以减少导正轮与材料之间的摩擦产生灰尘，从而提升材料的压膜良率。

2.本申请中的导正轮之间的宽度可进行调节，以满足不同宽度的材料进行夹持导正。

3.本申请采用导正轮导正时，避免滑动摩擦，则易产尘的因素被控制，减少了机台使用时的清洁频率，提高机台效率，并提高机台的压膜良率。

4.本申请在粘尘和压膜前均使用材料定中心双边夹持机构进行调整，逐级调整时提高了定中心的精度，减少因中心偏移过大时，导正受力大，产生应力大，产生灰尘多的情况。

附图说明

为了更清楚地说明本申请实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本申请的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为本实用新型实施例中的示意图。

图2为本实用新型实施例中的第一双边夹持机构示意图。

图3为本实用新型实施例中的第二双边夹持机构示意图。

图中标号：1、第一双边夹持机构；101、第一接驳滚轮；102、左机板；103、右机板；104、第一导向杆；105、左滑块；106、右滑块；107、第一导正轮；108、第一手把轮；109、第二手把轮；110、第一丝杆；111、第二丝杆；112、指针；2、粘尘机组；3、第二双边夹持机构；301、第二接驳滚轮；302、左侧板；303、右侧板；304、第二导向杆；305、滑块一；306、滑块二；307、第二导正轮；308、固定块；309、锁紧杆；310、手把轮；4、压膜机组； 5、标尺；6、提手；7、材料。

具体实施方式

下面将结合本申请实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

实施例：

一种半导体材料定中心双边夹持机构，参照图1和图2，包括依次设置的第一双边夹持机构1、粘尘机组2、第二双边夹持机构3和压膜机组4，第一双边夹持机构1包括用于材料7辅助支撑的第一接驳滚轮101以及安装于第一接驳滚轮101一侧的左机板102，另一侧的右机板103，右机板103和左机板102之间安装有第一导向杆104和支撑板，支撑板设于右机板103和左机板102的底部，而第一导向杆104的一侧安装左滑块105，另一侧安装有右滑块106，右滑块106和左滑块105的顶部分别安装有第一导正轮107，第一导正轮107位于第一接驳滚轮101的两侧，而左机板102的一侧安装有第一手把轮108和第二手把轮109，第一手把轮108通过第一丝杆110与右滑块106上的螺帽连接，第二手把轮109通过第二丝杆111与左滑块105上的螺帽连接。在本实施例中，第二双边夹持机构3包括用于材料7辅助支撑的第二接驳滚轮301以及安装于第二接驳滚轮301一侧的左侧板302，另一侧的右侧板303，左侧板302和右侧板303之间安装有第二导向杆304和支撑板，支撑板设于左侧板302和右侧板303的底部，而第二导向杆304的一侧安装有滑块一305，另一侧安装有滑块二306，滑块一305和滑块二306的顶部分别安装有第二导正轮307，第二导正轮307位于第二接驳滚轮301的两侧，滑块一305和滑块二306用于在第二导向杆304的两侧进行移动，以调整第二导正轮307在材料7宽侧夹持的位置。

参照图2和图3，第一双边夹持机构1和第二双边夹持机构3的进料一侧安装有标尺5，标尺5的零点设于标尺5的中间，以便于对材料7的宽侧进行读数以及便于滑块上的指针112移动对位。

参照图3，为了便于将第二双边夹持机构3提起。在本实施例中，第二双边夹持机构3上的左侧板302和右侧板303的顶部安装有提手6。

参照图3，为了便于将第二双边夹持机构3中的滑块一305和滑块二306进行固定。在本实施例中，滑块一305和滑块二306相背对的一侧安装有与第二导向杆304滑动连接的固定块308，固定块308上竖直安装有锁紧杆309，锁紧杆309的顶部安装有手把轮310，锁紧杆309的底部与固定块308中与第二导向杆304连接的压块连接。在使用时，通过手把轮310正向旋转锁紧杆309，使锁紧杆309底部的压块压紧在第二导向杆304，使滑块一305或滑块二306固定在第二导向杆304上，反之使压块与第二导向杆304分离，使滑块一305或滑块二306可在第二导向杆304上进行移动。

参照图2和图3，为了便于滑块的水平移动以及滑块能够在导向杆上进行顺畅的移动。在本实施例中，滑块中安装于与导向杆连接的导套，而第一导向杆104和第二导向杆304至少设置有两个

具体的，在实际使用时，在材料7进行粘尘和压膜前，需要先调整第一双边夹持机构1和第二双边夹持机构3上导正轮的位置；第一双边夹持机构1通过旋转第一手把轮108和第二手把轮109，由第一手把轮108和第二手把轮109分别带动第一丝杆110和第二丝杆111旋转，第一丝杆110旋转带动螺帽所连接的右滑块106在第一导向杆104上进行移动，而第二丝杆111旋转带动螺帽所连接的左滑块105在第一导向杆104上进行移动，以调整左滑块105和右滑块106上的第一导正轮107，使第一导正轮107到达材料7边缘所需要对应的位置，而第一接驳滚轮101用于辅助材料7的移动支撑；第二双边夹持机构3通过移动滑块一305和滑块二306在第二导向杆304的两侧进行移动，以调整第二导正轮307在材料7宽侧夹持的位置，待调整到对应的位置时，由手把轮310正向旋转锁紧杆309，使锁紧杆309底部的压块压紧在第二导向杆304。

对所公开的实施例的上述说明，使本领域专业技术人员能够实现或使用本申请。对这些实施例的多种修改对本领域的专业技术人员来说将是显而易见的，本文中所定义的一般原理可以在不脱离本申请的精神或范围的情况下，在其它实施例中实现。因此，本申请将不会被限制于本文所示的这些实施例，而是要符合与本文所公开的原理和新颖特点相一致的最宽的范围。

Claims (6)

1.一种半导体材料定中心双边夹持机构，包括依次设置的第一双边夹持机构（1）、粘尘机组（2）、第二双边夹持机构（3）和压膜机组（4），其特征在于，所述第一双边夹持机构（1）包括第一接驳滚轮（101）以及设于所述第一接驳滚轮（101）一侧的左机板（102），另一侧的右机板（103），所述右机板（103）和所述左机板（102）之间设置有第一导向杆（104），所述第一导向杆（104）的一侧设置左滑块（105），所述第一导向杆（104）的另一侧设置有右滑块（106），所述右滑块（106）和所述左滑块（105）的顶部设置有第一导正轮（107），所述第一导正轮（107）位于所述第一接驳滚轮（101）的两侧，所述左机板（102）的一侧设置有第一手把轮（108）和第二手把轮（109），所述第一手把轮（108）通过第一丝杆（110）与所述右滑块（106）上的螺帽连接，所述第二手把轮（109）通过第二丝杆（111）与所述左滑块105上的螺帽连接。

2.根据权利要求1所述的一种半导体材料定中心双边夹持机构，其特征在于，所述第一双边夹持机构（1）的进料一侧设置有与所述左机板（102）和所述右机板（103）连接的标尺（5），所述标尺（5）的零点设于所述标尺（5）的中间。

3.根据权利要求1所述的一种半导体材料定中心双边夹持机构，其特征在于，所述第二双边夹持机构（3）包括第二接驳滚轮（301）以及设于所述第二接驳滚轮（301）一侧的左侧板（302），另一侧的右侧板（303），所述左侧板（302）和所述右侧板（303）之间设置有第二导向杆（304），所述第二导向杆（304）的一侧设置滑块一（305），所述第二导向杆（304）的另一侧设置滑块二（306），所述滑块一（305）和所述滑块二（306）的顶部设置有第二导正轮（307），所述第二导正轮（307）位于第二接驳滚轮（301）的两侧。

4.根据权利要求3所述的一种半导体材料定中心双边夹持机构，其特征在于，所述左侧板（302）和所述右侧板（303）的顶部设置有提手（6）。

5.根据权利要求3所述的一种半导体材料定中心双边夹持机构，其特征在于，所述滑块一（305）和所述滑块二（306）背对的一侧设置有与所述第二导向杆（304）滑动连接的固定块（308），所述固定块（308）上竖直安装有锁紧杆（309），所述锁紧杆（309）的顶部设置有手把轮（310），所述锁紧杆（309）的底部连接有与第二导向杆（304）连接的压块。

6.根据权利要求3所述的一种半导体材料定中心双边夹持机构，其特征在于，所述第一导向杆（104）和第二导向杆（304）至少设置有两个。

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