KR20230161301A - 표시 장치의 제조장치, 마스크 조립체 및 표시 장치의 제조방법 - Google Patents

표시 장치의 제조장치, 마스크 조립체 및 표시 장치의 제조방법 Download PDF

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KR20230161301A
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Abstract

본 발명의 일 실시 예는, 챔버, 상기 챔버 내부에 배치되며, 증착물질이 통과하는 마스크 시트를 포함하는 마스크 조립체, 및 상기 챔버 내부에 배치되며, 상기 증착물질을 공급하는 증착원을 포함하고, 상기 마스크 시트는, 외관을 형성하는 바디부, 상기 바디부에 배치되는 하나 이상의 개구부, 및 상기 바디부에 배치되는 하나 이상의 홈부를 포함하고, 상기 홈부 중 적어도 하나는 상기 개구부 중 적어도 하나의 내면과 중첩되는, 표시 장치의 제조장치를 개시한다.

Description

표시 장치의 제조장치, 마스크 조립체 및 표시 장치의 제조방법{Apparatus for manufacturing a display device, mask assembly and method for manufacturing a display device}
본 발명의 실시 예들은 장치 및 방법에 관한 것으로서, 더 상세하게는 표시 장치의 제조장치, 마스크 조립체 및 표시 장치의 제조방법에 관한 것이다.
최근 전자 기기가 폭 넓게 사용되고 있다. 전자 기기는 이동형 전자 기기와 고정형 전자 기기와 같이 다양하게 이용되고 있으며, 이러한 전자 기기는 다양한 기능을 지원하기 위해 이미지 또는 영상과 같은 시각 정보를 사용자에게 제공할 수 있는 표시장치를 포함한다.
표시장치는 데이터를 시각적으로 표시하는 장치로, 유기층, 금속층 등의 다양한 층을 증착하여 형성된다. 표시장치의 복수의 층을 형성하기 위해 증착물질을 증착할 수 있다. 즉, 증착원으로부터 증착물질이 분사되어 마스크 조립체를 통해 기판에 증착되도록 이용된다. 이때 마스크 시트에 변형이 발생하거나 마스크 시트 및 차폐스틱 사이 간섭 현상이 발생하면, 증착물질이 기판 상의 요구되는 위치에 증착되지 못하여 증착 품질이 저하되는 문제가 있었다.
전술한 배경 기술은 발명자가 본 발명의 도출을 위해 보유하고 있었거나, 본 발명의 도출 과정에서 습득한 기술 정보로서, 반드시 본 발명의 출원 전에 일반 공중에게 공개된 공지 기술이라 할 수는 없다.
본 발명의 실시 예들은 증착물질이 마스크 시트의 개구부를 통과하는 과정에서, 개구부에 형성되는 사각지대를 감소시킬 수 있는 표시 장치의 제조장치, 마스크 조립체 및 표시 장치의 제조방법을 제공하는 것을 목적으로 한다.
본 발명의 일 실시 예는, 챔버, 상기 챔버 내부에 배치되며, 증착물질이 통과하는 마스크 시트를 포함하는 마스크 조립체, 및 상기 챔버 내부에 배치되며, 상기 증착물질을 공급하는 증착원을 포함하고, 상기 마스크 시트는, 외관을 형성하는 바디부, 상기 바디부에 배치되는 하나 이상의 개구부, 및 상기 바디부에 배치되는 하나 이상의 홈부를 포함하고, 상기 홈부 중 적어도 하나는 상기 개구부 중 적어도 하나의 내면과 중첩되는, 표시 장치의 제조장치를 개시한다.
본 실시 예에 있어서, 상기 개구부의 내면은 상기 증착원을 향하도록 경사진 경사면을 포함할 수 있다.
본 실시 예에 있어서, 상기 개구부 중 적어도 하나의 평면 형상은 원형일 수 있다.
본 실시 예에 있어서, 상기 개구부는 복수개로 구비되고, 상기 인접한 4개의 개구부 사이의 영역에 상기 홈부 중 적어도 하나가 배치될 수 있다.
본 실시 예에 있어서, 상기 인접한 4개의 개구부의 내면은 상기 홈부 중 적어도 하나와 중첩될 수 있다.
본 실시 예에 있어서, 상기 개구부는 복수개로 구비되고, 상기 인접한 2개의 개구부 사이의 영역에 상기 홈부 중 적어도 하나가 배치될 수 있다.
본 실시 예에 있어서, 상기 인접한 2개의 개구부의 내면은 상기 홈부 중 적어도 하나와 중첩될 수 있다.
본 실시 예에 있어서, 상기 홈부는 복수개로 구비되고, 상기 복수의 홈부는 상기 개구부 중 하나의 내면과 중첩되도록 배치될 수 있다.
본 실시 예에 있어서, 상기 하나의 개구부의 내면과 중첩되도록 배치되는 상기 복수의 홈부 중 적어도 두개는 서로 중첩될 수 있다.
본 실시 예에 있어서, 상기 홈부의 평면 형상은 상기 복수의 개구부와 대응되는 형상일 수 있다.
본 발명의 다른 실시 예는, 증착물질이 통과하는 마스크 시트를 포함하며, 상기 마스크 시트는, 외관을 형성하는 바디부, 상기 바디부에 배치되는 하나 이상의 개구부, 및 상기 바디부에 배치되는 하나 이상의 홈부를 포함하고, 상기 홈부 중 적어도 하나는 상기 개구부 중 적어도 하나의 내면과 중첩될 수 있다.
본 실시 예에 있어서, 상기 개구부는, 서로 인접하게 배치된 제1개구부, 제2개구부, 제3개구부, 및 제4개구부를 포함하고, 상기 홈부는, 제1홈부를 포함하고, 상기 제1홈부는 상기 제1개구부, 제2개구부, 제3개구부 및 제4개구부 사이의 영역에 배치될 수 있다.
본 실시 예에 있어서, 상기 제1개구부, 제2개구부, 제3개구부 및 제4개구부 각각의 내면은 상기 제1홈부와 중첩될 수 있다.
본 실시 예에 있어서, 상기 개구부는, 서로 인접하게 배치된 제1개구부, 및 제2개구부를 포함하고, 상기 홈부는, 제1홈부를 포함하고, 상기 제1홈부는 상기 제1개구부 및 제2개구부 사이의 영역에 배치될 수 있다.
본 실시 예에 있어서, 상기 제1개구부 및 제2개구부 각각의 내면은 상기 제1홈부와 중첩될 수 있다.
본 실시 예에 있어서, 상기 개구부는, 제1개구부를 포함하고, 상기 홈부는, 제1홈부, 및 제2홈부를 포함하고, 상기 제1홈부 및 제2홈부는 상기 제1개구부의 내면과 중첩될 수 있다.
본 실시 예에 있어서, 상기 제1홈부 및 제2홈부는 서로 중첩될 수 있다.
본 실시 예에 있어서, 상기 개구부의 내면은 경사진 경사면을 포함할 수 있다.
본 실시 예에 있어서, 상기 개구부 중 적어도 하나의 평면 형상은 원형일 수 있다.
본 실시 예에 있어서, 상기 홈부의 평면 형상은 상기 복수의 개구부와 대응되는 형상일 수 있다.
본 발명의 다른 실시 예는, 챔버 내부에 표시기판과 마스크 시트를 포함하는 마스크 조립체를 배치하는 단계, 및 상기 마스크 시트를 통과하여 상기 표시기판에 증착물질을 증착시키는 단계를 포함하고, 상기 마스크 시트는, 외관을 형성하는 바디부, 상기 바디부에 배치되는 하나 이상의 개구부, 및 상기 바디부에 배치되는 하나 이상의 홈부를 포함하고, 상기 홈부 중 적어도 하나는 상기 개구부 중 적어도 하나의 내면과 중첩될 수 있다.
본 실시 예에 있어서, 상기 개구부의 내면은 상기 증착원을 향하도록 경사진 경사면을 포함할 수 있다.
본 실시 예에 있어서, 상기 개구부 중 적어도 하나의 평면 형상은 원형일 수 있다.
본 실시 예에 있어서, 상기 개구부는 복수개로 구비되고, 상기 인접한 4개의 개구부 사이의 영역에 상기 홈부 중 적어도 하나가 배치될 수 있다.
본 실시 예에 있어서, 상기 인접한 4개의 개구부의 내면은 상기 홈부 중 적어도 하나와 중첩될 수 있다.
본 실시 예에 있어서, 상기 개구부는 복수개로 구비될 수 있다.
상기 인접한 2개의 개구부 사이의 영역에 상기 홈부 중 적어도 하나가 배치될 수 있다.
본 실시 예에 있어서, 상기 인접한 2개의 개구부의 내면은 상기 홈부 중 적어도 하나와 중첩될 수 있다.
본 실시 예에 있어서, 상기 홈부는 복수개로 구비될 수 있다.
상기 복수의 홈부는 상기 개구부 중 하나의 내면과 중첩되도록 배치될 수 있다.
본 실시 예에 있어서, 상기 하나의 개구부의 내면과 중첩되도록 배치되는 상기 복수의 홈부 중 적어도 두개는 서로 중첩될 수 있다.
본 실시 예에 있어서, 상기 홈부의 평면 형상은 상기 복수의 개구부와 대응되는 형상일 수 있다.
전술한 것 외의 다른 측면, 특징, 이점이 이하의 도면, 특허청구범위 및 발명의 상세한 설명으로부터 명확해질 것이다.
본 발명의 실시 예들은 개구부에 형성되는 사각지대를 감소시켜 표시장치의 효율 및 수명을 증가시킬 수 있다.
본 발명의 효과들은 이상에서 언급한 효과들로 제한되지 않으며, 언급되지 않은 또 다른 효과들은 청구범위의 기재로부터 당업자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.
도 1은 본 발명의 일 실시 예에 따른 표시 장치의 제조장치를 나타내는 단면도이다.
도 2는 본 발명의 일 실시 예에 따른 마스크 조립체의 개략적인 사시도이다.
도 3a는 본 발명의 일 실시 예에 따른 마스크 시트의 개략적인 평면도이다.
도 3b는 본 발명의 일 실시 예에 따른 도 3a의 Ⅰ-Ⅰ' 부분에 따른 단면도이다.
도 3c는 본 발명의 다른 실시 예에 따른 도 3a의 Ⅰ-Ⅰ' 부분에 따른 단면도이다.
도 4a는 본 발명의 일 실시 예에 따른 마스크 시트의 개략적인 평면도이다.
도 4b는 본 발명의 일 실시 예에 따른 도 4a의 Ⅱ-Ⅱ' 부분에 따른 단면도이다.
도 4c는 본 발명의 다른 실시 예에 따른 도 4a의 Ⅱ-Ⅱ' 부분에 따른 단면도이다.
도 5a는 본 발명의 일 실시 예에 따른 마스크 시트의 개략적인 평면도이다.
도 5b는 본 발명의 일 실시 예에 따른 도 5a의 Ⅲ-Ⅲ' 부분에 따른 단면도이다.
도 6a는 본 발명의 일 실시 예에 따른 마스크 시트의 개략적인 평면도이다.
도 6b는 본 발명의 일 실시 예에 따른 도 6a의 Ⅳ-Ⅳ' 부분에 따른 단면도이다.
도 7은 본 발명의 일 실시 예에 따른 표시 장치를 개략적으로 나타낸 사시도이다.
도 8은 본 발명의 일 실시 예에 따른 도 7의 표시장치의 일부분을 개략적으로 도시하는 단면도이다.
도 9는 본 발명의 일 실시 예에 따른 화소를 나타낸 등가 회로도이다.
본 발명은 다양한 변환을 가할 수 있고 여러 가지 실시 예를 가질 수 있는 바, 특정 실시 예들을 도면에 예시하고 상세한 설명에 상세하게 설명하고자 한다. 본 발명의 효과 및 특징, 그리고 그것들을 달성하는 방법은 도면과 함께 상세하게 후술되어 있는 실시 예들을 참조하면 명확해질 것이다. 그러나 본 발명은 이하에서 개시되는 실시 예들에 한정되는 것이 아니라 다양한 형태로 구현될 수 있다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시 예들을 상세히 설명하기로 하며, 도면을 참조하여 설명할 때 동일하거나 대응하는 구성 요소는 동일한 도면부호를 부여하고 이에 대한 중복되는 설명은 생략하기로 한다.
이하의 실시 예에서, 제1, 제2 등의 용어는 한정적인 의미가 아니라 하나의 구성 요소를 다른 구성 요소와 구별하는 목적으로 사용되었다.
이하의 실시 예에서, 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다.
이하의 실시 예에서, 포함하다 또는 가지다 등의 용어는 명세서상에 기재된 특징, 또는 구성요소가 존재함을 의미하는 것이고, 하나 이상의 다른 특징들 또는 구성요소가 부가될 가능성을 미리 배제하는 것은 아니다.
이하의 실시 예에서, 막, 영역, 구성 요소 등의 부분이 다른 부분 위에 또는 상에 있다고 할 때, 다른 부분의 바로 위에 있는 경우뿐만 아니라, 그 중간에 다른 막, 영역, 구성 요소 등이 개재되어 있는 경우도 포함한다.
도면에서는 설명의 편의를 위하여 구성 요소들이 그 크기가 과장 또는 축소될 수 있다. 예컨대, 도면에서 나타난 각 구성의 크기 및 두께는 설명의 편의를 위해 임의로 나타내었으므로, 본 발명이 반드시 도시된 바에 한정되지 않는다.
이하의 실시 예에서, x축, y축 및 z축은 직교 좌표계 상의 세 축으로 한정되지 않고, 이를 포함하는 넓은 의미로 해석될 수 있다. 예를 들어, x축, y축 및 z축은 서로 직교할 수도 있지만, 서로 직교하지 않는 서로 다른 방향을 지칭할 수도 있다.
어떤 실시 예가 달리 구현 가능한 경우에 특정한 공정 순서는 설명되는 순서와 다르게 수행될 수도 있다. 예를 들어, 연속하여 설명되는 두 공정이 실질적으로 동시에 수행될 수도 있고, 설명되는 순서와 반대의 순서로 진행될 수 있다.
도 1은 본 발명의 일 실시 예에 따른 표시 장치의 제조장치를 나타내는 단면도이다.
표시 장치의 제조장치(1)는 챔버(10), 제1지지부(20), 제2지지부(30), 마스크 조립체(40), 증착원(50), 자기력부(60), 비젼부(70) 및 압력조절부(80)를 포함할 수 있다.
챔버(10)는 내부에 공간이 형성될 수 있으며, 표시기판(DS) 및 마스크 조립체(40)가 수납될 수 있다. 이때 챔버(10)의 일부는 개구되도록 형성될 수 있으며, 챔버(10)의 개구된 부분에는 게이트밸브(11)가 설치될 수 있다. 이러한 경우 게이트밸브(11)의 작동에 따라서 챔버(10)의 개구된 부분은 개방되거나 폐쇄될 수 있다.
이때 표시기판(DS)은 후술할 기판(100)에 유기층, 무기층 및 금속층 중 적어도 하나의 층이 증착된, 표시 장치의 제조 중에 있는 표시기판(DS)을 의미할 수 있다. 또는 표시기판(DS)은 유기층, 무기층 및 금속층 중 어느 층도 아직 증착되지 않은 기판(100)일 수 있다.
제1지지부(20)는 표시기판(DS)을 지지할 수 있다. 이때, 제1지지부(20)는 챔버(10) 내부에 고정된 플레이트 형태일 수 있다. 다른 실시 예로써 제1지지부(20)는 표시기판(DS)이 안착되며, 챔버(10) 내부에서 선형 운동 가능한 셔틀 형태인 것도 가능하다. 또 다른 실시 예로써 제1지지부(20)는 챔버(10)에 고정되거나 챔버(10) 내부에서 이동 가능하도록 챔버(10)에 배치되는 정전척이나 점착척을 포함하는 것도 가능하다.
제2지지부(30)는 마스크 조립체(40)를 지지할 수 있다. 이때, 제2지지부(30)는 챔버(10) 내부에 배치될 수 있다. 제2지지부(30)는 마스크 조립체(40)의 위치를 미세 조정 가능할 수 있다. 이때, 제2지지부(30)는 마스크 조립체(40)를 서로 상이한 방향으로 이동 가능하도록 별도의 구동부 내지는 얼라인유닛 등을 구비할 수 있다.
다른 실시 예로서 제2지지부(30)는 셔틀 형태인 것도 가능하다. 이러한 경우 제2지지부(30)는 마스크 조립체(40)가 안착되며, 마스크 조립체(40)를 이송할 수 있다. 예를 들면, 제2지지부(30)는 챔버(10) 외부로 이동하여 마스크 조립체(40)가 안착된 후 챔버(10) 외부에서 챔버(10) 내부로 진입할 수 있다.
상기와 같은 경우 제1지지부(20)와 제2지지부(30)가 일체로 형성되는 것도 가능하다. 이러한 경우 제1지지부(20)와 제2지지부(30)는 이동 가능한 셔틀을 포함할 수 있다. 이때, 제1지지부(20)와 제2지지부(30)는 마스크 조립체(40) 상에 표시기판(DS)이 안착된 상태로 마스크 조립체(40)와 표시기판(DS)을 고정시키는 구조를 포함하며, 표시기판(DS)과 마스크 조립체(40)를 동시에 선형 운동시키는 것도 가능하다.
다만, 이하에서는 설명의 편의를 위하여 제1지지부(20)와 제2지지부(30)는 서로 구분되도록 형성되어 서로 상이한 위치에 배치되는 형태, 제1지지부(20)와 제2지지부(30)는 챔버(10) 내부에 배치되는 형태를 중심으로 상세히 설명하기로 한다.
마스크 조립체(40)는 챔버(10) 내부에 표시기판(DS)과 대향하도록 배치될 수 있다. 증착물질(M)은 마스크 조립체(40)를 통과하여 표시기판(DS)에 증착될 수 있다.
증착원(50)은 마스크 조립체(40)와 대향하도록 배치되며, 증착물질(M)이 마스크 조립체(40)의 증착영역(EA)을 통과하여 표시기판(DS) 상에 증착되도록 증착물질(M)을 공급할 수 있다. 이때, 증착원(50)은 증착물질(M)에 열을 가함으로써 증착물질(M)을 증발시키거나 승화시킬 수 있다. 증착원(50)은 챔버(10) 내부에 고정되도록 배치되거나 일 방향을 따라 선형 운동 가능하도록 챔버(10) 내부에 배치되는 것도 가능하다.
자기력부(60)는 표시기판(DS) 및/또는 마스크 조립체(40)와 대향하도록 챔버(10) 내부에 배치될 수 있다. 이때, 자기력부(60)는 마스크 조립체(40)에 자기력을 가하여 표시기판(DS) 측으로 마스크 조립체(40)를 가력할 수 있다. 특히 자기력부(60)는 마스크 시트(44)의 쳐짐을 방지할 뿐 아니라 마스크 시트(44)를 표시기판(DS)에 인접시킬 수 있다. 또한, 자기력부(60)는 마스크 시트(44)와 표시기판(DS) 사이의 간격을 균일하게 유지시킬 수 있다.
비젼부(70)는 챔버(10)에 배치되며, 표시기판(DS)과 마스크 조립체(40)의 위치를 촬영할 수 있다. 이때, 비젼부(70)는 표시기판(DS) 및 마스크 조립체(40)를 촬영하는 카메라를 포함할 수 있다. 비젼부(70)에서 촬영된 이미지를 근거로 표시기판(DS)과 마스크 조립체(40)의 위치를 파악할 수 있고, 마스크 조립체(40)의 변형을 확인할 수 있다. 또한 상기 이미지를 근거로 제1지지부(20)에서 표시기판(DS)의 위치를 미세 조정하거나 제2지지부(30)에서 마스크 조립체(40)의 위치를 미세 조정할 수 있다. 다만, 이하에서는 제2지지부(30)에서 마스크 조립체(40)의 위치를 미세 조정하여 표시기판(DS)과 마스크 조립체(40)의 위치를 정렬하는 경우를 중심으로 상세히 설명하기로 한다.
압력조절부(80)는 챔버(10)와 연결되어 챔버(10) 내부의 압력을 조절할 수 있다. 예를 들면, 압력조절부(80)는 챔버(10) 내부의 압력을 대기압과 동일 또는 유사하게 조절할 수 있다. 또한, 압력조절부(80)는 챔버(10) 내부의 압력을 진공 상태와 동일 또는 유사하게 조절할 수 있다.
압력조절부(80)는 챔버(10)와 연결되는 연결배관(81)과 연결배관(81)에 설치되는 펌프(82)를 포함할 수 있다. 이때, 펌프(82)의 작동에 따라서 연결배관(81)을 통하여 외기가 유입되거나 챔버(10) 내부의 기체를 연결배관(81)을 통하여 외부로 안내할 수 있다.
한편, 상기와 같은 표시 장치의 제조장치(1)를 이용하여 표시 장치(미도시)를 제조하는 방법을 살펴보면, 먼저 표시기판(DS)이 준비될 수 있다.
압력조절부(80)는 챔버(10) 내부를 대기압과 동일 또는 유사한 상태로 유지시킬 수 있으며, 게이트밸브(11)가 작동하여 챔버(10)의 개구된 부분을 개방할 수 있다.
이후 표시기판(DS)을 챔버(10) 외부에서 내부로 장입할 수 있다. 이때, 표시기판(DS)은 다양한 방식으로 챔버(10)로 장입될 수 있다. 예를 들면, 표시기판(DS)은 챔버(10) 외부에 배치된 로봇암 등을 통하여 챔버(10) 외부에서 챔버(10) 내부로 장입될 수 있다. 다른 실시 예로써 제1지지부(20)가 셔틀 형태로 형성되는 경우 제1지지부(20)가 챔버(10) 내부에서 챔버(10) 외부로 반출된 후 챔버(10) 외부에 배치된 별도의 로봇암 등을 통하여 표시기판(DS)을 제1지지부(20)에 안착시키고 제1지지부(20)가 챔버(10) 외부에서 챔버(10) 내부로 장입하는 것도 가능하다.
마스크 조립체(40)는 상기와 같이 챔버(10) 내부에 배치된 상태일 수 있다. 다른 실시 예로써 마스크 조립체(40)는 표시기판(DS)과 동일 또는 유사하게 챔버(10) 외부에서 챔버(10) 내부로 장입하는 것도 가능하다.
표시기판(DS)이 챔버(10) 내부로 장입되면, 표시기판(DS)은 제1지지부(20)에 안착할 수 있다. 이때, 비젼부(70)는 표시기판(DS)과 마스크 조립체(40)의 위치를 촬영할 수 있다. 비젼부(70)에서 촬영된 이미지를 근거로 표시기판(DS)과 마스크 조립체(40)의 위치를 파악할 수 있다. 이때, 표시 장치의 제조장치(1)는 별도의 제어부(미도시)가 구비되어 표시기판(DS)과 마스크 조립체(40)의 위치를 파악할 수 있다.
표시기판(DS)과 마스크 조립체(40)의 위치 파악이 완료되면, 제2지지부(30)는 마스크 조립체(40)의 위치를 미세 조정할 수 있다.
이후 증착원(50)이 작동하여 증착물질(M)을 마스크 조립체(40) 측으로 공급하고, 마스크 시트(44)의 개구부를 통과한 증착물질(M)은 표시기판(DS)에 증착될 수 있다. 이때, 증착원(50)이 표시기판(DS) 및 마스크 조립체(40)에 대해 평행하게 이동하거나, 표시기판(DS) 및 마스크 조립체(40)가 증착원(50)에 대해 평행하게 이동할 수 있다. 즉, 증착원(50)은 표시기판(DS) 및 마스크 조립체(40)와 상대이동할 수 있다. 이때, 펌프(82)는 챔버(10) 내부의 기체를 흡입하여 외부로 배출시킴으로써 챔버(10) 내부의 압력을 진공과 동일 또는 유사한 형태로 유지시킬 수 있다.
상기와 같이 증착원(50)에서 공급된 증착물질(M)은 마스크 조립체(40)를 통과하여 표시기판(DS)에 증착되고, 이에 따라 후술할 표시 장치에 적층되는 복수 개의 층, 예를 들어 유기층, 무기층, 금속층 중 적어도 하나를 형성할 수 있다.
도 2는 본 발명의 일 실시 예에 따른 마스크 조립체의 개략적인 사시도이다.
도 2를 참조하면, 마스크 조립체(40)는 마스크 프레임(41), 차폐스틱(42), 지지스틱(43) 및 마스크 시트(44)를 포함할 수 있다.
마스크 프레임(41)은 복수 개의 변들이 연결되어 형성될 수 있으며, 복수 개의 변들에 의해 정의되는 개구영역(OA)을 포함할 수 있다. 즉, 개구영역(OA)은 복수 개의 변들에 의해 둘러싸여 형성될 수 있으며, 개구영역(OA)은 마스크 프레임(41)의 중앙에서 관통되어 형성될 수 있다.
마스크 프레임(41)은 일 실시 예에서 사각형의 프레임일 수 있다. 물론 마스크 프레임(41)의 형상은 이에 제한되는 것은 아니며, 다양한 형태의 다각형의 형상일 수 있다. 이하에서는 설명의 편의를 위해 마스크 프레임(41)은 사각형의 프레임인 경우를 중심으로 설명하도록 한다.
마스크 프레임(41)이 사각형의 프레임인 경우, 복수 개의 변들은 제1방향(예를 들어, X축 방향)으로 연장되는 제1변(S1) 및 제1방향과 교차하는 제2방향(예를 들어, Y축 방향)으로 연장되는 제2변(S2)을 포함할 수 있다. 제1변(S1)은 마주보도록 한 쌍으로 구비되고, 제2변(S2)은 마주보도록 한 쌍으로 구비되어 서로 연결될 수 있다. 일 실시 예에서 제1변(S1)은 단변이고, 제2변(S2)은 장변일 수 있다. 그러나 이에 제한되는 것은 아니며 제1변(S1)이 장변이고 제2변(S2)이 단변이거나, 또는 제1변(S1)과 제2변(S2)의 길이가 같을 수 있다. 이하에서는 설명의 편의를 위해 제1변(S1)은 단변이고 제2변(S2)은 장변인 경우를 중심으로 설명하도록 한다.
차폐스틱(42)은 개구영역(OA)을 가로지르도록 제1방향, 예를 들어 도 2에서와 같이 X축 방향으로 연장되도록 배치될 수 있다. 예를 들어, 마스크 프레임(41)에는 차폐스틱(42)의 양 단부를 수용하기 위한 홈이 배치될 수 있다. 다만, 이는 예시적인 것으로, 마스크 프레임(41)에는 별도의 홈이 배치되지 않으며, 마스크 프레임(41) 상에 차폐스틱(42)이 배치될 수 있다. 차폐스틱(42)은 복수 개의 마스크 프레임(41)의 사이에 위치하도록 배치되어 인접한 2개의 마스크 프레임(41) 사이를 증착물질(M)이 통과하지 못하도록 차폐할 수 있다. 차폐스틱(42)은 복수 개로 구비되어 제2방향, 예를 들어 도 2에서와 같이 Y축 방향으로 이격되며 서로 평행하도록 배치될 수 있다.
지지스틱(43)은 개구영역(OA)을 가로지르도록 제2방향, 예를 들어 도 2에서와 같이 Y축 방향으로 연장되도록 배치될 수 있다. 지지스틱(43)은 개구영역(OA)에서 차폐스틱(42)과 교차하며 차폐스틱(42)의 상부에 위치할 수 있다. 예를 들어, 마스크 프레임(41)에는 지지스틱(43)의 양 단부를 수용하기 위한 홈이 배치될 수 있다. 다만, 이는 예시적인 것으로, 마스크 프레임(41)에는 별도의 홈이 배치되지 않으며, 마스크 프레임(41) 상에 지지스틱(43)이 배치될 수 있다. 지지스틱(43)은 개구영역(OA)에서 마스크 시트(44)를 지지하여 마스크 시트(44)의 처짐을 방지할 수 있다.
마스크 시트(44)는 마스크 프레임(41)에 인장된 상태로 설치될 수 있다. 마스크 프레임(41)의 중앙의 개구영역(OA)의 적어도 일부는 마스크 시트(44)에 의해 커버될 수 있다. 일 실시 예로 마스크 시트(44)는 적어도 하나 이상 구비될 수 있으며, 마스크 시트(44)가 2개 이상으로 구비되는 경우, 마스크 시트(44)들은 서로 나란하도록 마스크 프레임(41) 상에 배치될 수 있다. 예를 들어 마스크 시트(44)들은 제2방향(예를 들어, Y축 방향)으로 나란히 배열될 수 있다. 이때, 마스크 시트(44) 각각은 제1방향(예를 들어, X축 방향)으로 길게 연장된 형상일 수 있다. 마스크 시트(44)의 양 단부는 예를 들어 용접에 의한 방식으로 마스크 프레임(41)에 고정될 수 있다.
도 3a는 본 발명의 일 실시 예에 따른 마스크 시트의 개략적인 평면도이고, 도 3b는 본 발명의 일 실시 예에 따른 도 3a의 Ⅰ-Ⅰ' 부분에 따른 단면도이고, 도 3c는 본 발명의 다른 실시 예에 따른 도 3a의 Ⅰ-Ⅰ' 부분에 따른 단면도이다. 특히, 도 3a는 도 2의 마스크 시트를 +Z축 방향에서 바라본 확대도이다.
도 2 내지 도 3c를 참조하면, 일 실시 예에 따른 마스크 시트(44)는 바디부(441) 및 개구부(442)를 포함할 수 있다.
바디부(441)는 마스크 시트(44)의 외관을 형성할 수 있다. 바디부(441)는 두께가 얇은 판 형태로 형성될 수 있다. 예를 들어, 바디부(441)는 도 2에서와 같이 직사각형 형상일 수 있다. 다만, 도 2에서 도시된 바디부(441)의 형상은 하나의 예시에 불과하며, 바디부(441)의 형상은 그 목적 및 용도에 따라 다양할 수 있다.
개구부(442) 하나 이상으로 구비되며, 증착물질(M)이 통과하도록 바디부(441)에 배치될 수 있다. 개구부(442)는 바디부(441)의 일면(예를 들어, +Z축을 향하는 면)으로부터 두께 방향(예를 들어, -Z축 방향)을 따라 관통 형성될 수 있다. 개구부(442) 중 적어도 하나의 평면 형상은 원형일 수 있다. 예를 들어, 복수의 개구부(442) 각각의 평면 형상은 원형 형상일 수 있다. 개구부(442)의 평면 형상이 원형으로 형성됨으로 인하여, 표시기판에 증착되는 증착물질(M)도 원형 형상일 수 있다.
도 3b 및 도 3c와 같이 마스크 시트(44)의 두께 방향(예를 들어, Z축 방향)에 나란한 단면을 기준으로, 개구부(442)의 내면(442A)은 경사면을 포함할 수 있다. 이 때, 경사면은 증착원(50)을 향하도록 경사질 수 있다. 이와 같은 구조에서, 도 3a와 같이 평면에서 바라보았을 때, 개구부(442)의 평면 형상이 원형인 경우, 경사면의 평면 형상은 환형일 수 있다.
도 3b 및 도 3c를 참고하면, 개구부(442)의 단면 형상은 다양할 수 있다. 예를 들어, 개구부(442)가 에칭액에 의해 형성되는 경우, 도 3b와 같이 내면(442A)은 곡면을 포함할 수 있다. 또한, 예를 들어, 개구부(442)가 레이저에 의해 형성되는 경우, 도 3c와 같이 내면(442A')은 평면을 포함할 수 있다. 도 3b 및 도 3c에서 도시하는 개구부(442)의 형상은 하나의 예시에 불과하며, 개구부(442)의 단면 형상이 이에 한정되는 것은 아니다. 이하에서는, 설명의 편의를 위하여 개구부(442)가 도 3b와 같이 에칭액에 의해 형성되는 것을 전제로 설명하도록 한다.
도 3b를 참고하면, 개구부(442)에는 바디부(441)에 의해 가려져 증착물질(M)이 도달하지 못하는 사각지대(RA)가 형성될 수 있다. 즉, 증착원(50)으로부터 증착물질(M)이 공급되는 과정에서, 증착물질(M)이 바디부(441)에 걸리면서, 개구부(442)에는 증착물질(M)이 통과하지 못하는 사각지대(RA)가 형성될 수 있다. 이러한 사각지대(RA)로 인하여, 표시기판에 증착되는 증착물질(M)의 형상은 개구부(442)의 평면 형상보다 작을 수 있다.
평면에서 보았을 때, 복수개의 개구부(442)는 도 3a에서와 같이 각각 서로 엇갈리도록 배치될 수 있다. 다만, 도 3a에서 도시하고 있는 개구부(442)의 배치는 하나의 예시일 뿐이며, 개구부(442)의 배치가 이에 한정되는 것은 아니다. 이하에서는, 설명의 편의를 위하여 복수의 개구부(442)가 도 3a와 같이 서로 엇갈리도록 배치된 것을 전제로 설명하도록 한다.
도 4a는 본 발명의 일 실시 예에 따른 마스크 시트의 개략적인 평면도이며, 도 4b는 본 발명의 일 실시 예에 따른 도 4a의 Ⅱ-Ⅱ' 부분에 따른 단면도이고, 도 4c는 본 발명의 다른 실시 예에 따른 도 4a의 Ⅱ-Ⅱ' 부분에 따른 단면도이다.
도 4a 내지 도 4c를 참조하면, 일 실시 예에 따른 마스크 시트(44)는 바디부(441), 개구부(442) 및 홈부(443)를 포함할 수 있다. 개구부(442)는 제1개구부(442-1), 제2개구부(442-2), 제3개구부(442-3) 및 제4개구부(442-4)를 포함할 수 있다.
도 4a 내지 도 4c에서 설명하는 바디부(441) 및 개구부(442)는 도 2 내지 도 3c를 참고하여 설명한 바디부(441) 및 개구부(442)와 실질적으로 동일하므로, 설명의 편의를 위하여 중복되는 내용은 생략하도록 한다.
홈부(443)는 하나 이상으로 구비되며, 바디부(441)에 배치될 수 있다. 홈부(443)는 바디부(441)의 일면(예를 들어, +Z축을 향하는 면)으로부터 두께 방향(예를 들어, -Z축 방향)을 따라 함몰 형성될 수 있다. 홈부(443) 중 적어도 하나는 개구부(442) 중 적어도 하나의 내면(442A)과 중첩될 수 있다.
홈부(443)의 평면 형상은 개구부(442)와 대응되는 형상일 수 있다. 즉, 개구부(442)의 평면 형상이 원형인 경우, 홈부(443) 평면 형상은 원형일 수 있다. 다만 이는 하나의 예시에 불과할 뿐, 홈부(443)의 평면 형상이 이에 한정되는 것은 아니다. 예를 들어, 홈부(443)의 평면 형상은 다각형 형상일 수 있으며, 환형일 수도 있다.
도 4a를 참조하면, 개구부(422)는 복수개로 구비되고, 인접한 4개의 개구부(442) 사이의 영역(A1)에 홈부(443) 중 적어도 하나가 배치될 수 있다. 여기서, 인접한 4개의 개구부(442) 사이의 영역(A1)이란 인접한 4개의 개구부(442)의 중심 사이 가상의 선을 그었을 때 형성되는 사각형 내부의 영역일 수 있다.
예를 들어, 홈부(443)는 제1홈부(443-1)를 포함하며, 서로 인접하게 배치된 제1개구부(442-1), 제2개구부(442-2), 제3개구부(442-3) 및 제4개구부(442-4) 사이 영역(A1)에 제1홈부(443-1)가 배치될 수 있다. 인접한 4개의 개구부(442)의 내면(442A)은 홈부(443) 중 적어도 하나와 중첩될 수 있다. 예를 들어, 제1개구부(442-1)의 내면(442-1A), 제2개구부(442-2)의 내면(442-2A), 제3개구부(442-3)의 내면(442-3A) 및 제4개구부(442-4)의 내면(442-4A) 각각은 제1홈부(443-1)와 중첩될 수 있다.
복수의 홈부(443) 중 적어도 하나가 개구부(442)의 내면(442A) 중 적어도 하나와 중첩됨에 따라, 개구부(442)의 내면(442A)과 접하는 바디부(441)의 일부가 홈부(443)에 의해 제거될 수 있다. 예를 들어, 도 4b 및 도 4c를 참조하면, 제1개구부(442-1) 및 제2개구부(442-2) 사이에 제1홈부(443-1)가 배치됨에 따라, 제1개구부(442-1)의 내면(442-1A) 및 제2개구부(442-2)의 내면(442-2A)과 접하는 바디부(441)의 일부가 제거될 수 있다. 이와 같은 구조에서, 증착원(50)이 증착물질(M)을 제공하는 과정에서, 개구부(442) 중 증착물질(M)이 통과하지 못하는 사각지대(RA)가 감소할 수 있다.
도 4b 및 도 4c를 참고하면, 홈부(443)의 단면 형상은 다양할 수 있다. 예를 들어, 홈부(443)가 에칭액에 의해 형성되는 경우, 도 4b와 같이 제1홈부(443-1)의 내면은 오목한 형상을 포함할 수 있다. 다만, 이는 하나의 예시에 불과하며, 홈부(443)의 단면 형상이 이에 한정되는 것은 아니다. 예를 들어, 도 4c와 같이, 제1홈부(443-1')의 단면 형상은 선형 형상을 포함할 수도 있다. 이하에서는, 설명의 편의를 위하여 홈부(443)가 도 4b와 같이 에칭액에 의해 형성되는 것을 전제로 설명하도록 한다.
도 5a는 본 발명의 일 실시 예에 따른 마스크 시트의 개략적인 평면도이며, 도 5b는 본 발명의 일 실시 예에 따른 도 5a의 Ⅲ-Ⅲ' 부분에 따른 단면도이다.
도 5a 및 도 5b를 참조하면, 일 실시 예에 따른 마스크 시트(44)는 바디부(441), 개구부(442) 및 홈부(443)를 포함할 수 있다. 개구부(442)는 제1개구부(442-1) 및 제2개구부(442-2)를 포함하며, 홈부(443)는 제1홈부(443-1)를 포함할 수 있다.
도 5a 및 도 5b에서 설명하는 바디부(441), 개구부(442) 및 홈부(443)는 도 4a 내지 도 4b를 참조하여 설명한 바디부(441), 개구부(442) 및 홈부(443)와 실질적으로 동일하므로, 설명의 편의를 위하여 중복되는 내용은 생략하도록 한다.
도 5a 및 도 5b에 도시된 복수의 개구부(442)는 도 4a 및 도 4b를 참조하여 설명한 복수의 개구부(442)와 달리 나란히 배치될 수 있다. 다시 말해, 하나의 개구부(442)를 중심으로 인접한 개구부(442)가 상하 및 좌우 방향(예를 들어, X축 및 Y축 방향)으로 배치될 수 있다.
도 5a를 참조하면, 인접한 2개의 개구부(442) 사이의 영역(A2)에 홈부(443) 중 적어도 하나가 배치될 수 있다. 여기서, 인접한 2개의 개구부(442) 사이의 영역(A2)이란 인접한 2개의 개구부(442) 각각의 중심을 지나는 가상의 선 및 인접한 2개의 개구부(442)의 내면(442A)을 잇는 가상의 선을 그었을 때 형성되는 사각형 내부의 영역일 수 있다.
예를 들어, 서로 인접하게 배치된 제1개구부(442-1) 및 제2개구부(442-2) 사이 영역(A2)에 제1홈부(443-1)가 배치될 수 있다. 인접한 2개의 개구부(442)의 내면(442A)은 홈부(443) 중 적어도 하나와 중첩될 수 있다. 예를 들어, 제1개구부(442-1)의 내면(442-1A) 및 제2개구부(442-2)의 내면(442-2A)은 제1홈부(443-1)와 중첩될 수 있다.
이와 같은 구조에서, 도 5b를 참조하면, 인접한 2개의 개구부(442) 각각의 내면(442A)과 접하는 바디부(441)의 일부가 제거될 수 있다. 예를 들어, 제1개구부(442-1) 및 제2개구부(442-2) 사이에 제1홈부(443-1)가 배치됨에 따라, 제1개구부(442-1)의 내면(442-1A) 및 제2개구부(442-2)의 내면(442-2A)과 접하는 바디부(441)의 일부가 제거될 수 있다. 이와 같은 구조에서, 증착원(예를 들면, 도 4b의 증착원(50))이 증착물질(예를 들면, 도 4b의 증착물질(M))을 제공하는 과정에서, 개구부(442) 중 증착물질(M)이 통과하지 못하는 사각지대(예를 들면, 도 4b의 사각지대(RA))가 감소할 수 있다.
도 6a는 본 발명의 일 실시 예에 따른 마스크 시트의 개략적인 평면도이며, 도 6b는 본 발명의 일 실시 예에 따른 도 6a의 Ⅳ-Ⅳ' 부분에 따른 단면도이다.
도 6a 및 도 6b를 참조하면, 일 실시 예에 따른 마스크 시트(44)는 바디부(441), 개구부(442) 및 홈부(443)를 포함할 수 있다. 개구부(442)는 제1개구부(442-1)를 포함하며, 홈부(443)는 제1홈부(443-1) 및 제2홈부(443-2)를 포함할 수 있다.
도 6a 및 도 6b에서 설명하는 바디부(441), 개구부(442) 및 홈부(443)는 도 4a 내지 도 4b를 참조하여 설명한 바디부(441), 개구부(442) 및 홈부(443)와 실질적으로 동일하므로, 설명의 편의를 위하여 중복되는 내용은 생략하도록 한다.
도 6a 및 6b를 참조하면, 복수의 홈부(443)는 하나의 개구부(442)의 내면(442A)과 중첩되도록 배치될 수 있다. 예를 들어, 제1홈부(443-1) 및 제2홈부(443-2)는 제1개구부(442-1)의 내면(442-1A)과 중첩될 수 있다. 하나의 개구부(442)의 내면(442A)과 중첩되도록 배치되는 복수의 홈부(443) 중 적어도 두개는 서로 중첩될 수 있다. 예를 들어, 제1홈부(443-1) 및 제2홈부(443-2)는 서로 중첩될 수 있다.
이와 같은 구조에서, 복수의 홈부(443)와 중첩되는 개구부(442)의 내면(442A)과 접하는 바디부(441)의 일부가 제거될 수 있다. 예를 들어, 제1개구부(442-1)의 내면(442-1A)와 중첩되도록 제1홈부(443-1) 및 제2홈부(443-2)가 배치됨에 따라, 제1개구부(442-1)의 내면(442-1A)과 접하는 바디부(441)의 일부가 제거될 수 있다. 이와 같은 구조에서, 증착원(예를 들어, 도 4b의 증착원(50))이 증착물질(예를 들어, 도 4b의 증착물질(M))을 제공하는 과정에서, 개구부(442) 중 증착물질(M)이 통과하지 못하는 사각지대(예를 들면, 도 4b의 사각지대(RA))가 감소할 수 있다.
도 7은 본 발명의 일 실시 예에 따른 표시 장치를 개략적으로 나타낸 사시도이다.
도 7을 참고하면, 본 발명의 실시 예들에 따른 표시 장치는 스마트폰, 휴대폰, 스마트 워치, 내비게이션 장치, 게임기, TV, 차량용 헤드 유닛, 노트북 컴퓨터, 랩탑 컴퓨터, 태블릿(Tablet) 컴퓨터, PMP(Personal Media Player), PDA(Personal Digital Assistants) 등의 전자장치로 구현될 수 있다. 또한, 전자장치는 플렉서블 장치일 수 있다.
표시 장치(2)는 화상이 표시되는 표시영역(DA)과 표시영역(DA) 주변에 배치되는 주변영역(PA)을 포함할 수 있다. 표시 장치(2)는 표시영역(DA)에 배치된 복수의 화소들에서 방출되는 빛을 이용하여 소정의 이미지를 제공할 수 있다.
표시 장치(2)는 다양한 형상으로 마련될 수 있으며, 예를 들어, 서로 평행한 두 쌍의 변들을 가지는 직사각형의 판상으로 마련될 수 있다. 표시 장치가 직사각형의 판상으로 마련되는 경우, 두 쌍의 변들 중 어느 한 쌍의 변이 다른 한 쌍의 변보다 길게 제공될 수 있다. 본 발명의 일 실시 예에서는 설명의 편의를 위해 표시 장치가 한쌍의 장변과 한쌍의 단변을 갖는 직사각 형상인 경우를 나타내며, 단변의 연장 방향을 제1방향(u축 방향), 장변의 연장 방향을 제2방향(v축 방향), 장변과 단변의 연장 방향에 수직한 방향을 제3방향(w축 방향)으로 표시하였다. 다른 실시 예에서 표시 장치(2)는 비사각 형상일 수 있다. 비사각 형상은, 예를 들어 원형, 타원형, 일부가 원형인 다각형, 사각형을 제외한 다각형일 수 있다.
표시영역(DA)을 평면 형상으로 볼 때, 표시영역(DA)은 도 7과 같이 직사각형 형상일 수 있다. 다른 실시 예로, 표시영역(DA)은 삼각형, 오각형, 육각형 등의 다각형 형상이나 원형 형상, 타원형 형상, 비정형 형상 등일 수 있다.
주변영역(PA)은 표시영역(DA) 주변에 배치되는 영역으로, 화소들이 배치되지 않은 일종의 비표시 영역일 수 있다. 표시영역(DA)은 주변영역(PA)에 의해 전체적으로 둘러싸일 수 있다. 주변영역(PA)에는 표시영역(DA)에 인가할 전기적 신호를 전달하는 다양한 배선들, 인쇄회로기판이나 드라이버 IC칩이 부착되는 패드들이 위치할 수 있다.
이하에서는, 본 발명의 일 실시 예에 따른 표시 장치(2)로서, 유기 발광 표시 장치를 예로 하여 설명하지만, 본 발명의 표시 장치는 이에 제한되지 않는다. 다른 실시 예로서, 본 발명의 표시 장치(2)는 무기 발광 표시 장치(Inorganic Light Emitting Display 또는 무기 EL 표시 장치), 퀀텀닷 발광 표시 장치(Quantum dot Light Emitting Display)와 같은 표시 장치일 수 있다.
도 8은 본 발명의 일 실시 예에 따른 도 7의 표시장치의 일부분을 개략적으로 도시하는 단면도로서, 구체적으로는 도 7의 표시영역(DA)의 일부분을 개략적으로 도시하는 단면도이다. 도 8에 도시된 것과 같이, 본 실시 예에 따른 표시장치는 표시영역(DA)에 배치된 복수개의 화소(PX)들을 구비한다. 도 8에서는 화소(PX)들이 제1화소(PX1), 제2화소(PX2) 및 제3화소(PX3)를 포함하는 것으로 도시하고 있다. 물론 이는 예시적인 것으로서, 표시장치는 표시영역(DA)에 배치된 더 많은 화소들을 구비할 수 있다. 아울러 도 8에서는 제1화소(PX1) 내지 제3화소(PX3)가 서로 인접한 것처럼 도시하고 있지만, 본 발명이 이에 한정되는 것은 아니다. 즉, 제1화소(PX1) 내지 제3화소(PX3) 사이에는 다른 배선 등의 구성요소들이 개재될 수도 있다. 이에 따라 제1화소(PX1)와 제2화소(PX2)는 서로 인접하여 위치한 화소들이 아닐 수 있다. 또한 도 8에서 제1화소(PX1) 내지 제3화소(PX3)의 단면들은 동일한 방향에서의 단면들이 아닐 수 있다.
본 실시 예에 따른 표시장치는 기판(100)을 구비한다. 기판(100)은 글라스, 금속 또는 고분자 수지를 포함할 수 있다. 만일 기판(100)이 플렉서블 또는 벤더블 특성을 갖는다면, 기판(100)은 예컨대 폴리에테르술폰(polyethersulphone), 폴리아크릴레이트(polyacrylate), 폴리에테르 이미드(polyetherimide), 폴리에틸렌 나프탈레이트(polyethylene naphthalate), 폴리에틸렌 테레프탈레이트(polyethylene terephthalate), 폴리페닐렌 설파이드(polyphenylene sulfide), 폴리아릴레이트(polyarylate), 폴리이미드(polyimide), 폴리카보네이트(polycarbonate) 또는 셀룰로오스 아세테이트 프로피오네이트(cellulose acetate propionate)와 같은 고분자 수지를 포함할 수 있다. 물론 기판(100)은 각각 이와 같은 고분자 수지를 포함하는 두 개의 층들과 그 층들 사이에 개재된 (실리콘옥사이드, 실리콘나이트라이드, 실리콘옥시나이트라이드 등의) 무기물을 포함하는 배리어층을 포함하는 다층구조를 가질 수도 있는 등, 다양한 변형이 가능하다.
도 8에 도시된 것과 같은 표시영역(DA)에 있어서, 기판(100) 상에는 복수개의 화소(PX)들이 배치된다. 복수개의 화소(PX)들 각각은 제1화소전극을 구비하는 디스플레이소자(310)를 포함하므로, 표시영역(DA)에 있어서 기판(100) 상에 복수개의 화소전극(311)들이 배치되는 것으로 이해될 수 있다. 물론 표시영역(DA)에 있어서 기판(100) 상에는 디스플레이소자(310)들 외에도 디스플레이소자(310)들에 전기적으로 연결되는 박막트랜지스터(210)들도 위치할 수 있다. 참고로 도 8에서는 디스플레이소자(310)들로서 화소전극(311), 중간층(313) 및 대향전극(315)을 구비하는 유기발광소자들이 기판(100) 상에 위치하는 것으로 도시하고 있다. 이러한 유기발광소자들이 박막트랜지스터(210)들에 전기적으로 연결된다는 것은, 화소전극(311)들 각각이 대응하는 박막트랜지스터(210)에 전기적으로 연결되는 것으로 이해될 수 있다.
박막트랜지스터(210)는 비정질실리콘, 다결정실리콘, 유기반도체물질 또는 산화물반도체물질을 포함하는 반도체층(211), 게이트전극(213), 소스전극(215a) 및 드레인전극(215b)을 포함할 수 있다. 게이트전극(213)은 다양한 도전성 물질을 포함하며 다양한 층상구조를 가질 수 있는데, 예컨대 Mo층과 Al층을 포함할 수 있다. 또는 게이트전극(213)은 TiNx층, Al층 및/또는 Ti층을 포함할 수도 있다. 소스전극(215a)과 드레인전극(215b) 역시 다양한 도전성 물질을 포함하며 다양한 층상구조를 가질 수 있는데, 예컨대 Ti층, Al층 및/또는 Cu층을 포함할 수 있다.
반도체층(211)과 게이트전극(213)과의 절연성을 확보하기 위해, 실리콘옥사이드, 실리콘나이트라이드 및/또는 실리콘옥시나이트라이드 등의 무기물을 포함하는 게이트절연막(120)이 반도체층(211)과 게이트전극(213) 사이에 개재될 수 있다. 아울러 게이트전극(213)의 상부에는 실리콘옥사이드, 실리콘나이트라이드 및/또는 실리콘옥시나이트라이드 등의 무기물을 포함하는 층간절연막(130)이 배치될 수 있으며, 소스전극(215a) 및 드레인전극(215b)은 그러한 층간절연막(130) 상에 배치될 수 있다. 이와 같이 무기물을 포함하는 절연막은 CVD(chemical vapor deposition) 또는 ALD(atomic layer deposition)를 통해 형성될 수 있다. 이는 후술하는 실시 예들 및 그 변형예들에 있어서도 마찬가지이다.
참고로 도 8에서는 박막트랜지스터(210)가 소스전극(215a) 및 드레인전극(215b)을 포함하는 것으로 도시하고 있으나, 본 발명이 이에 한정되는 것은 아니다. 예컨대 소스전극(215a) 및/또는 드레인전극(215b)은 배선의 일부일 수 있다. 또는 박막트랜지스터(210)는 소스전극(215a) 및/또는 드레인전극(215b)을 갖지 않고, 반도체층(211)의 소스영역이 소스전극 역할을 하거나 드레인영역이 드레인전극 역할을 할 수도 있다. 예컨대 박막트랜지스터(210)의 반도체층(211)의 소스영역이 다른 박막트랜지스터의 드레인영역과 일체(一體)일 수 있으며, 이 경우 그 다른 박막트랜지스터의 드레인전극이 박막트랜지스터(210)의 소스전극에 전기적으로 연결된 것으로 이해될 수 있다.
물론 층간절연막(130) 상에는 소스전극(215a) 및 드레인전극(215b) 외에도, 배선들도 위치할 수 있다. 배선들 사이에는 간격(240d)이 유지될 수 있다.
이러한 구조의 박막트랜지스터(210)와 기판(100) 사이에는 실리콘옥사이드, 실리콘나이트라이드 및/또는 실리콘옥시나이트라이드 등과 같은 무기물을 포함하는 제1버퍼층(111)이 개재될 수 있다. 이러한 제1버퍼층(111)은 기판(100)의 상면의 평활성을 높이거나 기판(100) 등으로부터의 불순물이 박막트랜지스터(210)의 반도체층(211)으로 침투하는 것을 방지하거나 최소화하는 역할을 할 수 있다.
아울러 박막트랜지스터(210)와 제1버퍼층(111) 사이에는 제2버퍼층(115)이 개재되고, 제1버퍼층(111)과 제2버퍼층(115) 사이에는 하부금속층(113)이 개재될 수 있다. 제2버퍼층(115)은 실리콘옥사이드, 실리콘나이트라이드 및/또는 실리콘옥시나이트라이드 등과 같은 무기물을 포함할 수 있다. 하부금속층(113)은 Ti, Al, Cu 또는 Mo 등을 포함할 수 있다. 하부금속층(113)은 외부로부터의 전자기파나 광 등이 박막트랜지스터(210) 등에 영향을 주는 것을 최소화할 수 있다. 하부금속층(113)은 표시영역(DA) 내에 위치하는 홀들을 갖는다.
박막트랜지스터(210) 상에는 평탄화층(140)이 배치될 수 있다. 예컨대 도 8에 도시된 것과 같이 박막트랜지스터(210) 상부에 유기발광소자가 배치될 경우, 평탄화층(140)은 대략 평탄한 상면을 가져, 유기발광소자가 평탄화층(140)의 대략 평탄한 상면 상에 위치하도록 할 수 있다. 이러한 평탄화층(140)은 예컨대 아크릴, BCB(Benzocyclobutene) 또는 HMDSO(hexamethyldisiloxane) 등과 같은 유기물을 포함할 수 있다. 도 8에서는 평탄화층(140)이 단층으로 도시되어 있으나, 다층일 수도 있는 등 다양한 변형이 가능하다.
표시영역(DA)에 있어서, 기판(100)의 평탄화층(140) 상에는 디스플레이소자(310)가 위치할 수 있다. 디스플레이소자(310)로는 도 8에 도시된 것과 같은 유기발광소자가 이용될 수 있다. 전술한 것과 같이 디스플레이소자(310)들 각각이 포함하는 유기발광소자는 화소전극(311), 대향전극(315) 및 그 사이에 개재되며 발광층을 포함하는 중간층(313)을 포함할 수 있다.
화소전극(311)은 도 8에 도시된 것과 같이 평탄화층(140) 등에 형성된 개구부를 통해 소스전극(215a) 및 드레인전극(215b) 중 어느 하나와 컨택하여 박막트랜지스터(210)와 전기적으로 연결된다. 화소전극(311)들 각각은 ITO, In2O3 또는 IZO 등의 투광성인 도전성 산화물로 형성된 투광성 도전층과, Al 또는 Ag 등과 같은 금속으로 형성된 반사층을 포함한다. 예컨대 화소전극(311)들 각각은 ITO/Ag/ITO의 3층구조를 가질 수 있다.
발광층을 포함하는 중간층(313)은 대응하는 화소전극(311) 상에 위치할 수 있다. 중간층(313)은 저분자 또는 고분자 물질을 포함할 수 있다. 중간층(313)이 저분자 물질을 포함할 경우, 중간층(313)은 홀 주입층(HIL: Hole Injection Layer), 홀 수송층(HTL: Hole Transport Layer), 발광층(EML: Emission Layer), 전자 수송층(ETL: Electron Transport Layer), 전자 주입층(EIL: Electron Injection Layer) 등이 단일 혹은 복합의 구조로 적층된 구조를 가질 수 있으며, 진공증착의 방법으로 형성될 수 있다. 중간층(313)이 고분자 물질을 포함할 경우, 중간층(313)은 홀 수송층(HTL) 및 발광층(EML)을 포함하는 구조를 가질 수 있다. 이 때, 홀 수송층은 PEDOT을 포함하고, 발광층은 PPV(Poly-Phenylenevinylene)계 및 폴리플루오렌(Polyfluorene)계 등 고분자 물질을 포함할 수 있다. 이러한 중간층(313)은 스크린 인쇄, 잉크젯 인쇄방법, 증착법 또는 레이저열전사방법(LITI; Laser induced thermal imaging) 등으로 형성할 수 있다. 물론 중간층(313)은 반드시 이에 한정되는 것은 아니고, 다양한 구조를 가질 수도 있음은 물론이다.
중간층(313)의 발광층 외의 층들은 복수개의 화소전극(311)들에 걸쳐 일체(一體)로 형성될 수 있다. 중간층(313)이 포함하는 발광층은 대응하는 화소전극(311) 상에 위치할 수 있다. 제1화소(PX1)에 위치하는 발광층은 예컨대 적색광을 방출하고, 제2화소(PX2)에 위치하는 발광층은 예컨대 녹색광을 방출하며, 제3화소(PX3)에 위치하는 발광층은 예컨대 청색광을 방출할 수 있다.
중간층(313) 상에 위치하는 대향전극(315)은 복수개의 화소전극(311)들에 걸쳐 일체(一體)로 형성될 수 있다. 대향전극(315)은 ITO, In2O3 또는 IZO으로 형성된 투광성 도전층을 포함할 수 있고, 또한 Al이나 Ag 등과 같은 금속을 포함하는 반투과막을 포함할 수 있다. 예컨대 대향전극(315)은, MgAg를 포함하는 반투과막을 포함할 수 있다.
평탄화층(140) 상부에는 화소정의막(150)이 배치될 수 있다. 이 화소정의막(150)은 표시영역(DA) 내에 있어서 화소(PX)들 각각에 대응하는 화소개구(POP), 즉 화소전극(311)들 각각의 적어도 중앙부가 노출되도록 하는 화소개구(POP)를 가짐으로써, 화소를 정의하는 역할을 한다. 도 8에 도시된 바와 같은 경우, 화소정의막(150)은 화소전극(311)들 각각의 가장자리와 대향전극(315)과의 거리를 증가시킴으로써, 화소전극(311)들의 가장자리에서 아크 등이 발생하는 것을 방지하는 역할을 한다. 또한, 화소정의막(150)은 표시영역(DA) 내에 있어서 화소전극(311)들 사이에 대응하는 홀(H)들을 갖는다.
이와 같은 화소정의막(150)은 예컨대 폴리이미드 또는 HMDSO(hexamethyldisiloxane) 등과 같은 유기물로 형성될 수 있다. 또한 화소정의막(150)은 차광성 절연물질을 포함할 수 있다. 이에 따라 화소정의막(150)은 유색의 불투명한 차광성 절연층으로서, 예컨대 검은색으로 보일 수 있다. 예컨대, 화소정의막(150)은 폴리이미드(PI)계 바인더와, 적색, 녹색 및 청색이 혼합된 피그먼트를 포함할 수 있다. 또는, 화소정의막(150)은 바인더와, 락탐계 블랙 피그먼트(lactam black pigment) 및 블루 피그먼트의 혼합물을 포함할 수 있다. 또는, 화소정의막(150)은 카본블랙을 포함할 수 있다. 이러한 화소정의막(150)은 표시장치의 콘트라스트를 향상시킬 수 있다.
이러한 유기발광소자는 외부로부터의 수분이나 산소 등에 의해 쉽게 손상될 수 있기에, 도 8에 도시된 것과 같이 제1무기봉지층(410), 제2무기봉지층(420) 및 그 사이에 개재된 유기봉지층(430)을 포함하는 봉지층(400)이 이러한 유기발광소자들을 덮어 이들을 보호하도록 할 수 있다.
제1무기봉지층(410)과 제2무기봉지층(420) 각각은 하나 이상의 무기 절연물을 포함할 수 있다. 무기 절연물은 알루미늄옥사이드, 티타늄옥사이드, 탄탈륨옥사이드, 하프늄옥사이드, 징크옥사이드, 실리콘옥사이드, 실리콘나이트라이드 및/또는 실리콘옥시나이트라이드일 수 있다.
유기봉지층(430)은 폴리머(polymer)계열의 물질을 포함할 수 있다. 폴리머 계열의 물질은 아크릴계 수지, 에폭시계 수지, 폴리이미드 및/또는 폴리에틸렌 등을 포함할 수 있다. 예컨대, 유기봉지층(430)은 아크릴계 수지, 예컨대 폴리메틸메타크릴레이트 및/또는 폴리아크릴산 등을 포함할 수 있다. 유기봉지층(430)은 모노머를 경화하거나, 폴리머를 도포하여 형성할 수 있다.
표시영역(DA)에 있어서, 봉지층(400) 상부에는 반사방지층이 위치할 수 있다. 반사방치층은 불필요한 빛의 반사를 감소시킬 수 있다. 반사방지층은 칼라필터(CF)들과 블랙매트릭스(BM)를 포함할 수 있다. 반사방지층의 블랙매트릭스(BM)는 표시영역(DA) 내에 위치하는 관통홀(TH)들을 갖는다.
칼라필터(CF)들은 블랙매트릭스(BM)의 관통홀(TH)들을 채울 수 있다. 이에 따라 블랙매트릭스(BM)는 칼라필터(CF)들과 컨택하게 된다. 칼라필터(CF)들은 제1칼라필터(CF1), 제2칼라필터(CF2) 및 제3칼라필터(CF3)를 포함할 수 있다. 제1칼라필터(CF1)는 그 하부에 배치된 디스플레이 소자로부터의 광의 파장이 속하는 특정 파장대역의 광만을 통과시킬 수 있다.
도 8에서는 적색 화소라 할 수 있는 제1-1화소(P11)에 적색광을 통과시키는 적색 칼라필터인 제1칼라필터(CF1)가 위치하여, 화소정의막(150)의 화소개구(POP)에 대응하는 블랙매트릭스(BM)의 관통홀(TH)을 채우고, 녹색 화소라 할 수 있는 제1-2화소(P12)에 녹색광을 통과시키는 녹색 칼라필터인 제2칼라필터(CF2)가 위치하여, 화소정의막(150)의 화소개구(POP)에 대응하는 블랙매트릭스(BM)의 관통홀(TH)을 채우며, 청색 화소라 할 수 있는 제1-3화소(P13)에 청색광을 통과시키는 청색 칼라필터인 제3칼라필터(CF3)가 위치하여, 화소정의막(150)의 화소개구(POP)에 대응하는 블랙매트릭스(BM)의 관통홀(TH)을 채우는 것으로 도시하고 있다.
칼라필터(CF)들은 표시장치에 있어서 외광반사를 줄이는 역할을 할 수 있다. 예컨대 외광이 제1칼라필터(CF1)에 도달하면 적색광에 대응하는 파장대역에 속하는 파장을 갖는 광만 제1칼라필터(CF1)를 통과하고 그 외의 파장의 광은 제1칼라필터(CF1)에 흡수된다. 따라서 표시장치에 입사한 외광 중 적색광에 대응하는 파장대역에 속하는 파장을 갖는 광만 제1칼라필터(CF1)를 통과하고 또 그 일부가 그 하부의 대향전극(315) 또는 화소전극(311)에서 반사되어, 다시 외부로 방출된다. 결국 제1화소(PX1)가 위치하는 곳에 입사하는 외광 중 일부만 외부로 반사되기에, 외광 반사를 줄이는 역할을 할 수 있다. 이러한 설명은 제2칼라필터(CF2)와 제3칼라필터(CF3)에도 적용될 수 있다.
한편, 칼라필터(CF)들은 블랙매트릭스(BM)를 덮을 수 있다. 즉, 칼라필터(CF)들은, 블랙매트릭스(BM)의 기판(100)으로부터 멀어지는 방향(+Z축 방향)의 상면을 덮는다. 블랙매트릭스(BM)는 외광이 디스플레이소자(310) 등으로 진행하는 것을 방지하지만, 블랙매트릭스(BM)의 상면에서는 외광이 일부 반사될 수 있다. 따라서 블랙매트릭스(BM)의 반사율보다 낮은 반사율을 갖는 물질로 블랙매트릭스(BM)의 상면을 덮음으로써, 반사되는 외광의 양을 더욱 줄일 수 있다. 블랙매트릭스(BM)의 반사율은 대략 4% 정도이므로, 반사율이 대략 3% 정도인 칼라필터(CF)들이 블랙매트릭스(BM)를 덮도록 할 수 있다.
블랙매트릭스(BM)는 차광성 절연물질을 포함할 수 있다. 이에 따라 블랙매트릭스(BM)는 유색의 불투명한 차광성 절연층으로서, 예컨대 검은색으로 보일 수 있다. 예컨대, 블랙매트릭스(BM)는 폴리이미드(PI)계 바인더와, 적색, 녹색 및 청색이 혼합된 피그먼트를 포함할 수 있다. 또는, 블랙매트릭스(BM)는 바인더 수지와, 락탐계 블랙 피그먼트(lactam black pigment)와 블루 피그먼트의 혼합물을 포함할 수 있다. 또는, 블랙매트릭스(BM)는 카본블랙을 포함할 수 있다.
다만, 이는 하나의 실시 예일 뿐이며, 반사방지층이 빛의 불필요한 반사를 방지하기 위하여 칼라필터(CF) 및 블랙매트릭스(BM)를 필수적으로 포함하여야 하는 것은 아니고, 칼라필터(CF) 및 블랙매트릭스(BM) 중 적어도 하나가 생략될 수도 있다.
도 1 내지 도 6b를 참조하여 설명한 표시기판(DS)은 도 8에서 설명하는 기판(100) 및 화소전극(311) 중 적어도 하나를 포함할 수 있다. 또한, 도 1 내지 도 6b를 참조하여 설명한 증착물질(M)은 도 8에서 설명하는 중간층(313)을 포함할 수 있다.
도 1 내지 도 6b를 참조하여 설명하였듯 개구부(442)의 평면 형상이 원형 형상을 포함하므로, 중간층(313)의 평면 형상도 원형 형상을 포함할 수 있다. 이와 같은 구조에서, 중간층(313)에서의 불필요한 빛의 반사를 감소시킬 수 있다.
도 4a 내지 도 6b를 참조하여 설명한 구조에서, 개구부(442)의 사각지대(RA)가 감소됨에 따라, 각각의 중간층(313)의 크기를 증가시킬 수 있다. 이와 같은 구조에서, 각각의 중간층(313)의 크기가 증가됨에 따라 각각의 화소개구(POP)의 크기를 충분히 확보할 수 있다.
도 9는 본 발명의 일 실시 예에 따른 화소를 나타낸 등가 회로도이다.
도 9를 참조하면, 화소회로(PC)는 제1 내지 제7 트랜지스터들(T1 내지 T7)을 포함하고, 트랜지스터의 종류(p-type or n-type) 및/또는 동작 조건에 따라, 제1 내지 제7 트랜지스터들(T1 내지 T7) 각각의 제1단자는 소스단자 또는 드레인단자이고, 제2단자는 제1단자와 다른 단자일 수 있다. 예를 들어, 제1단자가 소스단자인 경우 제2단자는 드레인단자일 수 있다.
화소회로(PC)는 제1스캔신호(Sn)를 전달하는 제1스캔선(SL), 제2스캔신호(Sn-1)를 전달하는 제2스캔선(SL-1), 제3스캔신호(Sn+1)를 전달하는 제3스캔선(SL+1), 발광제어신호(En)를 전달하는 발광제어선(EL) 및 데이터신호(DATA)를 전달하는 데이터선(DL), 구동전압(ELVDD)을 전달하는 구동전압선(PL), 초기화전압(Vint)을 전달하는 초기화전압선(VL)에 연결될 수 있다.
제1트랜지스터(T1)는 제2노드(N2)에 연결된 게이트단자, 제1노드(N1)에 연결된 제1단자, 제3노드(N3)에 연결된 제2단자를 포함한다. 제1트랜지스터(T1)는 구동 트랜지스터로서 역할을 하며, 제2트랜지스터(T2)의 스위칭 동작에 따라 데이터신호(DATA)를 전달받아 발광소자에 구동전류를 공급한다. 발광소자는 유기 발광 소자(OLED)일 수 있다.
제2트랜지스터(T2)(스위칭 트랜지스터)는 제1스캔선(SL)에 연결된 게이트단자, 데이터선(DL)에 연결된 제1단자, 제1노드(N1)(또는 제1트랜지스터(T1)의 제1단자)에 연결된 제2단자를 포함한다. 제2트랜지스터(T2)는 제1스캔선(SL)을 통해 전달받은 제1스캔신호(Sn)에 따라 턴온되어 데이터선(DL)으로 전달된 데이터신호(DATA)를 제1노드(N1)로 전달하는 스위칭 동작을 수행할 수 있다.
제3트랜지스터(T3)(보상 트랜지스터)는 제1스캔선(SL)에 연결된 게이트단자, 제2노드(N2)(또는 제1트랜지스터(T1)의 게이트단자)에 연결된 제1단자, 제3노드(N3)(또는 제1트랜지스터(T1)의 제2단자)에 연결된 제2단자를 포함한다. 제3트랜지스터(T3)는 제1스캔선(SL)을 통해 전달받은 제1스캔신호(Sn)에 따라 턴온되어 제1트랜지스터(T1)를 다이오드 연결시킬 수 있다. 제3트랜지스터(T3)는 둘 이상의 트랜지스터가 직렬 연결된 구조일 수 있다.
제4트랜지스터(T4)(제1초기화 트랜지스터)는 제2스캔선(SL-1)에 연결된 게이트단자, 초기화전압선(VL)에 연결된 제1단자, 제2노드(N2)에 연결된 제2단자를 포함한다. 제4트랜지스터(T4)는 제2스캔선(SL-1)을 통해 전달받은 제2스캔신호(Sn-1)에 따라 턴온되어 초기화전압(Vint)을 제1트랜지스터(T1)의 게이트단자에 전달하여 제1트랜지스터(T1)의 게이트 전압을 초기화시킬 수 있다. 제4트랜지스터(T4)는 둘 이상의 트랜지스터가 직렬 연결된 구조일 수 있다.
제5트랜지스터(T5)(제1발광제어 트랜지스터)는 발광제어선(EL)에 연결된 게이트단자, 구동전압선(PL)에 연결된 제1단자, 제1노드(N1)에 연결된 제2단자를 포함한다. 제6트랜지스터(T6)(제2발광제어 트랜지스터)는 발광제어선(EL)에 연결된 게이트단자, 제3노드(N3)에 연결된 제1단자, 유기 발광 소자(OLED)의 화소전극에 연결된 제2단자를 포함한다. 제5트랜지스터(T5) 및 제6트랜지스터(T6)가 발광제어선(EL)을 통해 전달받은 발광제어신호(En)에 따라 동시에 턴온되어 유기 발광 소자(OLED)에 전류가 흐르게 된다.
제7트랜지스터(T7)(제2초기화 트랜지스터)는 제3스캔선(SL+1)에 연결된 게이트단자, 제6트랜지스터(T6)의 제2단자 및 유기 발광 소자(OLED)의 화소전극에 연결된 제1단자, 초기화전압선(VL)에 연결된 제2단자를 포함한다. 제7트랜지스터(T7)는 제3스캔선(SL+1)을 통해 전달받은 제3스캔신호(Sn+1)에 따라 턴온되어 초기화전압(Vint)을 유기 발광 소자(OLED)의 화소전극에 전달하여 유기 발광 소자(OLED)의 화소전극의 전압을 초기화시킬 수 있다. 제7트랜지스터(T7)는 생략될 수 있다.
커패시터(Cst)는 제2노드(N2)에 연결된 제1전극 및 구동전압선(PL)에 연결된 제2전극을 포함한다.
유기 발광 소자(OLED)는 화소전극 및 화소전극을 마주하는 대향전극을 포함하고, 대향전극은 공통전압(ELVSS)을 인가받을 수 있다. 유기 발광 소자(OLED)는 제1트랜지스터(T1)로부터 구동전류를 전달받아 소정의 색으로 발광함으로써 이미지를 표시할 수 있다. 대향전극은 복수의 화소들에 공통, 즉 일체로 구비될 수 있다.
이와 같이 본 발명은 도면에 도시된 일 실시 예를 참고로 하여 설명하였으나 이는 예시적인 것에 불과하며 당해 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 이로부터 다양한 변형 및 실시 예의 변형이 가능하다는 점을 이해할 것이다. 따라서, 본 발명의 진정한 기술적 보호 범위는 첨부된 특허청구범위의 기술적 사상에 의하여 정해져야 할 것이다.
1: 표시 장치의 제조장치
10: 챔버
20: 제1지지부
30: 제2지지부
40: 마스크 조립체
50: 증착원
60: 자기력부
70: 비젼부
80: 압력조절부

Claims (30)

  1. 챔버;
    상기 챔버 내부에 배치되며, 증착물질이 통과하는 마스크 시트를 포함하는 마스크 조립체; 및
    상기 챔버 내부에 배치되며, 상기 증착물질을 공급하는 증착원;을 포함하고,
    상기 마스크 시트는,
    외관을 형성하는 바디부;
    상기 바디부에 배치되는 하나 이상의 개구부; 및
    상기 바디부에 배치되는 하나 이상의 홈부;를 포함하고,
    상기 홈부 중 적어도 하나는 상기 개구부 중 적어도 하나의 내면과 중첩되는, 표시 장치의 제조장치.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 개구부의 내면은 상기 증착원을 향하도록 경사진 경사면을 포함하는, 표시 장치의 제조장치.
  3. 제1항에 있어서,
    상기 개구부 중 적어도 하나의 평면 형상은 원형인, 표시 장치의 제조장치.
  4. 제1항에 있어서,
    상기 개구부는 복수개로 구비되고,
    상기 인접한 4개의 개구부 사이의 영역에 상기 홈부 중 적어도 하나가 배치되는, 표시 장치의 제조장치.
  5. 제4항에 있어서,
    상기 인접한 4개의 개구부의 내면은 상기 홈부 중 적어도 하나와 중첩되는, 표시 장치의 제조장치.
  6. 제1항에 있어서,
    상기 개구부는 복수개로 구비되고,
    상기 인접한 2개의 개구부 사이의 영역에 상기 홈부 중 적어도 하나가 배치되는, 표시 장치의 제조장치.
  7. 제6항에 있어서,
    상기 인접한 2개의 개구부의 내면은 상기 홈부 중 적어도 하나와 중첩되는, 표시 장치의 제조장치.
  8. 제1항에 있어서,
    상기 홈부는 복수개로 구비되고,
    상기 복수의 홈부는 상기 개구부 중 하나의 내면과 중첩되도록 배치되는, 표시 장치의 제조장치.
  9. 제8항에 있어서,
    상기 하나의 개구부의 내면과 중첩되도록 배치되는 상기 복수의 홈부 중 적어도 두개는 서로 중첩되는, 표시 장치의 제조장치.
  10. 제1항에 있어서,
    상기 홈부의 평면 형상은 상기 복수의 개구부와 대응되는 형상인, 표시 장치의 제조장치.
  11. 증착물질이 통과하는 마스크 시트;를 포함하며,
    상기 마스크 시트는,
    외관을 형성하는 바디부;
    상기 바디부에 배치되는 하나 이상의 개구부; 및
    상기 바디부에 배치되는 하나 이상의 홈부;를 포함하고,
    상기 홈부 중 적어도 하나는 상기 개구부 중 적어도 하나의 내면과 중첩되는, 마스크 조립체.
  12. 제11항에 있어서,
    상기 개구부는, 서로 인접하게 배치된 제1개구부; 제2개구부; 제3개구부; 및 제4개구부;를 포함하고,
    상기 홈부는, 제1홈부;를 포함하고,
    상기 제1홈부는 상기 제1개구부, 제2개구부, 제3개구부 및 제4개구부 사이의 영역에 배치되는, 마스크 조립체.
  13. 제12항에 있어서,
    상기 제1개구부, 제2개구부, 제3개구부 및 제4개구부 각각의 내면은 상기 제1홈부와 중첩되는, 마스크 조립체.
  14. 제11항에 있어서,
    상기 개구부는, 서로 인접하게 배치된 제1개구부; 및 제2개구부;를 포함하고,
    상기 홈부는, 제1홈부;를 포함하고,
    상기 제1홈부는 상기 제1개구부 및 제2개구부 사이의 영역에 배치되는, 마스크 조립체.
  15. 제14항에 있어서,
    상기 제1개구부 및 제2개구부 각각의 내면은 상기 제1홈부와 중첩되는, 마스크 조립체.
  16. 제11항에 있어서,
    상기 개구부는, 제1개구부;를 포함하고,
    상기 홈부는, 제1홈부; 및 제2홈부;를 포함하고,
    상기 제1홈부 및 제2홈부는 상기 제1개구부의 내면과 중첩되는, 마스크 조립체.
  17. 제16항에 있어서,
    상기 제1홈부 및 제2홈부는 서로 중첩되는, 마스크 조립체.
  18. 제11항에 있어서,
    상기 개구부의 내면은 경사진 경사면을 포함하는, 마스크 조립체.
  19. 제11항에 있어서,
    상기 개구부 중 적어도 하나의 평면 형상은 원형인, 마스크 조립체.
  20. 제11항에 있어서,
    상기 홈부의 평면 형상은 상기 복수의 개구부와 대응되는 형상인, 마스크 조립체.
  21. 챔버 내부에 표시기판과 마스크 시트를 포함하는 마스크 조립체를 배치하는 단계; 및
    상기 마스크 시트를 통과하여 상기 표시기판에 증착원으로부터 공급되는 증착물질을 증착시키는 단계;를 포함하고,
    상기 마스크 시트는,
    외관을 형성하는 바디부;
    상기 바디부에 배치되는 하나 이상의 개구부; 및
    상기 바디부에 배치되는 하나 이상의 홈부;를 포함하고,
    상기 홈부 중 적어도 하나는 상기 개구부 중 적어도 하나의 내면과 중첩되는, 표시 장치의 제조방법.
  22. 제21항에 있어서,
    상기 개구부의 내면은 상기 증착원을 향하도록 경사진 경사면을 포함하는, 표시 장치의 제조방법.
  23. 제22항에 있어서,
    상기 개구부 중 적어도 하나의 평면 형상은 원형인, 표시 장치의 제조방법.
  24. 제21항에 있어서,
    상기 개구부는 복수개로 구비되고,
    상기 인접한 4개의 개구부 사이의 영역에 상기 홈부 중 적어도 하나가 배치되는, 표시 장치의 제조방법.
  25. 제24항에 있어서,
    상기 인접한 4개의 개구부의 내면은 상기 홈부 중 적어도 하나와 중첩되는, 표시 장치의 제조방법.
  26. 제21항에 있어서,
    상기 개구부는 복수개로 구비되고,
    상기 인접한 2개의 개구부 사이의 영역에 상기 홈부 중 적어도 하나가 배치되는, 표시 장치의 제조방법.
  27. 제26항에 있어서,
    상기 인접한 2개의 개구부의 내면은 상기 홈부 중 적어도 하나와 중첩되는, 표시 장치의 제조방법.
  28. 제21항에 있어서,
    상기 홈부는 복수개로 구비되고,
    상기 복수의 홈부는 상기 개구부 중 하나의 내면과 중첩되도록 배치되는, 표시 장치의 제조방법.
  29. 제28항에 있어서,
    상기 하나의 개구부의 내면과 중첩되도록 배치되는 상기 복수의 홈부 중 적어도 두개는 서로 중첩되는, 표시 장치의 제조방법.
  30. 제21항에 있어서,
    상기 홈부의 평면 형상은 상기 복수의 개구부와 대응되는 형상인, 표시 장치의 제조방법.
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