CN218262720U - 一种磁场角度可调节的旋转阴极 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种磁场角度可调节的旋转阴极，包括位于两侧的第一固定座和第二固定座，所述第一固定座的内侧连接有第一端盖，第二固定座的内侧连接有第二端盖，所述第一端盖和第二端盖之间连接有靶管组件，其特征在于：所述第二端盖内侧轴承连接角度调节机构，所述角度调节机构与靶管组件的一端连接，所述靶管组件包括空心轴，空心轴位于第一端盖和第二端盖之间，且与第一端盖和第二端盖均为轴承连接，本实用新型解决了现有旋转阴极中磁场角度不能够转动的问题，通过花键将过渡轴与空心轴连接，且空心轴上固定有磁铁组，通过转动过渡轴就能够使磁铁组发生角度的变化，使磁场能够满足不同基材的生产工艺需求。

Description

一种磁场角度可调节的旋转阴极

技术领域

本实用新型涉及磁控溅射技术领域，具体为一种磁场角度可调节的旋转阴极。

背景技术

磁控溅射镀膜是在低气压下电子对阴极靶材进行高速撞击，与靶材发生反应产生金属物质溅射到基面上，对基面进行镀膜的生产过程，在磁控溅射镀膜过程中，因为磁铁的磁场分布不均匀，会导致金属物质的溅射路径与工件形成夹角，从而影响镀膜的均匀性；

而现有的旋转阴极在镀膜过程中，一般都只能够使靶管均匀旋转从而保证镀膜的均匀性，并不能改变磁铁的朝向来改变磁场的分布，而不同的基材，放置的位置不同就需要对磁场进行调整，从而使金属物质的溅射角度尽可能的与工件的法线一致，因此需要对磁场的角度进行调节来满足生产工艺需求。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种磁场角度可调节的旋转阴极，通过转动端板使空心轴转动，进一步改变磁铁的朝向，改变磁场的方向，使磁场能够满足不同基材的生产工艺需求，从而保证镀膜的均匀性。

本实用新型提供如下技术方案：一种磁场角度可调节的旋转阴极，包括位于两侧的第一固定座和第二固定座，所述第一固定座的内侧连接有第一端盖，第二固定座的内侧连接有第二端盖，所述第一端盖和第二端盖之间连接有靶管组件，所述第二固定座的内壁上固定有轴套，所述轴套套接在第二端盖的外侧，轴套与第二端盖之间轴承连接，其特征在于：所述轴套的外侧连接有角度调节机构，所述角度调节机构与靶管组件的一端连接；

所述靶管组件包括空心轴，空心轴位于第一端盖和第二端盖之间，且与第一端盖和第二端盖均为轴承连接，所述空心轴上还固定有磁铁固定板，所述磁铁固定板上固定有磁铁组，所述空心轴的外侧套设有靶管，靶管固定在第一端盖和第二端盖之间；

所述角度调节机构包括连接板，所述连接板固定在轴套的端面上，所述连接板的外表面上连接有端板，所述端板内侧连接有过渡轴，过渡轴位于空心轴的一端，且位于第二端盖内侧，过渡轴与第二端盖轴承连接，过渡轴穿过连接板，且与连接板能够发生相对转动，所述过渡轴的末端成型有花键用于与空心轴连接；

所述端板上还开设有弧形腰孔，所述连接板上在弧形腰孔的对应位置上开设有连接孔，连接孔内螺纹连接有螺钉。

根据上述技术方案，所述端板的背面上开设有腰型槽，过渡轴的端部成型有腰型轴头，所述腰型轴头嵌合在腰型槽内，所述端板的表面中心开设有锥形孔，腰型轴头与锥形孔通过连接扣连接。

根据上述技术方案，所述端板表面的两端上刻有刻度，所述连接板上开设有标尺线，标尺线位于刻度的外侧用于对标调节旋转角度。

根据上述技术方案，所述弧形腰孔的数量为两个，且对称设置，所述弧形腰孔与刻度在同一圆心上，并开设在刻度的内侧，所述刻度位于连接板的边缘，所述标尺线穿过弧形腰孔的中心在刻度的两端呈现。

根据上述技术方案，所述靶管组件和第一端盖以及和第二端盖的交界处上均套接有至少两个环形夹板，环形夹板连接构成环形套，环形夹板的内壁上开设有环形的凹槽，所述凹槽的一内壁为斜面，所述第一端盖和第二端盖的外缘上均成型有凸起，所述凸起的外侧端面为倾斜面用于与凹槽内壁的斜面贴合，所述靶管组件的两端上开设有嵌槽，嵌槽内嵌入有钢圈，钢圈位于凹槽内对环形夹板进行限位。

根据上述技术方案，所述环形夹板外表面的两端开设有安装槽，所述安装槽内开设有圆孔，所述圆孔内穿过紧固件将环形夹板连接。

与现有技术相比，本实用新型所达到的有益效果是：

（1）通过花键将过渡轴与空心轴连接，且过渡轴与端板连接，端板转动能够带动过渡轴转动，空心轴上固定有磁铁组，通过转动过渡轴就能够使磁铁组发生角度的变化，使磁场能够满足不同基材的生产工艺需求；

（2）在连接板上开设标尺线，在端板上刻有刻度，利用标尺线与刻度的对标来控制磁铁组的旋转角度，使角度控制更加直观和便捷。

附图说明

附图用来提供对本实用新型的进一步理解，并且构成说明书的一部分，与本实用新型的实施例一起用于解释本实用新型，并不构成对本实用新型的限制。在附图中：

图1是本实用新型的主视图；

图2是本实用新型的侧视图；

图3是本实用新型的图2中B-B的剖面图；

图4是本实用新型的图2中A-A的剖面图

图5是本实用新型的角度调节机构的结构示意图；

图6是本实用新型的角度调节机构的爆炸结构的正面示意图；

图7是本实用新型的角度调节机构的爆炸结构的背面示意图；

图8是本实用新型的图3中C区域的局部放大示意图；

图9是本实用新型的环形夹板的结构示意图；

图中：1、第一固定座；2、第一端盖；21、凸起；3、靶管组件；31、空心轴；32、磁铁固定板；33、磁铁组；34、靶管；4、第二端盖；5、第二固定座；6、环形夹板；61、凹槽；62、安装槽；63、圆孔；64、钢圈；7、角度调节机构；71、端板；711、弧形腰孔；712、锥形孔；713、腰型槽；714、刻度；72、连接板；721、连接孔；722、通孔；723、标尺线；73、过渡轴；731、花键；732、腰型轴头；74、连接扣；8、轴套。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

实施例

请参阅图1至图5，本实用新型提供技术方案：一种磁场角度可调节的旋转阴极，包括位于两侧的第一固定座1和第二固定座5，第一固定座1的内侧连接有第一端盖2，第二固定座5的内侧连接有第二端盖4，第一端盖2和第二端盖4之间连接有靶管组件3，第二固定座5的内壁上固定有轴套8，轴套8套接在第二端盖4的外侧，轴套8与第二端盖4之间轴承连接，其特征在于：轴套8的外侧连接有角度调节机构7，角度调节机构7与靶管组件3的一端连接；

靶管组件3包括空心轴31，空心轴31位于第一端盖2和第二端盖4之间，且与第一端盖2和第二端盖4均为轴承连接，空心轴31上还固定有磁铁固定板32，磁铁固定板32上固定有磁铁组33，空心轴31的外侧套设有靶管34，靶管34固定在第一端盖2和第二端盖4之间，空心轴31的转动能够带动磁铁固定板32转动，进一步使磁铁组33发生转动，改变磁场的角度，满足不同生产工艺的需求；

角度调节机构7包括连接板72，连接板72固定在轴套8的端面上，连接板72的外表面上连接有端板71，端板71内侧连接有过渡轴73，过渡轴73位于空心轴31的一端，且位于第二端盖4内侧，过渡轴73与第二端盖4轴承连接，过渡轴73穿过连接板72，且与连接板72能够发生相对转动，过渡轴73的末端成型有花键731用于与空心轴31连接，端板71与连接板72之间能够发生相对转动，这样端板71的转动能够使过渡轴73转动，进一步带动花键731转动使空心轴31发生角度变化，从而改变磁场的角度；

端板71上还开设有弧形腰孔711，连接板72上在弧形腰孔711的对应位置上开设有连接孔721，连接孔721内螺纹连接有螺钉，螺钉穿过弧形腰孔711，端板71与连接板72的相对转动，能够使螺钉对弧形腰孔711进行限位，同时旋紧螺钉能够将端板71固定在连接板72上，将转动角度后的过渡轴73进行固定。

如图7所示，端板71的背面上开设有腰型槽713，过渡轴73的端部成型有腰型轴头732，腰型轴头732嵌合在腰型槽713内，使过渡轴73与端板71能够一起转动，端板71的表面中心开设有锥形孔712，腰型轴头732与锥形孔712通过连接扣74连接，通过腰型轴头732与腰型槽713的嵌合以及连接扣74的连接将端板71与过渡轴73完全固定在一起。

端板71表面的两端上刻有刻度714，连接板72上开设有标尺线723，标尺线723位于刻度714的外侧用于对标调节旋转角度，标尺线723方便对刻度714的转动角度进行对标，从而确定磁场的转动角度，能够随时调整磁场的角度。

如图5所示，弧形腰孔711的数量为两个，且对称设置，弧形腰孔711与刻度714在同一圆心上，刻度714位于连接板72的边缘，标尺线723穿过弧形腰孔711的中心在刻度714的两端呈现，标尺线723穿过两个弧形腰孔711且在刻度714的外侧显示，这样能够更加准确的对转角角度进行测量，通过两侧刻度714的显示，从而对测量出的旋转角度进行核验，防止看错。

如图8所示，靶管34组件3和第一端盖2以及和第二端盖4的交界处上均套接有至少两个环形夹板6，环形夹板6连接构成环形套，环形夹板6的内壁上开设有环形的凹槽61，凹槽61的一内壁为斜面，第一端盖2和第二端盖4的外缘上均成型有凸起21，凸起21的外侧端面为倾斜面用于与凹槽61内壁的斜面贴合，靶管34组件3的两端上开设有嵌槽，嵌槽内嵌入有钢圈64，钢圈64位于凹槽61内对环形夹板6进行限位，环形夹板6向下扣合，在斜面上产生轴向上的推力，使环形夹板6轴向移动，同时钢圈64对环形夹板6进行限位，当环形夹板6受到钢圈64的轴向限位时，环形夹板6刚好将靶管34固定在第一端盖2与第二端盖4之间。

如图9所示，环形夹板6外表面的两端开设有安装槽62，安装槽62内开设有圆孔63，圆孔63内穿过紧固件将环形夹板6连接，利用螺栓将环形夹板6的安装槽62依次连接，从而完成环形夹板6对靶管34的安装，将靶管34固定在第一端盖2和第二端盖4之间。

最后应说明的是：以上所述仅为本实用新型的优选实施例而已，并不用于限制本实用新型，尽管参照前述实施例对本实用新型进行了详细的说明，对于本领域的技术人员来说，其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换。凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。

Claims (6)

1.一种磁场角度可调节的旋转阴极，包括位于两侧的第一固定座和第二固定座，所述第一固定座的内侧连接有第一端盖，第二固定座的内侧连接有第二端盖，所述第一端盖和第二端盖之间连接有靶管组件，所述第二固定座的内壁上固定有轴套，所述轴套套接在第二端盖的外侧，轴套与第二端盖之间轴承连接，其特征在于：所述轴套的外侧连接有角度调节机构，所述角度调节机构与靶管组件的一端连接；

所述靶管组件包括空心轴，空心轴位于第一端盖和第二端盖之间，且与第一端盖和第二端盖均为轴承连接，所述空心轴上还固定有磁铁固定板，所述磁铁固定板上固定有磁铁组，所述空心轴的外侧套设有靶管，靶管固定在第一端盖和第二端盖之间；

所述角度调节机构包括连接板，所述连接板固定在轴套的端面上，所述连接板的外表面上连接有端板，所述端板内侧连接有过渡轴，过渡轴位于空心轴的一端，且位于第二端盖内侧，过渡轴与第二端盖轴承连接，过渡轴穿过连接板，且与连接板能够发生相对转动，所述过渡轴的末端成型有花键用于与空心轴连接；

所述端板上还开设有弧形腰孔，所述连接板上在弧形腰孔的对应位置上开设有连接孔，连接孔内螺纹连接有螺钉。

2.根据权利要求1所述的一种磁场角度可调节的旋转阴极，其特征在于：所述端板的背面上开设有腰型槽，过渡轴的端部成型有腰型轴头，所述腰型轴头嵌合在腰型槽内，所述端板的表面中心开设有锥形孔，腰型轴头与锥形孔通过连接扣连接。

3.根据权利要求2所述的一种磁场角度可调节的旋转阴极，其特征在于：所述端板表面的两端上刻有刻度，所述连接板上开设有标尺线，标尺线位于刻度的外侧用于对标调节旋转角度。

4.根据权利要求3所述的一种磁场角度可调节的旋转阴极，其特征在于：所述弧形腰孔的数量为两个，且对称设置，所述弧形腰孔与刻度在同一圆心上，所述刻度位于连接板的边缘，所述标尺线穿过弧形腰孔的中心在刻度的两端呈现。

5.根据权利要求1所述的一种磁场角度可调节的旋转阴极，其特征在于：所述靶管组件和第一端盖以及和第二端盖的交界处上均套接有至少两个环形夹板，环形夹板连接构成环形套，环形夹板的内壁上开设有环形的凹槽，所述凹槽的一内壁为斜面，所述第一端盖和第二端盖的外缘上均成型有凸起，所述凸起的外侧端面为倾斜面用于与凹槽内壁的斜面贴合，所述靶管组件的两端上开设有嵌槽，嵌槽内嵌入有钢圈，钢圈位于凹槽内对环形夹板进行限位。

6.根据权利要求5所述的一种磁场角度可调节的旋转阴极，其特征在于：所述环形夹板外表面的两端开设有安装槽，所述安装槽内开设有圆孔，所述圆孔内穿过紧固件将环形夹板连接。

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