CN220926904U - 蒸发电极组件及镀膜设备 - Google Patents

Abstract

本申请公开了一种蒸发电极组件及镀膜设备。其中，镀膜装置包括蒸发电极组件和蒸发舟。蒸发电极组件包括：电极主体、屏蔽件、以及绝缘部件。具体地，电极主体内设置有冷却通道。屏蔽件套设在电极主体上，屏蔽件上设置有至少一个散热部，且散热部与电极主体贴靠设置。绝缘部件套设在电极主体上并位于屏蔽件的第一端。本申请公开的蒸发电极组件及镀膜装置解决了冷却板与电极主体之间容易发生短路的问题。

Description

蒸发电极组件及镀膜设备

技术领域

本申请涉及蒸发设备技术领域，具体而言，涉及一种蒸发电极组件及镀膜设备。

背景技术

真空镀膜是指在高真空的条件下加热金属或非金属材料，使金属或非金属材料蒸发并凝结于镀件表面而形成薄膜的一种方法。

真空镀膜中一种常见的加热源是电阻加热源，通过将蒸发舟夹持在正负电极之间，待蒸镀物质放置于蒸发舟中，电流通过给电极流入蒸发舟，以对使蒸镀物质受热蒸发。

现有的蒸发电极通常在电极本体上会套设绝缘保护罩以及屏蔽盖。实际在使用蒸发电极时还需要在蒸发电极的绝缘保护罩外周套设冷却板来对蒸发电极主体进行降温。蒸发电极上的屏蔽盖用于防止从蒸发舟蒸发的蒸发料进入到蒸发电极上，造成冷却板与蒸发电极短路。然而，由于屏蔽盖靠近蒸发舟，因此其温度较高，导致沉积在屏蔽盖上的蒸发料会熔化，以使得熔化后的蒸发料会连通到冷却板和电极主体，使得冷却板与电极主体之间短路，进而影响蒸发舟加热效率，最终对镀膜质量产生影响。

实用新型内容

本申请的主要目的在于提供一种蒸发电极组件及镀膜设备，以至少解决了冷却板与电极主体之间容易发生短路的问题。

根据本申请的一个方面，提供了一种蒸发电极组件，其特征在于，包括：

电极主体，电极主体内设置有冷却通道；

屏蔽件，屏蔽件套设在电极主体上，屏蔽件上设置有至少一个散热部，且散热部与电极主体贴靠设置；

绝缘部件，绝缘部件套设在电极主体上并位于屏蔽件的第一端。

进一步地，屏蔽件上设置有通孔，屏蔽件通过通孔套设在电极主体上，散热部包括散热片，散热片设置于通孔的外周并沿靠近和/或远离绝缘部件的方向延伸。

进一步地，屏蔽件还包括盖体，盖体的外边缘设置有环形凸起，通孔设置于盖体上，环形凸起与散热片之间具有间隙，绝缘部件的一端插设在间隙内。

进一步地，电极主体的外周面上还设置有至少一个限位凹槽，限位凹槽沿电极主体的外周面向靠近冷却通道方向凹陷，散热部与限位凹槽一一对应地贴靠设置。

进一步地，散热部的外周面与电极主体的外周面齐平，绝缘部件包括绝缘套体，绝缘套体至少部分套设于散热部的外周。

进一步地，绝缘部件包括：

绝缘耐高温套，绝缘耐高温套套设在电极主体上，并位于屏蔽件的第一端；

绝缘抗老化套，绝缘抗老化套套设在电极主体上，且绝缘耐高温套靠近绝缘抗老化套的一端套设在绝缘抗老化套上。

进一步地，绝缘抗老化套的外周面上设置有环凸，环凸将绝缘抗老化套分为第一段和第二段，绝缘耐高温套从套设于第二段并抵顶于环凸上。

进一步地，电极主体包括相互连接且同轴设置的第一圆柱段和第二圆柱段，第二圆柱段的外径大于第一圆柱段的外径，且第一圆柱段与第二圆柱段交界处具有台阶面；

绝缘耐高温套至少部分套设在第二圆柱段上，屏蔽件套设在第二圆柱段上，绝缘抗老化套套设在第一圆柱段上，且绝缘抗老化套的一端抵顶在台阶面上。

进一步地，绝缘抗老化套包括四氟保护罩，和/或，

绝缘耐高温套包括云母保护罩。

另一方面，本申请还提供了一种镀膜设备，该镀膜设备包括上述蒸发电极组件。

相对于现有技术而言，本申请的蒸发电极组件及镀膜设备在屏蔽件上设置有散热部。屏蔽件通过散热部可将热量传递给电极主体，随后通过冷却通道吸收热量，以避免当蒸镀物质为导电物质时，屏蔽件温度过高，从而使得蒸镀物质熔化后，在冷却件与电极主体之间形成通路，以造成冷却件与电极主体之间短路。

附图说明

此处所说明的附图用来提供对本申请的进一步理解，构成本申请的一部分，本申请的示意性实施例及其说明用于解释本申请，并不构成对本申请的不当限定。在附图中：

图1为本申请公开的镀膜设备的部分结构示意图；

图2为本申请公开的蒸发电极组件的结构示意图；

图3为本申请公开的蒸发电极组件的部分结构(拆除绝缘部件、屏蔽件以及冷却件)的示意图；

图4为本申请公开的蒸发电极组件的部分结构(拆除屏蔽件、冷却件以及绝缘高温套)示意图；

图5为本申请公开的蒸发电极组件的部分结构(拆除屏蔽件、冷却件)示意图；

图6为本申请公开的蒸发电极组件的部分结构(拆除冷却件)处于第一视角下的示意图；

图7为本申请公开的蒸发电极组件的部分结构(拆除冷却件)处于第二视角下的示意图；

图8为本申请公开的蒸发电极组件的屏蔽盖处于第一视角的结构示意图；

图9为本申请公开的蒸发电极组件的屏蔽盖处于第二视角的结构示意图；

图10为本申请公开的蒸发电极组件的绝缘抗老化套的结构示意图。

其中，上述附图包括以下附图标记：

10、电极主体；11、第一圆柱段；12、第二圆柱段；13、限位凹槽；14、台阶面；20、屏蔽件；21、散热部；22、间隙；23、通孔；30、绝缘部件；31、绝缘抗老化套；32、绝缘耐高温套；40、冷却件；50、安装头；61、进水管道；62、出水管道；70、正蒸发电极组件；80、负蒸发电极组件；90、蒸发舟；311、第一段；312、第二段；313、环凸。

具体实施方式

需要说明的是，在不冲突的情况下，本申请中的实施例及实施例中的特征可以相互组合。下面将参考附图并结合实施例来详细说明本申请。

需要注意的是，这里所使用的术语仅是为了描述具体实施方式，而非意图限制根据本申请的示例性实施方式。如在这里所使用的，除非上下文另外明确指出，否则单数形式也意图包括复数形式，此外，还应当理解的是，当在本说明书中使用术语“包含”和/或“包括”时，其指明存在特征、步骤、操作、器件、组件和/或它们的组合。

除非另外具体说明，否则在这些实施例中阐述的部件和步骤的相对布置、数字表达式和数值不限制本申请的范围。同时，应当明白，为了便于描述，附图中所示出的各个部分的尺寸并不是按照实际的比例关系绘制的。对于相关领域普通技术人员已知的技术、方法和设备可能不作详细讨论，但在适当情况下，技术、方法和设备应当被视为授权说明书的一部分。在这里示出和讨论的所有示例中，任何具体值应被解释为仅仅是示例性的，而不是作为限制。因此，示例性实施例的其它示例可以具有不同的值。应注意到：相似的标号和字母在下面的附图中表示类似项，因此，一旦某一项在一个附图中被定义，则在随后的附图中不需要对其进行进一步讨论。

为了解决冷却件40与电极主体10之间容易发生短路的问题，根据本申请的实施例，提供了一种蒸发电极组件及镀膜装置。如附图1至附图2所示，镀膜装置包括蒸发电极组件和蒸发舟90。蒸发电极组件包括：电极主体10、屏蔽件20以及绝缘部件30。

其中，电极主体10内设置有冷却通道(图中未示出)。如附图8至图9所示，屏蔽件20套设在电极主体10上，屏蔽件20上设置有至少一个散热部21，且散热部21与电极主体10贴靠设置。绝缘部件30套设在电极主体10上并位于屏蔽件20的第一端。同时，在使用蒸发电极时，还会在电极主体10外周设置冷却件40用以对电极主体10进行降温。具体来说，冷却件40套设于绝缘部件30外周并与屏蔽件20间隔预定距离。本实施例中冷却件40为冷却板。

具体而言，如图1所示，本实施例中的蒸发电极组件包括正蒸发电极组件70和负蒸发电极组件80。蒸发舟90设置在正蒸发电极组件70和负蒸发电极组件80之间，其中正蒸发电极组件70与负蒸发电极组件80的结构一致。蒸发电极组件还包括安装头50，该安装头50设置在电极主体10上，并设置在靠近屏蔽件20的一端，安装头50用于连接蒸发舟90，以使得蒸发电极对蒸发舟90供电。蒸发舟90中具有蒸镀物质，蒸镀物质可以是金属物质或非金属物质。

当蒸发电极对蒸发舟90通电时，蒸发舟90迅速发热以使蒸镀物质蒸发，使蒸镀物质在待镀膜物质上形成薄膜。同时，蒸发出的蒸镀物质在镀膜设备的镀膜空间中运动，部分蒸发出的蒸镀物质被屏蔽件20抵挡在屏蔽件20的两侧，随后冷却堆积在屏蔽件20的两侧。屏蔽件20受到蒸发舟90的热传递影响，温度迅速上升，但由于屏蔽件20上设置有散热部21，其中，屏蔽件20与散热部21一体成型，散热部21与具有冷却通道的电极主体10贴靠设置。因此，屏蔽件20通过散热部21将热量传递给电极主体10，随后通过冷却通道吸收热量，以避免当蒸镀物质为导电物质时，屏蔽件20温度过高，从而使得蒸镀物质熔化后，在冷却件40与电极主体10之间形成通路，以造成冷却件40与电极主体10之间短路。值得一提的是，本实施例中绝缘部件30的一端抵顶在屏蔽件20的一个端面，这意味着冷却件40与电极主体10之间不但绝缘隔离，同时，只有在屏蔽件20与冷却件40以及屏蔽件20与电极主体10之间形成通路，才能使得冷却件40与电极主体10之间出现短路。因此，这样的设置在一定程度上避免了位于屏蔽件20与冷却件40之间的电极主体10与冷却件40之间短路。

在本实施例中，屏蔽件20上设置有通孔23，屏蔽件20通过通孔23套设在电极主体10上，散热部21包括散热片，散热片设置于通孔23的外周并沿靠近和/或远离绝缘部件30的方向延伸。需要说明的是“散热片设置于通孔23的外周并沿靠近和/或远离绝缘部件30的方向延伸”是指散热片设置于通孔23的外周并沿靠近绝缘部件30的方向延伸、散热片设置于通孔23的外周并沿远离绝缘部件30的方向延伸以及散热片设置于通孔23的外周并沿靠近和远离绝缘部件30的方向延伸三种情况中的一种。在本实施例的一个具体实施例中，如附图8所示，散热片设置于通孔23的外周并沿靠近绝缘部件30的方向延伸。与现有技术中不同的是，本实施例屏蔽件20上设置了两个散热片，且屏蔽件20通常套设电极主体10上，散热片沿靠近绝缘部件30方向延伸并与电极主体10贴靠，在一定程度上增加了屏蔽件20与电极主体10之间热传递的效率。

可选地，散热片可以是单片，也可以是三片、四片以及四片以上。同样地，在本实施例中散热片为矩形散热片，散热片也可以是三角形散热片，还可以是圆弧形散热片等。

进一步地，屏蔽件20还包括盖体，盖体的外边缘设置有环形凸起，通孔23设置于盖体上，环形凸起与散热片之间具有间隙22，绝缘部件30的一端插设在间隙22内。本实施例的结构保证了屏蔽件20与绝缘部件30之间的密闭性，防止绝缘部件30与屏蔽件20之间存在缝隙，以造成蒸镀物质落入缝隙中对电极主体10造成影响。

为了进一步地提升屏蔽件20的散热效果，本实施例中电极主体10的外周面上还设置有至少一个限位凹槽13，限位凹槽13沿电极主体10的外周面向靠近冷却通道方向凹陷，散热部21与限位凹槽13一一对应地贴靠设置。具体来说，如图6和图7所示，本实施例中电极主体10与设置有安装头50相对的一端上开设有进水口和出水口，进水口与进水管道61连接，出水口与出水管道62连接。进水口和出水口沿平行与电极主体10的轴线方向延伸，在接近设置有安装头50的一端时相互连通，形成冷却通道。由于限位凹槽13沿电极主体10的外周面向靠近冷却通道方向凹陷，因此限位凹槽13相比于电极主体10上未设置有限位凹槽13的外周面而言，能更快地将热量传递至冷却通道中。在蒸发电极组件工作时，由于散热部21与限位凹槽13一一对应地贴靠设置，因此屏蔽件20上的热量通过散热部21最终传递到冷却通道中，再由冷却通道中不断循环的冷却水将热量带出，最终以达到对屏蔽件20的散热效果。进一步地而言，限位凹槽13还能对散热部21起到限位效果，防止屏蔽件20在电极主体10上发生相对位移。可选地，限位凹槽13可以是三角形限位凹槽、矩形限位凹槽、圆弧形限位凹槽等。

此外，散热部21的外周面与电极主体10的外周面齐平，绝缘部件30包括绝缘套体，绝缘套体至少部分套设于散热部21的外周。本实施例的一个优点在于，当散热部21的外周面与电极主体10的外周面齐平时，便于部分绝缘套套设在散热部21的外周，以提升电极主体10外周的绝缘密闭性。同时，绝缘套能均匀地对被套设的散热部21以及电极主体10外周面上各处提供支持力，以提升整体结构稳定性。

进一步地，绝缘部件30包括：绝缘耐高温套32和绝缘抗老化套31，这里的绝缘耐高温套32和绝缘抗老化套31即前文所述的绝缘套体。其中，绝缘耐高温套32套设在电极主体10上，并位于屏蔽件20的第一端。绝缘抗老化套31套设在电极主体10上，且绝缘耐高温套32靠近绝缘抗老化套31的一端套设在绝缘抗老化套31上。冷却件40套设在绝缘抗老化套31外周。

在本实施例中，由于电极主体10靠近蒸发舟90的一段温度较高，因此，在此部分的绝缘部件30设置为绝缘耐高温套32。而远离蒸发舟90的电极主体10温度较低，但由于需要套设冷却件40，因此选用耐用，寿命高的绝缘抗老化套31。当然绝缘部件30也可以只设置一个绝缘套体，但由于靠近蒸发舟90的电极主体10温度过高，因此对绝缘套体的损耗过快，需要不断更换整个绝缘套体，大幅增加使用成本。而本实施例的结构只需在绝缘耐高温套32损耗后，将其更换即可，从而在一定程度上减少了使用成本。

此外，如图10所示，绝缘抗老化套31的外周面上设置有环凸313，环凸313将绝缘抗老化套31分为第一段311和第二段312，绝缘耐高温套32从套设于第二段312并抵顶于环凸313上。具体而言，绝缘耐高温套32套设在第二端并抵顶于环凸313上，一方面能增强绝缘抗老化套31和绝缘耐高温套32之间的密闭性，防止绝缘抗老化套31和绝缘耐高温套32之间存在缝隙，以使蒸镀物质通过缝隙堆积到电极主体10上，对电极主体10造成影响。另一方面，环凸313的设置还能对绝缘耐高温套32起到一个限位作用，防止绝缘耐高温套32沿电极主体10的轴线方向往复运动。

进一步地，如图3至图6所示，电极主体10包括相互连接且同轴设置的第一圆柱段11和第二圆柱段12，第二圆柱段12的外径大于第一圆柱段11的外径，且第一圆柱段11与第二圆柱段12交界处具有台阶面14。绝缘耐高温套32至少部分套设在第二圆柱段12上，屏蔽件20套设在第二圆柱段12上，绝缘抗老化套31套设在第一圆柱段11上，且绝缘抗老化套31的一端抵顶在台阶面14上。

具体来说，电极主体10靠近蒸发舟90的一段为第二圆柱段12，电极主体10远离蒸发舟90的一段为第一圆柱段11。由于第二圆柱段12上的温度高于第一圆柱段11，因此第二圆柱段12的外周面开设有与散热片对应的限位凹槽13，同时屏蔽件20套设在第二圆柱段12靠近蒸发舟90的一侧上。绝缘耐高温套32中的一部分部分套设在第二圆柱段12上，且绝缘耐高温套32的穿设在屏蔽件20的间隙22之中。绝缘抗老化段套设在第二圆柱段12上，且绝缘抗老化套31的部分套设于绝缘耐高温套32内。

进一步地，绝缘抗老化套31包括四氟保护罩。得益于四氟保护罩具有耐高温，耐磨性能好，电绝缘等特点，绝缘抗老化段在第一圆柱段11上不易损耗，可长期使用。

可选地，绝缘耐高温套32包括云母保护罩，由于第二圆柱段12上温度过高，易使绝缘耐高温套32损坏，因此选用耐高温强，且成本较低的云母保护罩。

为了便于描述，在这里可以使用空间相对术语，如“在……之上”、“在……上方”、“在……上表面”、“上面的”等，用来描述如在图中所示的一个器件或特征与其他器件或特征的空间位置关系。应当理解的是，空间相对术语旨在包含除了器件在图中所描述的方位之外的在使用或操作中的不同方位。例如，如果附图中的器件被倒置，则描述为“在其他器件或构造上方”或“在其他器件或构造之上”的器件之后将被定位为“在其他器件或构造下方”或“在其他器件或构造之下”。因而，示例性术语“在……上方”可以包括“在……上方”和“在……下方”两种方位。该器件也可以其他不同方式定位(旋转90度或处于其他方位)，并且对这里所使用的空间相对描述作出相应解释。

此外，需要说明的是，使用“第一”、“第二”等词语来限定零部件，仅仅是为了便于对相应零部件进行区别，如没有另行声明，上述词语并没有特殊含义，因此不能理解为对本申请保护范围的限制。

以上仅为本申请的优选实施例而已，并不用于限制本申请，对于本领域的技术人员来说，本申请可以有各种更改和变化。凡在本申请的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本申请的保护范围之内。

Claims (10)

1.一种蒸发电极组件，其特征在于，包括：

电极主体(10)，所述电极主体(10)内设置有冷却通道；

屏蔽件(20)，所述屏蔽件(20)套设在所述电极主体(10)上，所述屏蔽件(20)上设置有至少一个散热部(21)，且所述散热部(21)与所述电极主体(10)贴靠设置；

绝缘部件(30)，所述绝缘部件(30)套设在所述电极主体(10)上并位于所述屏蔽件(20)的第一端。

2.根据权利要求1所述的蒸发电极组件，其特征在于，所述屏蔽件(20)上设置有通孔(23)，所述屏蔽件(20)通过所述通孔(23)套设在所述电极主体(10)上，所述散热部(21)包括散热片，所述散热片设置于所述通孔(23)的外周并沿靠近和/或远离所述绝缘部件(30)的方向延伸。

3.根据权利要求2所述的蒸发电极组件，其特征在于，所述屏蔽件(20)还包括盖体，所述盖体的外边缘设置有环形凸起，所述通孔(23)设置于所述盖体上，所述环形凸起与所述散热片之间具有间隙(22)，所述绝缘部件(30)的一端插设在所述间隙(22)内。

4.根据权利要求1所述的蒸发电极组件，其特征在于，所述电极主体(10)的外周面上还设置有至少一个限位凹槽(13)，所述限位凹槽(13)沿所述电极主体(10)的外周面向靠近所述冷却通道方向凹陷，所述散热部(21)与所述限位凹槽(13)一一对应地贴靠设置。

5.根据权利要求1所述的蒸发电极组件，其特征在于，所述散热部(21)的外周面与所述电极主体(10)的外周面齐平，所述绝缘部件(30)包括绝缘套体，所述绝缘套体至少部分套设于所述散热部(21)的外周。

6.根据权利要求1所述的蒸发电极组件，其特征在于，所述绝缘部件(30)包括：

绝缘耐高温套(32)，所述绝缘耐高温套(32)套设在所述电极主体(10)上，并位于所述屏蔽件(20)的第一端；

绝缘抗老化套(31)，所述绝缘抗老化套(31)套设在所述电极主体(10)上，且所述绝缘耐高温套(32)靠近所述绝缘抗老化套(31)的一端套设在所述绝缘抗老化套(31)上。

7.根据权利要求6所述的蒸发电极组件，其特征在于，所述绝缘抗老化套(31)的外周面上设置有环凸(313)，所述环凸(313)将所述绝缘抗老化套(31)分为第一段(311)和第二段(312)，所述绝缘耐高温套(32)从套设于所述第二段(312)并抵顶于所述环凸(313)上。

8.根据权利要求6所述的蒸发电极组件，其特征在于，所述电极主体(10)包括相互连接且同轴设置的第一圆柱段(11)和第二圆柱段(12)，所述第二圆柱段(12)的外径大于所述第一圆柱段(11)的外径，且所述第一圆柱段(11)与所述第二圆柱段(12)交界处具有台阶面(14)；

所述绝缘耐高温套(32)至少部分套设在所述第二圆柱段(12)上，所述屏蔽件(20)套设在所述第二圆柱段(12)上，所述绝缘抗老化套(31)套设在所述第一圆柱段(11)上，且所述绝缘抗老化套(31)的一端抵顶在所述台阶面(14)上。

9.根据权利要求6所述的蒸发电极组件，其特征在于，所述绝缘抗老化套(31)包括四氟保护罩，和/或，

所述绝缘耐高温套(32)包括云母保护罩。

10.一种镀膜设备，其特征在于，所述镀膜设备包括权利要求1至9中任一项所述蒸发电极组件。