CN218291085U - 沉积源及显示装置的制造装置 - Google Patents

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金东昱
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Abstract

本实用新型公开一种沉积源及显示装置的制造装置。本实用新型的一实施例的沉积源包括：外壳，在所述外壳的内部收容沉积材料；第一板，被设置为与所述外壳的底面相对且相隔，在所述第一板的中央包括多个第一开口；第二板，被设置为与所述第一板相对且相隔，并且包括多个第二开口；多个肋，被设置在所述外壳的底面与所述第一板之间；以及盖，被设置为与所述第二板相对且用于遮蔽所述外壳，所述盖具备用于排出所述沉积材料的喷嘴。

Description

沉积源及显示装置的制造装置
技术领域
本实用新型涉及一种装置，更详细而言，涉及一种沉积源及包括沉积源的显示装置的制造装置。
背景技术
最近广泛使用电子设备。电子设备以如移动型电子设备和固定型电子设备那样的多种方式得到利用，这种电子设备为了支持多种功能而包括能够将如图像或视频的视觉信息提供给用户的显示装置。
显示装置是以视觉方式显示数据的装置，通过沉积有机层、金属层等的多种层来形成。为了形成显示装置的多个层，可使用沉积装置。沉积装置以沉积材料从沉积源喷射并经过掩模沉积在基板上的方式得到利用。
前述的背景技术是发明人为了导出本实用新型而具有的或者在本实用新型的导出过程中掌握的技术信息，不能说必须是在本实用新型的申请之前向一般公众公开的公知技术。
实用新型内容
本实用新型的实施例的目的是提供一种能够高效地喷射沉积材料的沉积源及包括沉积源的显示装置的制造装置。
但是，这种课题是示意性的，本实用新型所要解决的课题并不限定于此。
本实用新型的一实施例公开一种沉积源，所述沉积源包括：外壳，在所述外壳的内部收容沉积材料；第一板，被设置为与所述外壳的底面相对且相隔，在所述第一板的中央包括多个第一开口；第二板，被设置为与所述第一板相对且相隔，并且包括多个第二开口；多个肋，设置在所述外壳的底面与所述第一板之间；以及盖，被设置为与所述第二板相对且用于遮蔽所述外壳，所述盖具备用于排出所述沉积材料的喷嘴。
根据本实施例，所述肋可包括：第一块，从所述外壳的底面向所述第一板延伸；以及第二块，设置在所述第一块的一侧，并且以与所述第一块交叉的方式延伸。
根据本实施例，所述第二块可与所述第一板相隔。
根据本实施例，所述肋可通过辐射(radiation)向所述第一板进行传热。
根据本实施例，所述第一板可包括：收容部，在所述第一板的俯视上与所述多个第一开口重叠；以及多个球形部件(spherical)，设置于所述收容部中。
根据本实施例，在所述第一板的俯视上，所述多个第一开口可以从所述收容部的周围向所述收容部的中心相隔设置。
根据本实施例，所述第一板可进一步包括能够开闭所述收容部的罩部。
根据本实施例，所述罩部可通过在所述收容部滑动移动来开闭所述收容部。
根据本实施例，所述第一开口的尺寸可小于所述球形部件的直径。
根据本实施例，在所述第二板中设置有所述多个第二开口的区域可大于在所述第一板中设置有所述多个第一开口的区域。
根据本实施例，所述第二开口可大于所述第一开口。
根据本实施例，可进一步包括包围所述外壳的整个外表面的加热部。
根据本实施例，可进一步包括包围所述加热部的外侧的隔热部。
根据本实施例，所述外壳的内部侧面可以以台阶式突出。
根据本实施例，所述外壳的以台阶式突出的内部侧面可支撑所述第一板、所述第二板及所述盖中的至少一个。
根据本实施例，所述沉积材料与所述第一板之间的第一压力可大于所述第一板与所述第二板之间的第二压力，所述第二压力可大于所述第二板与所述盖之间的第三压力，所述第三压力可大于所述喷嘴中的第四压力。
本实用新型的另一实施例公开一种显示装置的制造装置，所述显示装置的制造装置包括：掩模，与基板相对设置；以及沉积源，与所述掩模相对设置，所述沉积源包括：外壳，在所述外壳的内部收容沉积材料；第一板，被设置为与所述外壳的底面相对且相隔，在所述第一板的中央包括多个第一开口；第二板，被设置为与所述第一板相对且相隔，并且包括多个第二开口；多个肋，设置在所述外壳的底面与所述第一板之间；以及盖，被设置为与所述第二板相对且用于遮蔽所述外壳，所述盖具备用于排出所述沉积材料的喷嘴。
根据本实施例，所述肋可包括：第一块，从所述外壳的底面向所述第一板延伸；以及第二块，设置在所述第一块的一侧，并且以与所述第一块交叉的方式延伸。
根据本实施例，所述第一板可包括：收容部，在所述第一板的俯视上与所述多个第一开口重叠；以及多个球形部件(spherical)，设置于所述收容部中。
根据本实施例，在所述第一板的俯视上，所述多个第一开口可以从所述收容部的周围向所述收容部的中心相隔设置。
从权利要求书、以下的具体实施方式以及说明书附图将会明确除了前述内容以外的其他方面、特征及优点。
根据本实用新型的实施例，可提供一种能够高效地喷射沉积材料的沉积源及显示装置的制造装置。
此外，可提供一种不会因沉积材料的再次凝固而妨碍沉积材料的喷射的沉积源及显示装置的制造装置。
本实用新型的效果并不限定于上面提到的效果，本领域技术人员根据权利要求书的记载应能清楚理解没有提到的其他效果。
附图说明
图1是示意性地图示本实用新型的一实施例的显示装置的俯视图。
图2是示意性地图示本实用新型的一实施例的显示装置的剖面图，是沿图1的II–II'线剖切的剖面图。
图3是表示本实用新型的一实施例的显示装置的制造装置的剖面图。
图4是表示本实用新型的一实施例的沉积源的剖面图。
图5是表示本实用新型的一实施例的第一板的俯视图。
图6a是放大表示图4中的肋的放大剖面图。
图6b是表示本实用新型的另一实施例的肋的与图6a相似的图。
图7是放大表示图4的VII部分的放大图。
图8是放大表示图4的VIII部分的放大图。
图9a至图9c是放大表示本实用新型的一实施例的第一板的放大图。
图10是表示沉积材料在本实用新型的一实施例的沉积源中流动的示意性剖面图。
图11是示意性地表示沉积材料的相平衡状态图(phase diagram)的图。
具体实施方式
本实用新型可进行多种变更，可具有多种实施例，在附图中示意地表示特定实施例，并在具体实施方式中进行详细的说明。参照附图及详细后述的实施例，应能清楚本实用新型的效果和特征以及实现这些效果和特征的方法。但是本实用新型并不限定于以下公开的实施例，而是可由多种形态实现。
下面，参照附图对本实用新型的实施例进行详细说明，当参照附图进行说明时，相同或对应的结构要素使用相同的附图标记，并省略对该结构要素的重复说明。
在以下实施例中，第一、第二等用语并不具有限定性的含义，而是出于将一个结构要素与其他结构要素区别的目的而使用。
在以下实施例中，关于单数形式的表述，如果在上下文中不是明显地表示不同的含义，则该单数形式的表述包括复数形式的表述。
在以下实施例中，“包括”或“具有”等用语表示说明书中记载的特征或结构要素的存在，并不是用来事先排除一个以上的其他特征或结构要素附加的可能性。
在以下实施例中，当提到膜、区域或结构要素等部分位于另一部分的“上方”或“上”时，这不仅包括“直接”位于另一部分的上方的情况，而且还包括在其之间存在其他膜、区域或结构要素等的情况。
在附图中为了方便说明，可能夸大或缩小结构要素的尺寸。例如，为了方便说明，任意表示图中所示的各结构的尺寸及厚度，因此本实用新型并不一定限定于图示的内容。
在以下实施例中，X轴、Y轴及Z轴并不限定于直角坐标系上的三个轴，还可以用包括直角坐标系上三个轴的广义来解释该X轴、Y轴及Z轴。例如，X轴、Y轴及Z轴可以彼此正交，但还可以指彼此不正交的彼此不同的方向。
在某个实施例可用不同的方式实现的情况下，还可以与所说明的顺序不同的顺序执行特定的工艺顺序。例如，连续说明的两个工艺可以实质上同时执行，也可以按照与所说明的顺序相反的顺序进行。
图1是示意性地表示本实用新型的一实施例的显示装置的俯视图。
参照图1，根据本实用新型的一实施例制造的显示装置1可包括显示区域DA及位于显示区域DA的外侧的周边区域PA。显示装置1可通过在显示区域DA中二维排列的多个像素PX的阵列来提供图像。
周边区域PA是不提供图像的区域，可以包围显示区域DA的整体或局部。在周边区域PA中可设置有驱动器等，该驱动器用于向每个像素PX所对应的像素电路提供电信号或电源。在周边区域PA中可设置有焊盘，该焊盘是可以与电子元件或印刷电路板等电连接的区域。
以下说明显示装置1包括有机发光二极管(Organic Light Emitting Diode，OLED)作为发光元件(Light emitting element)的情况，但本实用新型的显示装置1并不限于此。作为另一实施例，显示装置1可以是包括无机发光二极管的发光显示装置即无机发光显示装置(Inorganic Light Emitting Display)。无机发光二极管可包括PN结二极管，该PN结二极管包括基于无机半导体的材料。在向PN结二极管施加正向电压时，空穴和电子被注入，可通过将由该空穴和电子的再次结合产生的能量转换为光能来发出规定颜色的光。前述的无机发光二极管可具有几微米～几百微米的宽度，在一些实施例中，无机发光二极管可被称作微型LED。作为又一实施例，显示装置1可以是量子点发光显示装置(Quantumdot Light Emitting Display)。
另一方面，显示装置1不仅可用作如移动电话(mobile phone)、智能电话(smartphone)、平板PC(tablet personal computer)、移动通信终端、电子记事本、电子书、便携式媒体播放器(portable multimedia player，PMP)、导航仪、超便携移动个人电脑(UltraMobile PC，UMPC)等的便携式电子设备的显示屏，而且还可用作电视机、笔记本电脑、监视器、广告牌、物联网(internet of things，IOT)装置等的多种产品的显示屏。此外，一实施例的显示装置1可在如智能手表(smart watch)、手表电话(watch phone)、眼镜式显示器及头戴式显示器(head mounted display，HMD)那样的可穿戴设备(wearable device)中使用。此外，一实施例的显示装置1可用作汽车的仪表盘、以及设置在汽车的中控台(centerfascia)或前围板上的中央信息显示器(Center Information Display，CID)、代替汽车的外后视镜的内后视镜显示器(room mirror display)、作为汽车的后座椅用娱乐系统且设置在前座椅背面的显示屏。
图2是示意性地图示利用本实用新型一实施例的显示装置的制造装置制造的显示装置的剖面图，可对应于沿图1的II–II'线剖切的显示装置的剖面。
参照图2，显示装置1可包括基板(或显示基板)100、像素电路层PCL、显示要素层DEL及封装层300的层叠结构。
基板100可以是包括基底层及无机层的多层结构，该基底层包括高分子树脂。例如，基板100可包括基底层和作为无机绝缘层的阻挡层，该基底层包括高分子树脂。例如，基板100可包括依次层叠的第一基底层101、第一阻挡层102、第二基底层103及第二阻挡层104。第一基底层101和第二基底层103可包括聚亚酰胺(polyimide，PI)、聚醚砜(polyethersulfone，PES)、聚芳酯(polyarylate)、聚醚酰亚胺(polyetherimide，PEI)、聚萘二甲酸乙二醇酯(polyethylene naphthalate，PEN)、聚对苯二甲酸乙二醇酯(polyethylene terephthalate，PET)、聚苯硫醚(polyphenylene sulfide，PPS)、聚碳酸酯(PC)、三乙酸纤维素(TAC)或/和醋酸丙酸纤维素(cellulose acetate propionate，CAP)等。第一阻挡层102和第二阻挡层104可包括如硅氧化物、硅氧氮化物和/或硅氮化物的无机绝缘物。基板100可具有挠性特性。
在基板100上设置有像素电路层PCL。图2示出像素电路层PCL包括薄膜晶体管TFT、以及设置在薄膜晶体管TFT的结构要素的下方或/和上方的缓冲层111、第一栅极绝缘层112、第二栅极绝缘层113、层间绝缘层114、第一平坦化绝缘层115及第二平坦化绝缘层116。
缓冲层111可用于减少或阻断杂质、湿气或外部气体从基板100的下部渗透，并且可以在基板100上提供平坦面。缓冲层111可包括如硅氧化物、硅氧氮化物、硅氮化物的无机绝缘物，可由包括前述物质的单层或多层结构形成。
缓冲层111上的薄膜晶体管TFT可包括半导体层Act，半导体层Act可包括多晶硅。或者，半导体层Act可包括非晶(amorphous)硅，或者包括氧化物半导体，或者包括有机半导体等。半导体层Act可包括沟道区C、分别设置在沟道区C的两侧的漏区D及源区S。栅极电极GE可以与沟道区C重叠。
栅极电极GE可包括低电阻金属物质。栅极电极GE可包括导电物质，该导电物质包括钼(Mo)、铝(Al)、铜(Cu)、钛(Ti)等，栅极电极GE可形成为包括上述材料的多层或单层结构。
半导体层Act与栅极电极GE之间的第一栅极绝缘层112可包括如氧化硅(SiO2)、氮化硅(SiNX)、氮氧化硅(SiON)、氧化铝(Al2O3)、氧化钛(TiO2)、氧化钽(Ta2O5)、氧化铪(HfO2)或氧化锌(ZnOx)等的无机绝缘物。氧化锌(ZnOx)可以是ZnO和/或ZnO2。
第二栅极绝缘层113可被设置为覆盖所述栅极电极GE。与所述第一栅极绝缘层112相似地，第二栅极绝缘层113可包括如氧化硅(SiO2)、氮化硅(SiNX)、氮氧化硅(SiON)、氧化铝(Al2O3)、氧化钛(TiO2)、氧化钽(Ta2O5)、氧化铪(HfO2)或氧化锌(ZnOx)等的无机绝缘物。氧化锌(ZnOx)可以是ZnO和/或ZnO2。
在第二栅极绝缘层113的上部可设置有存储电容器Cst的上部电极Cst2。上部电极Cst2可以与其下方的栅极电极GE重叠。此时，隔着第二栅极绝缘层113重叠的栅极电极GE及上部电极Cst2可形成存储电容器Cst。即，栅极电极GE可以起到存储电容器Cst的下部电极Cst1的作用。
如此，存储电容器Cst和薄膜晶体管TFT可以重叠形成。在一些实施例中，存储电容器Cst也可以形成为与薄膜晶体管TFT不重叠。
上部电极Cst2可包括铝(Al)、铂(Pt)、钯(Pd)、银(Ag)、镁(Mg)、金(Au)、镍(Ni)、钕(Nd)、铱(Ir)、铬(Cr)、钙(Ca)、钼(Mo)、钛(Ti)、钨(W)和/或铜(Cu)，可以是前述物质的单层或多层结构。
层间绝缘层114可覆盖上部电极Cst2。层间绝缘层114可包括氧化硅(SiO2)、氮化硅(SiNX)、氮氧化硅(SiON)、氧化铝(Al2O3)、氧化钛(TiO2)、氧化钽(Ta2O5)、氧化铪(HfO2)或氧化锌(ZnOx)等。氧化锌(ZnOx)可以是ZnO和/或ZnO2。层间绝缘层114可以是包括前述无机绝缘物的单层或多层结构。
漏极电极DE及源极电极SE可分别位于层间绝缘层114上。漏极电极DE及源极电极SE可分别通过形成于其下部的绝缘层中的接触孔与漏区D及源区S连接。漏极电极DE及源极电极SE可包括导电性良好的材料。漏极电极DE及源极电极SE可包括导电物质，该导电物质包括钼(Mo)、铝(Al)、铜(Cu)、钛(Ti)等，漏极电极DE及源极电极SE可形成为包括上述材料的多层或单层结构。作为一实施例，漏极电极DE及源极电极SE可具有Ti/Al/Ti的多层结构。
第一平坦化绝缘层115可覆盖漏极电极DE及源极电极SE。第一平坦化绝缘层115可包括有机绝缘物，所述有机绝缘物例如为如聚甲基丙烯酸甲酯(Polymethylmethacrylate，PMMA)或聚苯乙烯(Polystyrene，PS)那样的普通通用高分子、具有酚类基团的高分子衍生物、丙烯酸类高分子、酰亚胺类高分子、芳基醚类高分子、酰胺类高分子、氟类高分子、对二甲苯类高分子、乙烯醇类高分子或它们的混合物。
第二平坦化绝缘层116可设置在第一平坦化绝缘层115上。第二平坦化绝缘层116可包括与第一平坦化绝缘层115的物质相同的物质，可包括有机绝缘物，所述有机绝缘物例如为如聚甲基丙烯酸甲酯(Polymethylmethacrylate，PMMA)或聚苯乙烯(Polystyrene，PS)那样的普通通用高分子、具有酚类基团的高分子衍生物、丙烯酸类高分子、酰亚胺类高分子、芳基醚类高分子、酰胺类高分子、氟类高分子、对二甲苯类高分子、乙烯醇类高分子或它们的混合物。
在前述结构的像素电路层PCL上可设置有显示要素层DEL。显示要素层DEL可包括有机发光二极管OLED作为显示要素(即，发光元件)，有机发光二极管OLED可包括像素电极210、居间层220及公共电极230的层叠结构。有机发光二极管OLED例如可以发出红色、绿色或蓝色的光，或者可以发出红色、绿色、蓝色或白色的光。有机发光二极管OLED可通过发光区域发出光，可将发光区域定义为像素PX。
有机发光二极管OLED的像素电极210可通过形成于第二平坦化绝缘层116及第一平坦化绝缘层115的接触孔和设置在第一平坦化绝缘层115上的接触金属CM与薄膜晶体管TFT电连接。
像素电极210可包括如氧化铟锡(indium tin oxide，ITO)、氧化铟锌(indiumzinc oxide，IZO)、氧化锌(zinc oxide，ZnO)、氧化铟(indium oxide，In2O3)、氧化铟镓(indium gallium oxide，IGO)或氧化锌铝(aluminum zinc oxide，AZO)的导电性氧化物。在另一实施例中，像素电极210可包括反射膜，该反射膜包括银(Ag)、镁(Mg)、铝(Al)、铂(Pt)、钯(Pd)、金(Au)、镍(Ni)、钕(Nd)、铱(Ir)、铬(Cr)或它们的化合物。作为另一实施例，像素电极210可以在前述反射膜的上方/下方进一步包括由ITO、IZO、ZnO或In2O3形成的膜。
在像素电极210上设置有像素限定膜117，该像素限定膜117具有暴露像素电极210的中央部的开口117OP。像素限定膜117可包括有机绝缘物和/或无机绝缘物。开口117OP可限定由有机发光二极管OLED发出的光的发光区域。例如，开口117OP的尺寸/宽度可相当于发光区域的尺寸/宽度。因此，像素PX的尺寸和/或宽度可依赖于相应的像素限定膜117的开口117OP的尺寸和/或宽度。
居间层220可包括被形成为与像素电极210对应的发光层222。发光层222可包括发出规定颜色的光的高分子或低分子有机物。或者，发光层222可包括无机发光物质或者包括量子点。
作为一实施例，居间层220可包括分别设置在发光层222的下方和上方的第一功能层221及第二功能层223。第一功能层221例如可包括空穴传输层(Hole Transport Layer，HTL)，或者包括空穴传输层及空穴注入层(Hole Injection Layer，HIL)。第二功能层223为设置在发光层222上方的结构要素，可包括电子传输层(Electron Transport Layer，ETL)和/或电子注入层(Electron Injection Layer，EIL)。与后述的公共电极230同样，第一功能层221和/或第二功能层223可以是以整体覆盖基板100的方式形成的公共层。
公共电极230可设置在像素电极210上，并且可以与像素电极210重叠。公共电极230可由功函数低的导电性物质构成。例如，公共电极230可包括(半)透明层，该(半)透明层包括银(Ag)、镁(Mg)、铝(Al)、铂(Pt)、钯(Pd)、金(Au)、镍(Ni)、钕(Nd)、铱(Ir)、铬(Cr)、锂(Li)、钙(Ca)或它们的合金等。或者，公共电极230可以在包括前述物质的(半)透明层上进一步包括如ITO、IZO、ZnO或In2O3的层。公共电极230可以以整体覆盖基板100的方式一体形成。
封装层300可设置在显示要素层DEL上并覆盖显示要素层DEL。封装层300包括至少一个无机封装层及至少一个有机封装层，作为一实施例，图2示出封装层300包括依次层叠的第一无机封装层310、有机封装层320及第二无机封装层330。
第一无机封装层310及第二无机封装层330可包括氧化铝、氧化钛、氧化钽、氧化铪、氧化锌、氧化硅、氮化硅及氮氧化硅中的一种以上的无机物。有机封装层320可包括聚合物(polymer)系列的物质。作为聚合物系列的原材料，可包括丙烯酸类树脂、环氧类树脂、聚酰亚胺和聚乙烯等。作为一实施例，有机封装层320可包括丙烯酸酯(acrylate)。有机封装层320可通过使单体固化或涂布聚合物来形成。有机封装层320可具有透明性。
虽然未图示，但在封装层300上可设置有触摸传感器层，在触摸传感器层上可设置有光学功能层。触摸传感器层可以获取由外部输入例如触摸事件产生的坐标信息。光学功能层可以减少从外部向显示装置1射入的光(外部光)的反射率，以及/或者可以提高由显示装置1发出的光的色纯度。作为一实施例，光学功能层可包括相位延迟器(retarder)和/或偏光片(polarizer)。相位延迟器可以是薄膜型或液晶涂布型，并且可包括λ/2相位延迟器和/或λ/4相位延迟器。偏光片也可以是薄膜型或液晶涂布型。薄膜型的偏光片可包括拉伸型合成树脂薄膜，液晶涂布型的偏光片可包括按规定的阵列排列的液晶。相位延迟器及偏光片可进一步包括保护膜。
在所述触摸传感器层和所述光学功能层之间可设置有粘合部件。所述粘合部件可以不受限制地采用本技术领域中已知的常规粘合部件。所述粘合部件可以是压敏型粘合剂(pressure sensitive adhesive，PSA)。
图3是表示本实用新型的一实施例的显示装置的制造装置的剖面图。
参照图3，前述的显示装置1可通过显示装置的制造装置2制造。
显示装置的制造装置2可包括腔室10、第一支撑部20、第二支撑部30、掩模组件40、沉积源500、磁力部60、视觉部70及压力调节部80。
在腔室10的内部可形成空间，腔室10的一部分可开口。此时，在腔室10的开口部分可设置有闸阀11。在这种情况下，可根据闸阀11的操作，开放或封闭腔室10的开口部分。
第一支撑部20可安装并支撑显示基板100。此时，第一支撑部20可以是固定在腔室10内部的板形态。作为另一实施例，第一支撑部20也可以是安装显示基板100并在腔室10内部能够进行线性运动的梭子形态。作为又一实施例，第一支撑部20也可以包括静电夹盘或粘合夹盘，该静电夹盘或粘合夹盘固定于腔室10或者以能够在腔室10内部升降的方式设置于腔室10。以下，为了方便说明，以第一支撑部20是固定于腔室10内部的板形态的情况为中心进行详细说明。
第二支撑部30可以安装掩模组件40。此时，第二支撑部30可设置于腔室10内部。第二支撑部30可以微调掩模组件40的位置。此时，第二支撑部30可具备额外的驱动部和对准单元等，从而使掩模组件40能够沿彼此不同的方向移动。
作为另一实施例，第二支撑部30也可以是梭子形态。在这种情况下，第二支撑部30可以安装掩模组件40，并且可以移送掩模组件40。例如，第二支撑部30可向腔室10的外部移动，并且在安装掩模组件40之后可从腔室10的外部进入腔室10的内部。
在如上所述的情况下，第一支撑部20和第二支撑部30也可以一体形成。在这种情况下，第一支撑部20和第二支撑部30可包括能够移动的梭子。此时，第一支撑部20和第二支撑部30可包括以在掩模组件40上安装有显示基板100的状态下固定掩模组件40和显示基板100的结构，还可以使显示基板100和掩模组件40同时进行线性运动。
但是，为了方便说明，以下以第一支撑部20和第二支撑部30彼此区分开来形成且设置于彼此不同的位置的形态、以及第一支撑部20和第二支撑部30设置于腔室10内部的形态为中心进行详细说明。
沉积源500可与掩模组件40相对设置。此时，在沉积源500中可收纳有沉积材料，可通过向沉积材料施加热来使沉积材料蒸发或升华。沉积源500可以固定设置于腔室10的内部，或者可以以沿一方向进行线性运动的方式设置于腔室10的内部。但是，为了方便说明，以下以沉积源500固定设置于腔室10内部的情况为中心进行详细说明。关于沉积源500将在后面进行详细说明。
掩模组件40可以选择性地设置于腔室10的内部。此时，掩模组件40可包括掩模框架41及掩模片42。掩模片42可以以拉伸状态固定于掩模框架41。掩模片42可包括至少一个图案孔。图案孔可以是以使沉积材料能够经过掩模片42的方式形成的贯通孔。
磁力部60可以以与显示基板100相对的方式设置于腔室10的内部。此时，磁力部60可通过对掩模组件40施加磁力，从而朝向显示基板100侧对掩模组件40施力。特别是，磁力部60不仅可防止掩模片42的塌陷，而且可以使掩模片42靠近显示基板100。此外，磁力部60可将掩模片42与显示基板100之间的间隔保持均匀。
视觉部70设置于腔室10，视觉部70可以拍摄显示基板100和掩模组件40的位置。此时，视觉部70可包括拍摄显示基板100及掩模组件40的摄像头。可根据由视觉部70拍摄到的图像来识别显示基板100和掩模组件40的位置，并且可根据所述图像来在第一支撑部20中微调显示基板100的位置或者在第二支撑部30中微调掩模组件40的位置。但是，以下以在第二支撑部30中微调掩模组件40的位置来对准显示基板100和掩模组件40的位置的情况为中心进行详细说明。
压力调节部80可以与腔室10连接，并且调节腔室10内部的压力。例如，压力调节部80可将腔室10内部的压力调节为与大气压相同或相似的压力。此外，压力调节部80可将腔室10内部的压力调节为与真空状态相同或相似的压力。
压力调节部80可包括与腔室10连接的连接管道81和设置于连接管道81的泵82。此时，根据泵82的操作，外部气体可以经过连接管道81流入腔室10，或者腔室10内部的气体可以经过连接管道81引导到外部。
另外，如上所述的显示装置的制造装置2可用于制造前述的显示装置1。具体而言，在压力调节部80将腔室10的内部设为与大气压相同或相似的状态的情况下，可通过使闸阀11进行操作来开放腔室10的开口部分。
之后，可从腔室10的外部向内部装入显示基板100。此时，可以以多种方式向腔室10装入显示基板100。例如，可通过设置于腔室10外部的机械臂等从腔室10外部向腔室10内部装入显示基板100。作为另一实施例，当第一支撑部20以梭子形态形成时，也可从腔室10内部向腔室10外部运出第一支撑部20之后，通过设置于腔室10外部的额外的机械臂等将显示基板100安装于第一支撑部20，并且从腔室10外部向腔室10内部装入第一支撑部20。以下，为了方便说明，以由设置于腔室10外部的机械臂从腔室10外部向腔室10内部装入显示基板100的情况为中心进行详细说明。
掩模组件40可以处于如上所述那样设置于腔室10内部的状态。作为另一实施例，也可以与显示基板100同样或相似地，从腔室10外部向腔室10内部装入掩模组件40。但是，为了方便说明，以下以在掩模组件40设置于腔室10内部的状态下从腔室10外部向腔室10内部只装入显示基板100的情况为中心进行详细说明。
在如上所述的情况下，作为另一实施例，也可以如以上所说明的那样在第一支撑部20和第二支撑部30以梭子形态固定显示基板100和掩模组件40之后从腔室10外部装入到腔室10内部。
在显示基板100装入到腔室10内部的情况下，显示基板100可安装于第一支撑部20。此时，视觉部70可拍摄显示基板100和掩模组件40的位置。特别是，视觉部70可拍摄显示基板100的第一对准标志及掩模组件40的第二对准标志。
可根据如上所述那样拍摄到的第一对准标志和第二对准标志，识别显示基板100和掩模组件40的位置。此时，显示装置的制造装置2具备额外的控制部(未图示)，从而可以识别显示基板100和掩模组件40的位置。
在完成显示基板100和掩模组件40的位置识别的情况下，第二支撑部30可以微调掩模组件40的位置。
之后，沉积源500进行操作，将沉积材料供给到掩模组件40侧，并且经过掩模片42的多个图案孔的沉积材料可以沉积到显示基板100。此时，泵82可以抽吸腔室10内部的气体并使之排出到外部，从而使腔室10内部的压力维持为与真空状态相同或相似的压力。
在如上所述的情况下，沉积材料可经过掩模组件40的图案孔沉积到显示基板100。此时，掩模组件40可提供与应沉积到显示基板100的区域对应的图案孔。由此，可形成层叠到前述显示装置1的多个层例如金属层等。
图4是表示本实用新型的一实施例的沉积源的剖面图。
参照图4，沉积源500可包括外壳510、加热部520、隔热部530、第一板540、第二板550、肋560、盖570及球形部件580。
外壳510的一侧(例如，图4中的z方向侧)可开放，并在外壳510的内部可形成空间。在一实施例中，外壳510可具有圆柱形状。因此，在沿高度方向(图4中的z方向)观察外壳510时，外壳510的剖面可为圆形。在另一实施例中，外壳510可具有四角柱形状，在沿高度方向观察外壳510时，外壳510的剖面可以是四边形。以下，为了方便说明，以外壳510为四角柱形状为中心进行说明。
在外壳510的内部可收容沉积材料DM。如前所述，沉积材料DM是用于在显示基板100上形成金属层或有机层等的物质。沉积材料DM可在外壳510中填充至规定高度。
加热部520可向外壳510进行传热，以使外壳510内部的沉积材料DM汽化。作为一实施例，在加热部520的内部可设置有加热线。此外，加热部520可被设置为包围外壳510的整个外表面。由此，可增加加热部520与外壳510的接触面积，向外壳510可进一步高效地传递更多的热。
在加热部520的外侧可设置有隔热部530。隔热部530可被设置为包围加热部520的整个外表面。隔热部530可以以加热部520及外壳510的热不会排出到外部的方式进行遮蔽。由此，可以减少沉积源500的热损失。此外，可以防止因向外部排出热而导致的外部环境的变化或者对外部设备带来的影响。
第一板540可被设置为与外壳510的底面(图4的-z方向的表面)相对且相隔。第一板540可被设置为与收容于外壳510的沉积材料DM相比更靠上部。
图5是表示本实用新型的一实施例的第一板的俯视图。即，图5是沿竖直方向(图4的-z方向)观察图4的第一板540的图。为了方便说明，在图5中未图示球形部件580而进行说明。
参照图4及图5，在一实施例中，第一板540可包括收容部542。具体而言，第一板540可在从俯视上的外侧周围向中央的方向上与所述外侧周围相隔形成有收容部542。即，收容部542的外侧周围可向第一板540的内侧与第一板540的外侧周围相隔。收容部542可被形成在包括第一板540的中心且靠近该中心的区域。因此，如后所述，收容在收容部542内的球形部件580只设置在第一板540的中央，从而可以使设置球形部件580的区域最小化。这样，可以使在球形部件580设置于整个第一板540的情况下可能会产生的外壳510内部的温度梯度最小化。
收容部542的俯视上的外侧周围可被形成为与第一板540的外侧周围的形状相同的形状。例如，在第一板540具有四边形的周围的情况下，收容部542也可以具有四边形的周围。但并不限定于此，收容部542的外侧周围可被形成为与第一板540的外侧周围的形状不同的形状。
第一板540可包括多个第一开口541。具体而言，多个第一开口541可被形成为贯通第一板540。沉积材料DM在被汽化后可通过多个第一开口541经过第一板540。
多个第一开口541可被设置在包括第一板540的中心且靠近该中心的区域，而不遍及第一板540的整个区域设置。即，多个第一开口541可在从第一板540的俯视上的外侧周围向中央的方向上相隔设置。因此，沉积材料DM在被汽化后可以只在第一板540的中心部经过第一板540。由此，在外壳510的内部，特别在外壳510的底面与第一板540之间的内压上升，从而可以使沉积源500内部的温度上升。
在第一板540具备收容部542的情况下，多个第一开口541可被设置为贯通收容部542。即，在与第一板540垂直(图5中的z方向)地观察时，多个第一开口541可与收容部542重叠。作为一实施例，与收容部542重叠且形成在第一板540的上表面上的第一开口541和与收容部542重叠且形成在第一板540的下表面上的第一开口541可设置在俯视上的相同位置上。即，在与第一板540垂直(图5中的z方向)地观察时，形成在第一板540的上表面的第一开口541和形成在第一板540的下表面的第一开口541可完全重叠。作为另一实施例，形成在第一板540的上表面的第一开口541和形成在第一板540的下表面的第一开口541可设置在不同位置上。以下，为了方便说明，以形成在第一板540的上表面的第一开口541和形成在第一板540的下表面的第一开口541如图5所示那样完全重叠的情况为中心进行说明。
在一实施例中，多个第一开口541可以不设置于界定收容部542的第一板540的整个上表面和/或整个下表面。即，如图5所示，多个第一开口541可从收容部542的俯视上的外侧周围向收容部542的中心相隔设置。如此，在第一板540中设置收容部542的区域可在俯视图上形成为比设置多个第一开口541的区域宽。由此，在从收容部542的外侧周围发生经汽化的沉积材料DM再次凝缩而固态化(所谓材料生长)的情况下，可以防止固态化的沉积材料DM堵塞第一开口541。
再次参照图4，在收容部542中可设置有多个球形部件580。多个球形部件580可以填充收容部542。多个球形部件580各自的尺寸可大于第一开口541的尺寸。例如，第一开口541的直径可以是约1mm，球形部件580的直径可大于1mm。由此，多个球形部件580不会脱离第一板540。
由于外部冲击或移动时的晃动等，可能会产生从填充在沉积源500的沉积材料DM溅出规定尺寸的沉积材料颗粒的飞溅(splash)现象。由飞溅现象产生的沉积材料颗粒可被定义为污染颗粒。此外，在沉积材料DM汽化时，可能会产生灰尘(ash)。灰尘也可被定义为污染颗粒。
在未设置球形部件580的情况下，污染颗粒可能会溅起而附着到后述的喷嘴571。这可能会妨碍喷嘴571顺畅地喷射沉积材料DM。
球形部件580可以发挥过滤污染颗粒的过滤器功能。也就是，即使因飞溅现象或灰尘(ash)而由沉积材料DM产生污染颗粒，也可以通过球形部件580的过滤器作用来过滤污染颗粒。
第二板550可被设置为与第一板540相对且相隔。第二板550可设置在第一板540的上部(图4中的z方向)。
第二板550可包括多个第二开口551。具体而言，多个第二开口551可被形成为贯通第二板550。沉积材料DM在被汽化而经过第一板540之后，可通过多个第二开口551经过第二板550。
在一实施例中，多个第二开口551可分布设置于第二板550的整个区域。此外，在与第二板550垂直(图4中的z方向)地观察时，设置有多个第二开口551的区域可大于设置有多个第一开口541的区域。通过将多个第二开口551分布于第二板550的整个区域，可以使经汽化的沉积材料DM均匀地供给到喷嘴571。
在一实施例中，第二开口551的尺寸可大于第一开口541的尺寸。与第一开口541不同地，针对第二开口551不需要为了防止球形部件580的脱离而考虑球形部件580的尺寸。由此，第二开口551的尺寸可被形成为大于第一开口541的尺寸，以便使经汽化的沉积材料DM顺畅地供给到喷嘴571。但并不限于此，作为另一实施例，第二开口551的尺寸可以与第一开口541的尺寸相同。
此外，虽然在附图中未图示，但与图5中的多个第一开口541相似地，多个第二开口551可沿第一方向(例如，图4中的x方向)及第二方向(例如，图4中的y方向)以相同的间隔相隔设置。
盖570可通过覆盖外壳510的开放部分，具体覆盖外壳510的上部来遮蔽外壳510。盖570可被设置为与第二板550相对且相隔。盖570可包括多个喷嘴571。喷嘴571可将经过第二板550且经汽化的沉积材料DM排出到外部。多个喷嘴571可以均匀地分布到盖570的整个区域，从而将沉积材料DM均匀地排出到外部。
在外壳510的底面与第一板540之间可设置有多个肋560。肋560的一端部可与外壳510连接并接收从外壳510传递的热。肋560的另一端部可与第一板540相邻，并且与第一板540相隔设置。例如，肋560与第一板540的相隔距离可以是1mm以下。肋560可将从外壳510传递的热以辐射(radiation)方式传递到第一板540。这可以使第一板540的温度上升，并且可以防止经汽化的沉积材料DM与温度相对低的第一板540接触而再次固态化。
肋560还可以划分外壳510的下部空间。具体而言，多个肋560可分别在外壳510的底面沿第一方向(例如，图4中的x方向)相隔设置。此时，各个肋560可在外壳510的底面沿第二方向(例如，图4中的y方向)延伸并与外壳510的周围面接触。由此，多个肋560可以划分外壳510的下部空间。在外壳510的各个被划分空间中可分别设置有沉积材料DM。沉积材料DM可以以规定量例如以相同质量设置于各个被划分空间，由此可以在整个外壳510均等地分配并收容沉积材料DM。
图6a是放大表示图4中的肋的放大剖面图。
参照图6a，在一实施例中，肋560可包括第一块561及第二块562。
第一块561可从外壳510的底面沿第三方向(例如，图6a中的z方向)延伸而具有高度。此外，第一块561可沿第二方向(例如，图6a中的y方向)延伸。由此，第一块561可在划分外壳510的下部空间的同时，向收容的沉积材料DM进行传热，并且靠近第一板540进行传热。
此外，虽然在附图中未图示，但在一实施例中，第一块561可包括多个开口部。多个开口部例如可设置在第一块561的比第一块561的高度(图6a中的z方向上的长度)的1/2大的部位。多个开口部可提供通道，以便使经汽化的沉积材料DM通过所述开口部移动。由此可使经汽化的沉积材料DM顺畅地移动。
第二块562可连接到第一块561的一侧(例如，图6a中的z方向侧)。第二块562可与第一块561交叉设置，例如可与第一块561垂直设置。即，第二块562可沿第一方向(例如，图6a中的x方向)延伸。此外，第二块562可顺着第一块561沿第二方向(例如，图6a中的y方向)延伸。换言之，第二块562可以是与第一板540的一面实质上平行的板(plate)形态。
此时，第二块562可被设置为其两侧以第一块561为基准对称。即，以第一块561为基准向一侧突出的长度与向另一侧突出的长度可以相同。如此连接的第一块561及第二块562例如在沿图6中的y方向观察时可呈T字形状。
此外，作为一实施例，在沿图6a中的z方向观察时，第二块562的剖面可以大于第一块561的剖面。此时，第一块561的剖面可位于第二块562的剖面内。
此外，如前所述，第二块562可与第一板540相邻，并且在图6a中的z方向上与第一板540相隔设置。例如，第二块562与第一板540的相隔距离可以是1mm以下。
如此，与第一块561的一侧连接的第二块562可以以较宽的表面积向第一板540辐射(radiation)热。这样可以增加传热效率。
另外，在一实施例中，肋560可与外壳510一体形成。具体而言，第一块561和第二块562可与外壳510一体形成。在另一实施例中，肋560可与外壳510分体形成后组装到外壳510。例如，肋560可与外壳510插接。
此时，可以仅将第二块562分体形成且将第一块561与外壳510一体形成。或者，可将第一块561及第二块562均分体形成后组装到外壳510。
图6b是表示本实用新型的另一实施例的肋的与图6a相似的图。由于本实施例的肋与前述的图6a的肋相似，因此以下以区别点为基准进行说明。
参照图6b，作为一实施例，第二块562可被设置为以第一块561为基准不对称。第二块562可以以第一块561为基准只向一侧(例如，图6b中的x方向)突出。如此连接的第一块561及第二块562例如在沿图6中的y方向观察时可呈L字形状。
图7是放大表示图4的VII部分的放大图。
参照图7，外壳510的内部面中的侧面可以以台阶式突出形成。具体而言，外壳510的周围可由第一壁W1至第四壁W4形成。
第一壁W1在外壳510的周围中可为最外侧的壁。第一壁W1的上表面可与盖570接触而支撑盖570。
第二壁W2可从第一壁W1向内部突出形成。此时，第二壁W2的高度H2(图7中的z方向上的长度)可小于第一壁W1的高度H1。此外，第二壁W2的上表面可与第二板550接触而支撑第二板550。
第三壁W3可从第二壁W2向内部突出形成。此时，第三壁W3的高度H3可小于第二壁W2的高度H2。此外，第三壁W3的上表面可与第一板540接触而支撑第一板540。
作为一实施例，第一板540可进一步包括被第三壁W3支撑的卡合部546。卡合部546可遍及第一板540的整个周围而形成。卡合部546可从第一板540的周围突出而被第三壁W3支撑。但作为另一实施例，第一板540的下表面(图7中的-z方向的面)与第三壁W3的上表面接触而被支撑，可以不包括卡合部546。
第四壁W4可从第三壁W3向内部突出形成。此时，第四壁W4的高度H4可小于第三壁W3的高度H3。第四壁W4可与沉积材料DM接触。即，在外壳510的周围，在第四壁W4的内侧可收容沉积材料DM。此时，作为一实施例，第四壁W4可包括从第四壁W4的上端部向内部突出的突出部W4-1。突出部W4-1可以以与第二块562相同的方式形成并通过突出部W4-1的面积以辐射方式向第一板540进行传热。
图8是放大表示图4的VIII部分的放大图。
参照图8，作为一实施例，盖570可以与外壳510连接或解除连接，为了固定到外壳510，盖570可进一步包括结合部572。如图8所示，结合部572可以是收容于盖570内部且一部分贯通盖570的下表面并突出的销。销可插入到外壳510的周围壁例如第一壁W1而固定于第一壁W1。此时，第一壁W1可具备螺纹槽并与销螺纹结合。但结合部572并不限于这种方式，可采用能够以盖570与外壳510连接或解除连接的方式进行固定的多种机构。
图9a至图9c是放大表示本实用新型的一实施例的第一板的放大图。
参照图9a及图9b，在第一板540上可设置有罩部543。罩部543可以开闭，球形部件580可通过罩部543出入收容部542。第一板540可一体形成，由此可能会需要用于使球形部件580出入收容部542的机构。罩部543可形成在第一板540的一面，例如可形成在第一板540的上表面(图9a中的z方向的面)。此外，罩部543可被形成为其尺寸大于球形部件580的尺寸，以便使球形部件580可以插入到收容部542。
作为一实施例，罩部543可以一部分覆盖收容部542且另一部分固定于第一板540。此时，在第一板540上可形成有用于收容所述罩部543的沟槽。通过在第一板540的沟槽中设置罩部543，可以使得罩部543的上表面(图9a中的z方向的面)与第一板540的上表面(图9a中的z方向的面)连续。为了将球形部件580放入收容部542，罩部543被去除，在将球形部件580放入收容部542之后可设置罩部543。
此时，可具备用于将罩部543固定于第一板540的固定部544。固定部544例如可以是螺栓。固定部544可被收容于罩部543内部，且固定部544的一部分可以贯通罩部543的下表面来突出。此外，第一板540可具备螺纹槽，从而与固定部544螺纹结合。
如图9a所示，固定部544的头部也可以完全安装于罩部543的内部，但如图9b所示，固定部544的头部可以以位于罩部543外部的方式贯通罩部543。但固定部544并不限定于这种方式，可采用多种机构来使罩部543能够被固定于第一板540或解除固定。
参照图9c，作为另一实施例，罩部543可通过滑动来开闭收容部542。罩部543可以以与第一板540的界定收容部542的一面接触的方式进行滑动(例如，图9c中的x方向)来开放收容部542。在收容部542中填充球形部件580之后，罩部543可以以远离第一板540的界定收容部542的一面的方式进行滑动(例如，图9c中的-x方向)来关闭收容部542。此时，如前所述，可通过插入固定部544来固定罩部543和第一板540。
图10是表示沉积材料DM在本实用新型的一实施例的沉积源500中流动的示意性剖面图。图11是示意性地表示沉积材料DM的相平衡状态图(phase diagram)的图。
参照图10，加热部520可向外壳510进行传热。由此，沉积材料DM可被汽化而经过第一板540。此时，在第一板540的中央可设置有第一开口541及收容于收容部542的球形部件580。通过将第一开口541及球形部件580只设置于中央，可以减少设置第一开口541及球形部件580的区域且提高第一板540下部的内压。经过第一板540的沉积材料DM可经过分布在第二板550的整个区域的第二开口551。最后，经过第二板550的沉积材料DM可通过盖570的喷嘴571喷射到外部。
此外，由于具备如前所述的第一板540及第二板550，因此与不具备该第一板540及第二板550的情况相比，经汽化的沉积材料DM的压力可以在沉积源500的内部尤其在第一板540的下部增加。
另外，沉积材料DM与第一板540之间的压力可被定义为第一压力P1，第一板540与第二板550之间的压力可被定义为第二压力。与此相似地，第二板550与盖570之间的压力可被定义为第三压力，喷嘴571中的压力可被定义为第四压力P4。
在一实施例中，第一压力P1至第四压力P4可以依次减小。即，第一压力P1可以最大，第四压力P4可以最小。这种压力梯度有可能是因为在第一板540中设置第一开口541及收容部542的区域减少而产生的。
参照图11，图中示出沉积材料DM在第一压力P1下的升华温度T1及沉积材料DM在第四压力P4下的升华温度T4。此外，为了比较说明，图中示出在不具备如前所述第一板540的情况的第一压力P1'下的升华温度T1'。
沉积材料DM被汽化且压力从第一压力P1减小至第四压力P4。此时，在沉积材料DM的温度低于升华温度的情况下产生沉积材料DM再次固态化的问题。
根据本实用新型的一实施例，第一压力P1可以是比待比较的第一压力P1'高的压力。因此，当沉积材料DM在第一板540的下部以气体存在的情况下，其温度可以高于T1。此外，在通过喷嘴571喷射沉积材料DM时的第四压力P4下，只有沉积材料DM的温度为T4以上，沉积材料DM才能以气体存在。
因此，根据本实用新型的一实施例，如果直至通过喷嘴571喷射沉积材料DM为止不产生温度从T1下降至T4的现象，则沉积材料DM可以不被固态化。在不基于本实用新型的情况下，如果不产生温度从T1'下降至T4的现象，则沉积材料DM可以不被固态化。即，在基于本实用新型的情况下，与不基于本实用新型的情况相比，可以确保T1'至T1的温度裕度。
如此，参照在附图中图示的实施例对本实用新型进行了说明，但这只不过是示例。本实用新型所属技术领域的技术人员应能充分理解，基于实施例可实现多种变形及等同的其他实施例。因此，本实用新型真正的技术保护范围应基于所附的权利要求书来确定。
附图标记说明
1 显示装置
2 显示装置的制造装置
500 沉积源
510 外壳
520 加热部
530 隔热部
540 第一板
550 第二板
560 肋
570 盖。

Claims (10)

1.一种沉积源，其特征在于，包括：
外壳，在所述外壳的内部收容沉积材料；
第一板，被设置为与所述外壳的底面相对且相隔，在所述第一板的中央包括多个第一开口；
第二板，被设置为与所述第一板相对且相隔，并且包括多个第二开口；
多个肋，被设置在所述外壳的底面与所述第一板之间；以及
盖，被设置为与所述第二板相对且用于遮蔽所述外壳，所述盖具备用于排出所述沉积材料的喷嘴。
2.根据权利要求1所述的沉积源，其特征在于，
所述肋包括：
第一块，从所述外壳的底面向所述第一板延伸；以及
第二块，设置在所述第一块的一侧，并且以与所述第一块交叉的方式延伸。
3.根据权利要求2所述的沉积源，其特征在于，
所述第二块与所述第一板相隔，
所述肋通过辐射向所述第一板进行传热。
4.根据权利要求1所述的沉积源，其特征在于，
所述第一板进一步包括：
收容部，在所述第一板的俯视上与所述多个第一开口重叠；以及
多个球形部件，设置于所述收容部中，
在所述第一板的俯视上，所述多个第一开口从所述收容部的周围向所述收容部的中心相隔设置。
5.根据权利要求4所述的沉积源，其特征在于，
所述第一板进一步包括能够开闭所述收容部的罩部，
所述罩部通过在所述收容部滑动移动来开闭所述收容部。
6.根据权利要求1所述的沉积源，其特征在于，
在所述第二板中设置有所述多个第二开口的区域大于在所述第一板中设置有所述多个第一开口的区域。
7.根据权利要求1所述的沉积源，其特征在于，进一步包括：
包围所述外壳的整个外表面的加热部；和
包围所述加热部的外侧的隔热部。
8.根据权利要求1所述的沉积源，其特征在于，
所述外壳的内部侧面以台阶式突出，
所述外壳的以台阶式突出的内部侧面支撑所述第一板、所述第二板及所述盖中的至少一个。
9.根据权利要求1所述的沉积源，其特征在于，
所述沉积材料与所述第一板之间的第一压力大于所述第一板与所述第二板之间的第二压力，
所述第二压力大于所述第二板与所述盖之间的第三压力，
所述第三压力大于所述喷嘴中的第四压力。
10.一种显示装置的制造装置，其特征在于，包括：
掩模，与基板相对设置；以及
权利要求1至9中的任一项所述的沉积源，与所述掩模相对设置。
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