CN218969347U - 一种靶管快速装夹的旋转阴极 - Google Patents
一种靶管快速装夹的旋转阴极 Download PDFInfo
- Publication number
- CN218969347U CN218969347U CN202222550417.8U CN202222550417U CN218969347U CN 218969347 U CN218969347 U CN 218969347U CN 202222550417 U CN202222550417 U CN 202222550417U CN 218969347 U CN218969347 U CN 218969347U
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- target tube
- end cover
- annular
- tube assembly
- boss
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
Images
Classifications
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
- Y02E—REDUCTION OF GREENHOUSE GAS [GHG] EMISSIONS, RELATED TO ENERGY GENERATION, TRANSMISSION OR DISTRIBUTION
- Y02E30/00—Energy generation of nuclear origin
- Y02E30/10—Nuclear fusion reactors
Landscapes
- Clamps And Clips (AREA)
Abstract
本实用新型公开了一种靶管快速装夹的旋转阴极，包括位于两侧的第一固定座和第二固定座，所述第一固定座的内侧连接有第一端盖，第二固定座的内侧连接有第二端盖，所述第一端盖和第二端盖之间连接有靶管组件，所述靶管组件和第一端盖以及和第二端盖的交界处上均套接有装夹组件，所述装夹组件将靶管组件固定在第一端盖和第二端盖之间，本实用新型将多块环形夹板组成的圆环分别扣合在两端的端盖上，夹板向下压紧的同时夹板的斜面会产生轴向的推力，使端盖向内侧移动将靶管夹紧在端盖之间，方便对靶管进行安装和固定，对现有的旋转阴极中的靶管安装结构进行了改善，解决了安装困难、操作不方便的问题。
Description
技术领域
本实用新型涉及磁控溅射技术领域，具体为一种靶管快速装夹的旋转阴极。
背景技术
磁控溅射旋转阴极是目前大面积真空镀膜的重要设备之一，磁控溅射的原理：电子在电场的作用下加速飞向基片的过程中与氩原子发生碰撞，电离出大量的氩离子和电子，电子飞向基片。氩离子在电场的作用下加速轰击靶材，溅射出大量的靶材原子，呈中性的靶原子（或分子）沉积在基片上成膜。
传统的旋转阴极的靶管在安装时都是通过法兰和螺钉将其固定，法兰式的安装结构安装效率慢，且靶管的长度有1-2米，这样靶管安装时需要将靶管穿过法兰，操作困难。
实用新型内容
本实用新型的目的在于提供一种靶管快速装夹的旋转阴极，利用装夹组件，装夹组件为组装式，能够直接扣合在靶管的端口部，扣合的同时将第一端盖和第二端盖向内侧推动，将靶管固定在第一端盖和第二端盖之间，安装方便快速。
本实用新型提供如下技术方案：一种靶管快速装夹的旋转阴极，包括位于两侧的第一固定座和第二固定座，所述第一固定座的内侧连接有第一端盖，第二固定座的内侧连接有第二端盖，所述第一端盖和第二端盖之间连接有靶管组件，其特征在于：所述靶管组件和第一端盖以及和第二端盖的交界处上均套接有装夹组件，所述装夹组件将靶管组件固定在第一端盖和第二端盖之间，所述装夹组件包括至少两个的环形夹板，环形夹板连接构成环形套将靶管组件的端部包裹，所述环形夹板的内壁上开设有环形的凹槽，所述凹槽的一内壁为斜面，所述第一端盖和第二端盖的外缘上均成型有凸起，所述凸起的外侧端面为倾斜面用于与凹槽内壁的斜面贴合，凸起的内侧端面为竖直面用于与靶管组件的端面贴合，所述靶管组件的两端上套接有限位环，所述限位环位于凹槽内对环形夹板进行限位。
根据上述技术方案，所述环形夹板的横截面上在凹槽的两端成型有第一凸台和第二凸台，所述第二凸台为带斜面的凸台，所述第二凸台的高度大于第一凸台的高度，所述第一凸台与靶管组件的外壁贴合。
根据上述技术方案，所述环形夹板为半圆形，环形夹板数量为两个。
根据上述技术方案，所述限位环为环形凸台，限位环与靶管组件为一体成型。
根据上述技术方案，所述限位环为钢圈，靶管组件的两端开设有嵌槽，钢圈嵌在嵌槽内
根据上述技术方案，所述环形夹板外表面的两端开设有紧固件安装槽，所述紧固件安装槽内开设有连接孔，所述连接孔内穿过紧固件将环形夹板连接。
根据上述技术方案，所述靶管组件包括空心轴，所述空心轴的上端固定有磁极固定板，所述磁极固定板上固定有磁极，所述空心轴和磁极的外侧套接有靶管，靶管固定在第一端盖和第二端盖之间。
与现有技术相比，本实用新型所达到的有益效果是：
（1）通过装夹组件内的环形夹板分别扣合在第一端盖和第二端盖上，夹板向下压紧的同时环形夹板内侧的斜面上会产生轴向的推力，使第一端盖和第二端盖向内侧移动将靶管夹紧在第一端盖和第二端盖之间，只需向下压紧环形夹板就能固定靶管，安装完成就能够将靶管固定；
（2）装夹组件由多块环形夹板连接构成，这样环形夹板只需直接扣合在靶管组件的端部，再用紧固件将环形夹板连接，就能将环形夹板固定在端盖上，而法兰式的需要将靶管穿过法兰，靶管长度长，操作困难，相对与法兰式的安装结构，该结构安装快速方便。
附图说明
附图用来提供对本实用新型的进一步理解，并且构成说明书的一部分，与本实用新型的实施例一起用于解释本实用新型，并不构成对本实用新型的限制。在附图中：
图1是本实用新型的夹装组件安装结构示意图；
图2是本实用新型的剖面结构示意图；
图3是本实用新型的图2中A区域的局部放大示意图；
图4是本实用新型的夹板结构示意图；
图中：1、第一固定座；2、第一端盖；21、凸起；3、靶管组件；31、空心轴；32、磁极固定板；33、磁极；34、靶管；4、第二端盖；5、第二固定座； 6、装夹组件；61、环形夹板；611、凹槽；612、第一凸台；613、第二凸台；614、紧固件安装槽；615、连接孔；62、限位环。
具体实施方式
下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
实施例
请参阅图1至3，本实用新型提供技术方案：一种靶管快速装夹的旋转阴极，包括位于两侧的第一固定座1和第二固定座5，第一固定座1的内侧连接有第一端盖2，第二固定座5的内侧连接有第二端盖4，第一端盖2和第二端盖4之间连接有靶管组件3，其特征在于：靶管组件3和第一端盖2以及和第二端盖4的交界处上均套接有装夹组件6，装夹组件6将靶管组件3固定在第一端盖2和第二端盖4之间，装夹组件6包括至少两个的环形夹板61，环形夹板61连接构成环形套将靶管组件3的端部包裹，环形夹板61的内壁上开设有环形的凹槽611，凹槽611的一内壁为斜面，第一端盖2和第二端盖4的外缘上均成型有凸起21，凸起21的外侧端面为倾斜面用于与凹槽611内壁的斜面贴合，斜面贴合后环形夹板61向下压紧会使斜面上产生轴向的推力，将第一端盖2和第二端盖4向内侧移动将靶管组件3锁紧，凸起21的内侧端面为竖直面用于与靶管组件3的端面贴合，靶管组件3的两端上套接有限位环62，限位环62位于凹槽611内对环形夹板61进行限位，使环形夹板61下压的同时在轴向方向移动，当环形夹板61被限位环62抵住时，环形夹板61刚好将靶管组件3固定。
如图3所示，环形夹板61的横截面上在凹槽611的两端成型有第一凸台612和第二凸台613，第二凸台613为带斜面的凸台，第二凸台613的高度大于第一凸台612的高度，第一凸台612与靶管组件3的外壁贴合，第一凸台612会被限位环62抵住，从而将环形夹板61固定，同时第一凸台612会对环形夹板61在靶管组件3上的滑动进行导向。
环形夹板61为半圆形，环形夹板61数量为两个，环形夹板61的数量由环形夹板61的圆弧角度决定，多个环形夹板61组成圆环将靶管组件3的两端套接，组装式的环形夹板61，方便将环形夹板61固定在第一端盖2或第二端盖4上。
限位环62为环形凸台，限位环62与靶管组件3为一体成型，环形凸台通过机床加工得到，加工方便，生产成本低。
如图4所示，环形夹板61外表面的两端开设有紧固件安装槽614，紧固件安装槽614内开设有连接孔615，连接孔615内穿过紧固件将环形夹板61连接。
如图2所示，靶管组件3包括空心轴31，空心轴31的上端固定有磁极33固定板32，磁极33固定板32上固定有磁极33，空心轴31和磁极33的外侧套接有靶管34，靶管34固定在第一端盖2和第二端盖4之间，空心轴31与第一端盖2和第二端盖4均为轴承连接，这样空心轴31与靶管34能够发生相对运动，磁极33固定在空心轴31上，空心轴31的转动能够控制磁场的朝向满足生产需要。
实施例二
在本实施例中，其他结构与实施例一相同，不同点在于，限位环62为钢圈，靶管组件3的两端开设有嵌槽，钢圈嵌在嵌槽内，钢圈带有弹性，当环形夹板61在靶管组件3上进行安装时，带弹性的钢圈会对环形夹板61进行缓冲，减少环形夹板61对靶管组件3的冲击，延长靶管34的使用寿命。
最后应说明的是：以上所述仅为本实用新型的优选实施例而已，并不用于限制本实用新型，尽管参照前述实施例对本实用新型进行了详细的说明，对于本领域的技术人员来说，其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换。凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。
Claims (7)
1.一种靶管快速装夹的旋转阴极，包括位于两侧的第一固定座和第二固定座，所述第一固定座的内侧连接有第一端盖，第二固定座的内侧连接有第二端盖，所述第一端盖和第二端盖之间连接有靶管组件，其特征在于：所述靶管组件和第一端盖以及和第二端盖的交界处上均套接有装夹组件，所述装夹组件将靶管组件固定在第一端盖和第二端盖之间，所述装夹组件包括至少两个的环形夹板，环形夹板连接构成环形套将靶管组件的端部包裹，所述环形夹板的内壁上开设有环形的凹槽，所述凹槽的一内壁为斜面，所述第一端盖和第二端盖的外缘上均成型有凸起，所述凸起的外侧端面为倾斜面用于与凹槽内壁的斜面贴合，凸起的内侧端面为竖直面用于与靶管组件的端面贴合，所述靶管组件的两端上套接有限位环，所述限位环位于凹槽内对环形夹板进行限位。
2.根据权利要求1所述的一种靶管快速装夹的旋转阴极，其特征在于：所述环形夹板的横截面上在凹槽的两端成型有第一凸台和第二凸台，所述第二凸台为带斜面的凸台，所述第二凸台的高度大于第一凸台的高度，所述第一凸台与靶管组件的外壁贴合。
3.根据权利要求1所述的一种靶管快速装夹的旋转阴极，其特征在于：所述环形夹板为半圆形，环形夹板数量为两个。
4.根据权利要求1所述的一种靶管快速装夹的旋转阴极，其特征在于：所述限位环为环形凸台，限位环与靶管组件为一体成型。
5.根据权利要求1所述的一种靶管快速装夹的旋转阴极，其特征在于：所述限位环为钢圈，靶管组件的两端开设有嵌槽，钢圈嵌在嵌槽内。
6.根据权利要求1所述的一种靶管快速装夹的旋转阴极，其特征在于：所述环形夹板外表面的两端开设有紧固件安装槽，所述紧固件安装槽内开设有连接孔，所述连接孔内穿过紧固件将环形夹板连接。
7.根据权利要求1所述的一种靶管快速装夹的旋转阴极，其特征在于：所述靶管组件包括空心轴，所述空心轴的上端固定有磁极固定板，所述磁极固定板上固定有磁极，所述空心轴和磁极的外侧套接有靶管，靶管固定在第一端盖和第二端盖之间。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN202222550417.8U CN218969347U (zh) | 2022-09-26 | 2022-09-26 | 一种靶管快速装夹的旋转阴极 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN202222550417.8U CN218969347U (zh) | 2022-09-26 | 2022-09-26 | 一种靶管快速装夹的旋转阴极 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN218969347U true CN218969347U (zh) | 2023-05-05 |
Family
ID=86163996
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN202222550417.8U Active CN218969347U (zh) | 2022-09-26 | 2022-09-26 | 一种靶管快速装夹的旋转阴极 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN218969347U (zh) |
-
2022
- 2022-09-26 CN CN202222550417.8U patent/CN218969347U/zh active Active
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US3714705A (en) | Method of assembling a dynamoelectric machine | |
| CN201533204U (zh) | 电机转子的磁钢固定结构 | |
| US4564435A (en) | Target assembly for sputtering magnetic material | |
| EP1414133B1 (en) | Motor casing | |
| CN218969347U (zh) | 一种靶管快速装夹的旋转阴极 | |
| CN107055284B (zh) | 外转子永磁同步曳引机 | |
| CN107017742B (zh) | 一种用于永磁电机转子的安装磁钢支撑装置 | |
| CN113279930A (zh) | 一种微型离子推力器的栅极组件装配结构及装配方法 | |
| CN110971097B (zh) | 一种大转矩密度空心杯电机及其动平衡调节方法 | |
| CN108808909B (zh) | 一种具有分体式压板的转子结构 | |
| CN109576664B (zh) | 一种三栅组件及含有该三栅组件的离子源 | |
| WO2022127823A1 (en) | Motor component, motor, motor vehicle and assembly method of motor component | |
| JP7238118B2 (ja) | レゾルバステータの位置決め押え片及び位置決め構造 | |
| CN207442651U (zh) | 伺服电机 | |
| CN112671187A (zh) | 混合磁路实心永磁转子及其装配工装和装配方法 | |
| CN221354115U (zh) | 一种电机定子与磁瓦组装工装 | |
| CN219195108U (zh) | 一种强积沉型改良防着板 | |
| CN220790867U (zh) | 一种模块化的锁具结构 | |
| CN214205288U (zh) | 混合磁路实心永磁转子和电动机及其装配工装 | |
| CN107086720B (zh) | 内转子永磁同步曳引机 | |
| CN217036855U (zh) | 一种防松动的定子铁芯套 | |
| CN220234300U (zh) | 一种新能源汽车电机中的转子 | |
| CN110336430B (zh) | 一种永磁同步变频电动机永磁体安装胎 | |
| CN217036904U (zh) | 一种端盖与机壳结合面紧固的铆压结构 | |
| CN217757628U (zh) | 弧源总成 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| GR01 | Patent grant | ||
| GR01 | Patent grant |