CN218561586U - 一种旋转阴极从动端连接结构 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开一种旋转阴极从动端连接结构，属于旋转阴极安装结构技术领域。该从动端连接结构包括从动端支撑座、球头组件和转动轴承；所述球头组件包括球头座以及装配于所述球头座内的球头销；所述旋转阴极的从动端与所述球头销连接，所述球头座与所述从动端支撑座之间通过所述转动轴承转动连接。该旋转阴极从动端连接结构将旋转阴极的从动端与从动端支撑座之间通过球头组件连接，这样在安装时即使两端存在安装误差旋转阴极的从动端连接的球头销也能够在球头座中转动，从而调整同轴度或补偿安装误差，实现旋转阴极的偏心安装，能够大大提高旋转阴极的安装难度。
Description
技术领域
本实用新型涉及旋转阴极安装结构技术领域，特别涉及一种旋转阴极从动端连接结构。
背景技术
旋转磁控溅射阴极（简称旋转阴极）是目前大面积真空镀膜的重要设备之一。由于旋转磁控溅射阴极在工作时需要转动，且传统的旋转磁控溅射阴极如图1所示，从动端也是通过轴承刚性转动连接的，在转动时因为两端的同轴度以及主动端与从动端之间存在安装误差，会产生一定的震动，长时间的震动会导致密封性降低，减少旋转磁控溅射阴极的使用寿命，且震动也使得阴极的位置产生偏移，造成其在工作过程中磁控溅射发生溅射的靶材厚度过薄或者过厚。
实用新型内容
本实用新型的目的在于提供一种旋转阴极从动端连接结构，以解决传统的旋转阴极因主动端和从动端都是轴承刚性转动连接的，在转动过程中会产生震动影响旋转阴极使用寿命或溅射的靶材厚度过薄或者过厚的问题。
为解决上述技术问题，本实用新型提供了一种旋转阴极从动端连接结构，用于活动支撑旋转阴极的从动端；包括从动端支撑座、球头组件和转动轴承；
所述球头组件包括球头座以及装配于所述球头座内的球头销；
所述旋转阴极的从动端与所述球头销连接，所述球头座与所述从动端支撑座之间通过所述转动轴承转动连接。
优选的，所述球头座的侧壁与底部形成半球形的第一安装腔，所述第一安装腔与所述球头销间隙配合。
优选的，所述球头座的侧壁经反向折弯后延伸，形成环形的第二安装腔，所述转动轴承安装于所述第二安装腔，使得所述球头座与所述从动端支撑座转动连接。
优选的，所述球头座两头开口，所述旋转阴极的从动端从所述球头座的一头沿所述球头销的中心孔穿过，并在球头座的另一头通过螺栓将所述球头销与所述旋转阴极的从动端固定连接。
优选的，所述从动端支撑座上垂直设置有连接套筒，所述连接套筒插入所述球头座环形的第二安装腔内，且使得转动轴承的轴承外圈与所述球头座过盈配合，轴承内圈与所述接套筒过盈配合。
优选的，所述转动轴承为调心滚子轴承。
与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：
传统的旋转阴极主动端与从动端都是通过轴承刚性转动连接的，在转动时因为两端的同轴度以及主动端与从动端之间存在安装误差，会产生一定的震动和扭矩增大，长时间的震动会导致密封性降低，减少旋转磁控溅射阴极的使用寿命，且震动也使得阴极的位置产生偏移，造成其在工作过程中磁控溅射发生溅射的靶材厚度过薄或者过厚；该旋转阴极从动端连接结构将旋转阴极的从动端与从动端支撑座之间通过球头组件连接，这样在安装时即使两端存在安装误差旋转阴极的从动端连接的球头销也能够在球头座中转动，从而调整同轴度或补偿安装误差，实现旋转阴极的偏心安装，能够大大提高旋转阴极的安装难度。
附图说明
图1是传统的旋转磁控溅射阴极的结构示意图；
图2是本实用新型提供的一种旋转阴极从动端连接结构的结构示意图；
图3是本实用新型提供的一种旋转阴极从动端连接结构球头座的结构示意图；
图4是本实用新型提供的一种旋转阴极从动端连接结构球头座与球头销的装配示意图；
图5是本实用新型提供的一种旋转阴极从动端连接结构连接套筒与球头座的连接示意图。
图中：1、从动端支撑座；2、球头组件；3、转动轴承；4、连接套筒；10、旋转阴极；201、球头座；202、球头销；2011、第一安装腔；2012、第二安装腔。
具体实施方式
以下结合附图和具体实施例对本实用新型作出的进一步详细说明。根据下面说明和权利要求书，本实用新型的优点和特征将更清楚。需说明的是，附图均采用非常简化的形式且均使用非精准的比例，仅用以方便、明晰地辅助说明本实用新型实施例的目的。
在本实用新型的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、 “底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。此外，术语“第一”、“第二”等仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”等的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本实用新型的描述中，除非另有说明，“多个”的含义是两个或两个以上。
在本实用新型的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以通过具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。
实施例
本实用新型提供了一种旋转阴极从动端连接结构，请参阅图2，用于活动支撑旋转阴极10的从动端；包括从动端支撑座1、球头组件2和转动轴承3；所述球头组件2包括球头座201以及装配于所述球头座201内的球头销202；所述旋转阴极10的从动端与所述球头销202连接，所述球头座201与所述从动端支撑座1之间通过所述转动轴承3转动连接。由于旋转阴极10的主动端连接有驱动机构，为保证旋转精度，旋转阴极10的主动端与驱动机构的中心轴线重合，但在旋转阴极10两端的同轴度以及主动端与从动端之间存在安装误差，为此需要将旋转阴极10的从动端与从动端支撑座1之间通过球头组件2连接，这样在安装时即使两端存在安装误差旋转阴极10的从动端连接的球头销202也能够在球头座201中转动，从而调整同轴度或补偿安装误差，实现旋转阴极10的偏心安装，能够大大提高旋转阴极10的安装难度。
在本实施例中，请参阅图3和图4，所述球头座201的侧壁与底部形成半球形的第一安装腔2011，所述第一安装腔2011与所述球头销202间隙配合，所述球头座201的侧壁经反向折弯后延伸，形成环形的第二安装腔2012，所述转动轴承3安装于所述第二安装腔2012，使得所述球头座201与所述从动端支撑座1转动连接。
进一步的，所述球头座201两头开口，所述旋转阴极10的从动端从所述球头座201的一头沿所述球头销202的中心孔穿过，并在球头座201的另一头通过螺栓将所述球头销202与所述旋转阴极10的从动端固定连接。
在本实施例中，请参阅图1和图5，所述从动端支撑座1上垂直设置有连接套筒4，所述连接套筒4插入所述球头座201环形的第二安装腔2012内，且使得转动轴承3的轴承外圈与所述球头座201过盈配合，轴承内圈与所述接套筒4过盈配合。其中，所述转动轴承3为调心滚子轴承。调心滚子轴承具有双列滚子，外圈有1条共用球面滚道，内圈有2条滚道并相对轴承轴线倾斜成一个角度。这种巧妙的构造使它具有自动调心性能，因而不易受轴与轴承箱座角度对误差或轴弯曲的影响，适用于安装误差或轴挠曲而引起角度误差之场合。该轴承除能承受径向负荷外，还能承受双向作用的轴向负荷。
上述描述仅是对本实用新型较佳实施例的描述，并非对本实用新型范围的任何限定，本实用新型领域的普通技术人员根据上述揭示内容做的任何变更、修饰，均属于权利要求书的保护范围。
Claims (6)
1.一种旋转阴极从动端连接结构，用于活动支撑旋转阴极（10）的从动端；其特征在于，包括从动端支撑座（1）、球头组件（2）和转动轴承（3）；
所述球头组件（2）包括球头座（201）以及装配于所述球头座（201）内的球头销（202）；
所述旋转阴极（10）的从动端与所述球头销（202）连接，所述球头座（201）与所述从动端支撑座（1）之间通过所述转动轴承（3）转动连接。
2.如权利要求1所述的一种旋转阴极从动端连接结构，其特征在于，所述球头座（201）的侧壁与底部形成半球形的第一安装腔（2011），所述第一安装腔（2011）与所述球头销（202）间隙配合。
3.如权利要求2所述的一种旋转阴极从动端连接结构，其特征在于，所述球头座（201）的侧壁经反向折弯后延伸，形成环形的第二安装腔（2012），所述转动轴承（3）安装于所述第二安装腔（2012），使得所述球头座（201）与所述从动端支撑座（1）转动连接。
4.如权利要求3所述的一种旋转阴极从动端连接结构，其特征在于，所述球头座（201）两头开口，所述旋转阴极（10）的从动端从所述球头座（201）的一头沿所述球头销（202）的中心孔穿过，并在球头座（201）的另一头通过螺栓将所述球头销（202）与所述旋转阴极（10）的从动端固定连接。
5.如权利要求3所述的一种旋转阴极从动端连接结构，其特征在于，所述从动端支撑座（1）上垂直设置有连接套筒（4），所述连接套筒（4）插入所述球头座（201）环形的第二安装腔（2012）内，且使得转动轴承（3）的轴承外圈与所述球头座（201）过盈配合，轴承内圈与所述接套筒（4）过盈配合。
6.如权利要求1所述的一种旋转阴极从动端连接结构，其特征在于，所述转动轴承（3）为调心滚子轴承。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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| CN202222739180.8U CN218561586U (zh) | 2022-10-18 | 2022-10-18 | 一种旋转阴极从动端连接结构 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN202222739180.8U CN218561586U (zh) | 2022-10-18 | 2022-10-18 | 一种旋转阴极从动端连接结构 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN218561586U true CN218561586U (zh) | 2023-03-03 |
Family
ID=85318207
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN202222739180.8U Active CN218561586U (zh) | 2022-10-18 | 2022-10-18 | 一种旋转阴极从动端连接结构 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN218561586U (zh) |
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2022
- 2022-10-18 CN CN202222739180.8U patent/CN218561586U/zh active Active
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