CN218281253U - 一种管道废气清洁处理排放设备 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种管道废气清洁处理排放设备，包括设备主体，设备主体一侧外壁的中部贯穿有喷淋管，喷淋管的一端部套设有空心球，空心球的外壁开设有多个通孔，空心球的内部活动嵌设有四个圆球，设备主体另一侧外壁的中部贯穿有冲洗管，设备主体内壁的底部卡合连接有滤网，设备主体一侧外壁的底部固定连接有水槽，水槽的顶端铰接有检修门。本实用新型通过设置有一系列的结构，减少堵塞在通孔内侧的杂质，降低杂质通过循环水重新进入喷嘴的概率，减少凝结在填充层以及喷嘴外壁的杂质，从而降低喷嘴被杂质堵塞的概率，减少沉淀物与水槽底部的粘结，降低沉淀物清理的难度，从而节省清理设备内沉淀物所需要的时间。

Description

一种管道废气清洁处理排放设备

技术领域

本实用新型涉及废气排放处理技术领域，具体为一种管道废气清洁处理排放设备。

背景技术

在半导体产品加工生产的过程中，需要对半导体产品上的器件使用化学药剂进行清理等，使得化学药剂与半导体材料发生化学反应，而这些反应会产生有毒害的气体，并经过厂房的通风管道排出，若这些有毒害的废气不经过清洁和处理，容易造成环境污染，但现有废气清洁处理排放设备在使用时，通常是通过喷淋的方式将有毒害的气体与药液反应，使气体中的毒害物质发生中和反应并进行沉降，由于喷淋时需要使用到循环水，而循环水内容易混入沉降后的杂质，使得循环水进入喷嘴后容易将喷嘴上的喷孔堵塞，造成喷嘴无法喷出药液的现象，影响设备对废气的清洁处理；另外设备的水槽内由于会沉淀有毒害的物质，需要定时进行清理，并且通常是由清洁人员打开水槽的顶部，从检修口进入水槽内部将沉淀物清理出水槽，由于水槽底部的沉淀物味道较重并且粘结在水槽的底部，使得清洁人员在清理水槽内部时比较麻烦费时，不利于清洁人员的操作。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种管道废气清洁处理排放设备，以解决上述背景技术中提出的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种管道废气清洁处理排放设备，包括设备主体，所述设备主体一侧外壁的中部贯穿有喷淋管，所述喷淋管的一端部套设有空心球，所述空心球的外壁开设有多个通孔，所述空心球的内部活动嵌设有四个圆球，所述设备主体另一侧外壁的中部贯穿有冲洗管，所述设备主体内壁的底部卡合连接有滤网，所述设备主体一侧外壁的底部固定连接有水槽，所述水槽的顶端铰接有检修门；

所述水槽的内部填充有药液，所述水槽一侧壁的底部贯穿有通管，所述通管的底端贯穿有排污管，所述通管的一端部固定连接有螺筒，所述螺筒的内部螺纹连接有螺杆，所述螺杆的一端部固定连接有转轮，所述螺杆的另一端部固定连接有横杆，所述横杆的一端部卡合连接有刮板，所述横杆的中部套设有毛刷头。

优选的，所述设备主体的顶端贯穿有排气管，所述设备主体另一侧壁的底部贯穿有进气管。

优选的，所述喷淋管的另一端部安装有循环水泵，所述循环水泵的输入端卡合连接有回水管，所述回水管贯穿于水槽另一侧壁的底部。

优选的，所述设备主体内壁的顶部安装有除雾器，所述设备主体内壁的中部固定连接有填充层。

优选的，所述水槽内侧的底部开设有沉淀槽，所述通管与沉淀槽的交接处安装有阀门。

优选的，所述冲洗管的一端部套设有多个喷头，所述冲洗管的另一端安装有加压水泵。

优选的，所述通管与螺筒的交接处开设有圆孔，所述横杆通过圆孔与螺筒滑动连接。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：

1、本管道废气清洁处理排放设备，通过圆球被高压喷进空心球的药液带动，对空心球内壁进行敲击震动，减少堵塞在通孔内侧的杂质，通过滤网，使得喷淋后带有杂物的液体进行初步过滤，使得杂质不易流入水槽内进行沉淀，降低杂质通过循环水重新进入喷嘴的概率，通过冲洗管，冲洗管通入过滤后的自来水可以将喷嘴以及填充层内的杂质被快速冲洗至滤网上，减少凝结在填充层以及喷嘴外壁的杂质，从而降低喷嘴被杂质堵塞的概率。

2、本管道废气清洁处理排放设备，通过转轮和毛刷头，使得清洁人员可以先在水槽的外部对水槽内侧底部的沉淀物进行搅动，减少沉淀物与水槽底部的粘结，通过螺杆和螺筒以及刮板，使得搅起的沉淀物可以被转动的刮板推动至靠近排污管的一侧，降低沉淀物清理的难度，通过检修门，使得清洁人员可以进入水槽内部，并对水槽内初步清理后的沉淀物进行深度清理，从而节省清理设备内沉淀物所需要的时间。

附图说明

图1为本实用新型的整体结构示意图；

图2为本实用新型的毛刷头和刮板结构示意图；

图3为本实用新型的圆球和空心球结构示意图；

图4为本实用新型的螺杆和螺筒结构示意图。

图中：1、排气管；2、设备主体；3、喷淋管；4、进气管；5、水槽；6、检修门；7、回水管；8、循环水泵；9、冲洗管；10、除雾器；11、空心球；12、填充层；13、滤网；14、药液；15、沉淀槽；16、毛刷头；17、刮板；18、横杆；19、转轮；20、通管；21、通孔；22、圆球；23、排污管；24、螺杆；25、螺筒。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

在本实用新型的描述中，需要说明的是，术语“上”、“下”、“内”、“外”“前端”、“后端”、“两端”、“一端”、“另一端”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。

在本实用新型的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“设置有”、“连接”等，应做广义理解，例如“连接”，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。

如图1至图4所示，本实施例管道废气清洁处理排放设备，包括设备主体2，设备主体2一侧外壁的中部贯穿有喷淋管3，喷淋管3可以使得本设备对废气进行化学洗涤法将废气中的有害物质进行沉降，使得清洁后的气体达到排放的标准，喷淋管3的一端部套设有空心球11，空心球11相当于本设备中的喷嘴结构，空心球11的外壁开设有多个通孔21，通孔21可以使得进入空心球11内的药液14喷淋向填充层12内，空心球11的内部活动嵌设有四个圆球22，圆球22在被加压泵入空心球11内的药液14带动后可以在空心球11内对其内壁进行敲击，使得空心球11震动，从而将堵塞在空心球11外壁通孔21内的杂质震松，使其不易粘结在通孔21内壁将空心球11堵塞，设备主体2另一侧外壁的中部贯穿有冲洗管9，设备主体2内壁的底部卡合连接有滤网13，滤网13可以将清洗了废气后的废液进行初步过滤，使得废液中的杂质不易进入水槽5内进行沉淀，减少水槽5内沉淀物的生成，设备主体2一侧外壁的底部固定连接有水槽5，水槽5可以对使用后的药液14进行收集以及循环利用，水槽5的顶端铰接有检修门6，检修门6方便清洁人员进入水槽5内部；

水槽5的内部填充有药液14，水槽5一侧壁的底部贯穿有通管20，通管20可以将水槽5底部的沉淀物排出，方便清洁人员对水槽5内的沉淀物进行清理，通管20的底端贯穿有排污管23，通管20的一端部固定连接有螺筒25，螺筒25的内部螺纹连接有螺杆24，螺杆24沿着螺筒25内侧的螺纹转动，螺杆24的一端部固定连接有转轮19，转轮19可以被清洁人员手动转动，使得螺杆24在螺筒25内转动，螺杆24的另一端部固定连接有横杆18，横杆18的一端部卡合连接有刮板17，横杆18上的刮板17可以将被毛刷头16搅动的沉淀物刮向靠近排污管23的一侧，横杆18的中部套设有毛刷头16，毛刷头16可以将沉淀槽15内的沉淀物搅动，降低沉淀物清理时的难度。

具体的，设备主体2的顶端贯穿有排气管1，排气管1可以将设备清洁处理后的废气排出设备外，设备主体2另一侧壁的底部贯穿有进气管4，进气管4与厂房内的通风管道连接后，可以使得有毒害的废气进入设备内部进行处理。

进一步的，喷淋管3的另一端部安装有循环水泵8，循环水泵8可以使得药液14被循环泵入喷淋管3内，使得设备内的药液14可以重复进行喷洒，节省药液14的成本，循环水泵8的输入端卡合连接有回水管7，回水管7贯穿于水槽5另一侧壁的底部，回水管7可以将水槽5内的药液14通入循环水泵8内。

进一步的，设备主体2内壁的顶部安装有除雾器10，除雾器10可以将清洗后废气中的水雾去除，避免水雾排入空气中，设备主体2内壁的中部固定连接有填充层12，填充层12可以作为药液14与废气接触时的媒介，使得废气可以与药液14充分接触，增加对废气中有毒害物质的清洁。

进一步的，水槽5内侧的底部开设有沉淀槽15，沉淀槽15可以将排入水槽5内的杂质进行沉降，方便后续处理，通管20与沉淀槽15的交接处安装有阀门，阀门可以避免设备在运行时，药液14从排污管23流出。

进一步的，冲洗管9的一端部套设有多个喷头，冲洗管9的另一端安装有加压水泵，冲洗管9可以喷出干净的自来水，对空心球11的外壁以及填充层12进行冲洗，使得空心球11以及填充层12内粘结的杂质可以被快速冲至滤网13上，降低空心球11出现堵塞的概率。

进一步的，通管20与螺筒25的交接处开设有圆孔，横杆18通过圆孔与螺筒25滑动连接，螺杆24在螺筒25内转动可以带动横杆18转动，当螺杆24从螺筒25内转出时，横杆18将通过通孔21进入螺筒25内，由于横杆18的外径要小于螺杆24的外径，使得横杆18可以顺利在螺筒25的内部左右滑动，使得横杆18带动刮板17向通管20的一端滑动，从而降低水槽5内沉淀物清理的难度。

本实施例的使用方法为：在使用本设备前，需要将本设备上的进气管4与半导体制品厂房内的通风管道连通，使得通风管道内吸入的废气可以通过进气管4进入本设备内，接着将本设备接通外接电源，并将药液14充入水槽5内部，启动循环水泵8，使得水槽5内的药液14通回水管7进入喷淋管3内，然后进入喷淋管3端部的空心球11内，此时位于空心球11内部的圆球22将被加压的药液14冲击，使得圆球22对空心球11的内壁进行敲击，使得空心球11产生振动，将粘结在通孔21内的杂质震松，接着进入空心球11内的药液14将穿过通孔21并淋向设备主体2内壁中部的填充层12上，使得药液14浸润填充层12，在废气通过进气管4进入设备主体2内后，将在设备外置的真空泵的作用下被吸向填充层12，然后与填充层12内的药液14充分接触反应，接着反应后的药液14将流向滤网13上，此时滤网13将使用后产生的废液进行过滤，使得废液中的有害杂质被拦截在滤网13上，而废液将穿过滤网13回流至水槽5内部，同时清洁后的废气将穿过除雾器10，并从排气管1排出，在完成本设备的使用后，可以转动转轮19，带动螺杆24在螺筒25内转动，带动横杆18中部的毛刷头16和横杆18端部的刮板17转动，使得毛刷头16对沉淀槽15内的沉淀物进行搅动，使得沉淀物被搅起在沉淀槽15内，当螺杆24从螺筒25内转出后，向外拉动转轮19，使得横杆18滑入螺筒25内，此时横杆18端部的刮板17将沉淀槽15内搅起的沉淀物刮向通管20的管口，接着将冲洗管9通入干净的自来水，对空心球11的外壁以及填充层12进行清洗，此时清洗时向下流动的液体将穿过滤网13进入水槽5内，并聚集在沉淀槽15内，使得沉淀槽15内刮起的沉淀物通过通管20从排污管23内流出。

最后应说明的是：以上所述仅为本实用新型的优选实施例而已，并不用于限制本实用新型，尽管参照前述实施例对本实用新型进行了详细的说明，对于本领域的技术人员来说，其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换。凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。

Claims (7)

1.一种管道废气清洁处理排放设备，包括设备主体(2)，其特征在于：所述设备主体(2)一侧外壁的中部贯穿有喷淋管(3)，所述喷淋管(3)的一端部套设有空心球(11)，所述空心球(11)的外壁开设有多个通孔(21)，所述空心球(11)的内部活动嵌设有四个圆球(22)，所述设备主体(2)另一侧外壁的中部贯穿有冲洗管(9)，所述设备主体(2)内壁的底部卡合连接有滤网(13)，所述设备主体(2)一侧外壁的底部固定连接有水槽(5)，所述水槽(5)的顶端铰接有检修门(6)；

所述水槽(5)的内部填充有药液(14)，所述水槽(5)一侧壁的底部贯穿有通管(20)，所述通管(20)的底端贯穿有排污管(23)，所述通管(20)的一端部固定连接有螺筒(25)，所述螺筒(25)的内部螺纹连接有螺杆(24)，所述螺杆(24)的一端部固定连接有转轮(19)，所述螺杆(24)的另一端部固定连接有横杆(18)，所述横杆(18)的一端部卡合连接有刮板(17)，所述横杆(18)的中部套设有毛刷头(16)。

2.根据权利要求1所述的一种管道废气清洁处理排放设备，其特征在于：所述设备主体(2)的顶端贯穿有排气管(1)，所述设备主体(2)另一侧壁的底部贯穿有进气管(4)。

3.根据权利要求1所述的一种管道废气清洁处理排放设备，其特征在于：所述喷淋管(3)的另一端部安装有循环水泵(8)，所述循环水泵(8)的输入端卡合连接有回水管(7)，所述回水管(7)贯穿于水槽(5)另一侧壁的底部。

4.根据权利要求1所述的一种管道废气清洁处理排放设备，其特征在于：所述设备主体(2)内壁的顶部安装有除雾器(10)，所述设备主体(2)内壁的中部固定连接有填充层(12)。

5.根据权利要求1所述的一种管道废气清洁处理排放设备，其特征在于：所述水槽(5)内侧的底部开设有沉淀槽(15)，所述通管(20)与沉淀槽(15)的交接处安装有阀门。

6.根据权利要求1所述的一种管道废气清洁处理排放设备，其特征在于：所述冲洗管(9)的一端部套设有多个喷头，所述冲洗管(9)的另一端安装有加压水泵。

7.根据权利要求1所述的一种管道废气清洁处理排放设备，其特征在于：所述通管(20)与螺筒(25)的交接处开设有圆孔，所述横杆(18)通过圆孔与螺筒(25)滑动连接。

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