CN217757628U - 弧源总成 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种弧源总成，包括法兰盘，法兰盘上并列设置有镀膜装置和引弧装置；引弧装置包括油封座、引弧杆和引弧针；油封座套装在引弧杆的外侧，且油封座沿其轴向的一端与法兰盘连接，油封座沿其轴向的另一端的部分侧壁设置为平面；引弧杆沿其轴向的一端穿过法兰盘并与引弧针连接；引弧杆能够相对油封座移动以带动引弧针靠近或远离镀膜装置。本实用新型的一种弧源总成，其油封座拆装方便，便于维护。

Description

弧源总成

技术领域

本实用新型涉及电弧离子镀技术领域，尤其是涉及一种弧源总成。

背景技术

在现有的离子镀膜装置中，一般都采用平面大弧源以及小弧源进行多弧离子镀膜。平面大弧源基本采用线圈结构，通过电磁感应，生成可控制的磁场，束缚离子轰击靶材表面形成熔池，完成镀膜过程。小弧源多数采用单个的柱状磁铁产生的磁场，完成上述过程。但现有技术中的大弧源总成或小弧源总成中的油封座不方便拆装维护。

实用新型内容

本实用新型旨在至少解决现有技术中存在的技术问题之一。

为此，本实用新型提出一种弧源总成，其油封座拆装方便，便于维护。

根据本实用新型实施例的弧源总成，包括：法兰盘，所述法兰盘上并列设置有镀膜装置和引弧装置；所述引弧装置包括油封座、引弧杆和引弧针；所述油封座套装在所述引弧杆的外侧，且所述油封座沿其轴向的一端与所述法兰盘连接，所述油封座沿其轴向的另一端的部分侧壁设置为平面；所述引弧杆沿其轴向的一端穿过所述法兰盘并与所述引弧针连接；所述引弧杆能够相对所述油封座移动以带动所述引弧针靠近或远离镀膜装置。

根据本实用新型实施例的弧源总成，至少具有如下有益效果：当引弧杆带动引弧针向镀膜装置移动并与镀膜装置接触时，引弧针与镀膜装置形成一个回路；然后在镀膜装置上施加电压以进行镀膜过程。将油封座沿其轴向的另一端的部分侧壁设置为平面，当将引弧杆从油封座上拆除时，能够防止油封座和引弧杆之间出现打滑而导致拆装不便的问题。

根据本实用新型的一些实施例，所述镀膜装置包括调节螺杆、外磁铁、内磁铁、磁钢座、阴极水座和靶材；所述磁钢座和所述阴极水座均呈圆柱型结构，且均具有中空的腔体；所述外磁铁套装在所述调节螺杆的外侧；所述调节螺杆的一端伸入所述磁钢座的腔体内；所述内磁铁设置在所述磁钢座的腔体的内侧底部，并与所述调节螺杆的一端连接；所述磁钢座伸入所述阴极水座的腔体内；所述靶材安装在所述阴极水座的腔体的底部外侧；所述引弧针移动与所述靶材接触，以使所述引弧针、靶材、阴极水座、磁钢座、内磁铁、外磁铁和调节螺杆之间形成回路。

根据本实用新型的一些实施例，所述镀膜装置还包括螺杆座；所述螺杆座呈圆柱型结构，且具有中空的腔体；所述外磁铁套装在所述螺杆座的外侧；所述螺杆座套装在所述调节螺杆的外侧；所述螺杆座的腔体的开口处的侧壁与所述磁钢座的腔体的开口处的侧壁连接，以使所述螺杆座的腔体与所述磁钢座的腔体连通。

根据本实用新型的一些实施例，所述镀膜装置还包括水座盖板；所述水座盖板设置在所述阴极水座的腔体的开口处，以封闭所述阴极水座；所述磁钢座穿过所述水座盖板伸入所述阴极水座的腔体内。

根据本实用新型的一些实施例，所述镀膜装置还包括阴井压圈，所述阴井压圈覆盖所述水座盖板。

根据本实用新型的一些实施例，所述镀膜装置还包括屏蔽螺套，所述屏蔽螺套套装在所述靶材的外侧。

根据本实用新型的一些实施例，所述镀膜装置还包括绝缘护圈，所述绝缘护圈套装在所述阴极水座的外侧。

根据本实用新型的一些实施例，所述镀膜装置还包括屏蔽环，所述屏蔽环沿其轴向的一端与所述屏蔽螺套连接，另一端与所述绝缘护圈连接。

根据本实用新型的一些实施例，所述引弧杆沿其轴向的另一端连接有驱动器。

根据本实用新型的一些实施例，所述引弧装置还包括第二绝缘套，所述第二绝缘套套装在所述引弧杆的外侧，并安装在所述法兰盘上，所述油封座沿其轴向的一端通过所述第二绝缘套与所述法兰盘连接。

本实用新型的附加方面和优点将在下面的描述中部分给出，部分将从下面的描述中变得明显，或通过本实用新型的实践了解到。

附图说明

本实用新型的上述和/或附加的方面和优点从结合下面附图对实施例的描述中将变得明显和容易理解，其中：

图1为本实用新型实施例的弧源总成的剖视图。

图2为本实用新型实施例的引弧装置的主视图；

图3为图2中A方向的剖视图；

图4为本实用新型实施例的固定座的剖视图；

图5为本实用新型实施例的油封座的剖视图；

图6为本实用新型实施例的第二绝缘套的剖视图。

附图标记：

引弧装置100、驱动器110、固定座120、滑动槽121、环状卡接块122、滑动通孔123、油封座130、第一环状凸起131、第一环状密封槽1311、延伸块132、油封槽1321、油封通孔133、第一绝缘套140、第二绝缘套150、第二环状凸起151、第二环状密封槽1511、引弧杆160、引弧针170、油封180、销轴190；

镀膜装置200、调节螺杆210、螺杆座220、外磁铁231、内磁铁232、磁钢座240、水座盖板250、阴井压圈260、阴极水座270、绝缘护圈280、法兰盘290、陶瓷垫291、屏蔽环292、屏蔽螺套293、靶材294

具体实施方式

下面详细描述本实用新型的实施例，所述实施例的示例在附图中示出，其中自始至终相同或类似的标号表示相同或类似的元件或具有相同或类似功能的元件。下面通过参考附图描述的实施例是示例性的，仅用于解释本实用新型，而不能理解为对本实用新型的限制。

在本实用新型的描述中，需要理解的是，涉及到方位描述，术语“中心、纵向、横向、长度、宽度、厚度、上、下、前、后、左、右、竖直、水平、顶、底、内、外、周向、径向、轴向”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。

在本实用新型的描述中，若干的含义是一个或者多个，多个的含义是两个以上，大于、小于、超过等理解为不包括本数，以上、以下、以内等理解为包括本数。如果有描述到第一、第二只是用于区分技术特征为目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量或者隐含指明所指示的技术特征的先后关系。

在本实用新型的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”、“设置”、“布置”等应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。

下面参考图1至图6描述根据本实用新型实施例的弧源总成。

如图1所示，根据本实用新型实施例的弧源总成，包括法兰盘290，法兰盘290上并列设置有镀膜装置200和引弧装置100；引弧装置100包括油封座130、引弧杆160和引弧针170；油封座130套装在引弧杆160的外侧，且油封座130沿其轴向的一端与法兰盘290连接，油封座130沿其轴向的另一端的部分侧壁设置为平面；引弧杆160沿其轴向的一端穿过法兰盘290并与引弧针170连接；引弧杆160能够相对油封座130移动以带动引弧针170靠近或远离镀膜装置200。当引弧杆160带动引弧针170向镀膜装置200移动并与镀膜装置200接触时，引弧针170与镀膜装置200形成一个回路；然后在镀膜装置200上施加电压以进行镀膜过程。将油封座130沿其轴向的另一端的部分侧壁设置为平面，当将引弧杆160从油封座130上拆除时，能够防止油封座130和引弧杆160之间出现打滑而导致拆装不便的问题。

在本申请的一些具体实施例中，镀膜装置200包括调节螺杆210、外磁铁231、内磁铁232、磁钢座240、阴极水座270和靶材294；磁钢座240和阴极水座270均呈圆柱型结构，且均具有中空的腔体；外磁铁231套装在调节螺杆210的外侧；调节螺杆210的一端伸入磁钢座240的腔体内；内磁铁232设置在磁钢座240的腔体的内侧底部，并与调节螺杆210的一端连接；磁钢座240伸入阴极水座270的腔体内；靶材294安装在阴极水座270的腔体的底部外侧。当引弧针170移动与靶材294接触时，引弧针170、靶材294、阴极水座270、磁钢座240、内磁铁232、外磁铁231和调节螺杆210之间会形成一个回路；然后在调节螺杆210上施加电压，引弧针170点燃使离子轰击靶材294的表面以蒸发靶材294，再通过外磁铁231和内磁铁232配合将靶材294表面的电弧限制在靶面的范围内。

在本申请的一些具体实施例中，镀膜装置200还包括螺杆座220；螺杆座220呈圆柱型结构，且具有中空的腔体；外磁铁231套装在螺杆座220的外侧；螺杆座220套装在调节螺杆210的外侧；螺杆座220的腔体的开口处的侧壁与磁钢座240的腔体的开口处的侧壁连接，以使螺杆座220的腔体与磁钢座240的腔体连通；进而便于调节螺杆210能够在这两个腔体中移动。

在本申请的一些具体实施例中，镀膜装置200还包括水座盖板250；水座盖板250设置在阴极水座270的腔体的开口处，以封闭阴极水座270；水座盖板250通过螺栓与阴极水座270的腔体的开口处的侧壁固定连接；磁钢座240穿过水座盖板250伸入阴极水座270的腔体内。

在本申请的一些具体实施例中，镀膜装置200还包括阴井压圈260，阴井压圈260覆盖水座盖板250，以进一步封闭阴极水座270；同时，阴井压圈260与法兰盘290通过螺栓固定连接以将镀膜装置200安装在法兰盘290上。

在本申请的一些具体实施例中，镀膜装置200还包括屏蔽螺套293，屏蔽螺套293套装在靶材294的外侧。

在本申请的一些具体实施例中，镀膜装置200还包括绝缘护圈280，绝缘护圈280套装在阴极水座270的外侧。

在本申请的一些具体实施例中，镀膜装置200还包括屏蔽环292，屏蔽环292沿其轴向的一端与屏蔽螺套293连接，另一端与绝缘护圈280连接。需要说明的是，屏蔽环292的外侧壁径向向外延伸有环状连接条，环状连接条通过螺栓与法兰盘290实现固定连接，以将镀膜装置200进一步稳定安装在法兰盘290上。进一步地，螺栓的外侧套装有陶瓷垫291，以进一步绝缘。

如图1至图3所示，在本申请的一些具体实施例中，引弧装置100还包括固定座120和驱动器110。其中，引弧针170安装在引弧杆160沿其轴向且靠近靶材294的一端，引弧针170跟随引弧杆160移动；引弧杆160沿其轴向的另一端的周向侧壁上设置有销轴190，销轴190与引弧杆160的轴向的夹角为直角；固定座120沿其轴向的中部开设有供引弧杆160滑动的滑动通孔123；固定座120的周向侧壁上沿引弧杆160滑动的方向开设有滑动槽121，滑动槽121与滑动通孔123连通；销轴190在滑动槽121内并跟随引弧杆160沿滑动槽121滑动；滑动槽121在另一方面可以起到导向作用；驱动器110与引弧杆160上设置有销轴190的一端连接，用于驱动引弧杆160沿滑动槽121滑动。在本申请中，引弧杆160的伸出长度，即销轴190在滑动槽121滑动的长度；通过销轴190在滑动槽121滑动的长度即可准确的判断出引弧杆160的伸出长度。在本申请中，滑动槽121的长度不作具体限定。在一些实施例中，滑动槽121的长度可以小于滑动通孔123的长度，在引弧杆160滑动的过程中，可以通过销轴190与滑动槽121沿其长度方向的一端的侧壁抵接以限位。在其它实施例中，滑动槽121的长度可以大于等于滑动通孔123的长度，在引弧杆160滑动的过程中，可以借助其它与固定座120连接的部件，使销轴190与其它部件抵接以限位。

如图5所示，在本申请的一些具体实施例中，油封座130沿其轴向的中部开设有供引弧杆160穿过的油封通孔133，油封通孔133的中心线与滑动通孔123的中心线重合。油封座130的一端设置有延伸块132，延伸块132上开设有与油封通孔133连通的油封槽1321；如图4所示，固定座120靠近延伸块132的一端沿其径向延伸有环状卡接块122；环状卡接块122卡入油封槽1321中。如图1和图3所示，油封槽1321内并列设置有多个油封180，多个油封180套装在引弧杆160的外侧。当环状卡接块122卡入油封槽1321后，环状卡接块122与油封180抵接，以将多个油封180压紧在油封槽1321内；进而防止在引弧杆160在滑动过程中发生油泄漏现象。

如图1至图3所示，在本申请的一些具体实施例中，驱动器110可以是气缸，气缸的缸身安装在固定座120远离油封座130的一端，气缸的活塞杆与引弧杆160上设置有销轴190的一端通过联轴器或其它方式连接。需要说明的是，在其它实施例中，气缸的活塞杆经处理后可直接用作引弧杆160。

如图1至图3所示，在本申请的一些具体实施例中，该引弧装置100还包括第二绝缘套150，第二绝缘套150套装在引弧杆160的外侧，第二绝缘套150的一端与油封座130远离固定座120的一端连接。同时，第二绝缘套150套装在引弧杆160的外侧，并固定安装在法兰盘290上，以使引弧装置100安装在法兰盘290上。

进一步地，如图5和图6所示，第二绝缘套150的一端沿其径向向外延伸有第二环状凸起151，油封座130的另一端沿其径向向外延伸有第一环状凸起131，第二环状凸起151和第一环状凸起131之间通过螺栓连接。第二环状凸起151远离油封座130的一侧开设有第二环状密封槽1511，用于安装密封圈。第一环状凸起131朝向第二绝缘套150的一侧开设有第一环状密封槽1311，用于安装密封圈。

进一步地，如图1至图3所示，该引弧装置100还包括第一绝缘套140，第一绝缘套140安装在第二环状凸起151和第一环状凸起131之间的螺栓上，用于防止螺栓带电。

上述技术方案中的引弧装置100，滑动槽121的长度可以理解为引弧杆160的滑动行程，即引弧杆160能够伸出的最大长度。当引弧杆160伸出的长度达到最大时，销轴190就会与油封座130抵接以阻止引弧杆160继续滑动。

在本说明书的描述中，参考术语“一个实施例”、“一些实施例”、“示意性实施例”、“示例”、“具体示例”、或“一些示例”等的描述意指结合该实施例或示例描述的具体特征、结构、材料或者特点包含于本实用新型的至少一个实施例或示例中。在本说明书中，对上述术语的示意性表述不一定指的是相同的实施例或示例。而且，描述的具体特征、结构、材料或者特点可以在任何的一个或多个实施例或示例中以合适的方式结合。

上面结合附图对本实用新型实施例作了详细说明，但是本实用新型不限于上述实施例，在所述技术领域普通技术人员所具备的知识范围内，还可以在不脱离本实用新型宗旨的前提下作出各种变化。

Claims (10)

1.一种弧源总成，其特征在于，包括法兰盘(290)，所述法兰盘(290)上并列设置有镀膜装置(200)和引弧装置(100)；所述引弧装置(100)包括油封座(130)、引弧杆(160)和引弧针(170)；所述油封座(130)套装在所述引弧杆(160)的外侧，且所述油封座(130)沿其轴向的一端与所述法兰盘(290)连接，所述油封座(130)沿其轴向的另一端的部分侧壁设置为平面；所述引弧杆(160)沿其轴向的一端穿过所述法兰盘(290)并与所述引弧针(170)连接；所述引弧杆(160)能够相对所述油封座(130)移动以带动所述引弧针(170)靠近或远离镀膜装置(200)。

2.根据权利要求1所述的弧源总成，其特征在于，所述镀膜装置(200)包括调节螺杆(210)、外磁铁(231)、内磁铁(232)、磁钢座(240)、阴极水座(270)和靶材(294)；所述磁钢座(240)和所述阴极水座(270)均呈圆柱型结构，且均具有中空的腔体；所述外磁铁(231)套装在所述调节螺杆(210)的外侧；所述调节螺杆(210)的一端伸入所述磁钢座(240)的腔体内；所述内磁铁(232)设置在所述磁钢座(240)的腔体的内侧底部，并与所述调节螺杆(210)的一端连接；所述磁钢座(240)伸入所述阴极水座(270)的腔体内；所述靶材(294)安装在所述阴极水座(270)的腔体的底部外侧；所述引弧针(170)移动与所述靶材(294)接触，以使所述引弧针(170)、靶材(294)、阴极水座(270)、磁钢座(240)、内磁铁(232)、外磁铁(231)和调节螺杆(210)之间形成回路。

3.根据权利要求2所述的弧源总成，其特征在于，所述镀膜装置(200)还包括螺杆座(220)；所述螺杆座(220)呈圆柱型结构，且具有中空的腔体；所述外磁铁(231)套装在所述螺杆座(220)的外侧；所述螺杆座(220)套装在所述调节螺杆(210)的外侧；所述螺杆座(220)的腔体的开口处的侧壁与所述磁钢座(240)的腔体的开口处的侧壁连接，以使所述螺杆座(220)的腔体与所述磁钢座(240)的腔体连通。

4.根据权利要求2所述的弧源总成，其特征在于，所述镀膜装置(200)还包括水座盖板(250)；所述水座盖板(250)设置在所述阴极水座(270)的腔体的开口处，以封闭所述阴极水座(270)；所述磁钢座(240)穿过所述水座盖板(250)伸入所述阴极水座(270)的腔体内。

5.根据权利要求4所述的弧源总成，其特征在于，所述镀膜装置(200)还包括阴井压圈(260)，所述阴井压圈(260)覆盖所述水座盖板(250)。

6.根据权利要求2所述的弧源总成，其特征在于，所述镀膜装置(200)还包括屏蔽螺套(293)，所述屏蔽螺套(293)套装在所述靶材(294)的外侧。

7.根据权利要求6所述的弧源总成，其特征在于，所述镀膜装置(200)还包括绝缘护圈(280)，所述绝缘护圈(280)套装在所述阴极水座(270)的外侧。

8.根据权利要求7所述的弧源总成，其特征在于，所述镀膜装置(200)还包括屏蔽环(292)，所述屏蔽环(292)沿其轴向的一端与所述屏蔽螺套(293)连接，另一端与所述绝缘护圈(280)连接。

9.根据权利要求1所述的弧源总成，其特征在于，所述引弧杆(160)沿其轴向的另一端连接有驱动器(110)。

10.根据权利要求9所述的弧源总成，其特征在于，所述引弧装置(100)还包括第二绝缘套(150)，所述第二绝缘套(150)套装在所述引弧杆(160)的外侧，并安装在所述法兰盘(290)上，所述油封座(130)沿其轴向的一端通过所述第二绝缘套(150)与所述法兰盘(290)连接。

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