KR20240043226A - 표시 장치의 제조장치 및 표시 장치의 제조방법 - Google Patents

표시 장치의 제조장치 및 표시 장치의 제조방법 Download PDF

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Abstract

본 발명의 일 실시 예는, 마스크 조립체, 및 상기 마스크 조립체를 향하여 증착물질을 공급하는 증착원을 포함하고, 상기 마스크 조립체는, 제1개구를 포함하는 마스크 프레임, 상기 제1개구의 일부와 중첩되도록 상기 마스크 프레임에 고정되며, 복수의 제2개구를 포함하는 시트부, 상기 제2개구에 대응되도록 배치되어 상기 시트부에 고정되며, 복수의 제3개구를 포함하는 제1마스크, 및 상기 제1개구 중 상기 시트부의 테두리와 상기 제1개구의 내면이 형성하는 공간에 배치되어 상기 마스크 프레임에 고정되며, 복수의 제4개구를 포함하는 제2마스크를 포함하는, 표시 장치의 제조장치를 개시한다.

Description

표시 장치의 제조장치 및 표시 장치의 제조방법{Apparatus and method for manufacturing a display device}
본 발명의 실시 예들은 장치 및 방법에 관한 것으로서, 더 상세하게는 표시 장치의 제조장치 및 표시 장치의 제조방법에 관한 것이다.
이동성을 기반으로 하는 전자 기기가 폭 넓게 사용되고 있다. 이동용 전자 기기로는 모바일 폰과 같은 소형 전자 기기 이외에도 최근 들어 태블릿 PC가 널리 사용되고 있다.
이와 같은 이동형 전자 기기는 다양한 기능을 지원하기 위하여, 이미지 또는 영상과 같은 시각 정보를 사용자에게 제공하기 위하여 표시 장치를 포함한다. 최근, 표시 장치를 구동하기 위한 기타 부품들이 소형화됨에 따라, 표시 장치가 전자 기기에서 차지하는 비중이 점차 증가하고 있는 추세이며, 평평한 상태에서 소정의 각도를 갖도록 구부릴 수 있는 구조도 개발되고 있다.
본 발명의 실시 예들은 시트부에 고정되는 제1마스크 및 마스크 프레임에 직접 고정되는 제2마스크 모두를 포함하는 마스크 조립체를 제공하는 것을 목적으로 한다.
다만 이러한 과제는 예시적인 것으로, 본 발명의 해결하고자 하는 과제는 이에 한정되지 않는다.
본 발명의 일 실시 예는, 마스크 조립체, 및 상기 마스크 조립체를 향하여 증착물질을 공급하는 증착원을 포함하고, 상기 마스크 조립체는, 제1개구를 포함하는 마스크 프레임, 상기 제1개구의 일부와 중첩되도록 상기 마스크 프레임에 고정되며, 복수의 제2개구를 포함하는 시트부, 상기 제2개구에 대응되도록 배치되어 상기 시트부에 고정되며, 복수의 제3개구를 포함하는 제1마스크, 및 상기 제1개구 중 상기 시트부의 테두리와 상기 제1개구의 내면이 형성하는 공간에 배치되어 상기 마스크 프레임에 고정되며, 복수의 제4개구를 포함하는 제2마스크를 포함하는, 표시 장치의 제조장치를 개시한다.
본 실시 예에 있어서, 상기 시트부의 평면 형상의 면적은 상기 제2마스크의 평면 형상의 면적보다 클 수 있다.
본 실시 예에 있어서, 상기 시트부는, 복수의 제2-1개구를 포함하는 제1시트부, 및 상기 제1시트부와 이격되도록 배치되며, 복수의 제2-2개구를 포함하는 제2시트부를 포함할 수 있다.
본 실시 예에 있어서, 상기 제1시트부의 평면 형상의 면적 및 상기 제2시트부의 평면 형상의 면적은 서로 상이할 수 있다.
본 실시 예에 있어서, 상기 제2-1개구의 평면 형상의 면적 및 상기 제2-2개구의 평면 형상의 면적은 서로 상이할 수 있다.
본 실시 예에 있어서, 상기 제1마스크는, 상기 제2-1개구에 대응되도록 배치되는 제1-1마스크, 및 상기 제2-2개구에 대응되도록 배치되는 제1-2마스크를 포함하고, 상기 제1-1마스크 및 상기 제1-2마스크의 평면 형상의 면적은 서로 상이할 수 있다.
본 실시 예에 있어서, 상기 제1시트부 및 상기 제2시트부는 상기 제2마스크를 사이에 두고 서로 이격되도록 배치될 수 있다.
본 실시 예에 있어서, 상기 제2마스크는, 제2-1마스크, 및 상기 제2-1마스크와 이격되도록 배치되는 제2-2마스크를 포함할 수 있다.
본 실시 예에 있어서, 상기 제2-1마스크 및 상기 제2-2마스크는 상기 시트부를 사이에 두고 서로 이격되도록 배치될 수 있다.
본 실시 예에 있어서, 상기 마스크 조립체는, 상기 시트부 및 상기 제2마스크의 경계를 따라 상기 제1개구를 가로지르도록 상기 마스크 프레임에 고정되는 차폐스틱을 더 포함할 수 있다.
본 발명의 다른 실시 예는, 마스크 조립체를 배치하는 단계, 및 상기 마스크 조립체를 향하여 증착물질을 공급하는 단계를 포함하고, 상기 마스크 조립체를 배치하는 단계는, 제1개구를 포함하는 마스크 프레임을 배치하는 단계, 복수의 제2개구를 포함하는 시트부를 인장하여 상기 제1개구의 일부와 중첩되도록 상기 마스크 프레임에 고정하는 시트부 고정 단계, 제1마스크를 인장하여 상기 제2개구에 대응되게 배치되도록 상기 시트부에 고정하는 제1마스크 고정 단계, 및 제2마스크를 인장하여 상기 제1개구 중 상기 시트부의 테두리와 상기 제1개구의 내면이 형성하는 공간에 배치되도록 상기 마스크 프레임에 고정하는 제2마스크 고정 단계를 포함할 수 있다.
본 실시 예에 있어서, 상기 시트부의 평면 형상의 면적은 상기 제2마스크의 평면 형상의 면적보다 클 수 있다.
본 실시 예에 있어서, 상기 시트부 고정 단계는, 복수의 제2-1개구를 포함하는 제1시트부를 상기 마스크 프레임에 고정하는 단계, 및 복수의 제2-2개구를 포함하는 제2시트부를 상기 제1시트부와 이격되도록 상기 마스크 프레임에 고정하는 단계를 포함할 수 있다.
본 실시 예에 있어서, 상기 제1시트부의 평면 형상의 면적 및 상기 제2시트부의 평면 형상의 면적은 서로 상이할 수 있다.
본 실시 예에 있어서, 상기 제2-1개구의 평면 형상의 면적 및 상기 제2-2개구의 평면 형상의 면적은 서로 상이할 수 있다.
본 실시 예에 있어서, 상기 제1마스크 고정 단계는, 제1-1마스크를 상기 제2-1개구에 대응되게 배치되도록 상기 시트부에 고정하는 단계, 및 제1-2마스크를 상기 제2-2개구에 대응되게 배치되도록 상기 시트부에 고정하는 단계를 포함하고, 상기 제1-1마스크 및 상기 제1-2마스크의 평면 형상의 면적은 서로 상이할 수 있다.
본 실시 예에 있어서, 상기 제1시트부 및 상기 제2시트부는 상기 제2마스크를 사이에 두고 서로 이격되도록 배치될 수 있다.
본 실시 예에 있어서, 상기 제2마스크 고정 단계는, 제2-1마스크를 상기 마스크 프레임에 고정하는 단계, 및 제2-2마스크를 상기 제2-1마스크와 이격되도록 상기 마스크 프레임에 고정하는 단계를 포함할 수 있다.
본 실시 예에 있어서, 상기 제2-1마스크 및 상기 제2-2마스크는 상기 시트부를 사이에 두고 서로 이격되도록 배치될 수 있다.
본 실시 예에 있어서, 상기 마스크 조립체를 배치하는 단계는, 차폐스틱을 인장하여 상기 시트부 및 상기 제2마스크의 경계를 따라 상기 제1개구를 가로지르도록 상기 마스크 프레임에 고정하는 단계를 더 포함할 수 있다.
전술한 것 외의 다른 측면, 특징, 이점이 이하의 도면, 특허청구범위 및 발명의 상세한 설명으로부터 명확해질 것이다.
본 발명의 실시 예들에 따르면 제1마스크 및 제2마스크의 배치로 인하여 마스크 조립체의 공간활용도가 향상될 수 있다.
본 발명의 효과들은 이상에서 언급한 효과들로 제한되지 않으며, 언급되지 않은 또 다른 효과들은 청구범위의 기재로부터 당업자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 표시 장치의 제조장치를 나타내는 단면도이다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 마스크 조립체의 개략적인 사시도이다.
도 3 내지 도 7은 본 발명의 일 실시예에 따른 마스크 조립체의 제조방법을 설명하기 위한 평면도이다.
도 8은 본 발명의 다른 실시예에 따른 마스크 조립체의 평면도이다.
도 9는 본 발명의 다른 실시예에 따른 마스크 조립체의 평면도이다.
도 10은 본 발명의 다른 실시예에 따른 마스크 조립체의 평면도이다.
도 11은 본 발명의 다른 실시예에 따른 마스크 조립체의 평면도이다.
도 12는 본 발명의 다른 실시예에 따른 마스크 조립체의 평면도이다.
도 13은 본 발명의 일 실시예에 따른 표시 장치의 제조방법으로 제조된 표시 장치를 개략적으로 나타내는 평면도이다.
도 14는 본 발명의 일 실시예에 따른 표시 장치의 제조방법으로 제조된 표시 장치를 개략적으로 도시하는 단면도이다.
도 15는 본 발명의 일 실시예에 따른 표시 패널 중 어느 하나의 화소의 등가 회로도이다.
본 발명은 다양한 변환을 가할 수 있고 여러 가지 실시예를 가질 수 있는 바, 특정 실시예들을 도면에 예시하고 상세한 설명에 상세하게 설명하고자 한다. 본 발명의 효과 및 특징, 그리고 그것들을 달성하는 방법은 도면과 함께 상세하게 후술되어 있는 실시예들을 참조하면 명확해질 것이다. 그러나 본 발명은 이하에서 개시되는 실시예들에 한정되는 것이 아니라 다양한 형태로 구현될 수 있다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시예들을 상세히 설명하기로 하며, 도면을 참조하여 설명할 때 동일하거나 대응하는 구성 요소는 동일한 도면부호를 부여하고 이에 대한 중복되는 설명은 생략하기로 한다.
이하의 실시예에서, 제1, 제2 등의 용어는 한정적인 의미가 아니라 하나의 구성 요소를 다른 구성 요소와 구별하는 목적으로 사용되었다.
이하의 실시예에서, 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다.
이하의 실시예에서, 포함하다 또는 가지다 등의 용어는 명세서상에 기재된 특징, 또는 구성요소가 존재함을 의미하는 것이고, 하나 이상의 다른 특징들 또는 구성요소가 부가될 가능성을 미리 배제하는 것은 아니다.
이하의 실시예에서, 막, 영역, 구성 요소 등의 부분이 다른 부분 위에 또는 상에 있다고 할 때, 다른 부분의 바로 위에 있는 경우뿐만 아니라, 그 중간에 다른 막, 영역, 구성 요소 등이 개재되어 있는 경우도 포함한다.
도면에서는 설명의 편의를 위하여 구성 요소들이 그 크기가 과장 또는 축소될 수 있다. 예컨대, 도면에서 나타난 각 구성의 크기 및 두께는 설명의 편의를 위해 임의로 나타내었으므로, 본 발명이 반드시 도시된 바에 한정되지 않는다.
이하의 실시예에서, x축, y축 및 z축은 직교 좌표계 상의 세 축으로 한정되지 않고, 이를 포함하는 넓은 의미로 해석될 수 있다. 예를 들어, x축, y축 및 z축은 서로 직교할 수도 있지만, 서로 직교하지 않는 서로 다른 방향을 지칭할 수도 있다.
어떤 실시예가 달리 구현 가능한 경우에 특정한 공정 순서는 설명되는 순서와 다르게 수행될 수도 있다. 예를 들어, 연속하여 설명되는 두 공정이 실질적으로 동시에 수행될 수도 있고, 설명되는 순서와 반대의 순서로 진행될 수 있다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 표시 장치의 제조장치를 나타내는 단면도이다.
표시 장치의 제조장치(1)는 챔버(10), 제1지지부(20), 제2지지부(30), 마스크 조립체(40), 증착원(50), 자기력부(60), 비젼부(70) 및 압력조절부(80)를 포함할 수 있다.
챔버(10)는 내부에 공간이 형성될 수 있으며, 표시기판(DS) 및 마스크 조립체(40)가 수납될 수 있다. 이때 챔버(10)의 일부는 개구되도록 형성될 수 있으며, 챔버(10)의 개구된 부분에는 게이트밸브(11)가 설치될 수 있다. 이러한 경우 게이트밸브(11)의 작동에 따라서 챔버(10)의 개구된 부분은 개방되거나 폐쇄될 수 있다.
이때 표시기판(DS)은 후술할 기판(100)에 유기층, 무기층 및 금속층 중 적어도 하나의 층이 증착된, 표시 장치의 제조 중에 있는 표시기판(DS)을 의미할 수 있다. 또는 표시기판(DS)은 유기층, 무기층 및 금속층 중 어느 층도 아직 증착되지 않은 기판(100)일 수 있다.
제1지지부(20)는 표시기판(DS)을 지지할 수 있다. 이때, 제1지지부(20)는 챔버(10) 내부에 고정된 플레이트 형태일 수 있다. 다른 실시예로써 제1지지부(20)는 표시기판(DS)이 안착되며, 챔버(10) 내부에서 선형 운동 가능한 셔틀 형태인 것도 가능하다. 또 다른 실시예로써 제1지지부(20)는 챔버(10)에 고정되거나 챔버(10) 내부에서 이동 가능하도록 챔버(10)에 배치되는 정전척이나 점착척을 포함하는 것도 가능하다.
제2지지부(30)는 마스크 조립체(40)를 지지할 수 있다. 이때, 제2지지부(30)는 챔버(10) 내부에 배치될 수 있다. 제2지지부(30)는 마스크 조립체(40)의 위치를 미세 조정 가능할 수 있다. 이때, 제2지지부(30)는 마스크 조립체(40)를 서로 상이한 방향으로 이동 가능하도록 별도의 구동부 내지는 얼라인유닛 등을 구비할 수 있다.
다른 실시예로서 제2지지부(30)는 셔틀 형태인 것도 가능하다. 이러한 경우 제2지지부(30)는 마스크 조립체(40)가 안착되며, 마스크 조립체(40)를 이송할 수 있다. 예를 들면, 제2지지부(30)는 챔버(10) 외부로 이동하여 마스크 조립체(40)가 안착된 후 챔버(10) 외부에서 챔버(10) 내부로 진입할 수 있다.
상기와 같은 경우 제1지지부(20)와 제2지지부(30)가 일체로 형성되는 것도 가능하다. 이러한 경우 제1지지부(20)와 제2지지부(30)는 이동 가능한 셔틀을 포함할 수 있다. 이때, 제1지지부(20)와 제2지지부(30)는 마스크 조립체(40) 상에 표시기판(DS)이 안착된 상태로 마스크 조립체(40)와 표시기판(DS)을 고정시키는 구조를 포함하며, 표시기판(DS)과 마스크 조립체(40)를 동시에 선형 운동시키는 것도 가능하다.
다만, 이하에서는 설명의 편의를 위하여 제1지지부(20)와 제2지지부(30)는 서로 구분되도록 형성되어 서로 상이한 위치에 배치되는 형태, 제1지지부(20)와 제2지지부(30)는 챔버(10) 내부에 배치되는 형태를 중심으로 상세히 설명하기로 한다.
마스크 조립체(40)는 챔버(10) 내부에 표시기판(DS)과 대향하도록 배치될 수 있다. 증착물질(M)은 마스크 조립체(40)를 통과하여 표시기판(DS)에 증착될 수 있다.
증착원(50)은 마스크 조립체(40)와 대향하도록 배치되며, 증착물질(M)이 마스크 조립체(40)의 증착영역(EA)을 통과하여 표시기판(DS) 상에 증착되도록 증착물질(M)을 공급할 수 있다. 이때, 증착원(50)은 증착물질(M)에 열을 가함으로써 증착물질(M)을 증발시키거나 승화시킬 수 있다. 증착원(50)은 챔버(10) 내부에 고정되도록 배치되거나 일 방향을 따라 선형 운동 가능하도록 챔버(10) 내부에 배치되는 것도 가능하다.
자기력부(60)는 표시기판(DS) 및/또는 마스크 조립체(40)와 대향하도록 챔버(10) 내부에 배치될 수 있다. 이때, 자기력부(60)는 마스크 조립체(40)에 자기력을 가하여 표시기판(DS) 측으로 마스크 조립체(40)를 가력할 수 있다.
비젼부(70)는 챔버(10)에 배치되며, 표시기판(DS)과 마스크 조립체(40)의 위치를 촬영할 수 있다. 이때, 비젼부(70)는 표시기판(DS) 및 마스크 조립체(40)를 촬영하는 카메라를 포함할 수 있다. 비젼부(70)에서 촬영된 이미지를 근거로 표시기판(DS)과 마스크 조립체(40)의 위치를 파악할 수 있고, 마스크 조립체(40)의 변형을 확인할 수 있다. 또한 상기 이미지를 근거로 제1지지부(20)에서 표시기판(DS)의 위치를 미세 조정하거나 제2지지부(30)에서 마스크 조립체(40)의 위치를 미세 조정할 수 있다. 다만, 이하에서는 제2지지부(30)에서 마스크 조립체(40)의 위치를 미세 조정하여 표시기판(DS)과 마스크 조립체(40)의 위치를 정렬하는 경우를 중심으로 상세히 설명하기로 한다.
압력조절부(80)는 챔버(10)와 연결되어 챔버(10) 내부의 압력을 조절할 수 있다. 예를 들면, 압력조절부(80)는 챔버(10) 내부의 압력을 대기압과 동일 또는 유사하게 조절할 수 있다. 또한, 압력조절부(80)는 챔버(10) 내부의 압력을 진공 상태와 동일 또는 유사하게 조절할 수 있다.
압력조절부(80)는 챔버(10)와 연결되는 연결배관(81)과 연결배관(81)에 설치되는 펌프(82)를 포함할 수 있다. 이때, 펌프(82)의 작동에 따라서 연결배관(81)을 통하여 외기가 유입되거나 챔버(10) 내부의 기체를 연결배관(81)을 통하여 외부로 안내할 수 있다.
한편, 상기와 같은 표시 장치의 제조장치(1)를 이용하여 표시 장치(미도시)를 제조하는 방법을 살펴보면, 먼저 표시기판(DS)이 준비될 수 있다.
압력조절부(80)는 챔버(10) 내부를 대기압과 동일 또는 유사한 상태로 유지시킬 수 있으며, 게이트밸브(11)가 작동하여 챔버(10)의 개구된 부분을 개방할 수 있다.
이후 표시기판(DS)을 챔버(10) 외부에서 내부로 장입할 수 있다. 이때, 표시기판(DS)은 다양한 방식으로 챔버(10)로 장입될 수 있다. 예를 들면, 표시기판(DS)은 챔버(10) 외부에 배치된 로봇암 등을 통하여 챔버(10) 외부에서 챔버(10) 내부로 장입될 수 있다. 다른 실시예로써 제1지지부(20)가 셔틀 형태로 형성되는 경우 제1지지부(20)가 챔버(10) 내부에서 챔버(10) 외부로 반출된 후 챔버(10) 외부에 배치된 별도의 로봇암 등을 통하여 표시기판(DS)을 제1지지부(20)에 안착시키고 제1지지부(20)가 챔버(10) 외부에서 챔버(10) 내부로 장입하는 것도 가능하다.
마스크 조립체(40)는 상기와 같이 챔버(10) 내부에 배치된 상태일 수 있다. 다른 실시예로써 마스크 조립체(40)는 표시기판(DS)과 동일 또는 유사하게 챔버(10) 외부에서 챔버(10) 내부로 장입하는 것도 가능하다.
표시기판(DS)이 챔버(10) 내부로 장입되면, 표시기판(DS)은 제1지지부(20)에 안착할 수 있다. 이때, 비젼부(70)는 표시기판(DS)과 마스크 조립체(40)의 위치를 촬영할 수 있다. 비젼부(70)에서 촬영된 이미지를 근거로 표시기판(DS)과 마스크 조립체(40)의 위치를 파악할 수 있다. 이때, 표시 장치의 제조장치(1)는 별도의 제어부(미도시)가 구비되어 표시기판(DS)과 마스크 조립체(40)의 위치를 파악할 수 있다.
표시기판(DS)과 마스크 조립체(40)의 위치 파악이 완료되면, 제2지지부(30)는 마스크 조립체(40)의 위치를 미세 조정할 수 있다.
이후 증착원(50)이 작동하여 증착물질(M)을 마스크 조립체(40) 측으로 공급하고, 마스크 조립체(40)를 통과한 증착물질(M)은 표시기판(DS)에 증착될 수 있다. 이때, 증착원(50)이 표시기판(DS) 및 마스크 조립체(40)에 대해 평행하게 이동하거나, 표시기판(DS) 및 마스크 조립체(40)가 증착원(50)에 대해 평행하게 이동할 수 있다. 즉, 증착원(50)은 표시기판(DS) 및 마스크 조립체(40)와 상대이동할 수 있다. 이때, 펌프(82)는 챔버(10) 내부의 기체를 흡입하여 외부로 배출시킴으로써 챔버(10) 내부의 압력을 진공과 동일 또는 유사한 형태로 유지시킬 수 있다.
상기와 같이 증착원(50)에서 공급된 증착물질(M)은 마스크 조립체(40)를 통과하여 표시기판(DS)에 증착되고, 이에 따라 후술할 표시 장치에 적층되는 복수 개의 층, 예를 들어 유기층, 무기층, 금속층 중 적어도 하나를 형성할 수 있다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 마스크 조립체의 개략적인 사시도이다.
도 2를 참조하면, 마스크 조립체(40)는 마스크 프레임(41), 시트부(42), 제1마스크(43), 제2마스크(44) 및 차폐스틱(45)을 포함할 수 있다.
마스크 프레임(41)은 복수 개의 변들이 연결되어 형성될 수 있으며, 복수 개의 변들에 의해 정의되는 제1개구(OA41)를 포함할 수 있다. 즉, 제1개구(OA41)은 복수 개의 변들에 의해 둘러싸여 형성될 수 있으며, 제1개구(OA41)은 마스크 프레임(41)의 중앙에서 관통되어 형성될 수 있다.
마스크 프레임(41)은 일 실시예에서 사각형의 프레임일 수 있다. 물론 마스크 프레임(41)의 형상은 이에 제한되는 것은 아니며, 다양한 형태의 다각형의 형상일 수 있다. 이하에서는 설명의 편의를 위해 마스크 프레임(41)은 사각형의 프레임인 경우를 중심으로 설명하도록 한다.
마스크 프레임(41)이 사각형의 프레임인 경우, 복수 개의 변들은 제1방향(예를 들어, X축 방향)으로 연장되는 제1변(S1) 및 제1방향과 교차하는 제2방향(예를 들어, Y축 방향)으로 연장되는 제2변(S2)을 포함할 수 있다. 제1변(S1)은 마주보도록 한 쌍으로 구비되고, 제2변(S2)은 마주보도록 한 쌍으로 구비되어 서로 연결될 수 있다. 일 실시예에서 제1변(S1)은 단변이고, 제2변(S2)은 장변일 수 있다. 그러나 이에 제한되는 것은 아니며 제1변(S1)이 장변이고 제2변(S2)이 단변이거나, 또는 제1변(S1)과 제2변(S2)의 길이가 같을 수 있다. 이하에서는 설명의 편의를 위해 제1변(S1)은 단변이고 제2변(S2)은 장변인 경우를 중심으로 설명하도록 한다.
시트부(42)는 마스크 프레임(41)의 제1개구(OP41)의 일부와 중첩되도록 인장된 상태에서 마스크 프레임(41)에 고정될 수 있다. 시트부(42)는 복수의 제2개구(OP42)를 포함할 수 있다. 제1마스크(43)는 시트부(42)의 제2개구(OP42)에 대응되도록 배치되어, 인장된 상태에서 시트부(42)에 고정될 수 있다. 제2마스크(44)는 마스크 프레임(41)의 제1개구(OP41)의 나머지 일부와 중첩되도록 인장된 상태에서 마스크 프레임(41)에 고정될 수 있다.
차폐스틱(45)은 마스크 프레임(41)의 제1개구(OP41)를 가르지르도록, 인장된 상태에서 마스크 프레임(41)에 고정될 수 있다. 차폐스틱(45)은 복수개로 구비될 수 있다. 차폐스틱(45) 중 어느 하나는 시트부(42) 및 제2마스크(44)의 경계를 따라 배치될 수 있다. 차폐스틱(45) 중 어느 하나는 마스크 프레임(41) 및 시트부(42)의 경계를 따라 배치될 수 있다. 또한, 차폐스틱(45) 중 적어도 하나는 마스크 프레임(41) 및 제2마스크(44)의 경계를 따라 배치될 수 있다. 따라서, 증착원(50, 도 1 참고)에 의해 공급되는 증착물질(M, 도 1 참고)은, 시트부(42) 및 제2마스크(44) 사이, 시트부(42) 및 마스크 프레임(41) 사이, 및 제2마스크(44) 및 마스크 프레임(41) 사이를 통과하지 않을 수 있다.
도 3 내지 도 7은 본 발명의 일 실시예에 따른 마스크 조립체의 제조방법을 설명하기 위한 평면도이다.
도 3을 참조하면, 마스크 프레임(41)에 차폐스틱(45)을 배치할 수 있다. 차폐스틱(45)은 마스크 프레임(41)의 제1개구(OP41)를 가르지르도록 배치될 수 있다. 차폐스틱(45)은 제1방향(예를 들어, X축 방향)으로 인장된 상태에서 마스크 프레임(41)에 용접될 수 있다. 차폐스틱(45)은 제1차폐스틱(45-1), 제2차폐스틱(45-2) 및 제3차폐스틱(45-3)을 포함할 수 있다.
제1차폐스틱(45-1)은 마스크 프레임(41) 및 제1개구(OP41)의 경계를 따라 배치될 수 있다. 예를 들어, 제1차폐스틱(45-1)은 마스크 프레임(41)의 단변 중 어느 하나와 중첩되도록 배치될 수 있다. 이와 같은 구조에서, 제1차폐스틱(45-1)의 적어도 일부는 마스크 프레임(41)에 중첩되며, 제1차폐스틱(45-1)의 나머지 일부는 제1개구(OP41)에 중첩될 수 있다.
제2차폐스틱(45-2)은 마스크 프레임(41) 및 제1개구(OP41)의 경계를 따라 배치될 수 있다. 제2차폐스틱(45-2)은 제1차폐스틱(45-1)과 평행하게 이격되도록 배치될 수 있다. 예를 들어, 제2차폐스틱(45-2)은 마스크 프레임(41)의 단면 중 다른 하나와 중첩되도록 배치될 수 있다. 이와 같은 구조에서, 제2차폐스틱(45-2)의 적어도 일부는 마스크 프레임(41)에 중첩되며, 제2차폐스틱(45-2)의 나머지 일부는 제1개구(OP41)에 중첩될 수 있다.
제3차폐스틱(45-3)은 제1차폐스틱(45-1) 및 제2차폐스틱(45-2) 사이에 배치될 수 있다. 제3차폐스틱(45-3)은 제1차폐스틱(45-1) 및 제2차폐스틱(45-2)과 평행하게 이격되도록 배치될 수 있다. 도 3에서는 제3차폐스틱(45-3)이 한 개로 구비되는 것으로 도시되어 있으나, 이는 하나의 예시에 불과하며, 제3차폐스틱(45-3)은 복수개로 구비될 수도 있다. 제3차폐스틱(45-3) 중 적어도 하나는 마스크 프레임(41)의 제1개구(OP41)를 제1영역(ARE1) 및 제2영역(ARE2)으로 구획할 수 있다.
도 4를 참조하면, 마스크 프레임(41)에 시트부(42)를 배치할 수 있다. 시트부(42)는 제1개구(OP41)의 일부와 중첩되도록 마스크 프레임(41)에 고정될 수 있다. 즉, 시트부(42)는 제1개구(OP41)의 제1영역(ARE1)에 배치될 수 있다. 시트부(42)는 제1개구(OP41)의 제1영역(ARE1)에 대응되는 형상일 수 있다. 예를 들어, 도 4와 같이 시트부(42)의 평면 형상은 사각형일 수 있다. 시트부(42)는 제1방향으로 인장된 상태에서 마스크 프레임(41)에 고정될 수 있다. 시트부(42)의 서로 이격된 두 변은 각각 마스크 프레임(41)에 고정되며, 시트부(42)의 다른 한 변은 제2차폐스틱(45-2)에 고정되며, 시트부(42)의 나머지 한 변은 제3차폐스틱(45-3)에 고정될 수 있다.
시트부(42)는 복수의 제2개구(OP42)를 포함할 수 있다. 복수의 제2개구(OP42)는 제1방향 및 제1방향과 교차하는 제2방향(예를 들어, Y축 방향)을 따라 배치될 수 있다. 예를 들어, 도 4에서와 같이, 복수의 제2개구(OP42)는 7행 2열로 배치될 수 있다. 다만, 이는 하나의 예시에 불과할 뿐, 제2개구(OP42)의 개수 및 배치가 이에 한정되는 것은 아니다. 또한, 도 4에서는 복수의 제2개구(OP42) 각각이 동일한 형태의 사각형인 것으로 도시되어 있으나, 이는 하나의 예시에 불과할 뿐, 제2개구(OP42)의 형태는 다양할 수 있으며 복수의 제2개구(OP42) 각각의 형태는 서로 상이할 수도 있다.
도 5를 참조하면, 시트부(42)에 제1마스크(43)를 배치할 수 있다. 제1마스크(43)는 제2개구(OP42)와 중첩되도록 시트부(42)에 고정될 수 있다. 제1마스크(43)는 제2개구(OP42)와 대응되는 형상일 수 있다. 예를 들어, 도 4와 같이 제1마스크(43)의 평면 형상은 사각형일 수 있다. 제1마스크(43)는 제1방향으로 인장된 상태에서 시트부(42)에 고정될 수 있다. 제1마스크(43)는 고정라인(LF) 및 절단라인(LC)을 포함할 수 있다.
제1마스크(43)는 제1방향으로 인장된 상태에서 고정라인(LF)을 따라 시트부(42)에 고정될 수 있다. 예를 들어, 제1마스크(43)는 고정라인(LF)을 따라 시트부(42)에 용접될 수 있다. 고정라인(LF)은 제1방향과 교차하는 제2방향을 가질 수 있다. 고정라인(LF)은 복수개로 구비될 수 있다. 예를 들어, 고정라인(LF)은 2개로 구비되며, 2개의 고정라인(LF)은 제2개구(OP42)를 사이에 두고 서로 이격되도록 배치될 수 있다.
제1마스크(43)는 시트부(42)에 고정된 상태에서, 절단라인(LC)을 따라 적어도 일부가 절단될 수 있다. 절단라인(LC)은 고정라인(LF)과 나란한 제2방향을 가질 수 있다. 절단라인(LC)은 복수개로 구비될 수 있다. 예를 들어, 절단라인(LC)은 2개로 구비되며, 2개의 절단라인(LC)은 고정라인(LF)을 사이에 두고 서로 이격되도록 배치될 수 있다.
도 6을 참조하면, 복수의 시트부(42)에 복수의 제1마스크(43)를 배치할 수 있다. 복수의 제1마스크(43)는 복수의 제2개구(OP42)의 배치에 대응되도록 배치될 수 있다. 복수의 제1마스크(43)는 제1방향 및 제1방향과 교차하는 제2방향을 따라 배치될 수 있다. 예를 들어, 도 4에서와 같이 제2개구(OP42)가 7행 2열로 배치된 경우, 제1마스크(43) 역시 7행 2열로 배치될 수 있다.
제1마스크(43)는 복수의 제3개구(OP3)를 포함할 수 있다. 증착원(50, 도 1 참고)에서 공급되는 증착물질(M, 도 1 참고)은 복수의 제3개구(OP3)를 통과할 수 있다. 제3개구(OP3)는 제1마스크(43)의 제1증착영역(AD1)에 배치될 수 있다. 예를 들어, 도 6에서 도시하는 바와 같이, 복수의 제3개구(OP3)는 제1증착영역(AD1)에서 제1방향 및 제1방향과 교차하는 제2방향을 따라 배치될 수 있다. 또한, 예를 들어, 복수의 제3개구(OP3)의 평면 형상은 원형일 수 있다. 다만, 이는 예시적인 것으로, 제3개구(OP3)의 배치 및 형상이 이에 한정되는 것은 아니다.
도 7을 참조하면, 마스크 프레임(41)에 제2마스크(44)를 배치할 수 있다. 제2마스크(44)는 제1개구(OP41) 중 시트부(42)의 테두리와 제1개구(OP41)의 내면이 형성하는 공간에 배치되어 마스크 프레임(41)에 고정될 수 있다. 즉, 제2마스크(44)는 제1개구(OP41)의 제2영역(ARE2)에 배치될 수 있다. 제2마스크(44)는 제1개구(OP41)의 제2영역(ARE2)에 대응되는 형상일 수 있다. 예를 들어, 도 7과 같이 제2마스크(44)의 평면 형상은 사각형일 수 있다. 제2마스크(44)는 제1방향으로 인장된 상태에서 마스크 프레임(41)에 고정될 수 있다. 제1마스크(43)의 서로 이격된 두 변은 각각 마스크 프레임(41)에 고정되며, 제1마스크(43)의 다른 한 변은 제1차폐스틱(45-1)에 고정되며, 제1마스크(43)의 나머지 한 변은 제2차폐스틱(45-2)에 고정될 수 있다.
제2마스크(44)는 복수의 제4개구(OP44)를 포함할 수 있다. 증착원(50)에서 공급되는 증착물질(M)은 복수의 제4개구(OP44)를 통과할 수 있다. 제4개구(OP44)는 제2마스크(44)의 제2증착영역(AD2)에 배치될 수 있다. 예를 들어, 도 7에서 도시하는 바와 같이, 복수의 제4개구(OP44)는 제2증착영역(AD2)에서 제1방향 및 제1방향과 교차하는 제2방향을 따라 배치될 수 있다. 또한, 예를 들어, 복수의 제4개구(OP44)의 평면 형상은 원형일 수 있다. 다만, 이는 예시적인 것으로, 제4개구(OP44)의 배치 및 형상이 이에 한정되는 것은 아니다.
하나의 제2마스크(44)에서 제2증착영역(AD2)은 복수개로 구비되며, 복수개의 제2증착영역(AD2)은 서로 이격되도록 배치될 수 있다. 복수의 제2증착영역(AD2)은 제1방향 및 제1방향과 교차하는 제2방향을 따라 배치될 수 있다. 예를 들어, 도 7에서와 같이, 복수의 제2증착영역(AD2)은 10행 2열로 배치될 수 있다. 다만, 이는 하나의 예시에 불과할 뿐, 제2증착영역(AD2)의 개수 및 배치가 이에 한정되는 것은 아니다.
도 1 내지 도 7을 참조하면, 시트부(42)의 평면 형상의 면적은 제2마스크(44)의 평면 형상의 면적보다 클 수 있다. 마스크 프레임(41)에 시트부(42) 및 제1마스크(43)를 배치한 후, 제1개구(OP41) 중 남는 영역, 즉 제2영역(ARE2)에 제2마스크(44)를 배치할 수 있다. 따라서, 시트부(42)와 제1마스크(43), 및 제2마스크(44)의 혼합 배치로 인하여 마스크 조립체(40)의 공간활용도가 향상될 수 있다.
도 8은 본 발명의 다른 실시예에 따른 마스크 조립체의 평면도이다. 도 1 내지 도 7에서 설명한 내용과 동일 또는 유사한 내용은 설명의 편의를 위하여 생략하도록 한다.
도 8을 참조하면, 도 7을 참고하여 설명한 실시예와 비교하여, 제2영역(ARE2)에서 제2마스크(44)가 복수개로 구비될 수 있다. 복수의 제2마스크(44)는 제2방향(예를 들어, Y축 방향)을 따라 서로 인접하도록 배치될 수 있다. 즉, 복수의 제2마스크(44) 및 시트부(42)는 제2방향을 따라 순차적으로 배치될 수 있다. 차폐스틱(45) 중 적어도 하나는 복수의 제2마스크(44) 각각의 경계를 따라 배치될 수 있다. 따라서, 증착원(50, 도 1 참고)에서 공급되는 증착물질(M, 도 1 참고)은 복수의 제2마스크(44) 사이를 통과하지 않을 수 있다.
설명의 편의를 위하여, 도 8에서는 제2영역(ARE2)에 2개의 제2마스크(44)가 배치된 것으로 도시하고 있으나, 이는 하나의 예시일 뿐, 제2마스크(44)의 개수가 이에 한정되는 것은 아니다. 제1영역(ARE1)에 시트부(42)를 배치한 후 형성된 제2영역(ARE2)의 면적에 따라, 마스크 프레임(41)에 배치되는 제2마스크(44)의 개수가 결정될 수 있다.
도 9는 본 발명의 다른 실시예에 따른 마스크 조립체의 평면도이다. 도 1 내지 도 7에서 설명한 내용과 동일 또는 유사한 내용은 설명의 편의를 위하여 생략하도록 한다.
도 9을 참조하면, 도 7을 참고하여 설명한 실시예와 비교하여, 제1영역(ARE1)에서 시트부(42)가 복수개로 구비될 수 있다. 예를 들어, 시트부(42)는 제1시트부(42-1) 및 제2시트부(42-2)를 포함할 수 있다.
제1시트부(42-1) 및 제2시트부(42-2)는 제2방향(예를 들어, Y축 방향)을 따라 서로 인접하도록 배치될 수 있다. 즉, 제2마스크(44), 제1시트부(42-1) 및 제2시트부(42-2)는 제2방향을 따라 순차적으로 배치될 수 있다. 차폐스틱(45) 중 어느 하나는 제1시트부(42-1) 및 제2시트부(42-2)의 경계를 따라 배치될 수 있다. 따라서, 증착원(50, 도 1 참고)에서 공급되는 증착물질(M, 도 1 참고)은 제1시트부(42-1) 및 제2시트부(42-2) 사이를 통과하지 않을 수 있다.
설명의 편의를 위하여, 도 9에서는 제1영역(ARE1)에 2개의 시트부(42)가 배치된 것으로 도시하고 있으나, 이는 하나의 예시일 뿐, 시트부(42)의 개수가 이에 한정되는 것은 아니다. 제1개구(OP41)의 면적에 따라서 마스크 프레임(41)에 배치되는 시트부(42)의 개수가 결정될 수 있다. 예를 들어, 제1개구(OP41)의 면적이 3개의 마스크 시트의 평면 형상의 면적의 합보다 크고 4개의 마스크 시트의 평면 형상의 면적의 합보다 작다면, 3개의 마스크 시트가 제1영역(ARE1)에 배치되고, 나머지 제2영역(ARE2)에 제2마스크(44)가 배치될 수 있다.
도 10은 본 발명의 다른 실시예에 따른 마스크 조립체의 평면도이다. 도 1 내지 도 7에서 설명한 내용과 동일 또는 유사한 내용은 설명의 편의를 위하여 생략하도록 한다.
도 10을 참조하면, 도 7을 참고하여 설명한 실시예와 비교하여, 제2마스크(44)는 복수개로 구비되며, 복수의 제2마스크(44) 중 2개는 시트부(42)를 사이에 두고 서로 이격되도록 배치될 수 있다. 제2마스크(44)는 제2-1마스크(44-1) 및 제2-2마스크(44-2)를 포함할 수 있다. 제2-1마스크(44-1) 및 제2-2마스크(44-2)는 시트부(42)를 사이에 두고 서로 이격되도록 배치될 수 있다.
이와 같은 구조에서, 제2영역(ARE2)은 제2-1마스크(44-1)가 배치되는 제2-1영역(ARE2-1) 및 제2-2마스크(44-2)가 배치되는 제2-2영역(ARE2-2)을 포함할 수 있다. 제2-1영역(ARE2-1) 및 제2-2영역(ARE2-2)은 제1영역(ARE1)을 사이에 두고 서로 이격되도록 배치될 수 있다. 도 10에서와 같이, 마스크 조립체(40)의 평면 형상은 대칭 구조일 수 있다. 따라서, 마스크 조립체(40)에 열이 가해지더라도, 마스크 조립체(40)의 열 변형률이 최소화 될 수 있다.
제2-1마스크(44-1) 및 제2-2마스크(44-2) 중 적어도 하나는 복수개로 구비될 수 있다. 예를 들어, 도 10에서와 같이, 제2-1마스크(44-1) 및 제2-2마스크(44-2)는 각각 2개로 구비될 수 있다. 다만, 도 10에서 도시하는 실시예는 하나의 예시에 불과할 뿐, 제2-1마스크(44-1) 및 제2-2마스크(44-2)의 개수가 이에 한정되는 것은 아니다. 제1영역(ARE1)에 시트부(42)를 배치한 후 형성된 제2-1영역(ARE2-1) 및 제2-2영역(ARE2-2)의 면적에 따라, 마스크 프레임(41)에 배치되는 제2-1마스크(44-1) 및 제2-2마스크(44-2)의 개수가 결정될 수 있다.
도 11은 본 발명의 다른 실시예에 따른 마스크 조립체의 평면도이다. 도 1 내지 도 7에서 설명한 내용과 동일 또는 유사한 내용은 설명의 편의를 위하여 생략하도록 한다.
도 11을 참조하면, 도 7을 참고하여 설명한 실시예와 비교하여, 시트부(42)는 복수개로 구비되며, 복수의 시트부(42) 중 2개는 제2마스크(44)를 사이에 두고 서로 이격되도록 배치될 수 있다. 시트부(42)는 제1시트부(42-1) 및 제2시트부(42-2)를 포함할 수 있다. 제1시트부(42-1) 및 제2시트부(42-2)는 제2마스크(44)를 사이에 두고 서로 이격되도록 배치될 수 있다.
이와 같은 구조에서, 제1영역(ARE1)은 제1시트부(42-1)가 배치되는 제1-1영역(ARE1-1) 및 제2시트부(42-2)가 배치되는 제1-2영역(ARE1-2)을 포함할 수 있다. 제1-1영역(ARE1-1) 및 제1-2영역(ARE1-2)은 제2영역(ARE2)을 사이에 두고 서로 이격되도록 배치될 수 있다. 도 11에서와 같이, 마스크 조립체(40)의 평면 형상은 대칭 구조일 수 있다. 따라서, 마스크 조립체(40)에 열이 가해지더라도, 마스크 조립체(40)의 열 변형률이 최소화 될 수 있다.
제2마스크(44)는 복수개로 구비될 수 있다. 예를 들어, 도 11에서와 같이, 제2마스크(44)는 2개로 구비될 수 있다. 다만, 도 11에서 도시하는 실시예는 하나의 예시에 불과할 뿐, 제2마스크(44)의 개수가 이에 한정되는 것은 아니다. 제1-1영역(ARE1-1)에 제1시트부(42-1)를 배치하고 제1-2영역(ARE1-2)에 제2시트부(42-2)를 배치한 후 형성된 제2영역(ARE2)의 면적에 따라, 마스크 프레임(41)에 배치되는 제2마스크(44)의 개수가 결정될 수 있다.
도 12는 본 발명의 다른 실시예에 따른 마스크 조립체의 평면도이다. 도 1 내지 도 7에서 설명한 내용과 동일 또는 유사한 내용은 설명의 편의를 위하여 생략하도록 한다.
도 12를 참조하면, 도 7을 참고하여 설명한 실시예와 비교하여, 제1영역(ARE1)에서 시트부(42)가 복수개로 구비될 수 있다. 예를 들어, 시트부(42)는 제1시트부(42-1), 제2시트부(42-2) 및 제3시트부(42-3)를 포함할 수 있다.
제1시트부(42-1), 제2시트부(42-2) 및 제3시트부(42-3)는 제2방향(예를 들어, Y축 방향)을 따라 순차적으로 배치될 수 있다. 즉, 제1시트부(42-1) 및 제3시트부(42-3)는 제2시트부(42-2)를 사이에 두고 서로 이격되도록 배치될 수 있다.
제1시트부(42-1), 제2시트부(42-2) 및 제3시트부(42-3) 중 적어도 2개의 평면 형상의 면적은 서로 상이할 수 있다. 제1시트부(42-1) 및 제2시트부(42-2)의 평면 형상의 면적은 서로 상이하며, 제2시트부(42-2) 및 제3시트부(42-3)의 평면 형상의 면적은 서로 상이하며, 제1시트부(42-1) 및 제3시트부(42-3)의 평면 형상의 면적은 동일할 수 있다. 도 12에서는 제1시트부(42-1) 및 제3시트부(42-3)의 면적이 제2시트부(42-2)의 면적보다 작은 것으로 도시하고 있으나, 이는 하나의 예시일 뿐이며, 제1시트부(42-1), 제2시트부(42-2) 및 제3시트부(42-3) 사이의 상대적인 면적이 이에 제한되는 것은 아니다.
제1시트부(42-1)는 복수의 제2-1개구(OP42-1)를 포함하며, 제2시트부(42-2)는 복수의 제2-2개구(OP42-2)를 포함하며, 제3시트부(42-3)는 복수의 제2-3개구(OP42-3)를 포함할 수 있다. 제2-1개구(OP42-1), 제2-2개구(OP42-2) 및 제2-3개구(OP42-3) 중 적어도 2개의 평면 형상의 면적은 서로 상이할 수 있다. 제2-1개구(OP42-1) 및 제2-2개구(OP42-2)의 평면 형상의 면적은 서로 상이하며, 제2-2개구(OP42-2) 및 제2-3개구(OP42-3)의 평면 형상의 면적은 서로 상이하며, 제2-1개구(OP42-1) 및 제2-3개구(OP42-3)의 평면 형상의 면적은 동일할 수 있다. 도 12에서는 제2-1개구(OP42-1) 및 제2-3개구(OP42-3)의 면적이 제2-2개구(OP42-2)의 면적보다 작은 것으로 도시하고 있으나, 이는 하나의 예시일 뿐이며, 제2-1개구(OP42-1), 제2-2개구(OP42-2) 및 제2-3개구(OP42-3) 사이의 상대적인 면적이 이에 제한되는 것은 아니다.
제1마스크(43)는 제2-1개구(OP42-1)에 대응되는 제1-1마스크(43-1), 제2-2개구(OP42-2)에 대응되는 제1-2마스크(43-2) 및 제2-3개구(OP42-3)에 대응되는 제1-3마스크를 포함할 수 있다. 따라서, 제2-1개구(OP42-1), 제2-2개구(OP42-2) 및 제2-3개구(OP42-3)와 마찬가지로, 제1-1마스크(43-1), 제1-2마스크(43-2) 및 제1-3마스크 중 적어도 2개의 평면 형상의 면적은 서로 상이할 수 있다. 제1-1마스크(43-1) 및 제1-2마스크(43-2)의 평면 형상의 면적은 서로 상이하며, 제1-2마스크(43-2) 및 제1-3마스크의 평면 형상의 면적은 서로 상이하며, 제1-1마스크(43-1) 및 제1-3마스크의 평면 형상의 면적은 동일할 수 있다.
또한, 도 12에서는 제2-1개구(OP42-1) 및 제1-1마스크(43-1)가 10행 4열로 배치되며, 제2-2개구(OP42-2) 및 제1-2마스크(43-2)가 7행 2열로 배치되며, 제2-3개구(OP42-3) 및 제1-3마스크가 10행 4열로 배치되는 것으로 도시되어 있으나, 이는 하나의 예시에 불과할 뿐, 각각의 제2개구(OP42) 및 제1마스크(43)의 배치가 이에 한정되는 것은 아니다.
제2마스크(44)는 복수개로 구비되며, 복수의 제2마스크(44) 중 2개는 시트부(42)를 사이에 두고 서로 이격되도록 배치될 수 있다. 제2마스크(44)는 제2-1마스크(44-1) 및 제2-2마스크(44-2)를 포함할 수 있다. 제2-1마스크(44-1) 및 제2-2마스크(44-2)는 시트부(42)를 사이에 두고 서로 이격되도록 배치될 수 있다.
이와 같은 구조에서, 제2영역(ARE2)은 제2-1마스크(44-1)가 배치되는 제2-1영역(ARE2-1) 및 제2-2마스크(44-2)가 배치되는 제2-2영역(ARE2-2)을 포함할 수 있다. 제2-1영역(ARE2-1) 및 제2-2영역(ARE2-2)은 제1영역(ARE1)을 사이에 두고 서로 이격되도록 배치될 수 있다.
제2-1마스크(44-1) 및 제2-2마스크(44-2) 중 적어도 하나는 복수개로 구비될 수 있다. 예를 들어, 도 12에서와 같이, 제2-1마스크(44-1) 및 제2-2마스크(44-2)는 각각 2개로 구비될 수 있다. 다만, 도 12에서 도시하는 실시예는 하나의 예시에 불과할 뿐, 제2-1마스크(44-1) 및 제2-2마스크(44-2)의 개수가 이에 한정되는 것은 아니다. 제1영역(ARE1)에 시트부(42)를 배치한 후 형성된 제2-1영역(ARE2-1) 및 제2-2영역(ARE2-2)의 면적에 따라, 마스크 프레임(41)에 배치되는 제2-1마스크(44-1) 및 제2-2마스크(44-2)의 개수가 결정될 수 있다.
전술한 구조에 따르면, 도 12에서와 같이, 마스크 조립체(40)의 평면 형상은 대칭 구조일 수 있다. 따라서, 마스크 조립체(40)에 열이 가해지더라도, 마스크 조립체(40)의 열 변형률이 최소화 될 수 있다.
도 13은 본 발명의 일 실시예에 따른 표시 장치의 제조방법으로 제조된 표시 장치를 개략적으로 나타내는 평면도이다.
도 13을 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따라 제조된 표시 장치(2)는 표시영역(DA) 및 표시영역(DA)의 외측에 위치한 주변영역(PA)을 포함할 수 있다. 표시 장치(2)는 표시영역(DA)에 2차원적으로 배열된 복수의 화소(PX)들의 어레이를 통해 이미지를 제공할 수 있다.
주변영역(PA)은 이미지를 제공하지 않는 영역으로서, 표시영역(DA)을 전체적으로 또는 부분적으로 둘러쌀 수 있다. 주변영역(PA)에는 화소(PX)들 각각에 대응하는 화소회로에 전기적 신호나 전원을 제공하기 위한 드라이버 등이 배치될 수 있다. 주변영역(PA)에는 전자소자나 인쇄회로기판 등이 전기적으로 연결될 수 있는 영역인 패드가 배치될 수 있다.
이하에서는 표시 장치(2)가 발광소자(Light emitting element)로서, 유기발광다이오드(Organic Light Emitting Diode, OLED)를 포함하는 것을 설명하지만, 본 발명의 표시 장치(2)는 이에 제한되지 않는다. 다른 실시예로서, 표시 장치(2)는 무기 발광 다이오드를 포함하는 발광 표시 장치, 즉 무기 발광 표시 장치(Inorganic Light Emitting Display)일 수 있다. 무기 발광다이오드는 무기물 반도체 기반의 재료들을 포함하는 PN다이오드를 포함할 수 있다. PN 접합 다이오드에 순방향으로 전압을 인가하면 정공과 전자가 주입되고, 그 정공과 전자의 재결합으로 생기는 에너지를 빛 에너지로 변환시켜 소정의 색상의 빛을 방출할 수 있다. 전술한 무기 발광다이오드는 수~수백 마이크로미터의 폭을 가질 수 있으며, 일부 실시예에서 무기 발광다이오드는 마이크로 LED로 지칭될 수 있다. 또 다른 실시예로서, 표시 장치(2)는 양자점 발광 표시 장치(Quantum dot Light Emitting Display)일 수 있다.
한편, 표시 장치(2)는 모바일 폰(mobile phone), 스마트 폰(smart phone), 태블릿 PC(tablet personal computer), 이동 통신 단말기, 전자 수첩, 전자 책, PMP(portable multimedia player), 네비게이션, UMPC(Ultra Mobile PC) 등과 같은 휴대용 전자 기기뿐만 아니라, 텔레비전, 노트북, 모니터, 광고판, 사물 인터넷(internet of things, IOT) 장치 등의 다양한 제품의 표시 화면으로 이용될 수 있다. 또한, 일 실시예에 따른 표시 장치(2)는 스마트 워치(smart watch), 워치 폰(watch phone), 안경형 디스플레이, 및 헤드 장착형 디스플레이(head mounted display, HMD)와 같이 웨어러블 장치(wearable device)에 이용될 수 있다. 또한, 일 실시예에 따른 표시 장치(2)는 자동차의 계기판, 및 자동차의 센터페시아(center fascia) 또는 대쉬보드에 배치된 CID(Center Information Display), 자동차의 사이드 미러를 대신하는 룸 미러 디스플레이(room mirror display), 자동차의 뒷좌석용 엔터테인먼트로, 앞좌석의 배면에 배치되는 표시 화면으로 이용될 수 있다.
도 14는 본 발명의 일 실시예에 따른 표시 장치의 제조방법으로 제조된 표시 장치를 개략적으로 도시하는 단면도이며, 도 13의 ⅩⅣ-ⅩⅣ'선을 따라 취한 표시 장치의 단면에 대응될 수 있다.
도 14를 참조하면, 표시 장치(2)는 기판(100), 화소회로층(PCL), 표시요소층(DEL), 봉지층(300)의 적층 구조를 포함할 수 있다.
기판(100)은 고분자 수지를 포함하는 베이스층 및 무기층을 포함하는 다층 구조일 수 있다. 예컨대, 기판(100)은 고분자 수지를 포함하는 베이스층과 무기절연층의 배리어층을 포함할 수 있다. 예컨대, 기판(100)은 순차적으로 적층된 제1베이스층(101), 제1배리어층(102), 제2베이스층(103), 및 제2배리어층(104)을 포함할 수 있다. 제1베이스층(101)과 제2베이스층(103)은 폴리이미드(polyimide: PI), 폴리에테르술폰(PES, polyethersulfone), 폴리아릴레이트(polyarylate), 폴리에테르 이미드(PEI, polyetherimide), 폴리에틸렌 나프탈레이트(PEN, polyethyelenene napthalate), 폴리에틸렌 테레프탈레이드(PET, polyethyeleneterepthalate), 폴리페닐렌 설파이드(polyphenylene sulfide: PPS), 폴리카보네이트, 셀룰로오스 트리 아세테이트(TAC), 또는/및 셀룰로오스 아세테이트 프로피오네이트(cellulose acetate propionate: CAP) 등을 포함할 수 있다. 제1배리어층(102)과 제2배리어층(104)은 실리콘옥사이드, 실리콘옥시나이트라이드, 및/또는 실리콘나이트라이드와 같은 무기절연물을 포함할 수 있다. 기판(100)은 플렉서블 특성을 가질 수 있다.
기판(100) 상에는 화소회로층(PCL)이 배치된다. 도 14는 화소회로층(PCL)이 박막트랜지스터(TFT), 및 박막트랜지스터(TFT)의 구성요소들 아래 또는/및 위에 배치되는 버퍼층(111), 제1게이트절연층(112), 제2게이트절연층(113), 층간절연층(114), 제1평탄화절연층(115) 및 제2평탄화절연층(116)을 포함하는 것을 도시한다.
버퍼층(111)은 기판(100)의 하부로부터 이물, 습기 또는 외기의 침투를 감소 또는 차단할 수 있고, 기판(100) 상에 평탄면을 제공할 수 있다. 버퍼층(111)은 실리콘옥사이드, 실리콘옥시나이트라이드, 실리콘나이트라이드와 같은 무기 절연물을 포함할 수 있으며, 전술한 물질을 포함하는 단일 층 또는 다층 구조로 이루어질 수 있다.
버퍼층(111) 상의 박막트랜지스터(TFT)는 반도체층(Act)을 포함하며, 반도체층(Act)은 폴리 실리콘(poly-Si)을 포함할 수 있다. 또는, 반도체층(Act)은 비정질 실리콘(a-Si)을 포함하거나, 산화물 반도체를 포함하거나, 유기 반도체 등을 포함할 수 있다. 반도체층(Act)은 채널영역(C) 및 채널영역(C)의 양측에 각각 배치된 드레인영역(D) 및 소스영역(S)을 포함할 수 있다. 게이트전극(GE)은 채널영역(C)과 중첩할 수 있다.
게이트전극(GE)은 저저항 금속 물질을 포함할 수 있다. 게이트전극(GE)은 몰리브덴(Mo), 알루미늄(Al), 구리(Cu), 티타늄(Ti) 등을 포함하는 도전 물질을 포함할 수 있고, 상기의 재료를 포함하는 다층 또는 단층으로 형성될 수 있다.
반도체층(Act)과 게이트전극(GE) 사이의 제1게이트절연층(112)은 실리콘산화물(SiO2), 실리콘질화물(SiNX), 실리콘산질화물(SiON), 알루미늄산화물(Al2O3), 티타늄산화물(TiO2), 탄탈산화물(Ta2O5), 하프늄산화물(HfO2), 또는 아연산화물(ZnOX)등과 같은 무기 절연물을 포함할 수 있다. 아연산화물(ZnOX)은 산화아연(ZnO), 및/또는 과산화아연(ZnO2)일 수 있다.
제2게이트절연층(113)은 상기 게이트전극(GE)을 덮도록 구비될 수 있다. 제2게이트절연층(113)은 상기 제1게이트절연층(112)과 유사하게 실리콘산화물(SiO2), 실리콘질화물(SiNX), 실리콘산질화물(SiON), 알루미늄산화물(Al2O3), 티타늄산화물(TiO2), 탄탈산화물(Ta2O5), 하프늄산화물(HfO2), 또는 아연산화물(ZnOX) 등과 같은 무기 절연물을 포함할 수 있다. 아연산화물(ZnOX)은 산화아연(ZnO), 및/또는 과산화아연(ZnO2)일 수 있다.
제2게이트절연층(113) 상부에는 스토리지 커패시터(Cst)의 상부 전극(Cst2)이 배치될 수 있다. 상부 전극(Cst2)은 그 아래의 게이트전극(GE)과 중첩할 수 있다. 이 때, 제2게이트절연층(113)을 사이에 두고 중첩하는 게이트전극(GE) 및 상부 전극(Cst2)은 스토리지 커패시터(Cst)를 형성할 수 있다. 즉, 게이트전극(GE)은 스토리지 커패시터(Cst)의 하부 전극(Cst1)으로 기능할 수 있다.
이와 같이, 스토리지 커패시터(Cst)와 박막트랜지스터(TFT)가 중첩되어 형성될 수 있다. 일부 실시예에서, 스토리지 커패시터(Cst)는 박막트랜지스터(TFT)와 중첩되지 않도록 형성될 수도 있다.
상부 전극(Cst2)은 알루미늄(Al), 백금(Pt), 팔라듐(Pd), 은(Ag), 마그네슘(Mg), 금(Au), 니켈(Ni), 네오디뮴(Nd), 이리듐(Ir), 크롬(Cr), 칼슘(Ca), 몰리브덴(Mo), 티타늄(Ti), 텅스텐(W), 및/또는 구리(Cu)를 포함할 수 있으며, 전술한 물질의 단일층 또는 다층일 수 있다.
층간절연층(114)은 상부 전극(Cst2)을 덮을 수 있다. 층간절연층(114)은 실리콘산화물(SiO2), 실리콘질화물(SiNX), 실리콘산질화물(SiON), 알루미늄산화물(Al2O3), 티타늄산화물(TiO2), 탄탈산화물(Ta2O5), 하프늄산화물(HfO2), 또는 아연산화물(ZnOX) 등을 포함할 수 있다. 아연산화물(ZnOX)은 산화아연(ZnO), 및/또는 과산화아연(ZnO2)일 수 있다. 층간절연층(114)은 전술한 무기 절연물을 포함하는 단일층 또는 다층일 수 있다.
드레인전극(DE) 및 소스전극(SE)은 각각 층간절연층(114) 상에 위치할 수 있다. 드레인전극(DE) 및 소스전극(SE)은 각각 그 하부의 절연층들에 형성된 컨택홀을 통해 드레인영역(D) 및 소스영역(S)과 연결될 수 있다. 드레인전극(DE) 및 소스전극(SE)은 전도성이 좋은 재료를 포함할 수 있다. 드레인전극(DE) 및 소스전극(SE)은 몰리브덴(Mo), 알루미늄(Al), 구리(Cu), 티타늄(Ti) 등을 포함하는 도전 물질을 포함할 수 있고, 상기의 재료를 포함하는 다층 또는 단층으로 형성될 수 있다. 일 실시예로, 드레인전극(DE) 및 소스전극(SE)은 Ti/Al/Ti의 다층 구조를 가질 수 있다.
제1평탄화절연층(115)은 드레인전극(DE) 및 소스전극(SE)을 덮을 수 있다. 제1평탄화절연층(115)은 폴리메틸메타크리레이트(Polymethylmethacrylate, PMMA)나 폴리스티렌(Polystyrene, PS)과 같은 일반 범용고분자, 페놀계 그룹을 갖는 고분자 유도체, 아크릴계 고분자, 이미드계 고분자, 아릴에테르계 고분자, 아마이드계 고분자, 불소계고분자, p-자일렌계 고분자, 비닐알콜계 고분자, 및 이들의 블렌드와 같은 유기 절연물을 포함할 수 있다.
제2평탄화절연층(116)은 제1평탄화절연층(115) 상에 배치될 수 있다. 제2평탄화절연층(116)은 제1평탄화절연층(115)과 동일한 물질을 포함할 수 있고, 폴리메틸메타크리레이트(Polymethylmethacrylate, PMMA)나 폴리스티렌(Polystyrene, PS)과 같은 일반 범용고분자, 페놀계 그룹을 갖는 고분자 유도체, 아크릴계 고분자, 이미드계 고분자, 아릴에테르계 고분자, 아마이드계 고분자, 불소계고분자, p-자일렌계 고분자, 비닐알콜계 고분자, 및 이들의 블렌드와 같은 유기 절연물을 포함할 수 있다.
전술한 구조의 화소회로층(PCL) 상에는 표시요소층(DEL)이 배치될 수 있다. 표시요소층(DEL)은 표시요소(즉, 발광소자)로서 유기발광다이오드(OLED)를 포함하며, 유기발광다이오드(OLED)는 화소전극(210), 중간층(220), 및 공통전극(230)의 적층 구조를 포함할 수 있다. 유기발광다이오드(OLED)는 예컨대, 적색, 녹색, 또는 청색 빛을 방출하거나, 적색, 녹색, 청색, 또는 백색의 빛을 방출할 수 있다. 유기발광다이오드(OLED)는 발광영역을 통해 빛을 방출하며, 발광영역을 화소(PX)로 정의할 수 있다.
유기발광다이오드(OLED)의 화소전극(210)은 제2평탄화절연층(116) 및 제1평탄화절연층(115)에 형성된 컨택홀들과 제1평탄화절연층(115) 상에 배치된 컨택메탈(CM)을 통해 박막트랜지스터(TFT)와 전기적으로 연결될 수 있다.
화소전극(210)은 인듐틴산화물(ITO; indium tin oxide), 인듐아연산화물(IZO; indium zinc oxide), 아연산화물(ZnO; zinc oxide), 인듐산화물(In2O3: indium oxide), 인듐갈륨산화물(IGO; indium gallium oxide) 또는 알루미늄아연산화물(AZO; aluminum zinc oxide)와 같은 도전성 산화물을 포함할 수 있다. 다른 실시예로, 화소전극(210)은 은(Ag), 마그네슘(Mg), 알루미늄(Al), 백금(Pt), 팔라듐(Pd), 금(Au), 니켈(Ni), 네오디뮴(Nd), 이리듐(Ir), 크롬(Cr) 또는 이들의 화합물을 포함하는 반사막을 포함할 수 있다. 다른 실시예로, 화소전극(210)은 전술한 반사막의 위/아래에 ITO, IZO, ZnO 또는 In2O3로 형성된 막을 더 포함할 수 있다.
화소전극(210) 상에는 화소전극(210)의 중앙부를 노출하는 개구(117OP)를 갖는 뱅크층(117)이 배치된다. 뱅크층(117)은 유기절연물 및/또는 무기절연물을 포함할 수 있다. 개구(117OP)는 유기발광다이오드(OLED)에서 방출되는 빛의 발광영역을 정의할 수 있다. 예컨대, 개구(117OP)의 크기/폭이 발광영역의 크기/폭에 해당할 수 있다. 따라서, 화소(PX)의 크기 및/또는 폭은 해당하는 뱅크층(117)의 개구(117OP)의 크기 및/또는 폭에 의존할 수 있다.
중간층(220)은 화소전극(210)에 대응되도록 형성된 발광층(222)을 포함할 수 있다. 발광층(222)은 소정의 색상의 빛을 방출하는 고분자 또는 저분자 유기물을 포함할 수 있다. 또는, 발광층(222)은 무기 발광물질을 포함하거나, 양자점을 포함할 수 있다.
일 실시예로, 중간층(220)은 발광층(222)의 아래와 위에 각각 배치되는 제1기능층(221) 및 제2기능층(223)을 포함할 수 있다. 제1기능층(221)은 예컨대, 홀 수송층(HTL: Hole Transport Layer)을 포함하거나, 홀 수송층 및 홀 주입층(HIL: Hole Injection Layer)을 포함할 수 있다. 제2기능층(223)은 발광층(222) 위에 배치되는 구성요소로서, 전자 수송층(ETL: Electron Transport Layer) 및/또는 전자 주입층(EIL: Electron Injection Layer)을 포함할 수 있다. 제1기능층(221) 및/또는 제2기능층(223)은 후술할 공통전극(230)과 마찬가지로 기판(100)을 전체적으로 커버하도록 형성되는 공통층일 수 있다.
공통전극(230)은 화소전극(210) 상에 배치되며, 화소전극(210)과 중첩할 수 있다. 공통전극(230)은 일함수가 낮은 도전성 물질로 이루어질 수 있다. 예컨대, 공통전극(230)은 은(Ag), 마그네슘(Mg), 알루미늄(Al), 백금(Pt), 팔라듐(Pd), 금(Au), 니켈(Ni), 네오디뮴(Nd), 이리듐(Ir), 크롬(Cr), 리튬(Li), 칼슘(Ca) 또는 이들의 합금 등을 포함하는 (반)투명층을 포함할 수 있다. 또는, 공통전극(230)은 전술한 물질을 포함하는 (반)투명층 상에 ITO, IZO, ZnO 또는 In2O3과 같은 층을 더 포함할 수 있다. 공통전극(230)은 기판(100)을 전체적으로 커버하도록 일체로 형성될 수 있다.
봉지층(300)은 표시요소층(DEL) 상에 배치되고 표시요소층(DEL)을 커버할 수 있다. 봉지층(300)은 적어도 하나의 무기봉지층 및 적어도 하나의 유기봉지층을 포함하며, 일 실시예로서 도 14는 봉지층(300)이 순차적으로 적층된 제1무기봉지층(310), 유기봉지층(320) 및 제2무기봉지층(330)을 포함하는 것을 도시하고 있다.
제1무기봉지층(310) 및 제2무기봉지층(330)은 알루미늄산화물, 티타늄산화물, 탄탈륨산화물, 하프늄산화물, 아연산화물, 실리콘산화물, 실리콘질화물, 실리콘산질화물 중 하나 이상의 무기물을 포함할 수 있다. 유기봉지층(320)은 폴리머(polymer)계열의 물질을 포함할 수 있다. 폴리머 계열의 소재로는 아크릴계 수지, 에폭시계 수지, 폴리이미드 및 폴리에틸렌 등을 포함할 수 있다. 일 실시예로, 유기봉지층(320)은 아크릴레이트(acrylate)를 포함할 수 있다. 유기봉지층(320)은 모노머를 경화하거나, 폴리머를 도포하여 형성할 수 있다. 유기봉지층(320)은 투명성을 가질 수 있다.
봉지층(300) 상에는 도시하지는 않았으나, 터치 센서층이 배치될 수 있으며, 터치 센서층 상에는 광학 기능층이 배치될 수 있다. 터치 센서층은 외부의 입력, 예컨대 터치 이벤트에 따른 좌표정보를 획득할 수 있다. 광학 기능층은 외부로부터 표시 장치를 향해 입사하는 빛(외부광)의 반사율을 감소시킬 수 있고, 및/또는 표시 장치에서 방출되는 빛의 색 순도를 향상시킬 수 있다. 일 실시예로, 광학 기능층은 위상지연자(retarder) 및/또는 편광자(polarizer)를 포함할 수 있다. 위상지연자는 필름타입 또는 액정 코팅타입일 수 있고, λ/2 위상지연자 및/또는 λ/4 위상지연자를 포함할 수 있다. 편광자 역시 필름타입 또는 액정 코팅타입일 수 있다. 필름타입은 연신형 합성수지 필름을 포함하고, 액정 코팅타입은 소정의 배열로 배열된 액정들을 포함할 수 있다. 위상지연자 및 편광자는 보호필름을 더 포함할 수 있다.
상기 터치 전극층 및 광학 기능층 사이에는 점착 부재가 배치될 수 있다. 상기 점착 부재는 당 기술분야에 알려진 일반적인 것을 제한 없이 채용할 수 있다. 상기 점착 부재는 감압성 점착제(pressure sensitive adhesive, PSA)일 수 있다.
도 1 내지 도 12를 참고하여 설명한 증착물질(M)은 도 14에서 설명하는 중간층(220)을 포함할 수 있다. 예를 들어, 증착물질(M)은 발광층(222)을 포함할 수 있다.
도 15는 본 발명의 일 실시예에 따른 표시 패널 중 어느 하나의 화소의 등가 회로도이다.
각 화소(PX)는 화소회로(PC), 및 화소회로(PC)에 연결된 표시요소, 예컨대 유기발광다이오드(OLED)를 포함할 수 있다. 화소회로(PC)는 제1박막트랜지스터(T1), 제2박막트랜지스터(T2), 및 스토리지 커패시터(Cst)를 포함할 수 있다. 각 화소(PX)는 유기발광다이오드(OLED)를 통해 예컨대, 적색, 녹색, 청색 또는 백색의 빛을 방출할 수 있다.
제2박막트랜지스터(T2)는 스위칭 박막트랜지스터로서, 스캔라인(SL) 및 데이터라인(DL)에 연결되며, 스캔라인(SL)으로부터 입력되는 스위칭 전압에 기초하여 데이터라인(DL)으로부터 입력된 데이터 전압을 제1박막트랜지스터(T1)로 전달할 수 있다. 스토리지 커패시터(Cst)는 제2박막트랜지스터(T2)와 구동전압선(PL)에 연결되며, 제2박막트랜지스터(T2)로부터 전달받은 전압과 구동전압선(PL)에 공급되는 제1전원전압(ELVDD)의 차이에 해당하는 전압을 저장할 수 있다.
제1박막트랜지스터(T1)는 구동 박막트랜지스터로서, 구동전압선(PL)과 스토리지 커패시터(Cst)에 연결되며, 스토리지 커패시터(Cst)에 저장된 전압 값에 대응하여 구동전압선(PL)으로부터 유기발광다이오드(OLED)를 흐르는 구동 전류를 제어할 수 있다. 유기발광다이오드(OLED)는 구동 전류에 의해 소정의 휘도를 갖는 빛을 방출할 수 있다. 유기발광다이오드(OLED)의 대향전극(예, 캐소드)은 제2전원전압(ELVSS)을 공급받을 수 있다.
도 15는 화소회로(PC)가 2개의 박막트랜지스터와 1개의 스토리지 커패시터를 포함하는 것을 설명하고 있으나, 본 발명은 이에 한정되지 않는다. 박막트랜지스터의 개수 및 스토리지 커패시터의 개수는 화소회로(PC)의 설계에 따라 다양하게 변경될 수 있다. 예컨대, 화소회로(PC)는 전술한 2개의 박막트랜지스터 외에 4개 또는 5개 또는 그 이상의 박막트랜지스터들을 더 포함할 수 있다.
이와 같이 본 발명은 도면에 도시된 일 실시예를 참고로 하여 설명하였으나 이는 예시적인 것에 불과하며 당해 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 이로부터 다양한 변형 및 실시예의 변형이 가능하다는 점을 이해할 것이다. 따라서, 본 발명의 진정한 기술적 보호 범위는 첨부된 특허청구범위의 기술적 사상에 의하여 정해져야 할 것이다.
1: 표시 장치의 제조장치
10: 챔버
20: 제1지지부
30: 제2지지부
40: 마스크 조립체
50: 증착원
60: 자기력부
70: 비젼부
80: 압력조절부

Claims (20)

  1. 마스크 조립체; 및
    상기 마스크 조립체를 향하여 증착물질을 공급하는 증착원;을 포함하고,
    상기 마스크 조립체는,
    제1개구를 포함하는 마스크 프레임;
    상기 제1개구의 일부와 중첩되도록 상기 마스크 프레임에 고정되며, 복수의 제2개구를 포함하는 시트부;
    상기 제2개구에 대응되도록 배치되어 상기 시트부에 고정되며, 복수의 제3개구를 포함하는 제1마스크; 및
    상기 제1개구 중 상기 시트부의 테두리와 상기 제1개구의 내면이 형성하는 공간에 배치되어 상기 마스크 프레임에 고정되며, 복수의 제4개구를 포함하는 제2마스크;를 포함하는, 표시 장치의 제조장치.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 시트부의 평면 형상의 면적은 상기 제2마스크의 평면 형상의 면적보다 큰, 표시 장치의 제조장치.
  3. 제1항에 있어서,
    상기 시트부는,
    복수의 제2-1개구를 포함하는 제1시트부; 및
    상기 제1시트부와 이격되도록 배치되며, 복수의 제2-2개구를 포함하는 제2시트부;를 포함하는, 표시 장치의 제조장치.
  4. 제3항에 있어서,
    상기 제1시트부의 평면 형상의 면적 및 상기 제2시트부의 평면 형상의 면적은 서로 상이한, 표시 장치의 제조장치.
  5. 제3항에 있어서,
    상기 제2-1개구의 평면 형상의 면적 및 상기 제2-2개구의 평면 형상의 면적은 서로 상이한, 표시 장치의 제조장치.
  6. 제5항에 있어서,
    상기 제1마스크는,
    상기 제2-1개구에 대응되도록 배치되는 제1-1마스크; 및
    상기 제2-2개구에 대응되도록 배치되는 제1-2마스크;를 포함하고,
    상기 제1-1마스크 및 상기 제1-2마스크의 평면 형상의 면적은 서로 상이한, 표시 장치의 제조장치.
  7. 제3항에 있어서,
    상기 제1시트부 및 상기 제2시트부는 상기 제2마스크를 사이에 두고 서로 이격되도록 배치되는, 표시 장치의 제조장치.
  8. 제1항에 있어서,
    상기 제2마스크는,
    제2-1마스크; 및
    상기 제2-1마스크와 이격되도록 배치되는 제2-2마스크;를 포함하는, 표시 장치의 제조장치.
  9. 제8항에 있어서,
    상기 제2-1마스크 및 상기 제2-2마스크는 상기 시트부를 사이에 두고 서로 이격되도록 배치되는, 표시 장치의 제조장치.
  10. 제1항에 있어서,
    상기 마스크 조립체는,
    상기 시트부 및 상기 제2마스크의 경계를 따라 상기 제1개구를 가로지르도록 상기 마스크 프레임에 고정되는 차폐스틱;을 더 포함하는, 표시 장치의 제조장치.
  11. 마스크 조립체를 배치하는 단계; 및
    상기 마스크 조립체를 향하여 증착물질을 공급하는 단계;를 포함하고,
    상기 마스크 조립체를 배치하는 단계는,
    제1개구를 포함하는 마스크 프레임을 배치하는 단계;
    복수의 제2개구를 포함하는 시트부를 인장하여 상기 제1개구의 일부와 중첩되도록 상기 마스크 프레임에 고정하는 시트부 고정 단계;
    제1마스크를 인장하여 상기 제2개구에 대응되게 배치되도록 상기 시트부에 고정하는 제1마스크 고정 단계; 및
    제2마스크를 인장하여 상기 제1개구 중 상기 시트부의 테두리와 상기 제1개구의 내면이 형성하는 공간에 배치되도록 상기 마스크 프레임에 고정하는 제2마스크 고정 단계;를 포함하는, 표시 장치의 제조방법.
  12. 제11항에 있어서,
    상기 시트부의 평면 형상의 면적은 상기 제2마스크의 평면 형상의 면적보다 큰, 표시 장치의 제조방법.
  13. 제11항에 있어서,
    상기 시트부 고정 단계는,
    복수의 제2-1개구를 포함하는 제1시트부를 상기 마스크 프레임에 고정하는 단계; 및
    복수의 제2-2개구를 포함하는 제2시트부를 상기 제1시트부와 이격되도록 상기 마스크 프레임에 고정하는 단계;를 포함하는, 표시 장치의 제조방법.
  14. 제13항에 있어서,
    상기 제1시트부의 평면 형상의 면적 및 상기 제2시트부의 평면 형상의 면적은 서로 상이한, 표시 장치의 제조방법.
  15. 제13항에 있어서,
    상기 제2-1개구의 평면 형상의 면적 및 상기 제2-2개구의 평면 형상의 면적은 서로 상이한, 표시 장치의 제조방법.
  16. 제15항에 있어서,
    상기 제1마스크 고정 단계는,
    제1-1마스크를 상기 제2-1개구에 대응되게 배치되도록 상기 시트부에 고정하는 단계; 및
    제1-2마스크를 상기 제2-2개구에 대응되게 배치되도록 상기 시트부에 고정하는 단계;를 포함하고,
    상기 제1-1마스크 및 상기 제1-2마스크의 평면 형상의 면적은 서로 상이한, 표시 장치의 제조방법.
  17. 제13항에 있어서,
    상기 제1시트부 및 상기 제2시트부는 상기 제2마스크를 사이에 두고 서로 이격되도록 배치되는, 표시 장치의 제조방법.
  18. 제11항에 있어서,
    상기 제2마스크 고정 단계는,
    제2-1마스크를 상기 마스크 프레임에 고정하는 단계; 및
    제2-2마스크를 상기 제2-1마스크와 이격되도록 상기 마스크 프레임에 고정하는 단계;를 포함하는, 표시 장치의 제조방법.
  19. 제18항에 있어서,
    상기 제2-1마스크 및 상기 제2-2마스크는 상기 시트부를 사이에 두고 서로 이격되도록 배치되는, 표시 장치의 제조방법.
  20. 제11항에 있어서,
    상기 마스크 조립체를 배치하는 단계는,
    차폐스틱을 인장하여 상기 시트부 및 상기 제2마스크의 경계를 따라 상기 제1개구를 가로지르도록 상기 마스크 프레임에 고정하는 단계;를 더 포함하는, 표시 장치의 제조방법.
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