KR20240015814A

KR20240015814A - 표시 장치의 제조장치 및 표시 장치의 제조 방법

Info

Publication number: KR20240015814A
Application number: KR1020220093453A
Authority: KR
Inventors: 박상하; 정다희; 조은비
Original assignee: 삼성디스플레이 주식회사
Priority date: 2022-07-27
Filing date: 2022-07-27
Publication date: 2024-02-06
Also published as: US20240035143A1; CN220376763U

Abstract

본 발명의 일 실시 예는, 챔버, 표시기판과 대향하도록 상기 챔버 내부에 배치되며, 하나 이상의 증착영역을 포함하는 마스크 조립체, 및 상기 마스크 조립체와 대향하도록 상기 챔버 내부에 배치되며, 증착물질이 상기 마스크 조립체의 증착영역을 통과하여 상기 표시기판 상에 증착되도록 상기 증착물질을 공급하는 증착원을 포함하고, 상기 마스크 조립체는, 개구영역를 포함하는 마스크 프레임, 상기 개구영역을 가로지르도록 배치되는 하나 이상의 차폐스틱, 및 상기 개구영역의 적어도 일부를 커버하며, 적어도 일부가 상기 차폐스틱과 중첩되도록 배치되는 하나 이상의 마스크 시트를 포함하며, 상기 마스크 시트는, 복수의 패턴홀이 구비되며 상기 증착영역을 커버하는 홀영역을 포함하는 제1바디부, 및 상기 제1바디부에 연결되며, 상기 마스크 프레임에 고정되는 제2바디부를 포함하고, 상기 제1바디부의 최대 폭은 상기 제2바디부의 최대 폭보다 큰, 표시 장치의 제조장치를 개시한다.

Description

표시 장치의 제조장치 및 표시 장치의 제조 방법{Apparatus and method for manufacturing a display device}

본 발명의 실시 예들은 장치 및 방법에 관한 것으로서, 더 상세하게는 표시 장치의 제조장치 및 표시 장치의 제조방법에 관한 것이다.

최근 전자 기기가 폭 넓게 사용되고 있다. 전자 기기는 이동형 전자 기기와 고정형 전자 기기와 같이 다양하게 이용되고 있으며, 이러한 전자 기기는 다양한 기능을 지원하기 위해 이미지 또는 영상과 같은 시각 정보를 사용자에게 제공할 수 있는 표시장치를 포함한다.

표시장치는 데이터를 시각적으로 표시하는 장치로, 유기층, 금속층 등의 다양한 층을 증착하여 형성된다. 표시장치의 복수의 층을 형성하기 위해 증착물질을 증착할 수 있다. 즉, 증착원으로부터 증착물질이 분사되어 마스크 조립체를 통해 기판에 증착되도록 이용된다. 이때 마스크 시트에 변형이 발생하거나 마스크 시트 및 차폐스틱 사이 간섭 현상이 발생하면, 증착물질이 기판 상의 요구되는 위치에 증착되지 못하여 증착 품질이 저하되는 문제가 있었다.

전술한 배경 기술은 발명자가 본 발명의 도출을 위해 보유하고 있었거나, 본 발명의 도출 과정에서 습득한 기술 정보로서, 반드시 본 발명의 출원 전에 일반 공중에게 공개된 공지 기술이라 할 수는 없다.

본 발명의 실시예들은 마스크 시트가 인장됨에 따라 발생되는 주름을 개선하며 마스크 시트 및 차폐스틱 사이 간섭 현상을 방지하는 증착물질의 증착 품질을 향상시킬 수 있는 표시 장치의 제조장치 및 표시 장치의 제조방법을 제공하는 것을 목적으로 한다.

다만 이러한 과제는 예시적인 것으로, 본 발명의 해결하고자 하는 과제는 이에 한정되지 않는다.

본 실시 예에 있어서, 평면에서 볼 때, 상기 마스크 시트는 상기 차폐스틱과 중첩되는 중첩영역을 포함하며, 상기 중첩영역은 볼록한 형상을 포함할 수 있다.

본 실시 예에 있어서, 평면에서 볼 때, 상기 홀영역은, 상기 차폐스틱과 중첩되는 제1홀영역, 및 상기 차폐스틱과 중첩되지 않는 제2홀영역을 포함할 수 있다.

본 실시 예에 있어서, 상기 제1홀영역은 볼록한 형상을 포함할 수 있다.

본 실시 예에 있어서, 상기 제1홀영역에서의 단위면적 당 패턴홀의 개수 및 상기 제2홀영역에서의 단위면적 당 패턴홀의 개수는 동일할 수 있다.

본 실시 예에 있어서, 평면에서 볼 때, 상기 제1홀영역에 구비된 패턴홀의 크기 및 상기 제2홀영역에 구비된 패턴홀의 크기는 동일할 수 있다.

본 실시 예에 있어서, 상기 제1홀영역에 구비된 단위면적 당 패턴홀의 개수는 외측 방향을 따라 점진적으로 적어질 수 있다.

본 실시 예에 있어서, 평면에서 볼 때, 상기 제1홀영역에 구비된 패턴홀의 크기는 외측 방향을 따라 점진적으로 작아질 수 있다.

본 실시 예에 있어서, 상기 홀영역의 두께는 상기 패턴홀이 구비되지 않은 영역의 두께보다 얇을 수 있다.

본 실시 예에 있어서, 상기 제1바디부는 상기 홀영역의 외측에 배치되며, 상기 차폐스틱과 중첩되는 외측영역을 더 포함하고, 상기 홀영역의 두께 및 상기 외측영역의 두께는 상기 제1바디부의 나머지영역의 두께보다 얇을 수 있다.

본 실시 예에 있어서, 평면에서 볼 때, 상기 외측영역은 볼록한 형상을 포함할 수 있다.

본 발명의 다른 실시 예는, 챔버 내부에 표시기판과 마스크 조립체를 배치하는 단계, 및 상기 마스크 조립체를 통과하여 상기 표시기판에 증착물질을 증착시키는 단계를 포함하고, 상기 마스크 조립체는, 개구영역을 포함하는 마스크 프레임, 및 상기 개구영역의 적어도 일부를 커버하는 하나 이상의 마스크 시트를 포함하며, 상기 마스크 시트는, 복수의 패턴홀이 구비되는 홀영역을 포함하는 제1바디부, 및 상기 제1바디부에 연결되며, 마스크 프레임에 고정되는 제2바디부를 포함하고, 상기 제1바디부의 최대 폭은 상기 제2바디부의 최대 폭보다 클 수 있다.

본 실시 예에 있어서, 평면에서 볼 때, 상기 제1바디부는 볼록한 형상을 포함할 수 있다.

본 실시 예에 있어서, 평면에서 볼 때, 상기 홀영역은 볼록한 형상을 포함할 수 있다.

본 실시 예에 있어서, 상기 홀영역에서 단위면적 당 패턴홀의 개수는 균일할 수 있다.

본 실시 예에 있어서, 평면에서 볼 때, 상기 홀영역에서 상기 복수의 패턴홀의 크기는 각각 동일할 수 있다.

본 실시 예에 있어서, 상기 홀영역의 중심부보다 상기 홀영역의 외측에서 단위면적 당 패턴홀의 개수가 적을 수 있다.

본 실시 예에 있어서, 상기 홀영역의 중심부보다 상기 홀영역의 외측에서 패턴홀의 크기가 작을 수 있다.

본 실시 예에 있어서, 상기 제1바디부는 상기 홀영역의 외측에 배치되는 외측영역을 더 포함하고, 상기 홀영역의 두께 및 상기 외측영역의 두께는 상기 제1바디부의 나머지영역의 두께보다 얇을 수 있다.

전술한 것 외의 다른 측면, 특징, 이점이 이하의 도면, 특허청구범위 및 발명의 상세한 설명으로부터 명확해질 것이다.

본 발명의 실시예들에 따르면, 마스크 시트의 인장 용접 시 발생할 수 있는 주름을 개선하고 마스크 시트 및 차폐스틱 사이 간섭 현상을 방지하여 증착물질의 증착 품질을 향상시킬 수 있다.

본 발명의 효과들은 이상에서 언급한 효과들로 제한되지 않으며, 언급되지 않은 또 다른 효과들은 청구범위의 기재로부터 당업자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.

도 1은 일 실시 예에 따른 표시 장치를 개략적으로 나타낸 사시도이다.
도 2는 본 발명의 일 실시 예에 따른 마스크 조립체의 개략적인 사시도이다.
도 3은 본 발명의 일 실시 예에 따른 마스크 시트의 개략적인 평면도이다.
도 4a 및 도 4b는 본 발명의 일 실시 예에 따른 표시 장치의 제조장치의 제조 방법을 개략적으로 나타내는 도면이다.
도 5는 본 발명의 일 실시 예에 따른 마스크 조립체의 일부를 개략적으로 나타내는 평면도이다.
도 6a 내지 도 6c는 본 발명의 일 실시 예에 따른 도 3의 A 부분에 대한 확대도이다.
도 7a 내지 도 7c는 본 발명의 일 실시 예에 따른 도 3의 I-I'부분에 대한 단면도이다.
도 8은 본 발명의 다른 실시 예에 따른 마스크 시트의 개략적인 평면도이다.
도 9a 및 도 9b는 본 발명의 다른 실시 예에 따른 도 8의 Ⅱ-Ⅱ' 부분에 대한 단면도이다.
도 10은 본 발명의 일 실시 예에 따른 표시 장치의 제조방법으로 제조된 표시 장치를 개략적으로 나타내는 평면도이다.
도 11은 본 발명의 일 실시 예에 따른 표시 장치의 제조방법으로 제조된 표시 장치를 개략적으로 도시하는 단면도이다.

본 발명은 다양한 변환을 가할 수 있고 여러 가지 실시 예를 가질 수 있는 바, 특정 실시 예들을 도면에 예시하고 상세한 설명에 상세하게 설명하고자 한다. 본 발명의 효과 및 특징, 그리고 그것들을 달성하는 방법은 도면과 함께 상세하게 후술되어 있는 실시 예들을 참조하면 명확해질 것이다. 그러나 본 발명은 이하에서 개시되는 실시 예들에 한정되는 것이 아니라 다양한 형태로 구현될 수 있다.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시 예들을 상세히 설명하기로 하며, 도면을 참조하여 설명할 때 동일하거나 대응하는 구성 요소는 동일한 도면부호를 부여하고 이에 대한 중복되는 설명은 생략하기로 한다.

이하의 실시 예에서, 제1, 제2 등의 용어는 한정적인 의미가 아니라 하나의 구성 요소를 다른 구성 요소와 구별하는 목적으로 사용되었다.

이하의 실시 예에서, 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다.

이하의 실시 예에서, 포함하다 또는 가지다 등의 용어는 명세서상에 기재된 특징, 또는 구성요소가 존재함을 의미하는 것이고, 하나 이상의 다른 특징들 또는 구성요소가 부가될 가능성을 미리 배제하는 것은 아니다.

이하의 실시 예에서, 막, 영역, 구성 요소 등의 부분이 다른 부분 위에 또는 상에 있다고 할 때, 다른 부분의 바로 위에 있는 경우뿐만 아니라, 그 중간에 다른 막, 영역, 구성 요소 등이 개재되어 있는 경우도 포함한다.

도면에서는 설명의 편의를 위하여 구성 요소들이 그 크기가 과장 또는 축소될 수 있다. 예컨대, 도면에서 나타난 각 구성의 크기 및 두께는 설명의 편의를 위해 임의로 나타내었으므로, 본 발명이 반드시 도시된 바에 한정되지 않는다.

이하의 실시 예에서, X축, Y축 및 Z축은 직교 좌표계 상의 세 축으로 한정되지 않고, 이를 포함하는 넓은 의미로 해석될 수 있다. 예를 들어, X축, Y축 및 Z축은 서로 직교할 수도 있지만, 서로 직교하지 않는 서로 다른 방향을 지칭할 수도 있다.

어떤 실시 예가 달리 구현 가능한 경우에 특정한 공정 순서는 설명되는 순서와 다르게 수행될 수도 있다. 예를 들어, 연속하여 설명되는 두 공정이 실질적으로 동시에 수행될 수도 있고, 설명되는 순서와 반대의 순서로 진행될 수 있다.

도 1은 본 발명의 일 실시 예에 따른 표시 장치의 제조장치를 나타내는 단면도이다.

표시 장치의 제조장치(1)는 챔버(10), 제1지지부(20), 제2지지부(30), 마스크 조립체(40), 증착원(50), 자기력부(60), 비젼부(70) 및 압력조절부(80)를 포함할 수 있다.

챔버(10)는 내부에 공간이 형성될 수 있으며, 표시기판(DS) 및 마스크 조립체(40)가 수납될 수 있다. 이때 챔버(10)의 일부는 개구되도록 형성될 수 있으며, 챔버(10)의 개구된 부분에는 게이트밸브(11)가 설치될 수 있다. 이러한 경우 게이트밸브(11)의 작동에 따라서 챔버(10)의 개구된 부분은 개방되거나 폐쇄될 수 있다.

이때 표시기판(DS)은 후술할 기판(100)에 유기층, 무기층 및 금속층 중 적어도 하나의 층이 증착된, 표시 장치의 제조 중에 있는 표시기판(DS)을 의미할 수 있다. 또는 표시기판(DS)은 유기층, 무기층 및 금속층 중 어느 층도 아직 증착되지 않은 기판(100)일 수 있다.

제1지지부(20)는 표시기판(DS)을 지지할 수 있다. 이때, 제1지지부(20)는 챔버(10) 내부에 고정된 플레이트 형태일 수 있다. 다른 실시 예로써 제1지지부(20)는 표시기판(DS)이 안착되며, 챔버(10) 내부에서 선형 운동 가능한 셔틀 형태인 것도 가능하다. 또 다른 실시 예로써 제1지지부(20)는 챔버(10)에 고정되거나 챔버(10) 내부에서 이동 가능하도록 챔버(10)에 배치되는 정전척이나 점착척을 포함하는 것도 가능하다.

제2지지부(30)는 마스크 조립체(40)를 지지할 수 있다. 이때, 제2지지부(30)는 챔버(10) 내부에 배치될 수 있다. 제2지지부(30)는 마스크 조립체(40)의 위치를 미세 조정 가능할 수 있다. 이때, 제2지지부(30)는 마스크 조립체(40)를 서로 상이한 방향으로 이동 가능하도록 별도의 구동부 내지는 얼라인유닛 등을 구비할 수 있다.

다른 실시 예로서 제2지지부(30)는 셔틀 형태인 것도 가능하다. 이러한 경우 제2지지부(30)는 마스크 조립체(40)가 안착되며, 마스크 조립체(40)를 이송할 수 있다. 예를 들면, 제2지지부(30)는 챔버(10) 외부로 이동하여 마스크 조립체(40)가 안착된 후 챔버(10) 외부에서 챔버(10) 내부로 진입할 수 있다.

상기와 같은 경우 제1지지부(20)와 제2지지부(30)가 일체로 형성되는 것도 가능하다. 이러한 경우 제1지지부(20)와 제2지지부(30)는 이동 가능한 셔틀을 포함할 수 있다. 이때, 제1지지부(20)와 제2지지부(30)는 마스크 조립체(40) 상에 표시기판(DS)이 안착된 상태로 마스크 조립체(40)와 표시기판(DS)을 고정시키는 구조를 포함하며, 표시기판(DS)과 마스크 조립체(40)를 동시에 선형 운동시키는 것도 가능하다.

다만, 이하에서는 설명의 편의를 위하여 제1지지부(20)와 제2지지부(30)는 서로 구분되도록 형성되어 서로 상이한 위치에 배치되는 형태, 제1지지부(20)와 제2지지부(30)는 챔버(10) 내부에 배치되는 형태를 중심으로 상세히 설명하기로 한다.

마스크 조립체(40)는 챔버(10) 내부에 표시기판(DS)과 대향하도록 배치될 수 있다. 증착물질(M)은 마스크 조립체(40)를 통과하여 표시기판(DS)에 증착될 수 있다.

증착원(50)은 마스크 조립체(40)와 대향하도록 배치되며, 증착물질(M)이 마스크 조립체(40)의 증착영역(EA)을 통과하여 표시기판(DS) 상에 증착되도록 증착물질(M)을 공급할 수 있다. 이때, 증착원(50)은 증착물질(M)에 열을 가함으로써 증착물질(M)을 증발시키거나 승화시킬 수 있다. 증착원(50)은 챔버(10) 내부에 고정되도록 배치되거나 일 방향을 따라 선형 운동 가능하도록 챔버(10) 내부에 배치되는 것도 가능하다.

자기력부(60)는 표시기판(DS) 및/또는 마스크 조립체(40)와 대향하도록 챔버(10) 내부에 배치될 수 있다. 이때, 자기력부(60)는 마스크 조립체(40)에 자기력을 가하여 표시기판(DS) 측으로 마스크 조립체(40)를 가력할 수 있다. 특히 자기력부(60)는 마스크 시트(44)의 쳐짐을 방지할 뿐 아니라 마스크 시트(44)를 표시기판(DS)에 인접시킬 수 있다. 또한, 자기력부(60)는 마스크 시트(44)와 표시기판(DS) 사이의 간격을 균일하게 유지시킬 수 있다.

비젼부(70)는 챔버(10)에 배치되며, 표시기판(DS)과 마스크 조립체(40)의 위치를 촬영할 수 있다. 이때, 비젼부(70)는 표시기판(DS) 및 마스크 조립체(40)를 촬영하는 카메라를 포함할 수 있다. 비젼부(70)에서 촬영된 이미지를 근거로 표시기판(DS)과 마스크 조립체(40)의 위치를 파악할 수 있고, 마스크 조립체(40)의 변형을 확인할 수 있다. 또한 상기 이미지를 근거로 제1지지부(20)에서 표시기판(DS)의 위치를 미세 조정하거나 제2지지부(30)에서 마스크 조립체(40)의 위치를 미세 조정할 수 있다. 다만, 이하에서는 제2지지부(30)에서 마스크 조립체(40)의 위치를 미세 조정하여 표시기판(DS)과 마스크 조립체(40)의 위치를 정렬하는 경우를 중심으로 상세히 설명하기로 한다.

압력조절부(80)는 챔버(10)와 연결되어 챔버(10) 내부의 압력을 조절할 수 있다. 예를 들면, 압력조절부(80)는 챔버(10) 내부의 압력을 대기압과 동일 또는 유사하게 조절할 수 있다. 또한, 압력조절부(80)는 챔버(10) 내부의 압력을 진공 상태와 동일 또는 유사하게 조절할 수 있다.

압력조절부(80)는 챔버(10)와 연결되는 연결배관(81)과 연결배관(81)에 설치되는 펌프(82)를 포함할 수 있다. 이때, 펌프(82)의 작동에 따라서 연결배관(81)을 통하여 외기가 유입되거나 챔버(10) 내부의 기체를 연결배관(81)을 통하여 외부로 안내할 수 있다.

한편, 상기와 같은 표시 장치의 제조장치(1)를 이용하여 표시 장치(미도시)를 제조하는 방법을 살펴보면, 먼저 표시기판(DS)이 준비될 수 있다.

압력조절부(80)는 챔버(10) 내부를 대기압과 동일 또는 유사한 상태로 유지시킬 수 있으며, 게이트밸브(11)가 작동하여 챔버(10)의 개구된 부분을 개방할 수 있다.

이후 표시기판(DS)을 챔버(10) 외부에서 내부로 장입할 수 있다. 이때, 표시기판(DS)은 다양한 방식으로 챔버(10)로 장입될 수 있다. 예를 들면, 표시기판(DS)은 챔버(10) 외부에 배치된 로봇암 등을 통하여 챔버(10) 외부에서 챔버(10) 내부로 장입될 수 있다. 다른 실시 예로써 제1지지부(20)가 셔틀 형태로 형성되는 경우 제1지지부(20)가 챔버(10) 내부에서 챔버(10) 외부로 반출된 후 챔버(10) 외부에 배치된 별도의 로봇암 등을 통하여 표시기판(DS)을 제1지지부(20)에 안착시키고 제1지지부(20)가 챔버(10) 외부에서 챔버(10) 내부로 장입하는 것도 가능하다.

마스크 조립체(40)는 상기와 같이 챔버(10) 내부에 배치된 상태일 수 있다. 다른 실시 예로써 마스크 조립체(40)는 표시기판(DS)과 동일 또는 유사하게 챔버(10) 외부에서 챔버(10) 내부로 장입하는 것도 가능하다.

표시기판(DS)이 챔버(10) 내부로 장입되면, 표시기판(DS)은 제1지지부(20)에 안착할 수 있다. 이때, 비젼부(70)는 표시기판(DS)과 마스크 조립체(40)의 위치를 촬영할 수 있다. 비젼부(70)에서 촬영된 이미지를 근거로 표시기판(DS)과 마스크 조립체(40)의 위치를 파악할 수 있다. 이때, 표시 장치의 제조장치(1)는 별도의 제어부(미도시)가 구비되어 표시기판(DS)과 마스크 조립체(40)의 위치를 파악할 수 있다.

표시기판(DS)과 마스크 조립체(40)의 위치 파악이 완료되면, 제2지지부(30)는 마스크 조립체(40)의 위치를 미세 조정할 수 있다.

이후 증착원(50)이 작동하여 증착물질(M)을 마스크 조립체(40) 측으로 공급하고, 마스크 시트(44)의 복수 개의 패턴홀을 통과한 증착물질(M)은 표시기판(DS)에 증착될 수 있다. 이때, 증착원(50)이 표시기판(DS) 및 마스크 조립체(40)에 대해 평행하게 이동하거나, 표시기판(DS) 및 마스크 조립체(40)가 증착원(50)에 대해 평행하게 이동할 수 있다. 즉, 증착원(50)은 표시기판(DS) 및 마스크 조립체(40)와 상대이동할 수 있다. 이때, 펌프(82)는 챔버(10) 내부의 기체를 흡입하여 외부로 배출시킴으로써 챔버(10) 내부의 압력을 진공과 동일 또는 유사한 형태로 유지시킬 수 있다.

상기와 같이 증착원(50)에서 공급된 증착물질(M)은 마스크 조립체(40)를 통과하여 표시기판(DS)에 증착되고, 이에 따라 후술할 표시 장치에 적층되는 복수 개의 층, 예를 들어 유기층, 무기층, 금속층 중 적어도 하나를 형성할 수 있다.

도 2는 본 발명의 일 실시 예에 따른 마스크 조립체의 개략적인 사시도이며, 도 3은 본 발명의 일 실시 예에 따른 마스크 시트의 개략적인 평면도이다.

도 2 및 도 3을 참조하면, 마스크 조립체(40)는 마스크 프레임(41), 차폐스틱(42), 지지스틱(43) 및 마스크 시트(44)를 포함할 수 있다. 도 3은 마스크 시트(44)가 절단되기 전의 상태를 도시한다

마스크 프레임(41)은 복수 개의 변들이 연결되어 형성될 수 있으며, 복수 개의 변들에 의해 정의되는 개구영역(OA)을 포함할 수 있다. 즉, 개구영역(OA)은 복수 개의 변들에 의해 둘러싸여 형성될 수 있으며, 개구영역(OA)은 마스크 프레임(41)의 중앙에서 관통되어 형성될 수 있다.

마스크 프레임(41)은 일 실시 예에서 사각형의 프레임일 수 있다. 물론 마스크 프레임(41)의 형상은 이에 제한되는 것은 아니며, 다양한 형태의 다각형의 형상일 수 있다. 이하에서는 설명의 편의를 위해 마스크 프레임(41)은 사각형의 프레임인 경우를 중심으로 설명하도록 한다.

마스크 프레임(41)이 사각형의 프레임인 경우, 복수 개의 변들은 제1방향(예를 들어, 도 2의 X축 방향)으로 연장되는 제1변(S1) 및 제1방향과 교차하는 제2방향(예를 들어, 도 2의 Y축 방향)으로 연장되는 제2변(S2)을 포함할 수 있다. 제1변(S1)은 마주보도록 한 쌍으로 구비되고, 제2변(S2)은 마주보도록 한 쌍으로 구비되어 서로 연결될 수 있다. 일 실시 예에서 제1변(S1)은 단변이고, 제2변(S2)은 장변일 수 있다. 그러나 이에 제한되는 것은 아니며 제1변(S1)이 장변이고 제2변(S2)이 단변이거나, 또는 제1변(S1)과 제2변(S2)의 길이가 같을 수 있다. 이하에서는 설명의 편의를 위해 제1변(S1)은 단변이고 제2변(S2)은 장변인 경우를 중심으로 설명하도록 한다.

차폐스틱(42)은 개구영역(OA)을 가로지르도록 제1방향, 예를 들어 도 2에서와 같이 X축 방향으로 연장되도록 배치될 수 있다. 예를 들어, 마스크 프레임(41)에는 차폐스틱(42)의 양 단부를 수용하기 위한 홈이 배치될 수 있다. 다만, 이는 예시적인 것으로, 마스크 프레임(41)에는 별도의 홈이 배치되지 않으며, 마스크 프레임(41) 상에 차폐스틱(42)이 배치될 수 있다. 차폐스틱(42)은 복수 개의 마스크 프레임(41)의 사이에 위치하도록 배치되어 인접한 2개의 마스크 프레임(41) 사이를 증착물질(M)이 통과하지 못하도록 차폐할 수 있다. 차폐스틱(42)은 복수 개로 구비되어 제2방향, 예를 들어 도 2에서와 같이 Y축 방향으로 이격되며 서로 평행하도록 배치될 수 있다.

지지스틱(43)은 개구영역(OA)을 가로지르도록 제2방향, 예를 들어 도 2에서와 같이 Y축 방향으로 연장되도록 배치될 수 있다. 지지스틱(43)은 개구영역(OA)에서 차폐스틱(42)과 교차하며 차폐스틱(42)의 상부에 위치할 수 있다. 예를 들어, 마스크 프레임(41)에는 지지스틱(43)의 양 단부를 수용하기 위한 홈이 배치될 수 있다. 다만, 이는 예시적인 것으로, 마스크 프레임(41)에는 별도의 홈이 배치되지 않으며, 마스크 프레임(41) 상에 지지스틱(43)이 배치될 수 있다. 지지스틱(43)은 개구영역(OA)에서 마스크 시트(44)를 지지하여 마스크 시트(44)의 처짐을 방지할 수 있다.

마스크 시트(44)는 마스크 프레임(41)에 인장된 상태로 설치될 수 있다. 마스크 프레임(41)의 중앙의 개구영역(OA)의 적어도 일부는 마스크 시트(44)에 의해 커버될 수 있다. 일 실시 예로 마스크 시트(44)는 적어도 하나 이상 구비될 수 있으며, 마스크 시트(44)가 2개 이상으로 구비되는 경우, 마스크 시트(44)들은 서로 나란하도록 마스크 프레임(41) 상에 배치될 수 있다. 예를 들어 마스크 시트(44)들은 제2방향(예를 들어, 도 2의 Y축 방향)으로 나란히 배열될 수 있다. 이때, 마스크 시트(44) 각각은 제1방향(예를 들어, 도 2의 X축 방향)으로 길게 연장된 형상일 수 있다. 마스크 시트(44)의 양 단부는 예를 들어 용접에 의한 방식으로 마스크 프레임(41)에 고정될 수 있다.

일 실시 예에서 마스크 시트(44)는 제1바디부(441), 제2바디부(442), 제3바디부(443) 및 제4바디부(444)를 포함할 수 있다. 일 실시 예에서 마스크 시트(44)는 제1방향으로 양 단부가 대칭인 형상일 수 있으며, 이하에서는 설명의 편의를 위해 일 단부, 즉 도 3의 +X축 방향 측 단부를 중심으로 설명하도록 한다.

제1바디부(441)는 복수의 패턴홀(H)이 구비된 홀영역(HA)을 포함할 수 있다. 패턴홀(H)은 증착물질이 마스크 시트(44)를 통과할 수 있도록 형성된 관통홀일 수 있다. 제1바디부(441)를 통과한 증착물질은 표시기판(DS)에 증착될 수 있다. 패턴홀(H)은 표시기판(DS)에서 요구되는 증착 패턴에 대응하는 패턴으로 형성될 수 있다.

제2바디부(442)는 제1바디부(441)의 제1방향(예를 들어, 도 3의 X축 방향)으로의 양 단부에 배치될 수 있다. 제2바디부(442)는 후술할 제4바디부(444)가 인장된 후 마스크 시트(44)를 마스크 프레임(41)에 고정하기 위해 용접되는 영역일 수 있다. 일 실시 예에서 마스크 시트(44)는 제2바디부(442)에서 레이저 스팟 용접 방식으로 마스크 프레임(41)에 용접될 수 있다.

제3바디부(443)는 제2바디부(442)의 제1방향(예를 들어 도 3의 X축 방향)으로의 양 단부에 배치될 수 있다. 마스크 시트(44)가 마스크 프레임(41)에 용접된 후에 제3바디부(443)는 절단될 수 있다. 제3바디부(443)가 절단됨으로 인하여, 후술하는 제4바디부(444)는 제거될 수 있다.

제4바디부(444)는 제3바디부(443)의 제1방향(예를 들어 도 3의 X축 방향)으로의 양 단부에 배치될 수 있다. 제4바디부(444)는 마스크 시트(44)를 인장하기 위해 클램핑장치(예를 들어, 도 4a의 클램핑장치(CP))가 파지하는 영역으로서, 마스크 시트(44)가 마스크 프레임(41)에 용접된 후에는 제거될 수 있다.

예를 들어, 마스크 시트(44)는 가로중심축(CL1) 및 세로중심축(CL2)을 기준으로 대칭적인 형상일 수 있다. 다만, 이는 하나의 예시에 불과하며, 사용목적 및 다른 구성과의 관계를 고려할 때 마스크 시트(44)는 다양한 형태로 형성될 수 있다.

도 4a 및 도 4b는 본 발명의 일 실시 예에 따른 표시 장치의 제조장치의 제조방법을 개략적으로 나타내는 도면이다.

도 4a 및 도 4b를 참조하여, 전술한 마스크 시트(44)를 이용하여 표시 장치의 제조장치(예를 들어, 도 1의 표시 장치의 제조장치(1))를 제조하는 방법이 이하에서 설명하도록 한다. 마스크 시트(44)는 표시 장치를 제조하기 위한, 표시 장치의 제조장치(예를 들어, 도 1의 표시 장치의 제조장치(1))에 이용될 수 있다. 이하에서는 설명의 편의를 위해 마스크 시트(44)의 도 4a의 +X축 방향 측 단부를 중심으로 설명하지만, 도 4a의 -X축 방향 측 단부도 대칭적으로 동일한 과정이 진행될 수 있다.

구체적으로, 마스크 프레임(41)의 개구영역(OA)을 덮도록 마스크 시트(44)가 배치될 수 있다. 이때 개구영역(OA)에는 마스크 시트(44)의 제1바디부(441)가 대응하도록 배치될 수 있다. 제2바디부(442), 제3바디부(443) 및 제4바디부(444)는 마스크 프레임(41)의 개구영역(OA)의 외부에 놓일 수 있고, 마스크 프레임(41)에 의해 지지될 수 있다.

다음, 클램핑장치(CP)에 의해 제4바디부(444)가 클램핑되고, 마스크 시트(44)는 제1방향(예를 들어, 도 4의 X축 방향)으로 인장될 수 있다. 마스크 시트(44)가 인장되는 제1방향은 마스크 시트(44)의 길이 방향에 대응될 수 있다.

마스크 시트(44)는 인장된 상태에서, 제2바디부(442)에서 마스크 프레임(41)에 용접될 수 있다. 제2바디부(442)는 마스크 프레임(41)에서 개구영역(OA)에 인접하도록 배치될 수 있다. 일 실시 예에서 마스크 시트(44)는 마스크 프레임(41)에 레이저 스팟 용접 방식으로 용접될 수 있다.

다음, 마스크 시트(44)는 제3바디부(443)에서 절단되어 제4바디부(444)가 제거될 수 있다. 이와 같이 제4바디부(444)는 인장 용접 후에 제거되어 도 4b와 같이 양 단부가 마스크 프레임(41)의 둘레 내측에 위치될 수 있다. 또한 제4바디부(444)가 제2바디부(442)의 외측(즉, 도 4의 X축 방향 측)에 배치되어 제거되므로, 복수 개의 마스크 시트(44)가 배치될 때 인접한 다른 마스크 시트(44)와의 간섭을 방지할 수 있다.

도 4b를 참조하면, 복수 개의 마스크 시트(44)가 배치되는 경우, 일 실시 예에서 마스크 시트(44)는 제1마스크 시트(44a) 및 제2마스크 시트(44b)로 구분될 수 있다. 제1마스크 시트(44a)가 인장 용접되고 절단이 완료된 후, 제2마스크 시트(44b)가 제1마스크 시트(44a)와 나란하게 배치될 수 있다. 제2마스크 시트(44b)는 제1마스크 시트(44a)의 길이 방향(즉, 도 4b의 X축 방향)과 교차하는 방향(예를 들어 도 4b의 Y축 방향)으로 나란히 배치될 수 있다. 다음, 전술한 제1마스크 시트(44a)와 같이 제2마스크 시트(44b)는 인장, 용접 및 절단이 진행될 수 있다.

도 4b에서는, 제1마스크 시트(44a) 및 제2마스크 시트(44b)가 접하도록 도시되어 있으나, 이는 하나의 예시일 뿐이며, 제1마스크 시트(44a) 및 제2마스크 시트(44b)는 차폐스틱(42)을 사이에 두고 소정 간격 이격되어 배치될 수도 있다.

이와 같이 제조된 마스크 조립체(40)는 도 2에 도시된 바와 같이 완성될 수 있고, 마스크 조립체(40)는 전술한 바와 같이 표시 장치의 증착에 이용될 수 있다.

도 5는 본 발명의 일 실시 예에 따른 마스크 조립체의 일부를 개략적으로 나타내는 평면도이다.

도 5를 참조하면, 마스크 조립체(40)는 증착물질(예를 들어, 도 1의 증착물질(M))이 통과하는 하나 이상의 증착영역(EA)을 포함할 수 있다. 증착영역(EA)은 차폐스틱(42) 및 지지스틱(43)에 의해 둘러싸여 형성될 수 있다. 증착원(예: 도 1의 증착원(50))에 의해 공급된 증착물질(M)은 마스크 조립체(40)의 증착영역(EA)을 통과하여 표시기판(DS) 상에 증착될 수 있다.

마스크 시트(44)는 하나 이상의 증착영역(EA)을 커버하도록 배치될 수 있다. 평면에서 볼 때, 마스크 시트(44)는 차폐스틱(42)과 중첩되는 중첩영역(LA)을 포함할 수 있다. 중첩영역(LA)은 도 5에서와 같이 마스크 시트(44)의 Y축 방향의 양 단부에 배치될 수 있다. 마스크 시트(44)의 제1바디부(441)의 최대 폭(441W)은 제2바디부의 최대 폭(442W)보다 클 수 있다. 예를 들어, 평면에서 볼 때, 중첩영역(LA)은 볼록한 형상을 포함할 수 있다. 마스크 시트(44)의 +Y축 방향의 단부에 배치된 중첩영역(LA)은 +Y축 방향으로 볼록한 형상을 포함하며, 마스크 시트(44)의 -Y축 방향의 단부에 배치된 중첩영역(LA)은 -Y축 방향으로 볼록한 형상을 포함할 수 있다.

이와 같은 구조에서, 마스크 시트(44)는 제4바디부(444)의 폭을 유지하면서 중첩영역(LA)의 면적을 넓게 할 수 있다. 제4바디부(444)의 폭이 유지됨으로 인하여, 기존에 사용하던 클램핑장치(예를 들어, 도 4a의 클램핑장치(CP))의 개수 및 형태를 그대로 유지할 수 있다. 또한, 제4바디부(444)의 폭이 넓어짐으로 인하여 발생하는 주름(wave)을 방지할 수 있다. 그리고, 마스크 조립체(40)를 세정하는 과정 등에서 차폐스틱(42)의 유동성이 커지면서 차폐스틱(42)의 일부가 마스크 시트(44) 상부로 올라오는 간섭 현상이 발생할 수 있는데, 마스크 시트(44)의 중첩영역(LA)의 면적이 넓게 형성됨으로써 이러한 현상을 방지할 수 있다.

제1바디부(441)의 홀영역(HA)은 하나 이상의 증착영역(EA)을 커버하도록 배치될 수 있다. 이와 같은 구조에서, 증착물질(M)은 홀영역(HA)에 구비된 복수의 패턴홀을 통과할 수 있다. 평면에서 볼 때, 홀 영역은 차폐스틱(42)과 중첩되는 제1홀영역(HA1) 및 차폐스틱(42)과 중첩되지 않는 제2홀영역(HA2)을 포함할 수 있다.

제1홀영역(HA1)은 도 5에서와 같이 제2홀영역(HA2)의 Y축 방향의 양 단부에 배치될 수 있다. 제1홀영역(HA1)은 중첩영역(LA)과 대응되는 형상을 포함할 수 있다. 예를 들어, 평면에서 볼 때, 중첩영역(LA)이 볼록한 형상을 포함하는 경우, 제1홀영역(HA1)도 볼록한 형상을 포함할 수 있다. 제2홀영역(HA2)의 +Y축 방향의 단부에 배치된 제1홀영역(HA1)은 +Y축 방향으로 볼록한 형상을 포함하며, 제2홀영역(HA2)의 -Y축 방향의 단부에 배치된 제1홀영역(HA1)은 -Y축 방향으로 볼록한 형상을 포함할 수 있다. 이와 같은 구조에서, 홀영역(HA)과 패턴홀(H)이 구비되지 않은 영역 사이 물성 차이로 인하여 마스크 시트(44)에 주름이 생기는 것을 방지할 수 있다.

도 6a 내지 도 6c는 본 발명의 일 실시 예에 따른 도 3의 A 부분에 대한 확대도이다.

도 6a 내지 도 6c를 참조하면, 패턴홀(H)은 홀영역(HA)에서 다양한 형태 및 다양한 배치로 구비될 수 있다.

예를 들어, 도 6a와 같이, 홀영역(HA)에서 단위면적 당 패턴홀(H)의 개수는 균일할 수 있다. 즉, 제1홀영역(HA1)에서의 단위면적 당 패턴홀(H)의 개수 및 제2홀영역(HA2)에서의 단위면적 당 패턴홀(H)의 개수는 동일할 수 있다. 또한, 평면에서 볼 때, 홀영역(HA)에서 복수의 패턴홀(H)의 크기는 각각 동일할 수 있다. 즉, 평면에서 볼 때, 제1홀영역(HA1)에 구비된 패턴홀(H) 및 제2홀영역(HA2)에 구비된 패턴홀(H)의 크기가 동일할 수 있다.

다른 실시 예에서, 도 6b와 같이, 평면에서 볼 때, 제1홀영역(HA1)에 구비된 패턴홀(H)의 크기는 외측 방향을 따라 점진적으로 작아질 수 있다. 즉, 홀영역(HA)의 중심부보다 홀영역(HA)의 외측에서 패턴홀(H)의 크기가 작을 수 있다. 예를 들어, 도 6b에서, 제2홀영역(HA2) 우측에 배치된 제1홀영역(HA1)에 구비된 패턴홀(H)의 크기는 -Y축 방향을 따라 점진적으로 작아질 수 있다.

또 다른 실시 예에서, 도 6c와 같이, 제1홀영역(HA1)에 구비된 단위면적 당 패턴홀(H)의 개수는 외측 방향을 따라 점진적으로 적어질 수 있다. 즉, 홀영역(HA)의 중심부보다 홀영역(HA)의 외측에서 단위면적 당 패턴홀(H)의 개수가 적을 수 있다. 예를 들어, 도 6c에서, 제2홀영역(HA2) 우측에 배치된 제1홀영역(HA1)에 구비된 단위면적 당 패턴홀(H)의 개수는 -Y축 방향을 따라 점진적으로 적어질 수 있다.

도 6b 또는 도 6c와 같은 구조에서, 제1홀영역(HA1)은 제2홀영역(HA2) 및 패턴홀(H)이 구비되지 않은 영역 사이에서 발생하는 급격한 물성 차이를 완화시켜줄 수 있다. 따라서, 홀영역(HA)과 패턴홀(H)이 구비되지 않은 영역 사이 물성 차이로 인하여 마스크 시트(44)에 주름이 생기는 현상을 방지할 수 있다.

도 6a 내지 도 6c는 설명의 편의를 위하여 마스크 시트(44)의 일부 영역만을 도시하였으며, 패턴홀(H)의 크기 및 배치는 가로중심축(CL1) 및 세로중심축(CL2)을 기준으로 대칭일 수 있다.

도 7a 내지 도 7c는 본 발명의 일 실시 예에 따른 도 3의 I-I'부분에 대한 단면도이다.

도 7a 내지 도 7c를 참조하면, 제1바디부(441)의 단면은 다양한 형태일 수 있다.

예를 들어, 도 7a와 같이, 홀영역(HA)의 두께(D441-1) 및 패턴홀(H)이 구비되지 않은 영역의 두께(D441-2)는 동일할 수 있다. 즉, 제1바디부(441)의 단면 형상은 직사각형일 수 있다.

다른 실시 예에서, 도 7b와 같이, 홀영역(HA)의 두께(D441-1)는 패턴홀(H)이 구비되지 않은 영역의 두께(D441-2)보다 얇을 수 있다. 다만, 제1바디부(441) 중 표시기판(DS)을 향하는 면은 평평한 면일 수 있다. 따라서, 제1바디부(441)는 홀영역(HA) 및 표시기판(DS) 사이 이격이 발생하지 않도록 배치될 수 있다.

예를 들어, 도 7b와 같이, 제1바디부(441)는 일면이 함몰된 형상일 수 있다. 예를 들어, 제1바디부(441)는 -Z축 방향을 향하는 면이 함몰된 형상일 수 있다.

다른 실시 예에서, 도 7c와 같이, 제1홀영역(HA1)의 두께(D441-11) 및 제2홀영역(HA2)의 두께(D441-12)는 패턴홀(H)이 구비되지 않은 영역의 두께(D441-2)보다 얇을 수 있다. 다만, 제2홀영역(HA2) 및 패턴홀(H)이 구비되지 않은 영역의 상면(예를 들어, +Z축 방향을 향하는 면)은 동일한 평면을 이룰 수 있다. 따라서, 제1바디부(441)는 제2홀영역(HA2) 및 표시기판(DS) 사이 이격이 발생하지 않도록 배치될 수 있다.

예를 들어, 도 7c와 같이, 제2홀영역(HA2)의 두께(D441-12)는 패턴홀(H)이 구비되지 않은 영역의 두께(D441-2)보다 얇으며, 제1홀영역(HA1)의 두께(D441-11)는 제2홀영역(HA2)의 두께(D441-12)보다 얇을 수 있다.

도 7b 및 도 7c와 같은 구조에서, 홀영역(HA) 및 패턴홀(H)이 구비되지 않은 영역 사이에 두께 차를 두어, 마스크 시트(예를 들어, 도 5의 마스크 시트(44))에 주름이 생기는 것을 방지할 수 있다.

도 8은 본 발명의 다른 실시 예에 따른 마스크 시트의 개략적인 평면도이고, 도 9a 및 도 9b는 본 발명의 다른 실시 예에 따른 도 8의 Ⅱ-Ⅱ' 부분에 대한 단면도이다. 설명의 편의를 위하여, 전술한 내용과 중복되는 내용은 생락하도록 한다.

도 8을 참고하면, 제1바디부(441)는 전술한 홀영역(HA) 외에 홀영역(HA)의 외측에 배치되며, 차폐스틱(예를 들어, 도 5의 차폐스틱(42))과 중첩되는 외측영역(SA)을 더 포함할 수 있다. 외측영역(SA)은 패턴홀(H)이 구비되지 않는 영역일 수 있다. 외측영역(SA)은 도 8에서와 같이 홀영역(HA)의 Y축 방향의 양 단부에 배치될 수 있다. 예를 들어, 평면에서 볼 때, 외측영역(SA)은 볼록한 형상을 포함할 수 있다. 홀영역(HA)의 +Y축 방향의 단부에 배치된 외측영역(SA)은 +Y축 방향으로 볼록한 형상을 포함하며, 홀영역(HA)의 -Y축 방향의 단부에 배치된 외측영역(SA)은 -Y축 방향으로 볼록한 형상을 포함할 수 있다.

도 9a 및 도 9b를 참고하면, 홀영역(HA)의 두께(D441-1) 및 외측영역(SA)의 두께(D441-3)는 제1바디부(441)의 나머지영역의 두께(D441-4)보다 얇을 수 있다.

도 9a를 참고하면, 홀영역(HA)의 두께(D441-1) 및 외측영역(SA)의 두께(D441-3)는 동일할 수 있다. 즉, 제1바디부(441) 중 홀영역(HA) 및 외측영역(SA)을 포함하는 면은 함몰될 수 있다. 예를 들어, 도 9a와 같이, 제1바디부(441)는 일면이 함몰된 형상일 수 있다. 예를 들어, 제1바디부(441)는 -Z축 방향을 향하는 면이 함몰된 형상일 수 있다. 이와 같은 구조에서, 제1바디부(441)는 홀영역(HA) 및 표시기판(DS) 사이 이격이 발생하지 않도록 배치될 수 있다.

도 9b를 참고하면, 홀영역(HA)의 두께(D441-1)는 제1바디부(441)의 나머지영역의 두께(D441-4)보다 얇으며, 외측영역(SA)의 두께(D441-3)는 홀영역(HA)의 두께(D441-1)보다 얇을 수 있다. 다만, 홀영역(HA) 및 제1바디부(441)의 나머지 영역의 상면(예를 들어, +Z축을 향하는 면)은 동일한 평면을 이룰 수 있다. 따라서, 제1바디부(441)는 홀영역(HA) 및 표시기판(DS) 사이 이격이 발생하지 않도록 배치될 수 있다.

도 9a 및 도 9b와 같은 구조에서, 외측영역(SA)은 홀영역(HA) 및 나머지영역 사이에서 발생하는 급격한 물성 차이를 완화시켜줄 수 있다. 따라서, 홀영역(HA)과 나머지영역 사이 물성 차이로 인하여 마스크 시트(예를 들어, 도 8의 마스크 시트(44))에 주름이 생기는 현상을 방지할 수 있다.

도 10은 본 발명의 일 실시 예에 따른 표시 장치의 제조방법으로 제조된 표시 장치를 개략적으로 나타내는 평면도이다.

도 10을 참조하면, 본 발명의 일 실시 예에 따라 제조된 표시 장치(2)는 표시영역(DA) 및 표시영역(DA)의 외측에 위치한 주변영역(PA)을 포함할 수 있다. 표시 장치(2)는 표시영역(DA)에 2차원적으로 배열된 복수의 화소(PX)들의 어레이를 통해 이미지를 제공할 수 있다.

주변영역(PA)은 이미지를 제공하지 않는 영역으로서, 표시영역(DA)을 전체적으로 또는 부분적으로 둘러쌀 수 있다. 주변영역(PA)에는 화소(PX)들 각각에 대응하는 화소회로에 전기적 신호나 전원을 제공하기 위한 드라이버 등이 배치될 수 있다. 주변영역(PA)에는 전자소자나 인쇄회로기판 등이 전기적으로 연결될 수 있는 영역인 패드가 배치될 수 있다.

이하에서는 표시 장치(2)가 발광소자(Light emitting element)로서, 유기발광다이오드(Organic Light Emitting Diode, OLED)를 포함하는 것을 설명하지만, 본 발명의 표시 장치(2)는 이에 제한되지 않는다. 다른 실시 예로서, 표시 장치(2)는 무기 발광 다이오드를 포함하는 발광 표시 장치, 즉 무기 발광 표시 장치(Inorganic Light Emitting Display)일 수 있다. 무기 발광다이오드는 무기물 반도체 기반의 재료들을 포함하는 PN다이오드를 포함할 수 있다. PN 접합 다이오드에 순방향으로 전압을 인가하면 정공과 전자가 주입되고, 그 정공과 전자의 재결합으로 생기는 에너지를 빛 에너지로 변환시켜 소정의 색상의 빛을 방출할 수 있다. 전술한 무기 발광다이오드는 수~수백 마이크로미터의 폭을 가질 수 있으며, 일부 실시 예에서 무기 발광다이오드는 마이크로 LED로 지칭될 수 있다. 또 다른 실시 예로서, 표시 장치(2)는 양자점 발광 표시 장치(Quantum dot Light Emitting Display)일 수 있다.

한편, 표시 장치(2)는 모바일 폰(mobile phone), 스마트 폰(smart phone), 태블릿 PC(tablet personal computer), 이동 통신 단말기, 전자 수첩, 전자 책, PMP(portable multimedia player), 네비게이션, UMPC(Ultra Mobile PC) 등과 같은 휴대용 전자 기기뿐만 아니라, 텔레비전, 노트북, 모니터, 광고판, 사물 인터넷(internet of things, IOT) 장치 등의 다양한 제품의 표시 화면으로 이용될 수 있다. 또한, 일 실시 예에 따른 표시 장치(2)는 스마트 워치(smart watch), 워치 폰(watch phone), 안경형 디스플레이, 및 헤드 장착형 디스플레이(head mounted display, HMD)와 같이 웨어러블 장치(wearable device)에 이용될 수 있다. 또한, 일 실시 예에 따른 표시 장치(2)는 자동차의 계기판, 및 자동차의 센터페시아(center fascia) 또는 대쉬보드에 배치된 CID(Center Information Display), 자동차의 사이드 미러를 대신하는 룸 미러 디스플레이(room mirror display), 자동차의 뒷좌석용 엔터테인먼트로, 앞좌석의 배면에 배치되는 표시 화면으로 이용될 수 있다.

도 11은 본 발명의 일 실시 예에 따른 표시 장치의 제조방법으로 제조된 표시 장치를 개략적으로 도시하는 단면도이며, 도 10의 Ⅲ-Ⅲ'선을 따라 취한 표시 장치의 단면에 대응될 수 있다.

도 11을 참조하면, 표시 장치(2)는 기판(100), 화소회로층(PCL), 표시요소층(DEL), 봉지층(300)의 적층 구조를 포함할 수 있다. 전술한 표시기판(DS, 도 1 참조)은 표시 장치(2)의 제조과정 중에 있는, 예를 들어 기판(100)에 화소회로층(PCL), 표시요소층(DEL), 봉지층(300) 중 적어도 어느 하나가 적층된 것일 수 있다.

기판(100)은 고분자 수지를 포함하는 베이스층 및 무기층을 포함하는 다층 구조일 수 있다. 예컨대, 기판(100)은 고분자 수지를 포함하는 베이스층과 무기절연층의 배리어층을 포함할 수 있다. 예컨대, 기판(100)은 순차적으로 적층된 제1베이스층(101), 제1배리어층(102), 제2베이스층(103), 및 제2배리어층(104)을 포함할 수 있다. 제1베이스층(101)과 제2베이스층(103)은 폴리이미드(polyimide: PI), 폴리에테르술폰(PES, polyethersulfone), 폴리아릴레이트(polyarylate), 폴리에테르 이미드(PEI, polyetherimide), 폴리에틸렌 나프탈레이트(PEN, polyethyelenene napthalate), 폴리에틸렌 테레프탈레이드(PET, polyethyeleneterepthalate), 폴리페닐렌 설파이드(polyphenylene sulfide: PPS), 폴리카보네이트(PC), 셀룰로오스 트리 아세테이트(TAC), 또는/및 셀룰로오스 아세테이트 프로피오네이트(cellulose acetate propionate: CAP) 등을 포함할 수 있다. 제1배리어층(102)과 제2배리어층(104)은 실리콘옥사이드, 실리콘옥시나이트라이드, 및/또는 실리콘나이트라이드와 같은 무기절연물을 포함할 수 있다. 기판(100)은 플렉서블 특성을 가질 수 있다.

기판(100) 상에는 화소회로층(PCL)이 배치된다. 도 12는 화소회로층(PCL)이 박막트랜지스터(TFT), 및 박막트랜지스터(TFT)의 구성요소들 아래 또는/및 위에 배치되는 버퍼층(111), 제1게이트절연층(112), 제2게이트절연층(113), 층간절연층(114), 제1평탄화절연층(115) 및 제2평탄화절연층(116)을 포함하는 것을 도시한다.

버퍼층(111)은 기판(100)의 하부로부터 이물, 습기 또는 외기의 침투를 감소 또는 차단할 수 있고, 기판(100) 상에 평탄면을 제공할 수 있다. 버퍼층(111)은 실리콘옥사이드, 실리콘옥시나이트라이드, 실리콘나이트라이드와 같은 무기 절연물을 포함할 수 있으며, 전술한 물질을 포함하는 단일 층 또는 다층 구조로 이루어질 수 있다.

버퍼층(111) 상의 박막트랜지스터(TFT)는 반도체층(Act)을 포함하며, 반도체층(Act)은 폴리 실리콘을 포함할 수 있다. 또는, 반도체층(Act)은 비정질(amorphous) 실리콘을 포함하거나, 산화물 반도체를 포함하거나, 유기 반도체 등을 포함할 수 있다. 반도체층(Act)은 채널영역(C) 및 채널영역(C)의 양측에 각각 배치된 드레인영역(D) 및 소스영역(S)을 포함할 수 있다. 게이트전극(GE)은 채널영역(C)과 중첩할 수 있다.

게이트전극(GE)은 저저항 금속 물질을 포함할 수 있다. 게이트전극(GE)은 몰리브덴(Mo), 알루미늄(Al), 구리(Cu), 티타늄(Ti) 등을 포함하는 도전 물질을 포함할 수 있고, 상기의 재료를 포함하는 다층 또는 단층으로 형성될 수 있다.

반도체층(Act)과 게이트전극(GE) 사이의 제1게이트절연층(112)은 실리콘산화물(SiO2), 실리콘질화물(SiNX), 실리콘산질화물(SiON), 알루미늄산화물(Al2O3), 티타늄산화물(TiO2), 탄탈산화물(Ta2O5), 하프늄산화물(HfO2), 또는 아연산화물(ZnOX)등과 같은 무기 절연물을 포함할 수 있다. 아연산화물(ZnOX)은 산화아연(ZnO), 및/또는 과산화아연(ZnO2)일 수 있다.

제2게이트절연층(113)은 상기 게이트전극(GE)을 덮도록 구비될 수 있다. 제2게이트절연층(113)은 상기 제1게이트절연층(112)과 유사하게 실리콘산화물(SiO2), 실리콘질화물(SiNX), 실리콘산질화물(SiON), 알루미늄산화물(Al2O3), 티타늄산화물(TiO2), 탄탈산화물(Ta2O5), 하프늄산화물(HfO2), 또는 아연산화물(ZnOX) 등과 같은 무기 절연물을 포함할 수 있다. 아연산화물(ZnOX)은 산화아연(ZnO), 및/또는 과산화아연(ZnO2)일 수 있다.

제2게이트절연층(113) 상부에는 스토리지 커패시터(Cst)의 상부 전극(Cst2)이 배치될 수 있다. 상부 전극(Cst2)은 그 아래의 게이트전극(GE)과 중첩할 수 있다. 이 때, 제2게이트절연층(113)을 사이에 두고 중첩하는 게이트전극(GE) 및 상부 전극(Cst2)은 스토리지 커패시터(Cst)를 형성할 수 있다. 즉, 게이트전극(GE)은 스토리지 커패시터(Cst)의 하부 전극(Cst1)으로 기능할 수 있다.

이와 같이, 스토리지 커패시터(Cst)와 박막트랜지스터(TFT)가 중첩되어 형성될 수 있다. 일부 실시 예에서, 스토리지 커패시터(Cst)는 박막트랜지스터(TFT)와 중첩되지 않도록 형성될 수도 있다.

상부 전극(Cst2)은 알루미늄(Al), 백금(Pt), 팔라듐(Pd), 은(Ag), 마그네슘(Mg), 금(Au), 니켈(Ni), 네오디뮴(Nd), 이리듐(Ir), 크롬(Cr), 칼슘(Ca), 몰리브덴(Mo), 티타늄(Ti), 텅스텐(W), 및/또는 구리(Cu)를 포함할 수 있으며, 전술한 물질의 단일층 또는 다층일 수 있다.

층간절연층(114)은 상부 전극(Cst2)을 덮을 수 있다. 층간절연층(114)은 실리콘산화물(SiO2), 실리콘질화물(SiNX), 실리콘산질화물(SiON), 알루미늄산화물(Al2O3), 티타늄산화물(TiO2), 탄탈산화물(Ta2O5), 하프늄산화물(HfO2), 또는 아연산화물(ZnOX) 등을 포함할 수 있다. 아연산화물(ZnOX)은 산화아연(ZnO), 및/또는 과산화아연(ZnO2)일 수 있다. 층간절연층(114)은 전술한 무기 절연물을 포함하는 단일층 또는 다층일 수 있다.

드레인전극(DE) 및 소스전극(SE)은 각각 층간절연층(114) 상에 위치할 수 있다. 드레인전극(DE) 및 소스전극(SE)은 각각 그 하부의 절연층들에 형성된 컨택홀을 통해 드레인영역(D) 및 소스영역(S)과 연결될 수 있다. 드레인전극(DE) 및 소스전극(SE)은 전도성이 좋은 재료를 포함할 수 있다. 드레인전극(DE) 및 소스전극(SE)은 몰리브덴(Mo), 알루미늄(Al), 구리(Cu), 티타늄(Ti) 등을 포함하는 도전 물질을 포함할 수 있고, 상기의 재료를 포함하는 다층 또는 단층으로 형성될 수 있다. 일 실시 예로, 드레인전극(DE) 및 소스전극(SE)은 Ti/Al/Ti의 다층 구조를 가질 수 있다.

제1평탄화절연층(115)은 드레인전극(DE) 및 소스전극(SE)을 덮을 수 있다. 제1평탄화절연층(115)은 폴리메틸메타크리레이트(Polymethylmethacrylate, PMMA)나 폴리스티렌(Polystyrene, PS)과 같은 일반 범용고분자, 페놀계 그룹을 갖는 고분자 유도체, 아크릴계 고분자, 이미드계 고분자, 아릴에테르계 고분자, 아마이드계 고분자, 불소계고분자, p-자일렌계 고분자, 비닐알콜계 고분자, 및 이들의 블렌드와 같은 유기 절연물을 포함할 수 있다.

제2평탄화절연층(116)은 제1평탄화절연층(115) 상에 배치될 수 있다. 제2평탄화절연층(116)은 제1평탄화절연층(115)과 동일한 물질을 포함할 수 있고, 폴리메틸메타크리레이트(Polymethylmethacrylate, PMMA)나 폴리스티렌(Polystyrene, PS)과 같은 일반 범용고분자, 페놀계 그룹을 갖는 고분자 유도체, 아크릴계 고분자, 이미드계 고분자, 아릴에테르계 고분자, 아마이드계 고분자, 불소계고분자, p-자일렌계 고분자, 비닐알콜계 고분자, 및 이들의 블렌드와 같은 유기 절연물을 포함할 수 있다.

전술한 구조의 화소회로층(PCL) 상에는 표시요소층(DEL)이 배치될 수 있다. 표시요소층(DEL)은 표시요소(즉, 발광소자)로서 유기발광다이오드(OLED)를 포함하며, 유기발광다이오드(OLED)는 화소전극(210), 중간층(220), 및 공통전극(230)의 적층 구조를 포함할 수 있다. 유기발광다이오드(OLED)는 예컨대, 적색, 녹색, 또는 청색 빛을 방출하거나, 적색, 녹색, 청색, 또는 백색의 빛을 방출할 수 있다. 유기발광다이오드(OLED)는 발광영역을 통해 빛을 방출하며, 발광영역을 화소(PX)로 정의할 수 있다.

유기발광다이오드(OLED)의 화소전극(210)은 제2평탄화절연층(116) 및 제1평탄화절연층(115)에 형성된 컨택홀들과 제1평탄화절연층(115) 상에 배치된 컨택메탈(CM)을 통해 박막트랜지스터(TFT)와 전기적으로 연결될 수 있다.

화소전극(210)은 인듐틴산화물(ITO; indium tin oxide), 인듐징크산화물(IZO; indium zinc oxide), 징크산화물(ZnO; zinc oxide), 인듐산화물(In2O3: indium oxide), 인듐갈륨산화물(IGO; indium gallium oxide) 또는 알루미늄징크산화물(AZO; aluminum zinc oxide)와 같은 도전성 산화물을 포함할 수 있다. 다른 실시 예로, 화소전극(210)은 은(Ag), 마그네슘(Mg), 알루미늄(Al), 백금(Pt), 팔라듐(Pd), 금(Au), 니켈(Ni), 네오디뮴(Nd), 이리듐(Ir), 크롬(Cr) 또는 이들의 화합물을 포함하는 반사막을 포함할 수 있다. 다른 실시 예로, 화소전극(210)은 전술한 반사막의 위/아래에 ITO, IZO, ZnO 또는 In2O3로 형성된 막을 더 포함할 수 있다.

화소전극(210) 상에는 화소전극(210)의 중앙부를 노출하는 개구(117OP)를 갖는 화소정의막(117)이 배치된다. 화소정의막(117)은 유기절연물 및/또는 무기절연물을 포함할 수 있다. 개구(117OP)는 유기발광다이오드(OLED)에서 방출되는 빛의 발광영역을 정의할 수 있다. 예컨대, 개구(117OP)의 크기/폭이 발광영역의 크기/폭에 해당할 수 있다. 따라서, 화소(PX)의 크기 및/또는 폭은 해당하는 화소정의막(117)의 개구(117OP)의 크기 및/또는 폭에 의존할 수 있다.

중간층(220)은 화소전극(210)에 대응되도록 형성된 발광층(222)을 포함할 수 있다. 발광층(222)은 소정의 색상의 빛을 방출하는 고분자 또는 저분자 유기물을 포함할 수 있다. 또는, 발광층(222)은 무기 발광물질을 포함하거나, 양자점을 포함할 수 있다.

일 실시 예로, 중간층(220)은 발광층(222)의 아래와 위에 각각 배치되는 제1기능층(221) 및 제2기능층(223)을 포함할 수 있다. 제1기능층(221)은 예컨대, 홀 수송층(HTL: Hole Transport Layer)을 포함하거나, 홀 수송층 및 홀 주입층(HIL: Hole Injection Layer)을 포함할 수 있다. 제2기능층(223)은 발광층(222) 위에 배치되는 구성요소로서, 전자 수송층(ETL: Electron Transport Layer) 및/또는 전자 주입층(EIL: Electron Injection Layer)을 포함할 수 있다. 제1기능층(221) 및/또는 제2기능층(223)은 후술할 공통전극(230)과 마찬가지로 기판(100)을 전체적으로 커버하도록 형성되는 공통층일 수 있다.

공통전극(230)은 화소전극(210) 상에 배치되며, 화소전극(210)과 중첩할 수 있다. 공통전극(230)은 일함수가 낮은 도전성 물질로 이루어질 수 있다. 예컨대, 공통전극(230)은 은(Ag), 마그네슘(Mg), 알루미늄(Al), 백금(Pt), 팔라듐(Pd), 금(Au), 니켈(Ni), 네오디뮴(Nd), 이리듐(Ir), 크롬(Cr), 리튬(Li), 칼슘(Ca) 또는 이들의 합금 등을 포함하는 (반)투명층을 포함할 수 있다. 또는, 공통전극(230)은 전술한 물질을 포함하는 (반)투명층 상에 ITO, IZO, ZnO 또는 In2O3과 같은 층을 더 포함할 수 있다. 공통전극(230)은 기판(100)을 전체적으로 커버하도록 일체로 형성될 수 있다.

봉지층(300)은 표시요소층(DEL) 상에 배치되고 표시요소층(DEL)을 커버할 수 있다. 봉지층(300)은 적어도 하나의 무기봉지층 및 적어도 하나의 유기봉지층을 포함하며, 일 실시 예로서 도 12는 봉지층(300)이 순차적으로 적층된 제1무기봉지층(310), 유기봉지층(320) 및 제2무기봉지층(330)을 포함하는 것을 도시하고 있다.

제1무기봉지층(310) 및 제2무기봉지층(330)은 알루미늄산화물, 티타늄산화물, 탄탈륨산화물, 하프늄산화물, 징크산화물, 실리콘산화물, 실리콘질화물, 실리콘산질화물 중 하나 이상의 무기물을 포함할 수 있다. 유기봉지층(320)은 폴리머(polymer)계열의 물질을 포함할 수 있다. 폴리머 계열의 소재로는 아크릴계 수지, 에폭시계 수지, 폴리이미드 및 폴리에틸렌 등을 포함할 수 있다. 일 실시 예로, 유기봉지층(320)은 아크릴레이트(acrylate)를 포함할 수 있다. 유기봉지층(320)은 모노머를 경화하거나, 폴리머를 도포하여 형성할 수 있다. 유기봉지층(320)은 투명성을 가질 수 있다.

봉지층(300) 상에는 도시하지는 않았으나, 터치 센서층이 배치될 수 있으며, 터치 센서층 상에는 광학 기능층이 배치될 수 있다. 터치 센서층은 외부의 입력, 예컨대 터치 이벤트에 따른 좌표정보를 획득할 수 있다. 광학 기능층은 외부로부터 표시 장치를 향해 입사하는 빛(외부광)의 반사율을 감소시킬 수 있고, 및/또는 표시 장치에서 방출되는 빛의 색 순도를 향상시킬 수 있다. 일 실시 예로, 광학 기능층은 위상지연자(retarder) 및/또는 편광자(polarizer)를 포함할 수 있다. 위상지연자는 필름타입 또는 액정 코팅타입일 수 있고, λ/2 위상지연자 및/또는 λ/4 위상지연자를 포함할 수 있다. 편광자 역시 필름타입 또는 액정 코팅타입일 수 있다. 필름타입은 연신형 합성수지 필름을 포함하고, 액정 코팅타입은 소정의 배열로 배열된 액정들을 포함할 수 있다. 위상지연자 및 편광자는 보호필름을 더 포함할 수 있다.

상기 터치 전극층 및 광학 기능층 사이에는 점착 부재가 배치될 수 있다. 상기 점착 부재는 당 기술분야에 알려진 일반적인 것을 제한 없이 채용할 수 있다. 상기 점착 부재는 감압성 점착제(pressure sensitive adhesive, PSA)일 수 있다.

이와 같이 본 발명은 도면에 도시된 일 실시 예를 참고로 하여 설명하였으나 이는 예시적인 것에 불과하며 당해 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 이로부터 다양한 변형 및 실시 예의 변형이 가능하다는 점을 이해할 것이다. 따라서, 본 발명의 진정한 기술적 보호 범위는 첨부된 특허청구범위의 기술적 사상에 의하여 정해져야 할 것이다.

1: 표시 장치의 제조장치
10: 챔버
20: 제1지지부
30: 제2지지부
40: 마스크 조립체
50: 증착원
60: 자기력부
70: 비젼부
80: 압력조절부
2: 표시 장치

Claims

챔버;
표시기판과 대향하도록 상기 챔버 내부에 배치되며, 하나 이상의 증착영역을 포함하는 마스크 조립체; 및
상기 마스크 조립체와 대향하도록 상기 챔버 내부에 배치되며, 증착물질이 상기 마스크 조립체의 증착영역을 통과하여 상기 표시기판 상에 증착되도록 상기 증착물질을 공급하는 증착원;을 포함하고,
상기 마스크 조립체는,
개구영역를 포함하는 마스크 프레임;
상기 개구영역을 가로지르도록 배치되는 하나 이상의 차폐스틱; 및
상기 개구영역의 적어도 일부를 커버하며, 적어도 일부가 상기 차폐스틱과 중첩되도록 배치되는 하나 이상의 마스크 시트;를 포함하며,
상기 마스크 시트는,
복수의 패턴홀이 구비되며 상기 증착영역을 커버하는 홀영역을 포함하는 제1바디부; 및
상기 제1바디부에 연결되며, 상기 마스크 프레임에 고정되는 제2바디부;를 포함하고,
상기 제1바디부의 최대 폭은 상기 제2바디부의 최대 폭보다 큰, 표시 장치의 제조장치.
제1항에 있어서,
평면에서 볼 때,
상기 마스크 시트는 상기 차폐스틱과 중첩되는 중첩영역;을 포함하며,
상기 중첩영역은 볼록한 형상을 포함하는, 표시 장치의 제조장치.
제1항에 있어서,
평면에서 볼 때,
상기 홀영역은, 상기 차폐스틱과 중첩되는 제1홀영역; 및 상기 차폐스틱과 중첩되지 않는 제2홀영역;을 포함하는, 표시 장치의 제조장치.
제3항에 있어서,
상기 제1홀영역은 볼록한 형상을 포함하는, 표시 장치의 제조장치.
제3항에 있어서,
상기 제1홀영역에서의 단위면적 당 패턴홀의 개수 및 상기 제2홀영역에서의 단위면적 당 패턴홀의 개수는 동일한, 표시 장치의 제조장치.
제3항에 있어서,
평면에서 볼 때, 상기 제1홀영역에 구비된 패턴홀의 크기 및 상기 제2홀영역에 구비된 패턴홀의 크기는 동일한, 표시 장치의 제조장치.
제3항에 있어서,
상기 제1홀영역에 구비된 단위면적 당 패턴홀의 개수는 외측 방향을 따라 점진적으로 적어지는, 표시 장치의 제조장치.
제3항에 있어서,
평면에서 볼 때, 상기 제1홀영역에 구비된 패턴홀의 크기는 외측 방향을 따라 점진적으로 작아지는, 표시 장치의 제조장치.
제1항에 있어서,
상기 홀영역의 두께는 상기 패턴홀이 구비되지 않은 영역의 두께보다 얇은, 표시 장치의 제조장치.
제1항에 있어서,
상기 제1바디부는 상기 홀영역의 외측에 배치되며, 상기 차폐스틱과 중첩되는 외측영역을 더 포함하고,
상기 홀영역의 두께 및 상기 외측영역의 두께는 상기 제1바디부의 나머지영역의 두께보다 얇은, 표시 장치의 제조장치.
제10항에 있어서,
평면에서 볼 때, 상기 외측영역은 볼록한 형상을 포함하는, 표시 장치의 제조장치.
챔버 내부에 표시기판과 마스크 조립체를 배치하는 단계; 및
상기 마스크 조립체를 통과하여 상기 표시기판에 증착물질을 증착시키는 단계;를 포함하고,
상기 마스크 조립체는,
개구영역을 포함하는 마스크 프레임; 및
상기 개구영역의 적어도 일부를 커버하는 하나 이상의 마스크 시트;를 포함하며,
상기 마스크 시트는,
복수의 패턴홀이 구비되는 홀영역을 포함하는 제1바디부; 및
상기 제1바디부에 연결되며, 마스크 프레임에 고정되는 제2바디부;를 포함하고,
상기 제1바디부의 최대 폭은 상기 제2바디부의 최대 폭보다 큰, 표시 장치의 제조방법.
제 12항에 있어서,
평면에서 볼 때, 상기 제1바디부는 볼록한 형상을 포함하는, 표시 장치의 제조방법.
제12항에 있어서,
평면에서 볼 때, 상기 홀영역은 볼록한 형상을 포함하는, 표시 장치의 제조방법.
제14항에 있어서,
상기 홀영역에서 단위면적 당 패턴홀의 개수는 균일한, 표시 장치의 제조방법.
제14항에 있어서,
평면에서 볼 때, 상기 홀영역에서 상기 복수의 패턴홀의 크기는 각각 동일한, 표시 장치의 제조방법.
제14항에 있어서,
상기 홀영역의 중심부보다 상기 홀영역의 외측에서 단위면적 당 패턴홀의 개수가 적은, 표시 장치의 제조방법.
제14항에 있어서,
상기 홀영역의 중심부보다 상기 홀영역의 외측에서 패턴홀의 크기가 작은, 표시 장치의 제조방법.
제12항에 있어서,
상기 홀영역의 두께는 상기 패턴홀이 구비되지 않은 영역의 두께보다 얇은, 표시 장치의 제조방법.
제12항에 있어서,
상기 제1바디부는 상기 홀영역의 외측에 배치되는 외측영역;을 더 포함하고,
상기 홀영역의 두께 및 상기 외측영역의 두께는 상기 제1바디부의 나머지영역의 두께보다 얇은, 표시 장치의 제조방법.