CN218237052U - 一种加装缓冲稳压罐的供气柜 - Google Patents

Abstract

本实用新型涉及一种加装缓冲稳压罐的供气柜，属于供气柜技术领域，包括缓冲罐，安装在供气柜内；管道件，与所述缓冲罐相连，用于对进气和进液进行控制来稳压。本实用新型通过在供气柜内设置缓冲罐与管道件配合，实现了对供气柜进行缓冲稳压，可以有效解决机台设备TMA供气波动很大的问题，操作时只需对相应的阀门进行控制即可，方便实用。

Description

一种加装缓冲稳压罐的供气柜

技术领域

本实用新型涉及供气柜技术领域，具体是一种加装缓冲稳压罐的供气柜。

背景技术

在实验室和工业生产等场合，经常会用到各种不同成分，不同比例的气体，因此需要使用相应的供气柜。

现有的TMA供气柜虽然可以实现不间断的供气，但供气存在一定的波动，会影响实际使用效果。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种加装缓冲稳压罐的供气柜，以解决上述背景技术中提出的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：

一种加装缓冲稳压罐的供气柜，包括：

缓冲罐，安装在供气柜内；

管道件，与所述缓冲罐相连，用于对进气和进液进行控制来稳压。

作为本实用新型的进一步技术方案，所述缓冲罐包括：

压力容器；

支撑腿，安装在所述压力容器一端，用于支撑压力容器；

液位计，安装在所述压力容器远离支撑腿的一端并延伸至压力容器内部；

加压吹扫管，安装在所述压力容器远离支撑腿的一端；

出液管，安装在所述压力容器远离支撑腿的一端；

封头，安装在所述压力容器靠近支撑腿的一端。

作为本实用新型的更进一步技术方案，所述封头上安装有排污隔膜阀。

作为本实用新型的再进一步技术方案，所述压力容器侧面安装有带视镜法兰，所述带视镜法兰通过螺栓安装在压力容器一侧。

作为本实用新型的再进一步技术方案，所述管道件包括：

第一管道，一端与所述加压吹扫管相连，另一端与氮气相连；

第二管道，一端与所述第一管道相连，另一端与氮气相连；

第三管道，两端均与第一管道相连；

第五管道，一端与所述第一管道相连；

第六管道，一端与所述出液管相连，另一端与第五管道相连；

第八管道，一端与所述排污隔膜阀相连；

第七管道，一端与所述第六管道相连，另一端与所述第八管道相连；

第四管道，一端与所述第一管道相连，另一端与所述第七管道相连。

作为本实用新型的再进一步技术方案，所述第一管道上靠近缓冲罐的一端依次安装有第一手阀、调压阀、单向阀和第二手阀，所述第三管道两端分别设置在第二手阀两侧，所述第三管道上安装有纯化器，所述纯化器两侧分别安装有第三手阀和第四手阀。

作为本实用新型的再进一步技术方案，所述第二管道一端设置第一手阀与缓冲罐之间，所述第二管道靠近缓冲罐的一端依次设有针阀、常闭隔膜手阀、真空发生器和隔膜球阀。

作为本实用新型的再进一步技术方案，所述第五管道一端设置在第一手阀和调压阀之间，所述第五管道靠近第一管道的一端依次设有第六手阀、稳压罐进液阀和VMB出液阀。

作为本实用新型的再进一步技术方案，所述第八管道上安装有第九手阀，所述第六管道一端设置在第六手阀与稳压罐出液阀之间，所述第七管道一端设置在第七手阀与第五管道之间，另一端与第九手阀远离稳压罐的一侧相连，所述第七管道上安装有第八手阀。

作为本实用新型的再进一步技术方案，所述第四管道一端设置在第五管道与调压阀之间，另一端设置在第八手阀与第八管道之间。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：通过在供气柜内设置缓冲罐与管道件配合，实现了对供气柜进行缓冲稳压，可以有效解决机台设备TMA供气波动很大的问题，操作时只需对相应的阀门进行控制即可，方便实用。

附图说明

图1为加装缓冲稳压罐的供气柜的远离框图；

图2为加装缓冲稳压罐的供气柜的结构示意图；

图3为加装缓冲稳压罐的供气柜的局部结构示意图。

图中：1-缓冲罐、11-压力容器、12-带视镜法兰、13-螺栓、14-液位计、15-加压吹扫管、16-出液管、17-封头、18-排污隔膜阀、19-支撑腿、2-第一管道、21-第一手阀、22-调压阀、23-单向阀、24-第二手阀、3-第二管道、31-针阀、32-常闭隔膜手阀、33-真空发生器、34-隔膜球阀、4-第三管道、41-第三手阀、42-纯化器、43-第四手阀、5-第四管道、51-第五手阀、6-第五管道、61-第六手阀、62-稳压罐进液阀、63-VMB出液阀、7-第六管道、71-第七手阀、8-第七管道、81-第八手阀、9-第八管道、91-第九手阀。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述。

本实用新型实施例是这样实现的，如图1至图3所示的加装缓冲稳压罐的供气柜，包括:

缓冲罐1，安装在供气柜内，所述缓冲罐1包括：

压力容器11；

支撑腿19，安装在所述压力容器11一端，用于支撑压力容器11；

液位计14，安装在所述压力容器11远离支撑腿19的一端并延伸至压力容器11内部；

加压吹扫管15，安装在所述压力容器11远离支撑腿19的一端；

出液管16，安装在所述压力容器11远离支撑腿19的一端；

封头17，安装在所述压力容器11靠近支撑腿19的一端；

管道件，与所述缓冲罐1相连，用于对进气和进液进行控制来稳压，所述管道件包括：

第一管道2，一端与所述加压吹扫管15相连，另一端与氮气相连；

第二管道3，一端与所述第一管道2相连，另一端与氮气相连；

第三管道4，两端均与第一管道2相连；

第五管道6，一端与所述第一管道2相连；

第六管道7，一端与所述出液管16相连，另一端与第五管道6相连；

第八管道9，一端与所述排污隔膜阀18相连；

第七管道8，一端与所述第六管道7相连，另一端与所述第八管道9相连；

第四管道5，一端与所述第一管道2相连，另一端与所述第七管道8相连。

本实用新型在实际应用时，通过缓冲罐1与管道件配合来解决机台设备TMA供气波动很大的问题，具体的，压力容器11配合封头17进行缓冲稳压，支撑腿19保持压力容器11的稳定并处于一定高度，方便安装有管道件，液位计14方便判断内部液位，进一步的，为方便直接进行贯穿，所述压力容器11侧面安装有带视镜法兰12，所述带视镜法兰12通过螺栓13安装在压力容器11一侧，同时，为方便排污，所述封头17上安装有排污隔膜阀18；连接时按上述方式进行连接，具体请参阅图1，为保证稳定工作，所述第一管道2上靠近缓冲罐1的一端依次安装有第一手阀21、调压阀22、单向阀23和第二手阀24，所述第三管道两端分别设置在第二手阀两侧，所述第三管道上安装有纯化器42，所述纯化器42两侧分别安装有第三手阀41和第四手阀43，所述第二管道3一端设置第一手阀21与缓冲罐1之间，所述第二管道3靠近缓冲罐1的一端依次设有针阀21、常闭隔膜手阀22、真空发生器23和隔膜球阀24，所述第五管道6一端设置在第一手阀和调压阀之间，所述第五管道6靠近第一管道的一端依次设有第六手阀61、稳压罐进液阀62和VMB出液阀63，所述第八管道9上安装有第九手阀91，所述第六管道7一端设置在第六手阀61与稳压罐出液阀之间，所述第七管道8一端设置在第七手阀71与第五管道6之间，另一端与第九手阀91远离稳压罐的一侧相连，所述第七管道8上安装有第八手阀81，所述第四管道5一端设置在第五管道6与调压阀之间，另一端设置在第八手阀81与第八管道9之间。

第一次操作调试供气柜的流程如下：

1、第四手阀43关闭，第九手阀91关闭，第二手阀24关闭；调压阀22开到最大，针阀31调到最大，其余阀全开；

2、通过关开第三手阀41与常闭隔膜手阀32，对系统进行吹扫；

3、吹扫30次后，系统抽成真空；

4、关闭稳压罐进液阀62，第八手阀81，第五手阀51，第七手阀71，第三手阀41，常闭隔膜手阀32，第二手阀24，第一手阀21，调压阀22调到关闭状态，针阀31调到关闭状态；

5、开启第三手阀41，调至VMB输送压力－1bar；

6、开启第一手阀21；

7、要求同一VMB设备停止进框；

8、开启稳压罐进液阀62，第七手阀71；

9、等4L的不锈钢316LEP罐内压力上升至VMB压力，不再上升；

10、看4L的缓冲罐1罐内液位；一般在罐内1/3-1/2之间合适；如罐内液位大于1/2，不再调整，如小于1/3液位，关闭第七手阀71，开启常闭隔膜手阀32，调整针阀31，每次降压0.3bar，直至补液达到1/2，停止补液；

11、开启第九手阀91，开启流量，待稳定；

12、正常运行阀门状态，第四手阀43，第二手阀24，第三手阀41，第六手阀61，第一手阀21，常闭隔膜手阀32，第五手阀51，第六手阀61，针阀31，都在关闭状态，第七手阀71，稳压罐进液阀62，第九手阀91，VMB出液阀63在开启状态。

每天抄表，液位高度；当小于1/3时，操作如下：

要求同一VMB设备停止进框。

1、关闭第七手阀71，第九手阀91，开启常闭隔膜手阀32，第一手阀21，调节针阀31，每次降压0.2bar；

2、关闭针阀31，关闭第一手阀21，开启第七手阀71，压力上升到VMB压力，看液位（反复操作1，2两步，直至补液达到1/2）；

3、当达到1/2液位，停止补液；

4、正常运行阀门状态，第四手阀43，第二手阀24，第三手阀41，第六手阀61，第一手阀21，常闭隔膜手阀32，第五手阀51，第六手阀61，针阀31，都在关闭状态，第七手阀71，稳压罐进液阀62，第九手阀91，VMB出液阀63在开启状态。

备注：

1、排气时，不得补液，补液时不得排气，两个动作不可同步；

2、如果机台波动严重，先确认4L的罐内的液位，氩气在2.5bar基础上是否流量正常，设定TMA流量为0时，5分钟内能否流量都在50以下，静止5－10分钟，开启到正常流量，不能，要求更换流量控制阀。

对于本领域技术人员而言，显然本实用新型不限于上述示范性实施例的细节，而且在不背离本实用新型的精神或基本特征的情况下，能够以其他的具体形式实现本实用新型。因此，无论从哪一点来看，均应将实施例看作是示范性的，而且是非限制性的，本实用新型的范围由所附权利要求而不是上述说明限定，因此旨在将落在权利要求的等同要件的含义和范围内的所有变化囊括在本实用新型内。不应将权利要求中的任何附图标记视为限制所涉及的权利要求。

此外，应当理解，虽然本说明书按照实施方式加以描述，但并非每个实施方式仅包含一个独立的技术方案，说明书的这种叙述方式仅仅是为清楚起见，本领域技术人员应当将说明书作为一个整体，各实施例中的技术方案也可以经适当组合，形成本领域技术人员可以理解的其他实施方式。

Claims (10)

1.一种加装缓冲稳压罐的供气柜，其特征在于，包括：

缓冲罐，安装在供气柜内；

管道件，与所述缓冲罐相连，用于对进气和进液进行控制来稳压。

2.根据权利要求1所述的加装缓冲稳压罐的供气柜，其特征在于，所述缓冲罐包括：

压力容器；

支撑腿，安装在所述压力容器一端，用于支撑压力容器；

液位计，安装在所述压力容器远离支撑腿的一端并延伸至压力容器内部；

加压吹扫管，安装在所述压力容器远离支撑腿的一端；

出液管，安装在所述压力容器远离支撑腿的一端；

封头，安装在所述压力容器靠近支撑腿的一端。

3.根据权利要求2所述的加装缓冲稳压罐的供气柜，其特征在于，所述封头上安装有排污隔膜阀。

4.根据权利要求2所述的加装缓冲稳压罐的供气柜，其特征在于，所述压力容器侧面安装有带视镜法兰，所述带视镜法兰通过螺栓安装在压力容器一侧。

5.根据权利要求3所述的加装缓冲稳压罐的供气柜，其特征在于，所述管道件包括：

第一管道，一端与所述加压吹扫管相连，另一端与氮气相连；

第二管道，一端与所述第一管道相连，另一端与氮气相连；

第三管道，两端均与第一管道相连；

第五管道，一端与所述第一管道相连；

第六管道，一端与所述出液管相连，另一端与第五管道相连；

第八管道，一端与所述排污隔膜阀相连；

第七管道，一端与所述第六管道相连，另一端与所述第八管道相连；

第四管道，一端与所述第一管道相连，另一端与所述第七管道相连。

6.根据权利要求5所述的加装缓冲稳压罐的供气柜，其特征在于，所述第一管道上靠近缓冲罐的一端依次安装有第一手阀、调压阀、单向阀和第二手阀，所述第三管道两端分别设置在第二手阀两侧，所述第三管道上安装有纯化器，所述纯化器两侧分别安装有第三手阀和第四手阀。

7.根据权利要求6所述的加装缓冲稳压罐的供气柜，其特征在于，所述第二管道一端设置第一手阀与缓冲罐之间，所述第二管道靠近缓冲罐的一端依次设有针阀、常闭隔膜手阀、真空发生器和隔膜球阀。

8.根据权利要求6所述的加装缓冲稳压罐的供气柜，其特征在于，所述第五管道一端设置在第一手阀和调压阀之间，所述第五管道靠近第一管道的一端依次设有第六手阀、稳压罐进液阀和VMB出液阀。

9.根据权利要求8所述的加装缓冲稳压罐的供气柜，其特征在于，所述第八管道上安装有第九手阀，所述第六管道一端设置在第六手阀与稳压罐出液阀之间，所述第七管道一端设置在第七手阀与第五管道之间，另一端与第九手阀远离稳压罐的一侧相连，所述第七管道上安装有第八手阀。

10.根据权利要求9所述的加装缓冲稳压罐的供气柜，其特征在于，所述第四管道一端设置在第五管道与调压阀之间，另一端设置在第八手阀与第八管道之间。

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